KR20050119711A - 웨이퍼 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

제품의 수율을 향상시키기 위한 웨이퍼 이송 장치를 개시한다. 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼가 안착되는 메인 암 및 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 시 웨이퍼의 위치를 가이드하는 서브 암을 구비한다. 웨이퍼의 로딩 또는 언로딩 시, 서브 암은 수납 용기의 다수의 지지부 중에서 웨이퍼가 로딩 또는 언로딩될 위치에 대응하는 지지부의 양 단부와 서로 접촉된다. 즉, 서브 암의 위치가 고정되므로, 웨이퍼 이송 장치가 수납 용기의 부적절한 지점에 위치함에 따라 발생되는 웨이퍼간의 마찰을 방지할 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼 이송 장치는 로딩 또는 언로딩시 웨이퍼가 손상되는 것을 방지할 수 있고, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

Description

웨이퍼 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSPORTING A WAFER}
본 발명은 웨이퍼 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼를 수납 용기에 적재하기 위한 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 장치는 반도체 기판으로 사용되는 실리콘웨이퍼 상에 전기적인 회로를 형성하는 팹(Fab) 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 반도체 장치들의 전기적인 특성을 검사하는 EDS(electrical die sorting)공정과, 상기 반도체 장치들을 각각 에폭시 수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지 조립 공정을 통해 제조된다.
상기 팹 공정은 웨이퍼 상에 막을 형성하기 위한 증착 공정과, 상기 막을 평탄화하기 위한 화학적 기계적 연마 공정과, 상기 막 상에 포토레지스트 패턴을 형성하기 위한 포토리소그래피 공정과, 상기 포토레지스트 패턴을 이용하여 상기 막을 전기적인 특성을 갖는 패턴으로 형성하기 위한 식각 공정과, 웨이퍼의 소정 영역에 이온들을 주입하기 위한 이온 주입 공정과, 웨이퍼 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정과, 상기 세정된 웨이퍼를 건조시키기 위한 건조 공정과, 상기 막 또는 패턴의 결함을 검사하기 위한 검사 공정 등을 포함한다.
일반적으로, 웨이퍼 이송 장치는 상기 단위 공정들에 따라 웨이퍼를 특정 설비 또는 웨이퍼를 수납하는 카세트로 운반하고, 특정 설비 및 카세트에 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩한다.
상기 카세트의 예로는 개방형 웨이퍼 카세트와 최근 300mm 웨이퍼에 적용되는 풉(Front Open Unified Pod : FOUP) 등이 있으며, 상기 카세트는 다수의 웨이퍼를 수납하며, 웨이퍼의 인입이 용이하도록 일면이 개방되어 있다. 여기서, 상기 풉의 경우, 개방된 부위를 커버링하는 커버를 갖는다. 상기 카세트의 내부에는 각각의 웨이퍼의 에지 영역을 지지하는 다수의 지지부가 구비된다. 다수의 지지부는 소정의 거리로 이격되어 위치하며, 그 이격 공간에는 하나의 웨이퍼가 수납된다.
웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼를 진공 흡착한 후, 카세트의 수납공간 중 적정위치를 선정하여 웨이퍼를 해당 위치에 적재한다. 이때, 웨이퍼 이송 장치가 웨이퍼를 해당 위치에 정확하게 로딩하지 못할 경우, 카세트에 기 수납된 웨이퍼들과 현재 로딩 또는 언로딩되는 웨이퍼 간에 마찰이 발생하여 웨이퍼에 스크래치가 발생할 수 있다. 특히, 300mm 웨이퍼와 같이 크기가 큰 웨이퍼의 경우, 카세트의 수납 공간 중에서 해당 웨이퍼가 수납될 위치를 작업자가 수동으로 선정하여 웨이퍼를 로딩하고 있다. 이때, 작업자는 웨이퍼의 수납 위치 선정 시, 그 위치를 육안으로 대충 어림잡아 웨이퍼를 카세트로 로딩한다. 이에 따라, 웨이퍼를 카세트에 로딩 시, 위치 선정의 오차가 빈번하게 발생하므로, 웨이퍼의 손상을 초래한다.
본 발명의 목적은 웨이퍼를 수납 용기로부터 로딩 또는 언로딩할 시, 웨이퍼가 손상되는 방지하여 제품의 수율을 향상시키기 위한 웨이퍼 이송 장치를 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 웨이퍼 이송 장치는 메인 암 및 서브 암으로 이루어진다.
웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼의 에지 영역을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 웨이퍼를 수납하기 위한 수납 용기로부터 상기 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩한다. 웨이퍼 이송 장치의 메인 암은 상기 웨이퍼가 적재된다. 서브 암은 상기 메인 암과 결합하고, 상기 웨이퍼의 에지 영역을 부분적으로 둘러싼다. 상기 웨이퍼를 상기 수납 용기로 로딩 또는 언로딩 시, 서브 암은 양 단부가 상기 지지부의 양 단부와 서로 맞닿아 상기 웨이퍼의 위치를 가이드한다.
이러한 웨이퍼 이송 장치에 의하면, 서브 암이 지지부와 맞닿아 그 위치가 고정됨으로써, 로딩 또는 언로딩되는 웨이퍼와 수납 용기에 적재된 다른 웨이퍼간의 마찰을 방지할 수 있고, 더 나아가서는 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치를 나타낸 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치(100)는 몸체부(110), 상기 몸체부(110)에 일부분이 삽입되고, 웨이퍼(11)가 안착되는 메인 암(120) 및, 상기 메인 암(120)과 결합하고, 수납 용기(200)의 수납공간 중에서 상기 웨이퍼(11)가 수납 될 적정 위치를 가이드하는 서브 암(130)을 포함한다.
