JP2017039068A - 清掃部材、塗布装置及び塗布方法 - Google Patents

Abstract

【課題】スリットノズルを清浄に保つ。
【解決手段】スリットノズルの先端部に接触しつつ前記スリットノズルの長手方向に沿って相対的に移動することで前記先端部を清掃する清掃部材であって、前記先端部に当接可能な当接部を有し、ゴム弾性を有する第一の部材と、前記第一の部材の内部に少なくとも一部が埋め込まれ、前記第一の部材よりも高い剛性を有する第二の部材と、を含む。
【選択図】図５

Description

本発明は、清掃部材、塗布装置及び塗布方法に関する。

液晶ディスプレイ等の表示パネルを構成するガラス基板上には、配線パターン及び電極パターン等の微細なパターンが形成されている。例えばこのようなパターンは、フォトリソグラフィ法等の方法によって形成される。フォトリソグラフィ法は、レジスト液をガラス基板に塗布する工程、レジスト膜を露光する工程、及び露光後のレジスト膜を現像する工程を含む。

ガラス基板にレジスト液を塗布する塗布装置として、ガラス基板に対して相対移動可能なスリットノズルを備えた構成が知られている。このような塗布装置においては、ガラス基板にレジスト液を吐出する際に、スリットノズルにレジスト液の飛沫が付着することがある。スリットノズルに付着した飛沫（付着物）をそのままにしておくと、レジスト液を吐出する際に異物として混入したり、レジスト膜の膜厚に影響を及ぼしたりする虞がある。そのため、スリットノズルを清掃するようにしている。

例えば、特許文献１には、スリットノズル先端の吐出口に接触する第１の拭き取り部材と、スリットノズル先端の傾斜面に接触する第２の拭き取り部材とを備えた構成が開示されている。
特許文献２には、ゴム弾性を有するシート状の高分子樹脂からなる清掃部材が開示されている。

特開２００５−２７０８４１号公報 特開平７−１６８０１５号公報

しかしながら、特許文献１では、拭き取り部材が第１の拭き取り部材と第２の拭き取り部材とに分割されているため、スリットノズル先端を拭き取った後、スリットノズルにおいて第１の拭き取り部材と第２の拭き取り部材との境界部分に残渣が生じる虞がある。
特許文献２では、清掃部材がゴム弾性を有するシート状の高分子樹脂からなるため、スリットノズルの先端部を清掃する際に清掃部材が過度に弾性変形することがあり、スリットノズルの先端部の付着物を十分にかき落とすことができない虞がある。
これら特許文献１及び２においては、スリットノズルを清浄に保つ上で課題があった。

以上のような事情に鑑み、本発明は、スリットノズルを清浄に保つことが可能な清掃部材、塗布装置及び塗布方法を提供することを目的とする。

本発明の一態様に係る清掃部材は、スリットノズルの先端部に接触しつつ前記スリットノズルの長手方向に沿って相対的に移動することで前記先端部を清掃する清掃部材であって、前記先端部に当接可能な当接部を有し、ゴム弾性を有する第一の部材と、前記第一の部材の内部に少なくとも一部が埋め込まれ、前記第一の部材よりも高い剛性を有する第二の部材と、を含む。

この構成によれば、スリットノズルの先端部に当接可能な当接部を有し、ゴム弾性を有する第一の部材によって、スリットノズルの先端部の付着物をかき落とすことができるため、清掃部材を分割構造とした場合のように、前記分割構造に起因する残渣の発生を考慮する必要がない。又、第一の部材の内部に少なくとも一部が埋め込まれ、第一の部材よりも高い剛性を有する第二の部材によって、スリットノズルの先端部を清掃する際に第一の部材が過度に弾性変形することを抑制することができるため、スリットノズルの先端部の付着物を十分にかき落とすことができる。従って、スリットノズルを清浄に保つことができる。

上記の清掃部材において、前記第二の部材は、金属板又は樹脂板によって形成されてもよい。
この構成によれば、金属板又は樹脂板はゴム板よりも高い剛性を有するため、第二の部材をゴム板によって形成する場合と比較して、清掃部材の剛性を確保しやすい。

上記の清掃部材において、前記当接部には、前記スリットノズルの長手方向から見てＶ字状をなす前記先端部が嵌め込まれるように窪む凹部が形成されてもよい。
この構成によれば、スリットノズルの先端部を清掃する際に、前記先端部に当接部をしっかりと当接させることができるため、スリットノズルの先端部の付着物を十分にかき落とすことができる。

上記の清掃部材において、前記当接部は、前記先端部のノズル先端に当接可能な第一当接部と、前記ノズル先端に隣接して傾斜するノズル側壁に当接可能な第二当接部と、を含んでもよい。
この構成によれば、スリットノズルの先端部を清掃する際に、ノズル先端に第一当接部を当接させると共に、ノズル側壁に第二当接部を当接させることができるため、ノズル先端及びノズル側壁の付着物を十分にかき落とすことができる。

上記の清掃部材において、前記第二当接部は、前記ノズル側壁に向けて凸をなすように湾曲する第一湾曲部を含んでもよい。
この構成によれば、第二当接部がノズル側壁に沿うように直線状に形成される場合と比較して、第一湾曲部の弾性変形によってノズル側壁に第二当接部をしっかりと当接させることができるため、ノズル側壁の付着物を十分にかき落とすことができる。

上記の清掃部材において、前記第二の部材は、前記第二当接部の内部に少なくとも一部が埋め込まれることで前記第二当接部を保持する保持部を含んでもよい。
この構成によれば、第二当接部の内部に保持部が埋め込まれない場合と比較して、第二当接部が過度に弾性変形することを抑制することができるため、ノズル側壁の付着物を十分にかき落とすことができる。

上記の清掃部材において、前記第二当接部は、前記ノズル側壁に向けて凸をなすように湾曲する第一湾曲部を含み、前記保持部は、前記第一湾曲部に沿うように湾曲する第二湾曲部を含んでもよい。
この構成によれば、保持部がノズル側壁に沿うように直線状に形成される場合と比較して、第二湾曲部によって第一湾曲部が部分的に弾性変形することを抑制することができるため、ノズル側壁に第二当接部をより均等に当接させることができ、ノズル側壁の付着物をより効果的にかき落とすことができる。

上記の清掃部材において、前記第一の部材は、前記当接部に連なる第一壁部を含み、前記第二の部材は、前記保持部に連なると共に前記第一壁部を保持する第二壁部を含んでもよい。
この構成によれば、スリットノズルの先端部を清掃する際に、当接部を第一壁部で保持すると共に、第一壁部を第二壁部で保持することができるため、当接部が保持部から脱離したり、ちぎれたりすることを抑制することができる。

上記の清掃部材において、前記第二当接部は、前記ノズル側壁に向けて凸をなすように湾曲する第一湾曲部を含み、前記保持部は、前記第一湾曲部に沿うように湾曲する第二湾曲部を含み、前記第一壁部の厚みは、前記第一湾曲部と前記第二湾曲部との間の前記第二当接部の厚みよりも小さくてもよい。
この構成によれば、第一壁部の厚みを前記第二当接部の厚みと同等以上とする場合と比較して、第二当接部の厚みを十分に確保することができるため、第一湾曲部の機能（弾性変形機能）を効果的に発揮することができ、ノズル側壁の付着物を十分にかき落とすことができる。
又、ゴムは金属よりも高価であるため、第一壁部の厚みを前記第二当接部の厚みと同等以上とする場合と比較して、ゴムの使用量を抑えることができ、低コスト化を図ることができる。

上記の清掃部材において、前記第二の部材は、前記第二当接部の内部に少なくとも一部が埋め込まれることで前記第二当接部を保持する保持部を含み、前記第二当接部は、前記ノズル側壁に向けて凸をなすように湾曲する第一湾曲部を含み、前記保持部は、前記第一湾曲部に沿うように湾曲する第二湾曲部を含み、前記第二当接部は、前記先端部を挟んで前記先端部の両側の前記ノズル側壁に当接するように一対設けられ、一対の前記第二当接部は、前記第一湾曲部と前記第二湾曲部との間の前記第二当接部の厚みが互いに同じになるように形成されてもよい。
この構成によれば、一対の第二当接部を前記第二当接部の厚みが互いに異なるように形成する場合と比較して、一対の第二当接部のいずれか一方に片寄って弾性変形が生じることを抑制することができるため、前記先端部の両側のノズル側壁に一対の第二当接部をより均等に当接させることができ、前記先端部の両側のノズル側壁の付着物をより効果的にかき落とすことができる。

