JP2017058566A - 反射ミラーおよびミラー保持機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】凹曲面状の反射面を有する反射ミラー2において、反射面が形成される側の面をおもて面とし、おもて面の反対側の面を裏面2hとし、反射ミラー2の光軸L1に平行な方向をZ方向とし、Z方向のうちのおもて面から裏面2hへ向かう方向をZ2方向とすると、反射ミラー2の裏面2hには、Z方向に直交する平面2jと、平面2jの周囲の少なくとも一部からZ2方向に向かって立ち上がる壁面2kとが形成されている。
【選択図】図4
Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる反射ミラー2が搭載される投射光学系4の斜視図である。図2は、図1に示す投射光学系4を異なる角度から示す斜視図である。
図3は、図1に示すミラー保持機構1の分解斜視図である。図4は、図1に示すミラー保持機構1を図3と異なる角度から示す分解斜視図である。図5は、図1に示すミラー保持機構1の縦断面図である。図6は、図1に示すミラー保持機構1の横断面図である。図7は、図5のE−E方向から平面2jおよびその周辺部分を示す拡大図である。図8は、図5のF部の拡大図である。
図9は、図1に示す投射光学系4において鏡筒5と反射ミラー2との相対位置を調整するときに使用されるコリメータ25の模式図である。図10は、図1に示す投射光学系4において反射ミラー2の調整が行われるときの状態を説明するための斜視図である。
以上説明したように、本形態では、反射ミラー2の裏面2hに、前後方向に直交する平面2jと、平面2jの全周を囲むように平面2jの全周から後ろ側に向かって立ち上がる壁面2kとが形成されている。そのため、本形態では、投射光学系4において鏡筒5と反射ミラー2との相対位置を調整するときに、調整用ミラー29を反射ミラー2の平面2j上に配置しても、平面2j上に配置される調整用ミラー29のずれを壁面2kによって防止して一定の位置に調整用ミラー29を配置することが可能になる。したがって、本形態では、上述のように調整用ミラー29で反射された光を確認しながら、反射ミラー2の角度を適切に調整することが可能になる。すなわち、本形態では、反射ミラー2の平面2jで反射される光を利用しなくても、反射ミラー2の角度を適切に調整することが可能になる。したがって、本形態では、平面2jの面精度が高くなるように、かつ、平面2jの反射率が高くなるように反射ミラー2を製造しなくても、鏡筒5と反射ミラー2との相対位置を適切に調整することが可能になる。その結果、本形態では、鏡筒5と反射ミラー2との相対位置を適切に調整することが可能であっても、反射ミラー2の製造コストを低減することが可能になる。
上述した形態では、平面2jは、平面2jの中心を光軸L1が通過するように形成されているが、平面2jは、平面2jの中心からずれた位置を光軸L1が通過するように形成されても良い。この場合には、平面2jは、光軸L1からずれた位置に形成されても良い。すなわち、光軸L1と交わらない位置に平面2jが形成されても良い。また、上述した形態では、壁面2kは、平面2jの全周を囲むように平面2jの全周から後ろ側に向かって立ち上がるように形成されているが、壁面2kは、平面2jの周囲の一部から後ろ側に向かって立ち上がるように形成されても良い。この場合には、たとえば、裏面2hから後ろ側に向かって立ち上がる壁部の内側面が壁面2kとなり、裏面2hには壁面2kを形成するための凹部は形成されない。
2 反射ミラー
2a 反射面
2h 裏面
2j 平面
2k 壁面
2m 突起部
3 ミラー保持枠(ミラー保持部材)
L1 反射ミラーの光軸
Z 第1方向
Z2 第2方向
Claims (7)
- 凹曲面状の反射面を有する反射ミラーにおいて、
前記反射面が形成される側の面をおもて面とし、前記おもて面の反対側の面を裏面とし、前記反射ミラーの光軸に平行な方向を第1方向とし、前記第1方向のうちの前記おもて面から前記裏面へ向かう方向を第2方向とすると、
前記裏面には、前記第1方向に直交する平面と、前記平面の周囲の少なくとも一部から前記第2方向に向かって立ち上がる壁面とが形成されていることを特徴とする反射ミラー。 - 前記壁面は、前記平面の全周を囲むように前記平面の全周から前記第2方向に向かって立ち上がっていることを特徴とする請求項1記載の反射ミラー。
- 前記平面は、前記反射ミラーの光軸上に形成されていることを特徴とする請求項2記載の反射ミラー。
- 前記平面には、前記第2方向に向かって突出する3個以上の突起部が形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の反射ミラー。
- 前記第1方向から見たときに、3個以上の前記突起部は、前記平面の中心を取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項4記載の反射ミラー。
- 前記第1方向から見たときに、3個の前記突起部が前記平面の中心に対して等角度ピッチで配置されていることを特徴とする請求項5記載の反射ミラー。
- 請求項1から6のいずれかに記載の反射ミラーと、前記反射ミラーを保持するミラー保持部材とを備えることを特徴とするミラー保持機構。
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