보다 상세히는, 상기 몸체부(110)는 상기 메인 암(120)의 일부분을 둘러싼다.
상기 메인 암(120)은 막대 형상을 가지며, 제1 단부에는 상기 웨이퍼(11)가 안착되고, 상기 제1 단부와 대향하는 제2 단부는 상기 몸체부(110)에 삽입된다.
상기 서브 암(130)은 중앙부가 제거된 반원 형상을 갖는다. 구체적으로, 상기 서브 암(130)은 웨이퍼(11)의 측면과 대응하는 곡면을 이루는 내측면을 가지며, 상기 웨이퍼(11)를 부분적으로 둘러싼다. 상기 웨이퍼(11)를 상기 수납 용기(200)에 로딩할 경우, 상기 서브 암(130)의 양 단부는 상기 웨이퍼(11)가 로딩될 상기 수납 용기(200)의 적정 지점과 접한다. 구체적으로, 수납 용기(200)의 개방된 양쪽 측면 부위에 밀착된다.
한편, 상기 수납 용기(200)는 다수의 웨이퍼를 수납하기 위한 수납공간을 갖는 웨이퍼 수납부(210) 및 상기 웨이퍼 수납부(210)의 내측으로부터 돌출된 다수의 지지부(220)를 구비한다.
상기 다수의 지지부(220)는 상기 웨이퍼 수납부(210)에 수납되는 각각의 웨이퍼(12, 13)의 에지 영역을 지지하여 상기 다수의 웨이퍼를 소정의 거리로 이격한다. 따라서, 상기 다수의 지지부(220)는 서로 인접하여 위치하는 두개의 웨이퍼(12, 13)간에 마찰이 발생하는 것을 방지한다.
도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 이송 장치를 나타낸 평면도이다.
도 2를 참조하면, 상기 몸체부(110)는 상기 메인 암(120)의 길이 방향으로 형성된 이동홀(111)을 가지며, 상기 메인 암(120)의 제1 단부가 상기 이동홀(111)로부터 돌출되도록 상기 메인 암(120)을 수용한다.
상기 메인 암(120)은 진공압을 유입하여 상기 웨이퍼(11)(도 1참조)를 상기 메인 암(120)의 상면에 흡착시키기 위한 다수의 흡착홈(121) 및 상기 메인 암(120)의 표면으로부터 돌출어 몸체부(110)의 표면 상으로 연장된 이동 돌기(122)를 갖는다.
상기 다수의 흡착홈(121)은 상기 메인 암(120)의 제1 단부에 위치하고, 상기 웨이퍼(11)가 안착되는 면에 형성된다.
상기 이동 돌기(122)는 상기 메인 암(120)의 제2 단부에 위치하고, 상기 이동홀(111)을 관통하여 상기 몸체부(110)의 외부로 노출된다. 사용자는 상기 이동 돌기(122)의 위치를 상기 이동홀(111)을 따라 이동시킴으로써, 상기 몸체부(110)의 외부로 노출되는 상기 메인 암(120)의 길이를 조절할 수 있다. 즉, 상기 이동홀(111) 내에서의 상기 이동 돌기(122)의 위치에 따라 상기 메인 암(120)의 일부분이 상기 수납 용기(200) 내부로 인입되거나 인출될 수 있다.
상기 서브 암(130)은 상기 메인 암(120)과 결합하기 위한 결합홀(미도시)을 갖는다. 상기 메인 암(120)의 제1 단부는 상기 결합홀을 관통하여 상기 서브 암(130)에 의해 정의되는 영역에 위치한다.
상기 서브 암(130)은 상기 웨이퍼(11)가 위치하는 방향으로 돌출되어 상기 웨이퍼(11)의 에지 영역을 부분적으로 지지하기 위한 다수의 지지돌기(131)를 갖는다. 상기 다수의 지지돌기(131)는 상기 소정의 거리로 이격되어 위치한다.
도 3은 도 1에 도시된 웨이퍼 이송 장치가 웨이퍼를 수납 용기에 적재하는 것을 나타낸 개념도이다.
도 3을 참조하면, 상기 웨이퍼(11)를 상기 수납 용기(200)에 로딩 시, 먼저 상기 서브 암(130)의 양 단부가 상기 다수의 지지부(220)(도 1참조) 중에서 상기 웨이퍼(11)가 로딩될 지점에 대응하는 지지부(221)의 양 단부와 서로 맞닿아 상기 웨이퍼(11)의 위치를 가이드한다. 이에 따라, 상기 메인 암(120)은 상기 웨이퍼(11)를 정확한 위치에 로딩할 수 있으므로, 새로 로딩되는 웨이퍼와 상기 수납 용기(100)에 기 적재된 웨이퍼간의 마찰을 방지할 수 있다.
상기 사용자에 의해 상기 이동홀(111) 내에서의 상기 이동 돌기(122)의 위치가 상기 수납 용기(200) 측으로 이동됨에 따라, 상기 메인 암(120)의 제1 단부는 상기 수납 용기(200)의 내부로 인입된다. 상기 메인 암(120)은 상기 웨이퍼(11)를 상기 수납 용기(200)에 로딩한다. 상기 웨이퍼(11)의 로딩이 완료되면, 상기 이동 돌기(122)는 상기 사용자에 의해 상기 수납 용기(200)가 위치하는 방향과 반대되는 방향으로 이동된다. 이에 따라, 상기 메인 암(120)의 제1 단부는 상기 수납 용기(200)의 내부로부터 인출된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼가 안착되는 메인 암 및 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 시 웨이퍼의 위치를 가이드하는 서브 암을 구비한다. 웨이퍼의 로딩 또는 언로딩 시, 서브 암은 수납 용기의 다수의 지지부 중에서 웨이퍼가 로딩 또는 언로딩될 위치에 대응하는 지지부의 양 단부와 서로 맞닿는다.
즉, 서브 암은 웨이퍼가 로딩 또는 언로딩될 해당 위치에 고정되므로, 로딩 또는 언로딩되는 웨이퍼와 수납 용기에 적재된 다른 웨이퍼간의 마찰을 방지할 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼 이송 장치는 로딩 또는 언로딩시 발생되는 웨이퍼들 간의 마찰로 인해 웨이퍼가 손상되는 것을 방지하므로, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
이상에서는 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 이송 장치를 나타낸 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 웨이퍼 이송 장치가 웨이퍼를 수납 용기에 적재하는 것을 나타낸 개념도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 웨이퍼 이송 장치 110 : 몸체부
111 : 이동홀 120 : 메인 암
121 : 흡착홀 122 : 이동 돌기
130 : 서브 암 131 : 지지돌기
200 : 수납 용기 210 : 웨이퍼 수납부
220 : 지지부