上記の清掃部材において、前記第二の部材は板状をなし、前記第一の部材は、前記第二の部材と重なる部分の厚みが前記第二の部材の厚みと同じになるように形成されてもよい。
この構成によれば、第一の部材を第二の部材と重なる部分の厚みが第二の部材の厚みと異なるように形成する場合と比較して、第一の部材の機能（弾性変形機能）を確保すると共に、第二の部材の機能（剛性保持機能）を確保することができる。仮に、清掃部材の厚みを一定とした条件下で、第一の部材の厚みが第二の部材の厚みよりも過度に大きくなると、第二の部材の厚みが過度に小さくなり、清掃部材の剛性を確保しにくくなる。一方、第一の部材の厚みが第二の部材の厚みよりも過度に小さくなると、第一の部材が弾性変形しにくくなる。

上記の清掃部材において、前記当接部には、前記スリットノズルの長手方向の一側ほど前記先端部から離反するように傾斜する傾斜部が形成されてもよい。
この構成によれば、スリットノズルの先端部を清掃する際に、当接部によってかき落とした付着物を傾斜部に沿って前記先端部から離反する位置に案内することができるため、かき落とした付着物が当接部にとどまることを抑制し、前記先端部に再度付着することを抑制することができる。

上記の清掃部材において、前記当接部は、前記先端部のノズル先端に当接可能な第一当接部と、前記ノズル先端に隣接して傾斜するノズル側壁に当接可能な第二当接部と、を含み、前記傾斜部は、前記第一当接部に形成されると共に、前記スリットノズルの長手方向の一側ほど前記ノズル先端から離反するように傾斜する第一傾斜部と、前記第二当接部に形成されると共に、前記スリットノズルの長手方向の一側ほど前記ノズル側壁から離反するように傾斜する第二傾斜部と、を含んでもよい。
この構成によれば、スリットノズルの先端部を清掃する際に、第一当接部によってかき落とした付着物を第一傾斜部に沿ってノズル先端から離反する位置に案内すると共に、第二当接部によってかき落とした付着物を第二傾斜部に沿ってノズル側壁から離反する位置に案内することができるため、かき落とした付着物が第一当接部及び第二当接部にとどまることを抑制し、ノズル先端及びノズル側壁に再度付着することを抑制することができる。

上記の清掃部材において、前記第二当接部は、前記先端部を挟んで前記先端部の両側の前記ノズル側壁に当接するように一対設けられ、前記第一傾斜部は、一対の前記第二当接部に形成される前記第二傾斜部の間の中央に位置し、前記第一傾斜部のうち最も前記ノズル先端から離反するように傾斜するセンター部と、前記センター部と前記第二傾斜部とを渡すと共に、前記センター部の側ほど前記ノズル先端から離反するように傾斜するサイド部と、を含んでもよい。
この構成によれば、スリットノズルの先端部を清掃する際に、一対の第二当接部によってかき落とした付着物を第二傾斜部及びサイド部に沿ってセンター部の側に向けて案内すると共に、センター部に案内された付着物をセンター部に沿ってノズル先端から離反する位置に案内することができるため、かき落とした付着物が第二傾斜部、サイド部及びセンター部にとどまることを抑制し、ノズル先端及びノズル側壁に再度付着することを抑制することができる。

上記の清掃部材において、前記第一の部材は、前記傾斜部が形成される側において前記第二の部材を覆うカバー部を含んでもよい。
この構成によれば、傾斜部が形成される側において第二の部材を露出させた場合のように、当接部によってかき落とした付着物を傾斜部に沿って前記先端部から離反する位置に案内するときに、かき落とした付着物が第一の部材と第二の部材との境界部分（段差部）にとどまることに起因する汚れの発生は問題とならない。
又、傾斜部が形成される側において第二の部材を露出させた場合と比較して、スリットノズルの先端部を清掃する際に、前記境界部分に剥離方向の力はかからないため、第一の部材が第二の部材から脱離したり、ちぎれたりすることを抑制することができる。

上記の清掃部材において、前記第二の部材には、前記先端部に対する前記清掃部材の位置を規制する規制部が設けられてもよい。
この構成によれば、第二の部材は第一の部材よりも高い剛性を有するため、第一の部材に前記規制部を設ける場合と比較して、前記先端部に対する清掃部材の位置決めを精度よく行うことができる。

上記の清掃部材において、前記当接部には、前記スリットノズルの長手方向の一側ほど前記先端部から離反するように傾斜する傾斜部が形成され、前記第一の部材には、前記傾斜部が形成される側とは反対側において前記第二の部材を露出する開口部が形成され、前記規制部は、前記開口部から露出した前記第二の部材に設けられてもよい。
この構成によれば、清掃部材の位置を規制する際に、ゴム弾性を有する第一の部材を介さずに済むため、前記先端部に対する清掃部材の位置決めを精度よく行うことができる。
又、傾斜部が形成される側とは反対側において前記開口部が形成されることで、傾斜部が形成される側において前記開口部を形成した場合のように、当接部によってかき落とした付着物を傾斜部に沿って前記先端部から離反する位置に案内するときに、かき落とした付着物が第一の部材と第二の部材との境界部分（段差部）にとどまることに起因する汚れの発生は問題とならない。

本発明の一態様に係る塗布装置は、スリットノズルを有する塗布部と、上記の清掃部材と、前記清掃部材を前記スリットノズルの長手方向に移動させる移動部と、を含む。
この構成によれば、上記の清掃部材によって、スリットノズルを清浄に保つことができる。

本発明の一態様に係る塗布方法は、スリットノズルを有する塗布部と、上記の清掃部材と、前記清掃部材を前記スリットノズルの長手方向に移動させる移動部と、を含む塗布装置を用いた塗布方法であって、前記スリットノズルから塗布液を吐出する吐出ステップと、前記清掃部材によって前記スリットノズルの先端部を清掃する清掃ステップと、を含む。
この方法によれば、上記の清掃部材によってスリットノズルの先端部を清掃することができるため、スリットノズルを清浄に保つことができる。

本発明によれば、スリットノズルを清浄に保つことが可能な清掃部材、塗布装置及び塗布方法を提供することができる。

実施形態に係る塗布装置の斜視図である。 実施形態に係る塗布装置の側面図である。 実施形態に係る清掃装置の正面図である。 図３のＩＶ−ＩＶ断面図である。 実施形態に係る清掃部材を図４の矢視Ｖから見た図である。 実施形態に係る清掃部材を図４の矢視ＶＩから見た図である。 図５のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。 実施形態に係る清掃部材の動作を示す図である。 実施形態に係る清掃部材の動作の変形例を示す図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内の所定方向をＸ方向、水平面内においてＸ方向と直交する方向をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ方向とする。

＜塗布装置＞
図１に示すように、塗布装置１は、例えば液晶パネルなどに用いられるガラス基板などの基板Ｓ上に塗布液としてレジスト液を塗布する装置である。塗布装置１は、基板Ｓを搬送する基板搬送部２と、レジスト液を塗布する塗布部３と、塗布部３を管理する管理部４とを備える。

＜基板搬送部＞
基板搬送部２は、Ｘ方向に長手を有する。基板搬送部２は、Ｘ方向に基板Ｓを搬送する。
基板搬送部２は、フレーム２１と、ステージ２２と、搬送機構２３とを備える。

＜フレーム＞
図１及び図２に示すように、フレーム２１は、Ｘ方向に長手を有する。フレーム２１は、ステージ２２及び搬送機構２３を支持する。例えば、フレーム２１は、床面上に載置される。

フレーム２１は、Ｙ方向の中央に配置されるフレーム中央部２１ａと、フレーム中央部２１ａの−Ｙ方向側に配置される第一フレーム側部２１ｂと、フレーム中央部２１ａの＋Ｙ方向側に配置される第二フレーム側部２１ｃとを備える。
フレーム中央部２１ａ、第一フレーム側部２１ｂ及び第二フレーム側部２１ｃのＸ方向の長さは、略同じとされる。
フレーム中央部２１ａは、ステージ２２を支持する。
第一フレーム側部２１ｂ及び第二フレーム側部２１ｃは、搬送機構２３を支持する。

＜搬送機構＞
搬送機構２３は、基板ＳをＸ方向に搬送する機構を有する。搬送機構２３は、第一フレーム側部２１ｂ及び第二フレーム側部２１ｃの上部に一つずつ設けられる。搬送機構２３は、ステージ２２を挟んで一対設けられる。一対の搬送機構２３は、ステージ２２のＹ方向中央に対して線対称となっている。

