JP2010146927A - 試料搬送機構、及び試料搬送機構を備えた走査電子顕微鏡 - Google Patents
試料搬送機構、及び試料搬送機構を備えた走査電子顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010146927A JP2010146927A JP2008324894A JP2008324894A JP2010146927A JP 2010146927 A JP2010146927 A JP 2010146927A JP 2008324894 A JP2008324894 A JP 2008324894A JP 2008324894 A JP2008324894 A JP 2008324894A JP 2010146927 A JP2010146927 A JP 2010146927A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- wafer
- foreign matter
- electron microscope
- scanning electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
本発明は、試料搬送中に、試料に付着した異物の除去を行う試料搬送機構、及び試料搬送機構を備えた走査電子顕微鏡の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するための一態様として、試料を裏面から支持する試料搬送用ハンドを備えた試料搬送機構であって、前記試料を吸着して保持する吸着機構と、当該吸着された試料と、前記試料搬送ハンド間に形成される閉空間内で、試料に気体を吸着する吸着機構と、当該閉空間内の気体を吸引する吸引機構を備えた試料搬送機構を提案する。更に走査電子顕微鏡内で発生した異物を、試料カセット等に持ち込まないように、走査電子顕微鏡鏡体と試料カセットとの間に設けられた試料搬送用ハンドに設けられた異物除去機構によって、異物を回収する走査電子顕微鏡を提案する。
【選択図】図4
Description
2,2a ウェーハ
3 搬送ロボット
4 試料吸着ハンド
5 アライナー
6 真空予備室
7 ホルダ
8 針
9,10 ゲートバルブ
11 試料室
12 ステージ
13 電子光学系鏡筒
14,14a 接触面
15 ノズル
16 吸引口
17,18,20 流路
19 真空吸着口
A 気体
B 気体源
P 異物
R,Ra 密閉空間
V1,V2 真空源
Claims (4)
- 試料を吸着する吸着機構と、当該吸着機構によって吸着された試料を搬送する搬送ロボットを備えた試料搬送装置であって、前記吸着機構が設けられ、当該吸着機構による試料の吸着によって、前記試料との間に閉空間が形成される形状を有するハンドを備え、当該ハンドには、前記閉空間内で前記試料に気体を吹き付けるための吹付口と、当該閉空間内の気体を吸引するための吸引口が設けられていることを特徴とする試料搬送装置。
- 請求項1において、
前記ハンドには、前記試料の吸着によって、前記試料に接する接触面が設けられ、当該接触面と、前記試料の接触によって、前記吹付口と前記吸引口を内在する閉空間が形成されることを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項1において、
前記閉空間内での気体の噴き付け及び吸引は、前記吸着機構による試料の吸着後に行われることを特徴とする試料搬送装置。 - 試料カセット内に保持される試料を搬送する搬送機構と、
当該搬送機構によって搬送された試料に電子ビームを照射する電子顕微鏡鏡体を備えた走査電子顕微鏡において、
当該電子ビームが照射される試料に電圧を印加するための接触端子を備え、
前記試料に対する当該接触端子の接触個所に付着する異物を除去するための異物除去機構が、前記搬送機構に設けられると共に、当該異物除去機構は、前記試料カセットに向かって搬送される試料に付着した異物を除去するように動作することを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008324894A JP5178495B2 (ja) | 2008-12-22 | 2008-12-22 | 試料搬送機構、及び試料搬送機構を備えた走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008324894A JP5178495B2 (ja) | 2008-12-22 | 2008-12-22 | 試料搬送機構、及び試料搬送機構を備えた走査電子顕微鏡 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010146927A true JP2010146927A (ja) | 2010-07-01 |
JP2010146927A5 JP2010146927A5 (ja) | 2011-05-12 |
JP5178495B2 JP5178495B2 (ja) | 2013-04-10 |
Family
ID=42567103
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008324894A Expired - Fee Related JP5178495B2 (ja) | 2008-12-22 | 2008-12-22 | 試料搬送機構、及び試料搬送機構を備えた走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5178495B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017069357A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス | 試料搬送装置 |
CN111710628A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-09-25 | 西安交通大学 | 一种超高真空环境多功能样品台及样品原位图案化的方法 |
JP7497150B2 (ja) | 2019-12-03 | 2024-06-10 | キヤノン株式会社 | 搬送装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9640418B2 (en) * | 2015-05-15 | 2017-05-02 | Suss Microtec Lithography Gmbh | Apparatus, system, and method for handling aligned wafer pairs |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58141536A (ja) * | 1982-02-17 | 1983-08-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体ウエハ−の吸着ヘツド |
JPS6219188U (ja) * | 1985-07-02 | 1987-02-04 | ||
