JP2017041539A - 金属充填構造体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1乃至図6を用いて、本実施形態に係る金属充填構造体100の構成、及び製造方法について説明する。
図1は、本実施形態に係る金属充填構造体100の構成を説明する平面図である。また、図2は、本実施形態に係る金属充填構造体100の構成を説明する断面図である。図1及び図2に示すように、本実施形態に係る金属充填構造体100は、半導体基板102、絶縁層112及び金属充填材料114を有する。
図3乃至図6を用いて、本実施形態に係る金属充填構造体100の製造方法について説明する。図3乃至図6において、図1及び図2に示す要素と同じ要素には同一の符号を付した。
図7を用いて、本実施形態に係る金属充填構造体200の構成、及び製造方法について説明する。
図7は、本実施形態に係る金属充填構造体200の構成を説明する断面図である。本実施形態に係る金属充填構造体200と、第1実施形態に係る金属充填構造体100との構成を比較すると、本実施形態に係る金属充填構造体200は、貫通孔110を有し、当該貫通孔110内に金属充填材料114が充填されている点で異なっている。
[製造方法]
本発明のような多段階のエッチングを用いない、従来の金属充填構造体の製造方法を用いて作製した金属充填構造体について図面を用いて説明する。図9は、従来の金属充填構造体の製造方法を用いて作製した金属充填構造体の断面写真である。本比較例においては、以下の製造工程によって金属充填構造体を作製した。
半導体基板:102、202
第1面:104
第2面:106
有底孔:108、208
凹部:108a
貫通孔:110
絶縁層:112、112a、112b、212a、212b
金属充填材料:114
Claims (13)
- 半導体基板の第1面に第1絶縁層を形成し、
前記第1絶縁層に開口パターンを形成し、
前記開口パターンの下方に、前記第1面から所定の深さにアンダーカットを有し、底部が前記所定の深さよりも深い有底孔を、前記半導体基板に形成し、
前記有底孔の側壁及び底部に第2絶縁層を形成し、
前記有底孔の底部の前記第2絶縁層を除去し、
前記有底孔に金属充填材料を充填することを含む金属充填構造体の製造方法。 - 前記所定の深さは、100nm以上1000nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の金属充填構造体の製造方法。
- 前記有底孔を形成することは、等方性エッチングと保護膜の堆積とを繰り返すボッシュプロセスであることを特徴とする請求項1に記載の金属充填構造体の製造方法。
- 前記金属充填材料を充填することは、電界めっき法により、前記有底孔の底部から前記有底孔の開口端部へ向けて金属充填材料を充填することである請求項1に記載の金属充填構造体の製造方法。
- 前記金属充填材料を充填することは、前記半導体基板の第1面から1000nm以上の深さまで前記金属充填材料を充填することである請求項1に記載の金属充填構造体の製造方法。
- 半導体基板の第1面に第1絶縁層を形成し、
前記第1絶縁層に開口パターンを形成し、
前記開口パターンの下方に、前記第1面から所定の深さにアンダーカットを有する貫通孔を、前記半導体基板に形成し、
前記貫通孔の側壁に第2絶縁層を形成し、
前記貫通孔に金属充填材料を充填することを含む金属充填構造体の製造方法。 - 前記所定の深さは、100nm以上1000nm以下であることを特徴とする請求項6に記載の金属充填構造体の製造方法。
- 前記貫通孔を形成することは、等方性エッチングと保護膜の堆積とを繰り返すボッシュプロセスであることを特徴とする請求項6に記載の金属充填構造体の製造方法。
- 前記金属充填材料を充填することは、電界めっき法により、前記貫通孔の前記第1面と反対の第2面側の端部から前記第1面側の端部へ向けて前記金属充填材料を充填することである請求項5に記載の金属充填構造体の製造方法。
- 前記金属充填材料を充填することは、前記半導体基板の第1面から1000nm以上の深さまで前記金属充填材料を充填することである請求項6に記載の金属充填構造体の製造方法。
- 第1面に、複数の有底孔及び前記複数の有底孔の各々の開口縁を周回する凹部を有する半導体基板と、
前記半導体基板の前記第1面、前記凹部及び前記有底孔の側壁を覆う絶縁層と、
前記有底孔の一部を充填する金属充填材料とを備える金属充填構造体。 - 前記第1面上の前記絶縁層は、前記有底孔の内側へ突出した形状を有することを特徴とする請求項11に記載の金属充填構造体。
- 前記金属充填材料は、前記有底孔の底部から前記凹部の下方まで充填されることを特徴とする請求項11に記載の金属充填構造体。
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