各搬送機構２３は、搬送機２３ａと、基板Ｓを保持する基板保持部２３ｂと、ステージ２２の側方でＸ方向に延びるレール２３ｃとを備える。例えば、搬送機２３ａは、リニアモータ（不図示）を内蔵する。搬送機２３ａは、リニアモータの駆動によって、レール２３ｃに沿って移動するようになっている。

各基板保持部２３ｂは、基板ＳのＹ方向側の側縁部を片持ちで保持する。−Ｙ方向側の基板保持部２３ｂは、基板Ｓにおいてステージ２２よりも−Ｙ方向側にはみ出した部分を保持する。＋Ｙ方向側の基板保持部２３ｂは、基板Ｓにおいてステージ２２よりも＋Ｙ方向側にはみ出した部分を保持する。

各基板保持部２３ｂは、搬送機２３ａにおけるステージ２２側の端部に設けられる。各基板保持部２３ｂは、Ｘ方向に並んで複数（例えば本実施形態では４つ）設けられる。各基板保持部２３ｂには、吸着パッド（不図示）が設けられる。各基板保持部２３ｂは、吸着パッドによって基板Ｓを吸着して保持する。

各レール２３ｃは、第一フレーム側部２１ｂ及び第二フレーム２１ｃにおけるステージ２２側の上端部に設けられる。

各搬送機構２３は、独立して基板Ｓを搬送可能とされる。そのため、第一フレーム側部２１ｂ側の搬送機構２３と、第二フレーム側部２１ｃ側の搬送機構２３とによって、異なる基板Ｓを保持することができる。これにより、各搬送機構２３によって基板Ｓを交互に搬送することができるため、スループット（例えば、単位時間当たりの基板の搬送速度）を向上することができる。
尚、上記基板Ｓの半分程度の面積を有する基板を搬送する場合には、２つの搬送機構２３で基板を１枚ずつ保持することができるため、２つの搬送機構２３をＸ方向に並進させることによって、２枚の基板を同時に搬送することができる。

＜塗布部＞
塗布部３は、門型フレーム３１と、スリットノズル３２と、センサ３３とを備える。以下、スリットノズルを単に「ノズル」ということがある。

＜門型フレーム＞
図２に示すように、門型フレーム３１は、Ｚ方向に延びる柱状をなす一対の支柱部材３１ａと、Ｙ方向に延びて一対の支柱部材３１ａの間をわたす架橋部材３１ｂとを備える。
各支柱部材３１ａは、それぞれ第一フレーム側部２１ｂ及び第二フレーム側部２１ｃに支持される。各支柱部材３１ａの高さ（上端の位置）は、略同じとされる。

架橋部材３１ｂのＹ方向両端部は、各支柱部材３１ａの上端部に接続される。これにより、門型フレーム３１は、ステージ２２をＹ方向に跨ぐように設けられる。尚、架橋部材３１ｂは、支柱部材３１ａに対してＺ方向に昇降可能（図２中矢印ｕ方向に移動可能）とされる。

門型フレーム３１は、フレーム移動機構３４に接続される。フレーム移動機構３４は、Ｘ方向に延びるレール部材３５と、駆動機構３６とを備える。
レール部材３５は、第一フレーム側部２１ｂ及び第二フレーム側部２１ｃの溝２１ｄ内に１つずつ設けられる。
駆動機構３６は、門型フレーム３１に接続される。塗布部３は、駆動機構３６の駆動によって、レール部材３５に沿ってＸ方向（図１中矢印ｎ方向）に移動可能とされる。

＜スリットノズル＞
スリットノズル３２は、Ｙ方向（図中矢印ｖ方向）に長手を有する長尺状をなす。スリットノズル３２は、門型フレーム３１の架橋部材３１ｂの下端部（−Ｚ方向側の端部）に着脱可能に取り付けられる。スリットノズル３２の先端部３２ａ（−Ｚ方向側の端部）は、スリットノズル３２の下端に位置するノズル先端３２ｂと、ノズル先端３２ｂに隣接して傾斜するノズル側壁３２ｃとを備える。ノズル先端３２ｂには、レジスト液を吐出する吐出口３２ｈが形成される。吐出口３２ｈは、Ｙ方向に延びる。

＜センサ＞
架橋部材３１ｂの下端部には、Ｙ方向に沿って複数（例えば本実施形態では３つ）のセンサ３３が設けられる。センサ３３は、ノズル先端３２ｂと、ノズル先端３２ｂに対向する対向面（例えばスリットノズル３２の下方に配置された基板Ｓの上面）との間の距離（Ｚ方向の間隔）を測定する。

＜管理部＞
図１に示すように、管理部４は、基板Ｓに吐出されるレジスト液の吐出量が一定になるようにスリットノズル３２を管理する。管理部４は、塗布部３よりも−Ｘ方向側に設けられる。管理部４は、予備吐出機構４１と、ディップ槽４２と、ノズル洗浄装置４３と、これらを収容する収容部４４と、収容部４４を保持する保持部材４５とを備える。

予備吐出機構４１は、レジスト液を予備的に吐出する。例えば、予備吐出機構４１は、塗布部３が塗布処理領域に配置される状態で、スリットノズル３２に最も近くなる位置に設けられる。
ディップ槽４２の内部には、シンナーなどの溶剤が貯留される。

ノズル洗浄装置４３は、スリットノズル３２の吐出口３２ｈ近傍をリンス洗浄する。ノズル洗浄装置４３は、Ｙ方向に移動する洗浄機構と、洗浄機構を移動させる移動機構（何れも不図示）とを備える。又、ノズル洗浄装置４３は、スリットノズル３２の先端部３２ａを清掃する清掃装置５０を備える。

収容部４４のＹ方向の長さは、門型フレーム３１の支柱部材３１ａ間の距離よりも小さい。門型フレーム３１は、収容部４４の上方で、収容部４４を跨いでＸ方向に移動可能とされる。門型フレーム３１を収容部４４の上方に移動した状態で、スリットノズル３２は、収容部４４内の予備吐出機構４１、ディップ槽４２及びノズル洗浄装置４３に接近可能とされる。

保持部材４５は、管理部移動機構４６に接続される。管理部移動機構４６は、Ｘ方向に延びるレール部材４７と、駆動機構４８とを備える。
レール部材４７は、第一フレーム側部２１ｂ及び第二フレーム側部２１ｃの溝２１ｅ内に１つずつ設けられる。各溝２１ｅは、上述した溝２１ｄよりも上方位置において、一対の溝２１ｄよりもステージ２２寄りに配置される。
駆動機構４８は、保持部材４５に接続される。管理部４は、駆動機構４８の駆動によって、レール部材４７に沿ってＸ方向（図１中矢印ｍ方向）に移動可能とされる。

＜清掃装置＞
図３及び図４に示すように、清掃装置５０は、清掃部材５１、ホルダ５２及び清掃部材移動機構５３を備える。ここで、清掃部材移動機構５３は、請求項に記載の「移動部」に相当する。尚、図３においては、便宜上、清掃部材移動機構５３における収容部９２の内部を示している。

清掃部材５１は、幅方向をＸ方向に沿わせると共に、Ｚ方向に対して角度θだけ−Ｙ方向側に傾けた状態でホルダ５２に支持される。ここで、角度θ（図４参照）は、Ｚ方向と平行な仮想線（図４中の一点鎖線）と、清掃部材５１の一面（後述する傾斜部６６が形成される側とは反対側の面）とのなす角度である。例えば、清掃部材５１の幅（Ｘ方向の長さ）は、２４ｍｍ程度とされる。例えば、角度θは、２５°程度とされる。

清掃部材５１は、ホルダ５２と共に、清掃部材移動機構５３によってスリットノズル３２の長手方向ｖ（Ｙ方向）に移動可能とされる。清掃部材５１は、スリットノズル３２の先端部３２ａに接触しつつスリットノズル３２の長手方向ｖに沿って移動することで前記先端部３２ａを清掃する。

＜清掃部材＞
図５〜図８に示すように、清掃部材５１は、第一の部材６０と、第二の部材７０とを備える。
第一の部材６０は、スリットノズル３２の先端部３２ａ（図８参照）に当接可能な当接部６１を有する。第一の部材６０は、ゴム弾性を有する。例えば、第一の部材６０は、フッ素ゴム等のゴム（弾性部材）によって形成される。
第二の部材７０の一部は、第一の部材６０の内部に埋め込まれている。第二の部材７０は、第一の部材６０よりも高い剛性を有する。第二の部材７０は、第一の部材６０の輪郭に沿う外形を有する。第二の部材７０は、厚みｔ２０を有する板状をなす。例えば、第二の部材７０は、ＳＵＳ３０４等の金属板によって形成される。尚、第二の部材７０は、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ；Poly Phenylene Sulfide）及びポリエーテルエーテルケトン樹脂（ＰＥＥＫ；Poly Ether Ether Ketone）等の樹脂板によって形成されてもよい。但し、金属板は樹脂板よりも高い剛性を有するため、第二の部材７０を樹脂板よりも金属板で形成したほうが、清掃部材５１の剛性を確保しやすい。