Claims (6)

  1. 웨이퍼의 에지 영역을 지지하는 지지부를 갖고 상기 웨이퍼를 수납하기 위한 수납 용기로부터 상기 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩하기 위한 웨이퍼 이송용 장치에 있어서,
    상기 웨이퍼를 지지하는 메인 암; 및
    상기 메인 암과 결합하고, 상기 웨이퍼의 에지 영역을 부분적으로 둘러싸며, 상기 웨이퍼를 상기 수납 용기로 로딩 또는 언로딩 시, 양 단부가 상기 지지부의 양 단부와 서로 맞닿아 상기 웨이퍼의 위치를 가이드하는 서브 암을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 서브 암은 상기 웨이퍼의 에지 영역을 부분적으로 지지하기 위한 돌기를 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 웨이퍼가 안착되는 상기 메인 암의 제1 단부와 대향하는 제2 단부를 둘러싼 몸체부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 몸체부는 상기 몸체부의 길이 방향으로 연장되어 형성된 이동홀을 갖고,
    상기 메인 암은 상기 제2 단부에 위치하고, 상기 메인 암의 표면으로부터 돌출되어 형성되며, 상기 이동홀을 관통하여 상기 몸체부의 외부로 노출되는 이동 돌기를 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 이동 돌기는 상기 이동홀의 길이 방향으로 이동하여 상기 몸체부의 외부로 노출되는 상기 메인 암의 길이 조절하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 메인 암은 상기 웨이퍼와 접하는 면에 형성되어 상기 웨이퍼가 상기 메인 암에 흡착되도록 진공압을 유입하기 위한 흡착홈을 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
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