JP6564510B2 - 光学部材 - Google Patents
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Description
(1)二つの側端面とそれぞれ対向する、第1ミラー保持部材の対向する一対の面に配置される2つの突起物が、溝状の係合部に入り込んで溝状の係合部と係合し、2つの突起物を結ぶ軸を回転軸として反射ミラーを回転動作可能にする。
(2)二つの側端面とそれぞれ対向する、ミラー第1保持部材の対向する一対の面に配置される2つの突起部が、溝状の係合部に入り込んで溝状の係合部と係合し、2つの突起部を結ぶ軸を回転軸として反射ミラーを回転動作可能にする。
(1)二つの側端面とそれぞれ対向する、第1ミラー保持部材の対向する一対の面に配置される2つの突起物が、溝状の係合部に入り込んで溝状の係合部と係合し、2つの突起物を結ぶ軸を回転軸として反射ミラーを回転動作可能にする。
(2)二つの側端面とそれぞれ対向する、ミラー第1保持部材の対向する一対の面に配置される2つの突起部が、溝状の係合部に入り込んで溝状の係合部と係合し、2つの突起部を結ぶ軸を回転軸として反射ミラーを回転動作可能にする。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る光学部材1の分解斜視図である。図2は、図1に示す分解斜視図を図1の紙面奥側から見た図である。
図6は、光学部材1および後述する第2の実施の形態に係る光学部材の各構成部材相互の位置関係を調整する際に使用するコリメータ89の模式図である。
図8は、本発明の第2の実施の形態に係る光学部材100の分解斜視図である。図9は、図8に示す分解斜視図を僅かに変更し、図8の紙面奥側から見た図である。
まず、図6に示す各種部材を設置するためのコリメータ89のステージ89aと、ステージ89aの上方に固定された検査用の光を放射するコリメータ89の光源部89bとの位置および角度を、調整部89cによって調整して、光源部89bから放射される光の光軸Laとステージ89bの上面89dとが実質的に垂直となるように調整を行う。
本発明の第1および第2の実施の形態に係る光学部材1,100は、それぞれ反射ミラー20,110を有している。反射ミラー20,110は、その曲面21,111の裏側面が、鏡筒10と反射ミラー20、または鏡筒101と反射ミラー110との相互位置関係調整用の平面22,112を有している。そのため、コリメータ等を用いれば、固定部材30の基準面90、鏡筒101の基準面230等と反射ミラー20,110の配置関係を実質的に平行にする等できる。よって、本発明の第1および第2の実施の形態に係る光学部材1,100、および反射ミラー20,110は、各構成部材相互の位置関係を正確にすることを可能としている。
上述した本発明の第1および第2の実施の形態に係る 光学部材1,100、および反射ミラー20,110は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々の変形実施が可能である。
10,101 鏡筒
20,110 反射ミラー
21,111 曲面
22,112 平面
30,120 固定部材
90,230 基準面(平面部)
L,L’ 光軸
Claims (8)
- 生成された画像光を反射する曲面を有する反射ミラーと、上記反射ミラーを保持する第1ミラー保持部材またはミラー第1保持部材と、を有し、
上記反射ミラーを囲む端面のうち、上端面と下端面とを接続する二つの側端面は、上記画像光が出射される側へ向かう方向に開口するよう切り欠かれている溝状の係合部を有し、且つ以下の(1)または(2)のいずれかの構成を有することを特徴とする光学部材。
(1)上記二つの側端面とそれぞれ対向する、上記第1ミラー保持部材の対向する一対の面に配置される2つの突起物が、上記溝状の係合部に入り込んで上記溝状の係合部と係合し、
上記2つの突起物を結ぶ軸を回転軸として上記反射ミラーを回転動作可能にする。
(2)上記二つの側端面とそれぞれ対向する、上記ミラー第1保持部材の対向する一対の面に配置される2つの突起部が、上記溝状の係合部に入り込んで上記溝状の係合部と係合し、