当接部６１には、Ｖ字状の凹部６１ａが形成される。凹部６１ａは、スリットノズル３２の長手方向ｖ（Ｙ方向）から見てＶ字状をなす先端部３２ａが嵌め込まれるように窪む。凹部６１ａは、先端部３２ａの側（＋Ｚ方向側）ほど幅方向（Ｘ方向）に広がるように形成される。

当接部６１は、ノズル先端３２ｂに当接可能な第一当接部６２と、ノズル側壁３２ｃに当接可能な第二当接部６３とを備える。
第一当接部６２は、ノズル先端３２ｂの先端面（ＸＹ平面）と平行に、幅方向（Ｘ方向）に延びる。
第二当接部６３は、ノズル側壁に向けて凸をなすように湾曲する第一湾曲部６３ａを備える。

第二の部材７０は、第二当接部６３の内部に一部が埋め込まれることで第二当接部６３を保持する保持部７１を備える。保持部７１は、第一湾曲部６３ａに沿うように湾曲する第二湾曲部７１ａと、Ｘ方向両側の第二湾曲部７１ａのＸ方向間をわたす連結部７１ｂとを備える。第二湾曲部７１ａは、第二当接部６３を介してノズル側壁３２ｃに向けて凸をなすように湾曲する。連結部７１ｂは、Ｘ方向に直線状に延びる。

第一の部材６０は、当接部６１に連なる第一壁部６４を備える。第一壁部６４は、第二の部材７０のＸ方向側面（第二壁部７２の表面）を覆う。第一壁部６４は、Ｘ方向に厚みｔ１１を有する。
第二の部材７０は、保持部７１に連なると共に第一壁部６４を保持する第二壁部７２を備える。
第一壁部６４の厚みｔ１１は、第一湾曲部６３ａと第二湾曲部７１ａとの間の第二当接部６３の厚みｔ１２よりも小さい（ｔ１１＜ｔ１２）。例えば、第一壁部６４の厚みｔ１１は、１ｍｍ程度とされる。一方、第一湾曲部６３ａと第二湾曲部７１ａとの間の第二当接部６３の厚みｔ１２は、３ｍｍ程度とされる。

第二当接部６３は、スリットノズル３２の先端部３２ａを挟んで前記先端部３２ａの両側のノズル側壁３２ｃに当接するように一対設けられる。
一対の第二当接部６３は、第一湾曲部６３ａと第二湾曲部７１ａとの間の第二当接部６３の厚みｔ１２が互いに同じになるように形成される。

第一の部材６０は、一対の第一壁部６４を渡す連結部６５を備える。連結部６５は、第二の部材７０の下面（下壁部７３の表面）を覆う。
第二の部材７０は、第二壁部７２に隣接する下壁部７３を備える。

図７に示すように、第一の部材６０は、第二の部材７０と重なる部分の厚みｔ１０が第二の部材７０の厚みｔ２０と同じになるように形成される（ｔ１０≒ｔ２０）。例えば、第一の部材６０における第二の部材７０と重なる部分の厚みｔ１０、及び第二の部材７０の厚みｔ２０は、それぞれ３ｍｍ程度とされる。
ここで、第一の部材６０における第二の部材７０と重なる部分の厚みｔ１０は、後述するカバー部６９の厚みに相当する。

図６及び図８に示すように、当接部６１には、スリットノズル３２の長手方向ｖの一側ｖ１（−Ｙ方向側）ほどスリットノズル３２の先端部３２ａから離反するように傾斜する傾斜部６６が形成される。
傾斜部６６は、第一当接部６２に形成される第一傾斜部６７と、第二当接部６３に形成される第二傾斜部６８とを備える。
第一傾斜部６７及び第二傾斜部６８は、それぞれスリットノズル３２の長手方向ｖの一側ｖ１（−Ｙ方向側）ほど先端部３２ａから離反するように傾斜する。

第一傾斜部６７は、一対の第二傾斜部６８の間の中央に位置するセンター部６７ａと、センター部６７ａと第二傾斜部６８とを渡すサイド部６７ｂとを備える。
スリットノズル３２の長手方向ｖの一側ｖ１（−Ｙ方向側）から見て、センター部６７ａは上下に延びる長方形状をなし、サイド部６７ｂはセンター部６７ａの長辺と重なる斜辺を有する三角形状をなす。

センター部６７ａは、第一傾斜部６７のうち最もノズル先端３２ｂから離反するように傾斜する。センター部６７ａの下端（−Ｚ方向端）は、第一傾斜部６７のうち最も下側に位置する。
サイド部６７ｂは、センター部６７ａの側ほどノズル先端３２ｂから離反するように傾斜する。

第一の部材６０は、傾斜部６６が形成される側において、第二の部材７０を覆うカバー部６９を備える。カバー部６９は、傾斜部６６、連結部６５、及び一対の第一壁部６４に連なる。カバー部６９は、平坦な表面を有する。カバー部６９には、厚み方向に開口する貫通孔６９ｉが形成される。

図５に示すように、第二の部材７０には、厚み方向に開口する複数（例えば本実施形態では２つ）の貫通孔７０ｈ，７０ｉ（第一貫通孔７０ｈ及び第二貫通孔７０ｉ）が形成される。第一貫通孔７０ｈ及び第二貫通孔７０ｉは、第二の部材７０の下壁部７３に沿うように並ぶ。第一貫通孔７０ｈは、第二の部材７０の幅方向（Ｘ方向）中央に位置する。第二貫通孔７０ｉは、第二の部材７０の＋Ｘ方向端部に位置する。第二貫通孔７０ｉは、第二の部材７０の厚み方向で、カバー部６９の貫通孔６９ｉ（図６参照）と重なる位置に形成される。

清掃部材５１をホルダ５２（図３参照）に取り付ける際、各貫通孔７０ｈ，７０ｉには、ホルダ５２の突起（不図示）が挿通される。これにより、清掃部材５１は、ホルダ５２に対し、厚み方向と交差する方向への移動が規制される。そして、清掃部材５１は、スリットノズル３２の先端部３２ａに対する位置が規制される。尚、各貫通孔７０ｈ，７０ｉは、請求項に記載の「規制部」に相当する。

図５及び図７に示すように、第一の部材６０には、傾斜部６６が形成される側とは反対側において、第二の部材７０を露出する開口部６０ｈが形成される。規制部としての各貫通孔７０ｈ，７０ｉは、開口部６０ｈから露出した第二の部材７０に設けられている。

＜ホルダ＞
図３及び図４に示すように、ホルダ５２は、清掃部材５１を下方から支持する。
ホルダ５２は、基部８０、側壁部８１、第一台座部８２及び第二台座部８３を備える。
例えば、ホルダ５２は、Ａ５０５２等のアルミニウム合金によって形成される。

基部８０は、Ｚ方向に厚みを有すると共にＸ方向に延びる直方体状をなす。
基部８０の＋Ｙ方向端部には、厚み方向に貫通する貫通孔８０ｈが形成される。貫通孔８０ｈは、基部８０の幅方向（Ｘ方向）中央に位置する。
基部８０の−Ｙ方向端部には、下方（−Ｚ方向側）に開口して上方に窪む凹部８０ｉが形成される。凹部８０ｉは、基部８０の幅方向（Ｘ方向）中央に位置する。

側壁部８１は、基部８０のＸ方向両端部から上方に突出する。側壁部８１は、−Ｙ方向側ほど上方に位置するように傾斜する平坦な傾斜面８１ａを有する。側壁部８１は、清掃部材５１を挟んでＸ方向両側の第一壁部６４（図５参照）に当接するように一対設けられる。これにより、清掃部材５１は、ホルダ５２に対し、Ｘ方向への移動が規制される。

各側壁部８１には、傾斜面８１ａの法線方向に開口する複数（例えば本実施形態では２つ）の挿通孔８１ｈ，８１ｉ（第一挿通孔８１ｈ及び第二挿通孔８１ｉ）が形成される。第一挿通孔８１ｈ及び第二挿通孔８１ｉは、傾斜面８１ａに沿うように並ぶ。第一挿通孔８１ｈは、第二挿通孔８１ｉよりも上方に位置する。