JPS6371141U (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-13 | ||
JPH0750336A (ja) * | 1993-08-04 | 1995-02-21 | Hitachi Ltd | 差動排気型真空吸着治具 |
WO2007129558A1 (ja) * | 2006-05-09 | 2007-11-15 | Tokyo Electron Limited | 基板搬送装置及び縦型熱処理装置 |
-
2008
- 2008-12-22 JP JP2008324894A patent/JP5178495B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58141536A (ja) * | 1982-02-17 | 1983-08-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体ウエハ−の吸着ヘツド |
JPS6219188U (ja) * | 1985-07-02 | 1987-02-04 | ||
JPS6371141U (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-13 | ||
JPH0750336A (ja) * | 1993-08-04 | 1995-02-21 | Hitachi Ltd | 差動排気型真空吸着治具 |
WO2007129558A1 (ja) * | 2006-05-09 | 2007-11-15 | Tokyo Electron Limited | 基板搬送装置及び縦型熱処理装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017069357A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス | 試料搬送装置 |
JP7497150B2 (ja) | 2019-12-03 | 2024-06-10 | キヤノン株式会社 | 搬送装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法 |
CN111710628A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-09-25 | 西安交通大学 | 一种超高真空环境多功能样品台及样品原位图案化的方法 |
CN111710628B (zh) * | 2020-06-03 | 2023-04-28 | 西安交通大学 | 一种超高真空环境多功能样品台及样品原位图案化的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5178495B2 (ja) | 2013-04-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4959457B2 (ja) | 基板搬送モジュール及び基板処理システム | |
US8585112B2 (en) | Sample conveying mechanism | |
JP5580806B2 (ja) | 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
KR20160121410A (ko) | 이물 제거 장치, 이물 제거 방법, 박리 장치, 이물 검출 방법 및 이물 검출 장치 | |
WO2013136982A1 (ja) | 剥離装置、剥離システム及び剥離方法 | |
JP5178495B2 (ja) | 試料搬送機構、及び試料搬送機構を備えた走査電子顕微鏡 | |
JP2007266058A (ja) | 常温接合装置 | |
US20140158303A1 (en) | Bonding system, substrate processing system, and bonding method | |
KR101837227B1 (ko) | 박리 장치, 박리 시스템, 박리 방법 및 컴퓨터 기억 매체 | |
KR101805964B1 (ko) | 박리 시스템, 박리 방법 및 컴퓨터 기억 매체 | |
JP2015154063A (ja) | 洗浄装置、剥離システム、洗浄方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
KR20180116152A (ko) | 웨이퍼의 반출 방법 | |
JP2019091887A (ja) | 成膜装置及び部品剥離装置 | |
JP2007265971A (ja) | ウエハホルダ、試料作製装置 | |
JP2009302415A (ja) | 荷電粒子線装置,試料保持システム,試料の保持方法、および、試料の離脱方法 | |
WO2003073495A1 (fr) | Procede de support d'un substrat | |
JPH0596057U (ja) | クリーニングウエーハ | |
US8110818B2 (en) | Method of controlling particle absorption on a wafer sample being inspected by a charged particle beam imaging system | |
US20190312007A1 (en) | Bonding system and bonding method | |
JP6450633B2 (ja) | 異物検出方法、異物検出装置および剥離装置 | |
TWI495032B (zh) | 被處理體的移載機構及被處理體的處理系統 | |
US20080217534A1 (en) | Scanning Electron Microscope | |
JP2015088620A (ja) | 剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP5717803B2 (ja) | 剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JPH1174182A (ja) | マスク搬送装置及びマスクステージ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110228 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120914 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120925 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121211 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130108 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5178495 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |