JP2017045965A - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2A 表面
2B 裏面
3 レーザー加工装置
3B レーザー加工装置
5 研削装置
6 保護部材
8 分割装置
7 ダイシングテープ
9 エキスパンドテープ
10 フレーム
20 基板
21 機能層
22 デバイス
23 分割予定ライン
24 バンプ
25 レーザー加工溝
26 改質層
31 チャックテーブル
31H 保持面
32 レーザー光線照射手段
33 撮像手段
34 ケーシング
35 集光器
37 移動装置
38 位置検出装置
39 表示装置
40 制御手段
41 演算処理装置
42 記憶装置
43 入出力インターフェース装置
51 チャックテーブル
51H 保持面
52 研削手段
61 基材フィルム
62 粘着材層
81 フレーム保持手段
82 テープ拡張手段
310 チャックテーブル
320 フレーム保持装置
330 アーム部材
340 フレーム保持部材
340H 上面
350 クランプ機構
521 スピンドルハウジング
522 回転スピンドル
523 マウンター
524 研削ホイール
525 基台
526 研削砥石
DA デバイス領域
SA 外周余剰領域
LB1 (吸収性)レーザー光線
LB2 (透過性)レーザー光線
Claims (1)
- 基板の表面に積層された機能層が格子状に形成された分割予定ラインによって区画された領域に電極を有する複数のデバイスが形成されたデバイス領域と、該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備え、該デバイスには該電極に接続して突出するバンプが配設されるウェーハの加工方法であって、
ウェーハの表面の機能層側に保護部材を配設する保護部材配設ステップと、
該保護部材配設ステップを実施した後、ウェーハの裏面を研削してウェーハを薄化する研削ステップと、
該研削ステップを実施した後、ウェーハの裏面にダイシングテープを貼着し、ウェーハの表面から該保護部材を除去する貼り替えステップと、
該貼り替えステップを実施した後、該機能層に対して吸収性を有する波長のレーザー光線をウェーハの表面側から該分割予定ラインに沿って照射しながらウェーハを保持したチャックテーブルとレーザー光線照射手段とを該分割予定ラインに沿って相対移動させ、該分割予定ラインに沿ったレーザー加工溝で該機能層を分断する溝形成ステップと、
該溝形成ステップを実施した後、基板に対して透過性を有する波長のレーザー光線をウェーハの裏面側から該分割予定ラインに沿って照射しながらウェーハを保持したチャックテーブルとレーザー光線照射手段とを該分割予定ラインに沿って相対移動させ、ウェーハの裏面から所定距離内側の基板の内部に破断起点となる改質層を形成する改質層形成ステップと、からなり、
該溝形成ステップでは、
該外周余剰領域における該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段との相対移動速度は、該外周余剰領域の内周からウェーハの周縁に近づくに従い低い速度に設定され、該外周余剰領域における該レーザー加工溝の深さをウェーハの周縁に近づくにつれ深く形成することを特徴とするウェーハの加工方法。
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