第一台座部８２は、基部８０の−Ｙ方向端部から上方に突出する。第一台座部８２は、−Ｙ方向側ほど上方に位置するように傾斜する平坦な第一載置面８２ａを有する。第一載置面８２ａには、板状のスペーサ５４を介して、清掃部材５１の下部（具体的には図６に示す第一の部材６０のカバー部６９）が載置される。

第二台座部８３は、基部８０のＹ方向中央部から上方に突出する。第二台座部８３は、一対の側壁部８１のＸ方向間をわたすように延びる。第二台座部８３は、−Ｙ方向側ほど下方に位置するように傾斜する平坦な第二載置面８３ａを有する。第二載置面８３ａは、第一載置面８２ａに対して略直交する。第二載置面８３ａには、清掃部材５１の下部（具体的には図５に示す第一の部材６０の連結部６５）が載置される。

＜支持プレート＞
各側壁部８１には、清掃部材５１を＋Ｙ方向側から支持する支持プレート５５が着脱自在に取り付けられる。
支持プレート５５は、清掃部材５１の幅方向（Ｘ方向）に延びるプレート本体５５ａと、プレート本体５５ａのＸ方向両端部からクランク状に屈曲する脚部５５ｂとを備える。例えば、支持プレート５５は、金属板を曲げ加工することによって形成される。

各脚部５５ｂには、厚み方向に貫通する貫通孔５５ｈが形成される。例えば、各脚部５５ｂの貫通孔５５ｈにボルト等の締結部材（不図示）を挿通し、各貫通孔５５ｈから突出したボルトの突出部（雄ネジ部）を各側壁部８１の第二挿通孔８１ｉ（雌ネジ部）に螺着することで、各側壁部８１に支持プレート５５を取り付けることができる。

＜清掃部材移動機構＞
清掃部材移動機構５３は、リフト機構９０、駆動アーム９１及び収容部９２を備える。
リフト機構９０は、ストローク部９０ａ、天板部９０ｂ及びフランジ部９０ｃを備える。
ストローク部９０ａは、上下（Ｚ方向）に延びる円柱状をなす。ストローク部９０ａは、上下方向（Ｚ方向）に伸縮可能に構成されている。例えば、ストローク部９０ａには、上下方向に伸縮可能なシリンダ機構（不図示）が内蔵されている。

天板部９０ｂは、ストローク部９０ａの上端部に設けられる。天板部９０ｂは、上下方向に厚みを有する板状をなす。
フランジ部９０ｃは、ストローク部９０ａの下端部から径方向外側に突出する環状をなす。

天板部９０ｂには、ホルダ５２が着脱自在に固定される。例えば、ホルダ５２の基部８０の凹部８０ｉに、天板部９０ｂから上方に起立する凸部９６（ピン）を挿通することで、ホルダ５２は、凸部９６が起立する方向（Ｚ方向）と交差する方向への移動が規制される。その後、ホルダ５２の基部８０の貫通孔８０ｈにボルト９５を挿通し、貫通孔８０ｈから突出したボルト９５の突出部（雄ネジ部）を天板部９０ｂの挿通孔９０ｈの雌ネジ部（不図示）に螺着することで、天板部９０ｂにホルダ５２を固定することができる。

天板部９０ｂの上面のうち、ホルダ５２が着座する部分は、水平面と平行な平坦面となっている。一方、天板部９０ｂの上面のうち、ホルダ５２が着座しない部分（ホルダ５２を囲む外周部分）は、−Ｙ方向側ほど下方に位置するように緩やかに傾斜する傾斜面となっている。

駆動アーム９１は、支持アーム９１ａ及び連結アーム９１ｂを備える。
支持アーム９１ａは、ストローク部９０ａの下端部を支持する。例えば、支持アーム９１ａは、ストローク部９０ａの下端部を支持可能な大きさの環状をなしている。

連結アーム９１ｂは、リニアモータアクチュエータ等を含む駆動機構（不図示）と、支持アーム９１ａとの間を連結する。例えば、リニアモータアクチュエータは、Ｙ方向に延びるレールと、レールに沿って摺動可能なスライダ（何れも不図示）を備える。

収容部９２は、収容部本体９２ａ、上壁部９２ｂ及び竪壁部９２ｃを備える。
収容部本体９２ａは、リフト機構９０を収容する。例えば、収容部本体９２ａは、リフト機構９０を収容可能な大きさの筒状をなしている。

上壁部９２ｂは、収容部本体９２ａの上端部に設けられる。上壁部９２ｂは、上下方向に厚みを有する板状をなす。上壁部９２ｂは、天板部９０ｂに沿うように傾斜する。上壁部９２ｂの下面は、天板部９０ｂの上面に当接している。
上壁部９２ｂには、上下方向に開口する開口部９２ｈが形成される。開口部９２ｈは、ホルダ５２を通過可能な大きさとされている。

竪壁部９２ｃは、収容部本体９２ａの上端部から上方に起立する。竪壁部９２ｃは、ホルダ５２から間隔を空けてホルダ５２を囲むように形成される。竪壁部９２ｃは、ホルダ５２の＋Ｙ方向側及びＸ方向両側（言い換えると−Ｙ方向側を除く方向側）に形成される。すなわち、収容部９２のうち、ホルダ５２の−Ｙ方向側の部分は、開放されている。

連結アーム９１ｂは、収容部９２を介してクランク状に延びる。連結アーム９１ｂの一端部は、支持アーム９１ａに連結される。連結アーム９１ｂの他端部は、リニアモータアクチュエータのスライダ（不図示）に連結される。これにより、清掃部材５１は、ホルダ５２、リフト機構９０及び収容部９２と共に、スリットノズル３２の長手方向ｖ（Ｙ方向）に沿って移動するようになっている。

＜塗布方法＞
次に、本実施形態に係る塗布方法を説明する。本実施形態では、上記の塗布装置１を用いて基板Ｓにレジスト液を塗布する。

本実施形態に係る塗布方法は、吐出ステップ及び清掃ステップを含む。
吐出ステップにおいて、スリットノズル３２からレジスト液を吐出する。
清掃ステップにおいて、清掃部材５１によってスリットノズル３２の先端部３２ａを清掃する。
以下、塗布方法の一例について説明する。

図１及び図２に示すように、塗布装置１の塗布動作においては、短手方向が搬送方向（Ｘ方向）に平行になるように基板Ｓをステージ２２に搬入する。次いで、搬送機構２３を用いて基板Ｓを搬送しつつレジスト液を塗布する。その後、レジスト液を塗布した基板Ｓを搬出する。このような動作を、一対の搬送機構２３を用いて交互に行う。

先ず、一対の搬送機構２３のうち一方の搬送機構２３（例えば、第一フレーム側部２１ｂ側の搬送機構２３）において、レール２３ｃの−Ｘ方向側の端部に搬送機２３ａを移動させる。次いで、外部から搬入される基板Ｓを基板保持部２３ｂで保持する。例えば、第一フレーム側部２１ｂ側の基板保持部２３ｂの吸着パッドで基板Ｓの裏面を吸着することによって、基板Ｓを片持ち保持する。尚、ステージ２２には、搬入された基板Ｓを基板保持部２３ｂで保持する前に、基板Ｓをエア又は複数のピンで＋Ｚ方向に持ち上げ保持する機構が設けられてもよい。

その後、搬送機２３ａをレール２３ｃに沿って＋Ｘ方向に移動させる。
基板Ｓの搬送方向先端がスリットノズル３２の吐出口３２ｈの位置に到達したとき、吐出口３２ｈから基板Ｓにレジスト液を吐出する。例えば、レジスト液の吐出は、スリットノズル３２の位置を固定し、且つ、搬送機２３ａで基板Ｓを搬送することによって、吐出口３２ｈと基板Ｓの上面との相対位置を変更しながら行う。

スリットノズル３２の吐出口３２ｈから吐出されるレジスト液は、基板Ｓの移動に伴い、基板Ｓ上に塗布される。すなわち、基板Ｓが吐出口３２ｈの下方を通過することによって、基板Ｓの所定領域にレジスト膜が形成される。

次いで、レジスト膜が形成された基板Ｓを、搬送機２３ａによってレール２３ｃの＋Ｘ方向側の端部（ステージ２２の＋Ｘ方向側の端部）まで搬送し、外部へ搬出する。尚、ステージ２２には、基板Ｓを搬出する前に、基板保持部２３ｂから脱離させた基板Ｓをエア又は複数のピンで＋Ｚ方向に持ち上げ保持する機構が設けられてもよい。

