KR101103561B1 - 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법 및 이를 위한 클리너 모듈 - Google Patents
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Abstract
웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법 및 이를 위한 클리너 모듈이 개시된다. 이러한 세정방법은 호스트(Host)가 정기정비(Periodic Maintenance:PM) 스케줄을 체크하는 단계와, 체크결과 핑거 클리닝의 시간이 된 경우, 상기 호스트는 장비의 ID를 체크하고, 상기 장비에 핑거 클리닝 작업을 지시하는 단계와, 상기 장비는 자동물자취급시스템(AMHS)에 클리너 모듈이 삽입된 풉(FOUP)을 요청하는 단계와, 상기 클리너 모듈이 삽입된 풉(FOUP)을 상기 장비에 로딩하는 단계와, 상기 클리너 모듈이 삽입된 풉(FOUP)을 오픈하는 단계와, 상기 장비는 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거를 상기 클리너 모듈에 삽입하여 클리닝하는 단계와, 클리닝이 완료된 후, 상기 장비는 상기 호스트에 클리닝이 완료되었음을 리포트 하는 단계, 및 상기 호스트는 상기 정기정비 스케줄을 업데이트 하는 단계를 포함한다.
Description
본 발명은 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법 및 이를 위한 클리너 모듈에 관한 것으로, 보다 상세히, 자동화할 수 있는 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법 및 이를 위한 클리너 모듈에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체는 웨이퍼의 제조 및 회로 설계, 웨이퍼 가공 및 조립 검사 공정을 거쳐서 제조된다. 보다 상세히, 단결정 규소봉을 성장시킨 후, 규소봉을 절단하여 웨이퍼를 만들고, 이러한 웨이퍼 표면을 연마한 후, 산화공정, 감광액 도포공정, 노광공정, 현상공정, 식각공정, 이온주입공정, 화학기상증착공정, 금속배선 형성공정 등 수많은 공정을 통해서 제조된다.
이렇게 수많은 공정을 진행하면서, 웨이퍼는 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거에 접촉하게 되는데, 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거에 묻은 파티클에 의한 웨이퍼 오염으로 인해서 수율이 하락되는 문제가 발생된다. 특히, 반도체가 보다 집적화됨에 따라, 이러한 문제는 보다 심각해 질 수 있다.
이에 따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 제1 과제는 이러한 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거를 자동으로 세정할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 제2 과제는 이러한 세정방법을 위한 클리너 모듈을 제공하는 것이다.
이러한 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법의 일 실시예는 적어도 하나의 클리너 모듈(Cleaner Module)을 배치하는 단계 및 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거를 상기 클리너 모듈에 삽입하여 세정하는 단계를 포함한다.
이때, 상기 클리너 모듈은 풉(FOUP)에 탑재되어 배치될 수 있다. 또한, 상기 클리너 모듈은 브러쉬(Brush) 타입, 와이퍼(Wiper) 타입, 초음파 (Ultra-sonic) 타입 등 중에서 어느 하나가 사용될 수 있다.
또한, 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법은 이러한 클리너 모듈을 배치하는 단계 이전에, 웨이퍼 이송용 로봇들의 정기정비(Periodic Maintenance:PM) 스케줄을 체크하는 단계와 체크결과 특정 웨이퍼 이송용 로봇의 세정 시간이 도래한 경우, 클리너 모듈을 상기 특정 웨이퍼 이송용 로봇으로 이동시키도록 요청하는 단계를 더 포함할 수 있다.
더욱이, 상기 특정 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거타입을 확인하는 단계 및 상기 핑거타입에 따라, 클리너 모듈을 선택하는 단계를 더 포함할 수도 있으며, 또한 클리닝 타입을 선택하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
또한, 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거를 상기 클리너 모듈에 삽입하여 세정하는 단계 이후에, 상기 웨이퍼 이송용 로봇들의 세정 스케줄을 업데이트 하는 단계 및 상기 클리너 모듈을 언로드 하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법의 다른 실시예는, 호스트(Host)가 정기정비(Periodic Maintenance:PM) 스케줄을 체크하는 단계와, 체크결과 핑거 클리닝의 시간이 된 경우, 상기 호스트는 장비의 ID를 체크하고, 상기 장비에 핑거 클리닝 작업을 지시하는 단계와, 상기 장비는 자동물자취급시스템(AMHS)에 클리너 모듈이 삽입된 풉(FOUP)을 요청하는 단계와, 상기 클리너 모듈이 삽입된 풉(FOUP)을 상기 장비의 로드포트(Load Port)에 로딩하는 단계와, 상기 클리너 모듈이 삽입된 풉(FOUP)을 오픈하는 단계와, 상기 장비는 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거를 상기 클리너 모듈에 삽입하여 클리닝하는 단계와, 클리닝이 완료된 후, 상기 장비는 상기 호스트에 클리닝이 완료되었음을 리포트 하는 단계, 및 상기 호스트는 상기 정기정비 스케줄을 업데이트 하는 단계를 포함한다.
