JP2006318994A - 導電性ボール配列装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下面にボール落下用開口部が形成され、多数の導電性ボール21が収容されるボール溜まり23が、所定の配列パターンで導電性ボールが挿入されるボール挿入部18が形成された配列治具19上を移動することにより、各ボール挿入部内に導電性ボールを落とし込んで挿入配列する導電性ボールの配列装置において、ボール溜まり内の導電性ボールを移動方向前側に向けて押し込む気体噴射手段70を設けたことを特徴とする導電性ボール配列装置。
【選択図】図3
Description
2,5....ウエハ受渡部
3......フラックス印刷部
4......ボール搭載部
6......ウエハ供給部
7......一次アライメント部
8......搬入用ロボット
9......反転ユニット
10.....ウエハ収納部
11.....搬出用ロボット
12.....ウエハ搬送ステージ
13.....搬送路
14.....ウエハ
15.....印刷マスク
16.....フラックス供給装置
17,37.型枠
18.....貫通孔
19.....ボール配列マスク
20.....半田ボール供給装置
21.....半田ボール
22.....ボールホッパ
23.....ボールカップ
24.....移動ユニット
25.....X軸ガイド
26.....Y軸ガイド
27.....マスク高さ検出センサ
28.....Y軸駆動機構
29.....θ軸駆動機構
30.....Z軸駆動機構
31,34.上下観察カメラ
32.....カセット
33.....クリーニングユニット
36.....貫通孔形成領域
40.....X軸駆動装置
41.....昇降ベース
42.....支持ブラケット
43.....ガイドレール
44.....ナット部材
45.....昇降手段
50,52,54.....駆動モータ
51,53,55.....ボールねじ
60.....開口部
61,62.....内壁
70,71.....エア噴射ノズル
72.....シリンダ
73.....多孔質体
74.....噴射口
75.....ホルダ
76.....エア供給路
80.....ブレード
Claims (2)
- 下面にボール落下用開口部が形成され、多数の導電性ボールが収容されるボール溜まりが、所定の配列パターンで導電性ボールが挿入されるボール挿入部が形成された配列治具上を移動することにより、各ボール挿入部内に導電性ボールを落とし込んで挿入配列する導電性ボールの配列装置において、ボール溜まり内の導電性ボールを移動方向前側に向けて押し込む気体噴射手段を設けたことを特徴とする導電性ボール配列装置。
- 気体噴射手段が、ボール溜まりの移動方向に合わせ、気体吹き付け位置を切換可能である請求項1記載の導電性ボール配列装置。
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