基板Ｓを外部へ搬出した後、搬送機２３ａを再びレール２３ｃの−Ｘ方向側の端部まで戻す。そして、搬送機２３ａを次の基板Ｓが搬送されるまで待機させる。

次の基板Ｓを搬送する場合には、例えば一対の搬送機構２３のうち他方の搬送機構２３（例えば、第二フレーム側部２１ｃ側の搬送機構２３）によって基板Ｓを搬送する。
次の基板Ｓが搬送されてくるまでの間、塗布部３では、スリットノズル３２の吐出状態を保持するための予備吐出が行われる。門型フレーム３１は、駆動機構３６の駆動によって、レール部材３５に沿って−Ｘ方向に移動し、管理部４の位置に至る。

管理部４の位置まで門型フレーム３１を移動させた後、門型フレーム３１の位置を調整してスリットノズル３２の先端部３２ａをノズル洗浄装置４３に接近させる。そして、ノズル洗浄装置４３によって、スリットノズル３２の先端部３２ａを洗浄する。

例えば、ノズル洗浄装置４３による洗浄動作は、ノズル先端の開口部３２ａの周辺領域に向けて洗浄液を噴出し、必要に応じて窒素ガスを噴出しながら行う。本実施形態では、洗浄動作において、清掃装置５０による清掃動作を行う。

図３〜図８に示すように、清掃動作では、清掃部材５１の当接部６１をスリットノズル３２の先端部３２ａに当接させる。具体的に、第一当接部６２をノズル先端３２ｂに当接させると共に、第二当接部６３をノズル側壁３２ｃに当接させる。尚、第二当接部６３は、ノズル側壁３２ｃに向けて凸をなすように湾曲する第一湾曲部６３ａを備えるため、当接部６１を前記先端部３２ａに圧接させることによって、当接部６１と前記先端部３２ａとの隙間が生じないようにする。

この状態で、ノズル洗浄装置４３の洗浄液噴出孔（不図示）から洗浄液を噴出させると共に、エアナイフ噴出口（不図示）からエアナイフを噴出させながら、清掃装置５０をＹ方向に移動させる。これにより、清掃部材５１の当接部６１がノズル先端３２ｂ及びノズル側壁３２ｃを摺動し、洗浄液と共にノズル先端３２ｂ及びノズル側壁３２ｃの付着物がかき落とされる。

又、エアナイフをスリットノズル３２の先端部３２ａに吹き付けることによって、前記先端部３２ａを乾燥させてもよい。例えば、エアナイフ噴出口を清掃部材５１の移動方向の下流側に設けることによって、清掃部材５１による清掃動作の後に前記先端部３２ａを乾燥させることができる。
又、吸引機構（不図示）によって、周囲の雰囲気を吸引してもよい。これにより、洗浄液及びかき落とされた付着物を吸引することができる。

本実施形態では、清掃部材５１の幅方向をＸ方向に沿わせると共に、清掃部材５１の高さ方向をＺ方向に対して角度θだけ−Ｙ方向側に傾けた状態で清掃動作を行う。又、清掃部材５１において傾斜部６６が形成される側をスリットノズル３２の長手方向ｖの一側ｖ１（−Ｙ方向側）に合わせた状態で清掃動作を行う（図８参照）。

清掃動作を行う場合、清掃部材５１をスリットノズル３２の先端部３２ａの−Ｚ方向側へ移動させる。例えば、先ず、清掃部材５１をスリットノズル３２の先端部３２ａの＋Ｙ方向側端部の−Ｚ方向側に配置する。次いで、清掃部材５１を＋Ｚ方向側に移動させ、当接部６１をスリットノズル３２の先端部３２ａに当接させる。この状態で、清掃部材５１をスリットノズル３２の長手方向ｖの一側ｖ１（−Ｙ方向側）に移動させることによって、当接部６１をノズル先端３２ｂ及びノズル側壁３２ｃに沿って摺動させる。

清掃部材５１をスリットノズル３２の先端部３２ａの−Ｙ方向端を超える位置まで移動させることによって、スリットノズル３２の長手方向ｖ全体にわたってスリットノズル３２の先端部３２ａの付着物をかき落とすことができる。

尚、清掃部材５１による清掃動作を繰り返し行ってもよい。これにより、スリットノズル３２の先端部３２ａの付着物を確実にかき落とすことができる。例えば、以下の（１）〜（４）の一連の動作を繰り返す。
（１）清掃部材５１をスリットノズル３２の先端部３２ａの＋Ｙ方向側端部の−Ｚ方向側に配置する。（２）次いで、清掃部材５１を＋Ｚ方向側に移動させ、当接部６１をスリットノズル３２の先端部３２ａに当接させる。（３）この状態で、清掃部材５１をスリットノズル３２の長手方向ｖの一側ｖ１（−Ｙ方向側）に移動させることによって、当接部６１をノズル先端３２ｂ及びノズル側壁３２ｃに沿って摺動させる。（４）そして、清掃部材５１をスリットノズル３２の先端部３２ａの−Ｙ方向端を超える位置まで移動させる。

図１及び図２に示すように、上記清掃動作を行った後、スリットノズル３２を予備吐出機構４１に接近させる。予備吐出機構４１では、吐出口３２ｈと予備吐出面との間の距離を測定しながらノズル先端３２ｂの吐出口３２ｈをＺ方向の所定位置に移動させる。そして、スリットノズル３２を−Ｘ方向又は＋Ｘ方向へ移動させながら吐出口３２ｈからレジスト液を予備吐出させる。

予備吐出動作を行った後、門型フレーム３１を元の位置に戻す。第二フレーム側部２１ｃ側の搬送機構２３によって次の基板Ｓが搬送されてきた場合には、スリットノズル３２をＺ方向の所定位置に移動させる。このように、基板Ｓにレジスト液を塗布する塗布動作と予備吐出動作とを繰り返し行うことによって、基板Ｓに良質なレジスト膜を形成することができる。

尚、必要に応じて、管理部４に所定の回数接近する毎に、スリットノズル３２をディップ槽４２内に接近させても良い。ディップ槽４２では、スリットノズル３２の吐出口３２ｈをディップ槽４２に貯留された溶剤（シンナー）の蒸気雰囲気に曝すことによって、スリットノズル３２の乾燥を回避することができる。

以上のように、本実施形態によれば、スリットノズル３２の先端部３２ａに当接可能な当接部６１を有し、ゴム弾性を有する第一の部材６０によって、スリットノズル３２の先端部３２ａの付着物をかき落とすことができるため、清掃部材を分割構造とした場合のように、前記分割構造に起因する残渣の発生を考慮する必要がない。又、第一の部材６０の内部に一部が埋め込まれ、第一の部材６０よりも高い剛性を有する第二の部材７０によって、スリットノズル３２の先端部３２ａを清掃する際に第一の部材６０が過度に弾性変形することを抑制することができるため、スリットノズル３２の先端部３２ａの付着物を十分にかき落とすことができる。従って、スリットノズル３２を清浄に保つことができる。

又、第二の部材７０が金属板又は樹脂板によって形成されることで、金属板又は樹脂板はゴム板よりも高い剛性を有するため、第二の部材７０をゴム板によって形成する場合と比較して、清掃部材５１の剛性を確保しやすい。

又、当接部６１には、スリットノズル３２の長手方向ｖから見てＶ字状をなすスリットノズル３２の先端部３２ａが嵌め込まれるように窪む凹部６１ａが形成されることで、スリットノズル３２の先端部３２ａを清掃する際に、前記先端部３２ａに当接部６１をしっかりと当接させることができるため、スリットノズル３２の先端部３２ａの付着物を十分にかき落とすことができる。

又、当接部６１が、ノズル先端３２ｂに当接可能な第一当接部６２と、ノズル先端３２ｂに隣接して傾斜するノズル側壁３２ｃに当接可能な第二当接部６３とを備えることで、スリットノズル３２の先端部３２ａを清掃する際に、ノズル先端３２ｂに第一当接部６２を当接させると共に、ノズル側壁３２ｃに第二当接部６３を当接させることができるため、ノズル先端３２ｂ及びノズル側壁３２ｃの付着物を十分にかき落とすことができる。

又、第二当接部６３が、ノズル側壁３２ｃに向けて凸をなすように湾曲する第一湾曲部６３ａを備えることで、第二当接部６３がノズル側壁３２ｃに沿うように直線状に形成される場合と比較して、第一湾曲部６３ａの弾性変形によってノズル側壁３２ｃに第二当接部６３をしっかりと当接させることができるため、ノズル側壁３２ｃの付着物を十分にかき落とすことができる。