이때, 상기 방법은 상기 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거를 상기 클리너 모듈에 삽입하여 클리닝하는 단계 이전에, 상기 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거타입을 확인하는 단계 및 상기 핑거타입에 따라, 클리너 모듈을 선택하는 단계를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거를 상기 클리너 모듈에 삽입하여 클리닝하는 단계 이전에, 클리닝 타입을 선택하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의한 클리너 모듈은 웨이퍼가 삽입되는 풉(FOUP)에 삽입될 수 있는 형태를 갖는 하우징 및 상기 하우징 내부에 배치되어, 웨이퍼 이송용 로봇의 핑 거를 세정하는 세정부를 포함한다.
이러한 본 발명에 따르면, 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거에 묻은 파티클을 제거하여 웨이퍼의 오염을 최소화함으로써 불량을 감소시킬 수 있다.
또한, 별도의 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거를 세정하기 위한 세정장치 없이, 풉에 클리너 모듈을 넣어 기존 장비에 로딩하여 세정하고 함으로써 비용을 절감할 수 있다.
더욱이, 이러한 공정을 자동화하여 효율을 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 상술한 본 발명의 특징 및 효과는 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해 질 것이며, 그에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 본 발명은 하기의 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구현될 수도 있다. 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 보다 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 기술적 사상과 특징이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공된다. 도면들에 있어서, 각 장치의 크기는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 과장되게 도시될 수 있으며, 또한 각 장치는 본 명세서에서 설명되지 아니한 다양한 부가 장치들을 구비할 수 있으며, 각 장치의 연결부는 추가적인 장치가 개재될 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법을 도시한 순서도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법에 의하면, 클리너 모듈을 세정이 필요한 장비에 배치하고(단계 S103), 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거(finger)를 클리너 모듈에 삽입하여 세정한다(단계 S104). 클리너 모듈은 웨이퍼를 이송하기 위한 풉(FOUP)에 웨이퍼처럼 삽입할 수 있도록 형성된다. 본 발명에 의한 이러한 클리너 모듈은 도 3 및 4를 중심으로 보다 상세히 설명될 것이다.
따라서, 별도의 이송용 로봇을 세정하기 위한 장비 없이, 이송용 로봇이 웨이퍼를 이송할 때와 같이 풉에 암(arm)을 뻗어 핑거를 삽입하는 동작만으로 핑거 세정이 가능하다.
이러한 세정 공정을 보다 시스템화하기 위해서, 먼저 정기정비(Periodic Maintenance:PM) 스케줄을 체크한다(단계 S101). 정기정비 스케줄 체크결과 세정(Cleaning)시간이 도래한 경우, 클리너 모듈을 요청(단계 S102)하여 세정이 필요한 장비에 클리너 모듈을 배치하고(단계 S103), 클리너 모듈에 핑거를 삽입하여 세정한다(단계 S104).
이후, 상기 정기정비 스케줄을 업데이트하고(단계 S105), 클리너 모듈을 언로드한다(단계 S106). 이러한, 정기정비 스케줄을 업데이트하는 것(단계 S105)과 클리너 모듈을 장비에서 언로드하는 것(단계 S106)은 그 순서가 바뀔 수도 있으며, 또한 동시에 진행될 수도 있음은 당업자라면 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
이와 같이, 정기정비 스케줄에 세정과정을 넣고, 이러한 스케줄에 따라 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거를 세정함으로써 세정을 보다 체계화할 수 있다.
