JP2009260284A - 半導体素子、および半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板2と、半導体基板2に配置された回路素子と、半導体基板2に形成された、筋状の凹凸構造3をその側壁面に有する貫通孔1と、を備え、筋状の凹凸構造3の筋の方向は、半導体基板2の厚み方向である、半導体素子。
【選択図】図1
Description
前記半導体基板に配置された回路素子と、
前記半導体基板に形成された、筋状の凹凸をその側壁面に有する貫通孔と、
を備え、
前記筋状の凹凸の筋の方向は、前記半導体基板の厚み方向である、半導体素子である。
前記化合物半導体は、ガリウムヒ素、ガリウムナイトライド、またはインジウムリンである、第4の本発明の半導体素子である。
前記半導体基板の素材にエッチングマスクを形成するエッチングマスク形成ステップと、
前記エッチングマスクが形成された前記半導体基板の素材に対して、酸素が混合されたエッチングガスを利用してエッチングを行うエッチングステップと、
を有する、第6の本発明の半導体素子である。
導電性物質を前記貫通孔の内部に形成する導電性物質形成ステップと、
回路素子の電極を前記導電性物質と電気的に接続する接続ステップと、
を備えた、半導体素子の製造方法である。
前記半導体基板の素材にエッチングマスクを形成するエッチングマスク形成ステップと、
前記エッチングマスクが形成された前記半導体基板の素材に対して、酸素が混合されたエッチングガスを利用してエッチングを行うエッチングステップと、
を有する、第10の本発明の半導体素子の製造方法である。
(1)前記ドライエッチング工法で利用されるチャンバーの内部の真空度、(2)前記チャンバーの内部のエッチングガスの分圧を調整するために前記エッチングガスに混合されるガスの種類および/または量、(3)前記半導体基板の素材に対する基板バイアスの印加量、(4)前記ドライエッチング工法で利用されるエッチングマスクのエッチング用窓の大きさおよび/または形状、および(5)前記半導体基板の素材が含む不純物、と、
の間の関係をあらかじめ調べておき、
その調べた結果に基づいて、前記チャンバーの内部の真空度、前記混合されるガスの種類および/または量、前記基板バイアスの印加量、および前記エッチング用窓の大きさおよび/または形状を設定し、前記貫通孔を形成する、第10記載の半導体素子の製造方法である。
図1(A)および(B)ならびに図2(A)および(B)を主として参照しながら、本実施の形態における半導体素子、およびその製造方法について説明する。
図5〜7を主として参照しながら、本実施の形態における半導体素子、およびその製造方法について説明する。
(1)ドライエッチング工法で利用されるチャンバーの内部の真空度、(2)チャンバーの内部のエッチングガスの分圧を調整するためにエッチングガスに混合されるガスの種類および/または量、(3)半導体基板2の素材に対する基板バイアスの印加量、(4)ドライエッチング工法で利用されるエッチングマスク203のエッチング用窓の大きさおよび/または形状、および(5)半導体基板2の素材が含む不純物、と、
の間の関係をあらかじめ調べておき、
その調べた結果に基づいて、チャンバーの内部の真空度、混合されるガスの種類および/または量、基板バイアスの印加量、およびエッチング用窓の大きさおよび/または形状を設定してもよい。
2、12 半導体基板
3、3a 凹凸構造
4 第1配線層
5 第2配線層
6 回路素子
7 外部回路
8 半田ボール
9 第1絶縁層
10 第2絶縁層
11 導電性物質
19 シード層
111 貫通電極
110 第3絶縁層
201 チャンバー
202 基板電極
203 エッチングマスク
204 スルファトロン
205 高周波発生器
301、302、303 不純物
Claims (14)
- 半導体基板と、
前記半導体基板に配置された回路素子と、
前記半導体基板に形成された、筋状の凹凸をその側壁面に有する貫通孔と、
を備え、
前記筋状の凹凸の筋の方向は、前記半導体基板の厚み方向である、半導体素子。 - 前記回路素子の電極と電気的に接続された導電性物質が、前記貫通孔の内部に形成されている、請求項1記載の半導体素子。
- 前記貫通孔は、前記半導体基板の表面側の開口部の直径が前記半導体基板の裏面側の開口部の直径よりも大きい貫通孔である、請求項1記載の半導体素子。
- 前記半導体基板の材料は、シリコン系半導体または化合物半導体である、請求項1記載の半導体素子。
- 前記シリコン系半導体は、シリコン、またはシリカゲルマニウムであり、
前記化合物半導体は、ガリウムヒ素、ガリウムナイトライド、またはインジウムリンである、請求項4記載の半導体素子。 - 前記貫通孔は、ドライエッチング工法を利用して形成された貫通孔である、請求項1記載の半導体素子。
- 前記筋状の凹凸は、(1)前記ドライエッチング工法で利用されるエッチングマスクのエッチング用窓の周縁部の凹凸、または(2)前記半導体基板の素材が含む不純物を利用して形成された凹凸である、請求項6記載の半導体素子。
- 前記ドライエッチング工法は、
前記半導体基板の素材にエッチングマスクを形成するエッチングマスク形成ステップと、
前記エッチングマスクが形成された前記半導体基板の素材に対して、酸素が混合されたエッチングガスを利用してエッチングを行うエッチングステップと、
を有する、請求項6記載の半導体素子。 - 半導体基板の素材に貫通孔を形成しながら、筋の方向が前記半導体基板の素材の厚み方向である筋状の凹凸を、前記貫通孔の側壁面に形成する貫通孔形成ステップと、
導電性物質を前記貫通孔の内部に形成する導電性物質形成ステップと、
回路素子の電極を前記導電性物質と電気的に接続する接続ステップと、
を備えた、半導体素子の製造方法。 - 前記貫通孔を、ドライエッチング工法を利用して形成する、請求項9記載の半導体素子の製造方法。
- 前記筋状の凹凸を、(1)前記ドライエッチング工法で利用されるエッチングマスクのエッチング用窓の周縁部の凹凸、または(2)前記半導体基板の素材が含む不純物を利用して形成する、請求項10記載の半導体素子の製造方法。
- 前記ドライエッチング工法は、
前記半導体基板の素材にエッチングマスクを形成するエッチングマスク形成ステップと、
前記エッチングマスクが形成された前記半導体基板の素材に対して、酸素が混合されたエッチングガスを利用してエッチングを行うエッチングステップと、
を有する、請求項10記載の半導体素子の製造方法。 - 前記筋状の凹凸の大きさおよび/または形状と、
(1)前記ドライエッチング工法で利用されるチャンバーの内部の真空度、(2)前記チャンバーの内部のエッチングガスの分圧を調整するために前記エッチングガスに混合されるガスの種類および/または量、(3)前記半導体基板の素材に対する基板バイアスの印加量、(4)前記ドライエッチング工法で利用されるエッチングマスクのエッチング用窓の大きさおよび/または形状、および(5)前記半導体基板の素材が含む不純物、と、
の間の関係をあらかじめ調べておき、
その調べた結果に基づいて、前記チャンバーの内部の真空度、前記混合されるガスの種類および/または量、前記基板バイアスの印加量、および前記エッチング用窓の大きさおよび/または形状を設定し、前記貫通孔を形成する、請求項10記載の半導体素子の製造方法。 - 前記貫通孔の側壁面に反応生成物を堆積させるためのガスをエッチングガスに添加する、請求項10記載の半導体素子の製造方法。
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