JP4753010B2 - 導電性ボール配列装置 - Google Patents
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Description
第1に、導電性ボールが挿入される複数のボール挿入部が形成された配列治具と、導電性ボールが供給される供給用開口部と底部に導電性ボールが落下可能なボール落下用開口部が形成されたボールカップと、多数の導電性ボールを貯留するとともに貯留した導電性ボールをボールカップへと排出する供給口と該供給口を開放閉鎖可能とする開閉手段を有するボールホッパと、前記ボールカップ及びボールホッパが取り付けられる取付ベースと、前記取付ベースをX軸方向、Y軸方向、及びZ軸方向に移動させる移動手段とを備える。
第2に、ボールホッパから供給された多数の導電性ボールを収容したボールカップを配列治具の上面に沿って移動させることにより、配列治具の各ボール挿入部に導電性ボールを落とし込んで導電性ボールを配列する導電性ボール配列装置とする。
第3に、前記ボールカップは取付傾きを調整するための傾き調整機構を介して前記取付ベースに取り付けられるとともに、ボールカップ内の導電性ボールの量を所定範囲に維持するようにボールホッパからボールカップへ導電性ボールを補充するように構成する。
2,5....ウエハ受渡部
3......フラックス印刷部
4......ボール搭載部
6......ウエハ供給部
7......一次アライメント部
8......搬入用ロボット
9......反転ユニット
10.....ウエハ収納部
11.....搬出用ロボット
12.....ウエハ搬送ステージ
13.....搬送路
14.....ウエハ
15.....印刷マスク
16.....フラックス供給装置
17,37.型枠
18.....貫通孔
19.....ボール配列マスク
20.....半田ボール供給装置
21.....半田ボール
22.....ボールホッパ
23.....ボールカップ
24.....移動ユニット
25.....X軸ガイド
26.....Y軸ガイド
27.....マスク高さ検出センサ
28.....Y軸駆動機構
29.....θ軸駆動機構
30.....Z軸駆動機構
31,34.上下観察カメラ
32.....カセット
33.....クリーニングユニット
36.....貫通孔形成領域
38.....吸引管
39.....供給口
40.....X軸駆動装置
41.....取付ベース
42.....傾き調整機構
43.....ガイドレール
44.....ナット部材
45.....昇降手段
50,52,54.....駆動モータ
51,53,55.....ボールねじ
63,64....開口部
65.....シャッタ
66.....シリンダ
67.....受け部
68.....切換部
69.....ボール導入部
70.....ボール検出センサ
71.....揺動型エアシリンダ
Claims (4)
- 導電性ボールが挿入される複数のボール挿入部が形成された配列治具と、
導電性ボールが供給される供給用開口部と底部に導電性ボールが落下可能なボール落下用開口部が形成されたボールカップと、
多数の導電性ボールを貯留するとともに貯留した導電性ボールをボールカップへと排出する供給口と該供給口を開放閉鎖可能とする開閉手段を有するボールホッパと、
前記ボールカップ及びボールホッパが取り付けられる取付ベースと、
前記取付ベースをX軸方向、Y軸方向、及びZ軸方向に移動させる移動手段とを備え、ボールホッパから供給された多数の導電性ボールを収容したボールカップを配列治具の上面に沿って移動させることにより、配列治具の各ボール挿入部に導電性ボールを落とし込んで導電性ボールを配列する導電性ボール配列装置において、
前記ボールカップは取付傾きを調整するための傾き調整機構を介して前記取付ベースに取り付けられるとともに、
ボールカップ内の導電性ボールの量を所定範囲に維持するようにボールホッパからボールカップへ導電性ボールを補充するように構成したことを特徴とする導電性ボール配列装置。 - ボールカップが配列治具上を移動中にボールホッパからの補充を行うように構成した請求項1記載の導電性ボール配列装置。
- ボールカップを複数配設し、ボールホッパから供給される導電性ボールを各ボールカップへ分配する切換手段を設けた請求項1または2記載の導電性ボール配列装置。
- ボールホッパからボールカップへ供給される導電性ボールを検出する検出手段が設けられた請求項1乃至3のいずれかに記載された導電性ボール配列装置。
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