다음으로 도 2를 참조하여, 이러한 체계화된 세정을 자동화하기 위한 반도체 제조공정의 각 장치(Equipment: EQ)들, 이들을 제어하는 호스트(Host) 및 자동물자취급시스템(Automatic Material Handling System:AMHS)의 역할분담에 대해 설명한다.
도 2는 본 발명의 예시적인 다른 실시예에 따른 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법을 도시한 다이어그램이다.
도 1 및 2를 참조하면, 먼저 호스트(Host)는 주기적으로 정기정비(Periodic Maintenance:PM) 스케줄을 체크한다(단계 S101). 이후, 특정 장비(EQ)의 세정시간이 도래하면 호스트는 상기 장비(EQ)에 세정을 요청한다.
그러면, 상기 장비(EQ)는 자동물자취급시스템(AMHS)에 핑거의 물자클리너 모듈이 삽입된 풉(Finger Cleaner module FOUP: FCF)을 요청한다(단계 S102).
이후, 자동취급시스템(AMHS)은 상기 장비(EQ)에 클리너모듈이 삽입된 풉(FCF)을 로딩한다(단계 S103).
그러면, 상기 장비(EQ)는 풉(FOUP)에서 웨이퍼를 이송할 때와 마찬가지로, 암을 뻗어 핑거를 풉에 탑재된 클리너 모듈에 삽입하여 세정이 진행된다(단계 S104).
이후, 세정이 완료되면, 상기 장비(EQ)는 호스트(Host)에 정기정비(PM) 스케줄의 업데이트를 요청하고(단계 S105), 자동물자취급시스템(AMHS)에 핑거의 물자클리너 모듈이 삽입된 풉(FCF)을 언로드하여 이송한다(단계 S106).
앞서 설명한 바와 마찬가지로, 상기 장비(EQ)는 호스트(Host)에 정기정비(PM) 스케줄의 업데이트를 요청하는 것(단계 S105)과 자동물자취급시스템(AMHS)에 핑거의 물자클리너 모듈이 삽입된 풉(FCF)을 언로드하여 이송하는 것(단계 S106)은 그 순서가 뒤바뀔 수 있으며 또는 동시에 진행될 수도 있음은, 이 기술분야의 당업자라면 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
또한, 도 2에서는 호스트(Host)가 장비(EQ)에 세정을 요청하면, 장비(EQ)가 자동물자취급시스템(AMHS)에 핑거의 클리너 모듈이 삽입된 풉(Finger Cleaner module FOUP: FCF)을 요청(단계 S102)하고 있으나, 이는 예시적인 것이며, 예컨대, 호스트(Host)가 직접 자동물자취급시스템(AMHS)에, 클리너 모듈이 삽입된 풉(FCF)을 세정이 필요한 장비(EQ)에 배치하도록 요청할 수도 있다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 클리너 모듈이 탑재된 풉(FOUP)의 사시도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 핑거클리닝풉(FCF, 100)은 적어도 하나의 클리너 모듈(101)이 일반적인 풉(FOUP, 102)에 탑재된다.
상기 각각의 클리너 모듈(101)은 하우징 및 하우징 내부에 삽입된 세정부(도 시안됨)를 포함한다.
상기 하우징은 웨이퍼가 삽입되는 풉(102)에 삽입될 수 있는 형태를 갖으며, 하우징은 상기 세정부를 보호한다.
상기 세정부는 다양한 방법으로 핑거를 세정할 수 있다. 예컨대, 브러쉬(Brush) 타입, 와이퍼(Wiper) 타입, 초음파 (Ultra-sonic) 타입 등으로 형성될 수 있다.
브러쉬 타입의 경우, 원형의 브러쉬를 모터에 연결하고 수평으로 회전시킴으로써 삽입된 핑거를 세정할 수 있다. 또는, 자동 세차기의 롤러형태로 브러쉬를 형성하여 롤링함으로써 핑거를 세정하도록 형성될 수 있다. 브러쉬는 부드러운 재질로 형성하여 핑거에 손상이 가해지는 것을 방지한다.
와이퍼 타입의 경우, 예컨대, 차량의 와이퍼와 같이 고무재질의 와이퍼를 이용하여 핑거를 스크라이빙(Scribing)하여 핑거 표면의 이물질을 제거할 수 있다.