上記2つの突起部を結ぶ軸を回転軸として上記反射ミラーを回転動作可能にする。 - 上記反射ミラーは、上記下端面133に上記画像光が出射される方向に貫通する穴部135が形成され、
上記ミラー第1保持部材は、下端面145に上記画像光が出射される方向に貫通する穴部147が形成され、
上記反射ミラーを上記ミラー第1保持部材へ収容した際に、上記穴部135と上記穴部147とは重なり合い、
上記穴部135と上記穴部147との間の空間に圧縮バネが配置され、
上記穴部135と上記穴部147および圧縮バネを挿通するように調整用ネジが配置される、請求項1に記載の光学部材。 - 画像光を反射する曲面および上記曲面の裏側面を有する反射ミラーと、上記反射ミラーを保持する第1ミラー保持部材またはミラー第1保持部材と、を有し、
上記反射ミラーを囲む端面のうち、上端面と下端面とを接続する二つの側端面は、上記裏側面から上記曲面へ向かう方向に開口するよう切り欠かれている溝状の係合部を有し、且つ以下の(1)または(2)のいずれかの構成を有することを特徴とする光学部材。
(1)上記二つの側端面とそれぞれ対向する、上記第1ミラー保持部材の対向する一対の面に配置される2つの突起物が、上記溝状の係合部に入り込んで上記溝状の係合部と係合し、
上記2つの突起物を結ぶ軸を回転軸として上記反射ミラーを回転動作可能にする。
(2)上記二つの側端面とそれぞれ対向する、上記ミラー第1保持部材の対向する一対の面に配置される2つの突起部が、上記溝状の係合部に入り込んで上記溝状の係合部と係合し、
上記2つの突起部を結ぶ軸を回転軸として上記反射ミラーを回転動作可能にする。 - 上記係合部は、上記反射ミラーの光軸に沿った方向に開口するように切り欠かれている、請求項3に記載の光学部材。
- 上記反射ミラーは、上記下端面133に上記裏側面側から上記曲面側に貫通する穴部135が形成され、
上記ミラー第1保持部材は、下端面145に上記裏側面側から上記曲面側に貫通する穴部147が形成され、
上記反射ミラーを上記ミラー第1保持部材へ収容した際に、上記穴部135と上記穴部147とは重なり合い、
上記穴部135と上記穴部147との間の空間に圧縮バネ171が配置され、
上記穴部135と上記穴部147および圧縮バネ171を挿通するように調整用ネジ172が配置される、請求項3または4に記載の光学部材。 - 上記反射ミラーは、上記上端面130に上側突起部132を有し、
上記ミラー第1保持部材は、上記回転軸方向中央に位置調整用溝部142が形成され、
上記反射ミラーを上記ミラー第1保持部材へ収容した際に、上記上側突起部132が上記位置調整用溝部142に入り込み、
上記上側突起部132が上記位置調整用溝部142に入り込んだ状態を維持するように、上記上側突起部132が上記位置調整用溝部142に押し付けられるように、板バネ151が設置される、請求項1から5のいずれか1項に記載の光学部材。 - 上記反射ミラーは、曲面と、前記曲面の裏側に配置され上記反射ミラーの光軸と垂直な相互位置関係調整用の平面を有する、請求項1から6のいずれか1項に記載の光学部材。
- 上記ミラー第1保持部材は、上記反射ミラーを保持するミラー第2保持部材に保持され、
上記ミラー第1保持部材のX軸方向両端には、陥没した陥没部191,191の底面をY軸方向に貫通する2つの穴部192,192が形成され、
上記ミラー第2保持部材は、そのX軸方向両端に、Y軸方向に貫通する2つのネジ穴部193,193であって、上記穴部192,192と貫通するものが形成され、
上記ミラー第1保持部材のX軸方向両端には、Z軸方向に貫通する2つの穴部202,202が形成され、
上記ミラー第2保持部材のX軸方向両端には、Z軸方向に貫通する2つのネジ穴部203,203であって、上記穴部202,202と貫通するものが形成され、
上記穴部192,192と、上記ネジ穴部193,193とを、固定用ネジ194,194がネジ結合し、
上記穴部202,202と、上記ネジ穴部203,203とを、調整用ネジ201,201がネジ結合し、
上記穴部202,202を貫通して上記ネジ穴部203,203との間には、圧縮バネ205が配置される、請求項1から7のいずれか1項に記載の光学部材。
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