又、第二の部材７０が、第二当接部６３の内部に一部が埋め込まれることで第二当接部６３を保持する保持部７１を備えることで、第二当接部６３の内部に保持部７１が埋め込まれない場合と比較して、第二当接部６３が過度に弾性変形することを抑制することができるため、ノズル側壁３２ｃの付着物を十分にかき落とすことができる。

又、保持部７１が、第一湾曲部６３ａに沿うように湾曲する第二湾曲部７１ａを備えることで、保持部７１がノズル側壁３２ｃに沿うように直線状に形成される場合と比較して、第二湾曲部７１ａによって第一湾曲部６３ａが部分的に弾性変形することを抑制することができるため、ノズル側壁３２ｃに第二当接部６３をより均等に当接させることができ、ノズル側壁３２ｃの付着物をより効果的にかき落とすことができる。

又、第一の部材６０が当接部６１に連なる第一壁部６４を備え、第二の部材７０が保持部７１に連なると共に第一壁部６４を保持する第二壁部７２を備えることで、スリットノズル３２の先端部３２ａを清掃する際に、当接部６１を第一壁部６４で保持すると共に、第一壁部６４を第二壁部７２で保持することができるため、当接部６１が保持部７１から脱離したり、ちぎれたりすることを抑制することができる。

又、第一壁部６４の厚みｔ１１が、第一湾曲部６３ａと第二湾曲部７１ａとの間の第二当接部６３の厚みｔ１２よりも小さいことで、第一壁部６４の厚みｔ１１を第二当接部６３の厚みｔ１２と同等以上とする場合と比較して、第二当接部６３の厚みｔ１２を十分に確保することができるため、第一湾曲部６３ａの機能（弾性変形機能）を効果的に発揮することができ、ノズル側壁３２ｃの付着物を十分にかき落とすことができる。
又、ゴムは金属よりも高価であるため、第一壁部６４の厚みｔ１１を第二当接部６３の厚みｔ１２と同等以上とする場合と比較して、ゴムの使用量を抑えることができ、低コスト化を図ることができる。

又、一対の第二当接部６３は、前記第二当接部６３の厚みｔ１２が互いに同じになるように形成されることで、一対の第二当接部６３を前記第二当接部６３の厚みｔ１２が互いに異なるように形成する場合と比較して、一対の第二当接部６３のいずれか一方に片寄って弾性変形が生じることを抑制することができるため、スリットノズル３２の先端部３２ａの両側のノズル側壁３２ｃに一対の第二当接部６３をより均等に当接させることができ、前記両側のノズル側壁３２ｃの付着物をより効果的にかき落とすことができる。

又、第二の部材７０は板状をなし、第一の部材６０は、第二の部材７０と重なる部分の厚みｔ１０が第二の部材７０の厚みｔ２０と同じになるように形成されることで、第一の部材６０を第二の部材７０と重なる部分の厚みｔ１０が第二の部材７０の厚みｔ２０と異なるように形成する場合と比較して、第一の部材６０の機能（弾性変形機能）を確保すると共に、第二の部材７０の機能（剛性保持機能）を確保することができる。仮に、清掃部材５１の厚みを一定とした条件下で、第一の部材６０の厚みｔ１０が第二の部材７０の厚みｔ２０よりも過度に大きくなると、第二の部材７０の厚みｔ２０が過度に小さくなり、清掃部材５１の剛性を確保しにくくなる。一方、第一の部材６０の厚みｔ１０が第二の部材７０の厚みｔ２０よりも過度に小さくなると、第一の部材６０が弾性変形しにくくなる。

又、当接部６１には、スリットノズル３２の長手方向ｖの一側ｖ１ほどスリットノズル３２の先端部３２ａから離反するように傾斜する傾斜部６６が形成されることで、スリットノズル３２の先端部３２ａを清掃する際に、当接部６１によってかき落とした付着物を傾斜部６６に沿って前記先端部３２ａから離反する位置に案内することができるため、かき落とした付着物が当接部６１にとどまることを抑制し、前記先端部３２ａに再度付着することを抑制することができる。

又、傾斜部６６が、第一当接部６２に形成されると共に、スリットノズル３２の長手方向ｖの一側ｖ１ほどノズル先端３２ｂから離反するように傾斜する第一傾斜部６７と、第二当接部６３に形成されると共に、スリットノズル３２の長手方向ｖの一側ｖ１ほどノズル側壁３２ｃから離反するように傾斜する第二傾斜部６８とを備えることで、スリットノズル３２の先端部３２ａを清掃する際に、第一当接部６２によってかき落とした付着物を第一傾斜部６７に沿ってノズル先端３２ｂから離反する位置に案内すると共に、第二当接部６３によってかき落とした付着物を第二傾斜部６８に沿ってノズル側壁３２ｃから離反する位置に案内することができるため、かき落とした付着物が第一当接部６２及び第二当接部６３にとどまることを抑制し、ノズル先端３２ｂ及びノズル側壁３２ｃに再度付着することを抑制することができる。

又、第一傾斜部６７が、一対の第二当接部６３に形成される第二傾斜部６８の間の中央に位置し、第一傾斜部６７のうち最もノズル先端３２ｂから離反するように傾斜するセンター部６７ａと、センター部６７ａと第二傾斜部６８とを渡すと共に、センター部６７ａの側ほどノズル先端３２ｂから離反するように傾斜するサイド部６７ｂとを備えることで、スリットノズル３２の先端部３２ａを清掃する際に、一対の第二当接部６３によってかき落とした付着物を第二傾斜部６８及びサイド部６７ｂに沿ってセンター部６７ａの側に向けて案内すると共に、センター部６７ａに案内された付着物をセンター部６７ａに沿ってノズル先端３２ｂから離反する位置に案内することができるため、かき落とした付着物が第二傾斜部６８、サイド部６７ｂ及びセンター部６７ａにとどまることを抑制し、ノズル先端３２ｂ及びノズル側壁３２ｃに再度付着することを抑制することができる。

又、第一の部材６０は、傾斜部６６が形成される側において第二の部材７０を覆うカバー部６９を備えることで、傾斜部６６が形成される側において第二の部材７０を露出させた場合のように、当接部６１によってかき落とした付着物を傾斜部６６に沿ってスリットノズル３２の先端部３２ａから離反する位置に案内するときに、かき落とした付着物が第一の部材６０と第二の部材７０との境界部分（段差部）にとどまることに起因する汚れの発生は問題とならない。
又、傾斜部６６が形成される側において第二の部材７０を露出させた場合と比較して、スリットノズル３２の先端部３２ａを清掃する際に、前記境界部分に剥離方向の力はかからないため、第一の部材６０が第二の部材７０から脱離したり、ちぎれたりすることを抑制することができる。

又、第二の部材７０には、スリットノズル３２の先端部３２ａに対する清掃部材５１の位置を規制する規制部として貫通孔７０ｈ，７０ｉが設けられることで、第二の部材７０は第一の部材６０よりも高い剛性を有するため、第一の部材６０に前記規制部を設ける場合と比較して、前記先端部３２ａに対する清掃部材５１の位置決めを精度よく行うことができる。

又、第一の部材６０には、傾斜部６６が形成される側とは反対側において第二の部材７０を露出する開口部６０ｈが形成され、規制部としての貫通孔７０ｈ，７０ｉが、開口部６０ｈから露出した第二の部材７０に設けられることで、清掃部材５１の位置を規制する際に、ゴム弾性を有する第一の部材６０を介さずに済むため、スリットノズル３２の先端部３２ａに対する清掃部材５１の位置決めを精度よく行うことができる。
又、傾斜部６６が形成される側とは反対側において前記開口部６０ｈが形成されることで、傾斜部６６が形成される側において前記開口部６０ｈを形成した場合のように、当接部６１によってかき落とした付着物を傾斜部６６に沿って前記先端部３２ａから離反する位置に案内するときに、かき落とした付着物が第一の部材６０と第二の部材７０との境界部分（段差部）にとどまることに起因する汚れの発生は問題とならない。

又、清掃ステップにおいて、上記の清掃部材５１によってスリットノズル３２の先端部３２ａを清掃することができるため、スリットノズル３２を清浄に保つことができる。

尚、上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、上記実施形態においては、塗布装置１が、例えば液晶パネルなどに用いられるガラス基板などの基板Ｓ上に塗布液としてレジスト液を塗布する例を挙げたが、これに限らない。例えば、基板Ｓとしてガラス基板以外の基板を用いてもよいし、塗布液としてレジスト液以外の液体を用いてもよい。