초음파 타입의 경우, 핑거에 초음파를 인가하여 핑거 표면의 이물질을 제거한다. 이러한 초음파 타입 또한 안경 세정 등에서 흔히 사용된다.
이러한 세정부는, 앞서 설명한 분야의 당업자라면 용이하게 형성할 수 있으므로 더 이상의 자세한 설명은 생략한다.
언급되지는 않았으나, 이 이외에 다양한 방법으로 세정부가 형성될 수도 있다.
도 4a는 핑거 타입에 따라 클리너 모듈을 선택하는 단계를 예시적으로 보여 주는 단면도이다.
도 4a를 참조하면, 핑거(211, 311) 종류에 따라서, 각각 상이한 클리너 모듈에 의해 세정될 수 있다. 이러한 핑거 타입은 도 2의 장비(EQ)의 웨이퍼 이송용 로봇의 종류에 따라 달라질 수 있다. 즉, 호스트는 상기 장비(EQ)의 ID를 체크하고, 장비의 세정을 지시하는 과정에서, 상기 장비의 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 타입을 저장하고, 적절한 클리너 모듈을 매핑하여 적절한 클리너 모듈에 의해 세정이 이루어 질 수 있도록 제어한다.
웨이퍼 이송용 로봇에 따라 다양한 핑거의 형상을 갖는다. 예컨대, 웨이퍼의 하부를 진공흡착 방법으로 그리핑(gripping)할 수도 있으며, 웨이퍼의 에지부분을 그리핑할 수도 있다. 이러한 다양한 핑거의 형상에 대응하여 다양한 형태의 클러너 모듈을 구비하고 하나의 풉에 탑재시킴으로써, 핑거를 보다 청결하게 세정할 수 있다.
도 4b는 선택된 클리닝 타입에 따른 세정공정을 예시적으로 보여주는 단면도이다.
도 4b를 참조하면, 클리닝 타입에 따라 다양한 세정공정을 적용할 수 있다. 예컨대, 도 4b의 예컨대, 하부로부터 상부로 갈수록 더욱 미세한 파티클 제거에 적합한 클리너 모듈을 배치하여, 순차적으로 각 클리너 모듈을 통과하도록 할 수도 있으며, 또한 서로 다른 종류의 파티클을 제거하는 클리너 모듈을 배치할 수도 있다.
더욱이, 클리너 모듈을 세정모듈 뿐 아니라, 예컨대, 세정제 도포모듈, 세정모듈 및 건조모듈 등 다양한 모듈로 형성하고, 이들을 이용할 수도 있다.
이렇게, 클리너 모듈을 다양하게 형성하고, 클리닝 타입에 따라, 적절한 클러너 모듈을 하나 또는 그 이상 이용함으로써, 핑거를 보다 청결하게 세정할 수 있다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 클리너 모듈이 탑재된 풉(FOUP)이 로딩된 장비들의 일부 또는 전체를 보여주는 사시도들이다.
도 5a를 참조하면, 도 5a에서는 장비(EQ)로서 예컨대 반도체 이송장비(EFEM)를 도시하였다. 이외에도 웨이퍼 이송용 로봇이 형성된 다양한 종류의 장비에 본 발명이 적용될 수 있음은 당업자라면 용이하게 적용할 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
핑거클리닝풉(FCF, 100)이 장비(200)에 로딩되면, 웨이퍼 이송용 로봇(210)은 핑거(211)를 핑거클리닝풉(100)에 삽입하여 세정이 진행된다. 세정공정은 도 4a 및 4b에서 도시된 바와 같이, 핑거 타입에 따라, 또는 클리닝 타입에 따라 다양하게 진행될 수 있다.
즉, 도 5b에서는 웨이퍼 이송용 로봇(310)에 두 개의 다른 종류의 핑거들(311, 312)이 도시되어 있으며, 도 5c에서는 웨이퍼 이송용 로봇(410)이 웨이퍼의 에지부분을 그리핑하는 핑거(411)가 도시되어 있다.
본 발명에 의하면, 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거에 묻은 파티클을 제거하여 웨 이퍼의 오염을 최소화함으로써 불량을 감소시킬 수 있다.
또한, 별도의 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거를 세정하기 위한 세정장치 없이, 풉에 클리너 모듈을 넣어 기존 장비에 로딩하여 세정하고 함으로써 비용을 절감할 수 있다. 더욱이, 이러한 다양한 종류의 핑거 세정에 있어서, 별도의 다른 장비를 구비함이 없이, 핑거클리닝풉(FCF, 100)의 클리너 모듈만을 다양한 종류로 구비함으로써, 비용을 절감할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법을 도시한 순서도이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 다른 실시예에 따른 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법을 도시한 다이어그램이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 클리너 모듈이 탑재된 풉(FOUP)의 사시도이다.
도 4a는 핑거 타입에 따라 클리너 모듈을 선택하는 단계를 예시적으로 보여주는 단면도이다.
도 4b는 선택된 클리닝 타입에 따른 세정공정을 예시적으로 보여주는 단면도이다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 클리너 모듈이 탑재된 풉(FOUP)이 로딩된 장비들의 일부 또는 전체를 보여주는 사시도들이다.
<주요 도면부호에 대한 간단한 설명>
100: 핑거클리닝 풉(FCF) 101: 클리너 모듈
102: 풉(FOUP) 200: 장비(EQ)
210, 310, 410: 웨이퍼 이송용 로봇
211, 311, 411: 핑거
Claims (11)
- 적어도 하나의 클리너 모듈(Cleaner Module)을 배치하는 단계; 및웨이퍼 이송용 로봇의 핑거를 상기 클리너 모듈에 삽입하여 세정하는 단계를 포함하고,상기 클리너 모듈은 풉(FOUP)에 탑재되어 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법.
- 삭제
- 제1항에 있어서,상기 클리너 모듈은 브러쉬(Brush) 타입, 와이퍼(Wiper) 타입, 초음파 (Ultra-sonic) 타입 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법.
- 제1항에 있어서, 클리너 모듈을 배치하는 단계 이전에,웨이퍼 이송용 로봇들의 정기정비(Periodic Maintenance:PM) 스케줄을 체크하는 단계; 및체크결과 특정 웨이퍼 이송용 로봇의 세정 시간이 도래한 경우, 클리너 모듈을 상기 특정 웨이퍼 이송용 로봇으로 이동시키도록 요청하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법.
- 제4항에 있어서, 상기 특정 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거타입을 확인하는 단계; 및상기 핑거타입에 따라, 클리너 모듈을 선택하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법.
- 제4항에 있어서,클리닝 타입을 선택하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법.
- 제4항에 있어서, 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거를 상기 클리너 모듈에 삽입하여 세정하는 단계 이후에,상기 웨이퍼 이송용 로봇들의 세정 스케줄을 업데이트 하는 단계; 및상기 클리너 모듈을 언로드 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법.
- 호스트(Host)가 정기정비(Periodic Maintenance:PM) 스케줄을 체크하는 단계;체크결과 핑거 클리닝의 시간이 된 경우, 상기 호스트는 장비의 ID를 체크하 고, 상기 장비에 핑거 클리닝 작업을 지시하는 단계;상기 장비는 자동물자취급시스템(AMHS)에 클리너 모듈이 삽입된 풉(FOUP)을 요청하는 단계;상기 클리너 모듈이 삽입된 풉(FOUP)을 상기 장비에 로딩하는 단계;상기 클리너 모듈이 삽입된 풉(FOUP)을 오픈하는 단계;상기 장비는 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거를 상기 클리너 모듈에 삽입하여 클리닝하는 단계;클리닝이 완료된 후, 상기 장비는 상기 호스트에 클리닝이 완료되었음을 리포트 하는 단계; 및상기 호스트는 상기 정기정비 스케줄을 업데이트 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법.
- 제8항에 있어서, 상기 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거를 상기 클리너 모듈에 삽입하여 클리닝하는 단계 이전에,상기 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거타입을 확인하는 단계; 및상기 핑거타입에 따라, 클리너 모듈을 선택하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법.
- 제8항에 있어서, 상기 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거를 상기 클리너 모듈에 삽입하여 클리닝하는 단계 이전에,클리닝 타입을 선택하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법.
- 삭제
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| KR1020090063371A KR101103561B1 (ko) | 2009-07-13 | 2009-07-13 | 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법 및 이를 위한 클리너 모듈 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
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2009
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