又、上記実施形態においては、清掃部材５１が、スリットノズル３２の先端部３２ａに接触しつつスリットノズル３２の長手方向ｖに沿って移動する構成を例に挙げたが、これに限らない。例えば、スリットノズル３２の先端部３２ａが、清掃部材５１に接触しつつスリットノズル３２の長手方向ｖに沿って移動する構成でもよい。すなたち、清掃部材５１が、スリットノズル３２の先端部３２ａに接触しつつスリットノズル３２の長手方向ｖに沿って相対的に移動する構成であればよい。

又、上記実施形態においては、第二の部材７０の一部が、第一の部材６０の内部に埋め込まれる例を挙げたが、これに限らない。例えば、第二の部材７０の全部が、第一の部材６０の内部に埋め込まれてもよい。すなわち、第二の部材７０の少なくとも一部が、第一の部材６０の内部に埋め込まれていればよい。

又、上記実施形態においては、清掃部材５１において傾斜部６６が形成される側をスリットノズル３２の長手方向ｖの一側ｖ１（−Ｙ方向側）に合わせた状態で清掃動作を行う例（図８参照）を挙げたが、これに限らない。例えば、図９に示すように、清掃部材５１において傾斜部６６が形成される側とは反対側（第二の部材７０を露出する開口部６０ｈが形成される側）をスリットノズル３２の長手方向ｖの一側ｖ１（−Ｙ方向側）に合わせた状態で清掃動作を行ってもよい。

尚、上記において実施形態又はその変形例として記載した各構成要素は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜組み合わせることができるし、また、組み合わされた複数の構成要素のうち一部の構成要素を適宜用いないようにすることもできる。

１…塗布装置 ３…塗布部 ３２…スリットノズル ３２ａ…スリットノズルの先端部 ５１…清掃部材 ５３…清掃部材移動機構（移動部）６０…第一の部材 ６０ｈ…開口部 ６１…当接部 ６１ａ…凹部 ６２…第一当接部 ６３…第二当接部 ６３ａ…第一湾曲部 ６４…第一壁部 ６６…傾斜部 ６７…第一傾斜部 ６７ａ…センター部 ６７ｂ…サイド部 ６８…第二傾斜部 ６９…カバー部 ７０…第二の部材 ７０ｈ…第一の貫通孔（規制部） ７０ｉ…第二の貫通孔（規制部） ７１…保持部 ７１ａ…第二湾曲部 ７２…第二壁部 Ｓ…基板 ｔ１０…第一の部材が第二の部材と重なる部分の厚み ｔ１１…第一壁部の厚み ｔ１２…第二当接部の厚み ｔ２０…第二の部材の厚み ｖ…スリットノズルの長手方向 ｖ１…スリットの長手方向の一側

Claims (19)

1. スリットノズルの先端部に接触しつつ前記スリットノズルの長手方向に沿って相対的に移動することで前記先端部を清掃する清掃部材であって、
   前記先端部に当接可能な当接部を有し、ゴム弾性を有する第一の部材と、
   前記第一の部材の内部に少なくとも一部が埋め込まれ、前記第一の部材よりも高い剛性を有する第二の部材と、
   を含む清掃部材。
2. 前記第二の部材は、金属板又は樹脂板によって形成される
   請求項１に記載の清掃部材。
3. 前記当接部には、前記スリットノズルの長手方向から見てＶ字状をなす前記先端部が嵌め込まれるように窪む凹部が形成される
   請求項１又は２に記載の清掃部材。
4. 前記当接部は、
   前記先端部のノズル先端に当接可能な第一当接部と、
   前記ノズル先端に隣接して傾斜するノズル側壁に当接可能な第二当接部と、を含む
   請求項１〜３の何れか一項に記載の清掃部材。
5. 前記第二当接部は、前記ノズル側壁に向けて凸をなすように湾曲する第一湾曲部を含む
   請求項４に記載の清掃部材。
6. 前記第二の部材は、前記第二当接部の内部に少なくとも一部が埋め込まれることで前記第二当接部を保持する保持部を含む
   請求項４又は５に記載の清掃部材。
7. 前記第二当接部は、前記ノズル側壁に向けて凸をなすように湾曲する第一湾曲部を含み、
   前記保持部は、前記第一湾曲部に沿うように湾曲する第二湾曲部を含む
   請求項６に記載の清掃部材。
8. 前記第一の部材は、前記当接部に連なる第一壁部を含み、
   前記第二の部材は、前記保持部に連なると共に前記第一壁部を保持する第二壁部を含む
   請求項６又は７に記載の清掃部材。
9. 前記第二当接部は、前記ノズル側壁に向けて凸をなすように湾曲する第一湾曲部を含み、
   前記保持部は、前記第一湾曲部に沿うように湾曲する第二湾曲部を含み、
   前記第一壁部の厚みは、前記第一湾曲部と前記第二湾曲部との間の前記第二当接部の厚みよりも小さい
   請求項８に記載の清掃部材。
10. 前記第二の部材は、前記第二当接部の内部に少なくとも一部が埋め込まれることで前記第二当接部を保持する保持部を含み、
    前記第二当接部は、前記ノズル側壁に向けて凸をなすように湾曲する第一湾曲部を含み、
    前記保持部は、前記第一湾曲部に沿うように湾曲する第二湾曲部を含み、
    前記第二当接部は、前記先端部を挟んで前記先端部の両側の前記ノズル側壁に当接するように一対設けられ、
    一対の前記第二当接部は、前記第一湾曲部と前記第二湾曲部との間の前記第二当接部の厚みが互いに同じになるように形成される
    請求項４〜９の何れか一項に記載の清掃部材。
11. 前記第二の部材は板状をなし、
    前記第一の部材は、前記第二の部材と重なる部分の厚みが前記第二の部材の厚みと同じになるように形成される
    請求項１〜１０の何れか一項に記載の清掃部材。
12. 前記当接部には、前記スリットノズルの長手方向の一側ほど前記先端部から離反するように傾斜する傾斜部が形成される
    請求項１〜１１の何れか一項に記載の清掃部材。
13. 前記当接部は、
    前記先端部のノズル先端に当接可能な第一当接部と、
    前記ノズル先端に隣接して傾斜するノズル側壁に当接可能な第二当接部と、を含み、
    前記傾斜部は、
    前記第一当接部に形成されると共に、前記スリットノズルの長手方向の一側ほど前記ノズル先端から離反するように傾斜する第一傾斜部と、
    前記第二当接部に形成されると共に、前記スリットノズルの長手方向の一側ほど前記ノズル側壁から離反するように傾斜する第二傾斜部と、を含む
    請求項１２に記載の清掃部材。
14. 前記第二当接部は、前記先端部を挟んで前記先端部の両側の前記ノズル側壁に当接するように一対設けられ、
    前記第一傾斜部は、
    一対の前記第二当接部に形成される前記第二傾斜部の間の中央に位置し、前記第一傾斜部のうち最も前記ノズル先端から離反するように傾斜するセンター部と、
    前記センター部と前記第二傾斜部とを渡すと共に、前記センター部の側ほど前記ノズル先端から離反するように傾斜するサイド部と、を含む
    請求項１３に記載の清掃部材。
15. 前記第一の部材は、前記傾斜部が形成される側において前記第二の部材を覆うカバー部を含む
    請求項１２〜１４の何れか一項に記載の清掃部材。
16. 前記第二の部材には、前記先端部に対する前記清掃部材の位置を規制する規制部が設けられる
    請求項１〜１５の何れか一項に記載の清掃部材。
17. 前記当接部には、前記スリットノズルの長手方向の一側ほど前記先端部から離反するように傾斜する傾斜部が形成され、
    前記第一の部材には、前記傾斜部が形成される側とは反対側において前記第二の部材を露出する開口部が形成され、
    前記規制部は、前記開口部から露出した前記第二の部材に設けられる
    請求項１６に記載の清掃部材。
18. スリットノズルを有する塗布部と、
    請求項１〜１７の何れか一項に記載の清掃部材と、
    前記清掃部材を前記スリットノズルの長手方向に移動させる移動部と、
    を含む塗布装置。
19. スリットノズルを有する塗布部と、
    請求項１〜１７の何れか一項に記載の清掃部材と、
    前記清掃部材を前記スリットノズルの長手方向に移動させる移動部と、を含む塗布装置を用いた塗布方法であって、
    前記スリットノズルから塗布液を吐出する吐出ステップと、
    前記清掃部材によって前記スリットノズルの先端部を清掃する清掃ステップと、
    を含む塗布方法。

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