JP2002231752A - 粒状体搭載装置 - Google Patents

粒状体搭載装置

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JP2002231752A
JP2002231752A JP2001027540A JP2001027540A JP2002231752A JP 2002231752 A JP2002231752 A JP 2002231752A JP 2001027540 A JP2001027540 A JP 2001027540A JP 2001027540 A JP2001027540 A JP 2001027540A JP 2002231752 A JP2002231752 A JP 2002231752A
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granular
electrostatic force
mounting
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Tsugunori Masuda
二紀 増田
Junichi Onozaki
純一 小野崎
Yoshio Kano
快男 鹿野
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Tamura Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 粒状体を粒状体搭載部材の所定位置に確実に
搭載できるようにするとともに、大量の粒状体の供給や
回収に伴う問題を解決する。 【解決手段】 粒状体搭載部材13の上側にマスク14を配
置する。マスク14は、マスク14上の粒状体15を粒状体搭
載部材13の複数の粒状体搭載部16に搭載するために、各
粒状体搭載部16と対応する位置に複数の位置決め孔17を
形成する。マスク14上に、間隙19，20を維持して移動す
る粒状体移送手段21を設ける。粒状体移送手段21は、マ
スク14上に供給した複数の粒状体15を静電気力により一
定の領域内に保ちながら移送しつつ、マスク14の各位置
決め孔17に落下させる。粒状体移送手段21は、粒状体15
を静電気力によりマスク14上に供給する粒状体供給体22
と、粒状体搭載部材13に搭載しなかったマスク14上の粒
状体15を静電気力により回収する粒状体回収体23とを具
備している。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、静電気力を用いた
粒状体搭載装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、粒状体搭載部材としての半導体ウ
エハの電極にバンプ形成材料を搭載する場合は、半導体
ウエハの上側に、半導体ウエハの電極と対応する位置に
位置決め孔が設けられたマスクを被せ、このマスクの位
置決め孔を通して、はんだペースト、粒状体としてのは
んだボールなどのバンプ形成材料を半導体ウエハの電極
上に搭載している。
【０００３】はんだペーストを搭載する場合は、半導体
ウエハ上に印刷マスクを置き、その印刷マスク上の一側
部から他側部にわたってスキージによりはんだペースト
を掻き寄せるようにして印刷することで、印刷マスクの
位置決め孔を通して半導体ウエハの電極上にはんだペー
ストを搭載する。
【０００４】はんだボールを搭載する場合は、半導体ウ
エハ上にマスクを置き、予めバンプ搭載量よりも余分な
量のはんだボールを供給し、スキージによりこのはんだ
ボールを、マスクの一側部上から他側部上に掻き寄せる
ように移動させ、その移動中にマスクの位置決め孔には
んだボールを落下させることで、半導体ウエハの電極上
にはんだボールを搭載している。マスクの位置決め孔に
落下しなかった余分なはんだボールは、回収して再供給
する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のマスク印刷によ
るはんだペーストの搭載は、一般に微細なはんだバンプ
を形成することが困難であり、均一性や正確性に限界が
ある。
【０００６】一方、粒状体としてのはんだボールをマス
クにより粒状体搭載部材としての半導体ウエハの電極に
搭載する場合は、スキージによる掻き寄せ動作で、スキ
ージからはんだボールに外力を直接作用させて、マスク
の位置決め孔にはんだボールを落そうとするが、このと
き、マスクの位置決め孔の開口縁と係合したはんだボー
ルにスキージが引掛かり、動かなくなる問題がある。
【０００７】さらに、マスク上にバンプの数よりも数十
倍も多くのはんだボールを供給する必要があるので、予
め大量のはんだボールを用意する必要があり、また、必
然的に回収後のはんだボールをリサイクルして再供給す
る割合が増えるため、その分、はんだボールの品質劣化
がおきてしまう。
【０００８】よって、はんだペーストよりもはんだボー
ルの方が望ましいが、はんだボールを半導体ウエハの電
極上に搭載する場合でも、スキージに問題があるととも
に、大量のはんだボールの供給や回収に伴う問題が生じ
ている。
【０００９】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、従来のスキージの問題を解決して、粒状体を粒状
体搭載部材の所定位置に確実に搭載できるようにすると
ともに、大量の粒状体の供給や回収に伴う問題を解決す
ることを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載された発
明は、粒状体搭載部材の上側に配置され粒状体搭載部材
の複数の粒状体搭載部と対応する位置に複数の位置決め
孔が設けられ供給された粒状体を各位置決め孔にて各粒
状体搭載部上に搭載するマスクと、マスク上に間隙を維
持して移動しマスク上に供給された複数の粒状体を静電
気力により限られた領域内に保ちながら移送しつつマス
クの各位置決め孔に落下させる粒状体移送手段とを具備
した粒状体搭載装置であり、これにより、粒状体移送手
段は、マスク上に間隙を維持して移動しながら、粒状体
を静電気力により非接触で移送し、粒状体に負荷をかけ
ないから、マスクの位置決め孔に粒状体を介して粒状体
移送手段が引掛かることもなく、粒状体移送手段は円滑
に移動しながら、粒状体を粒状体搭載部材の所定位置に
確実に搭載し、かつ、粒状体移送手段は、マスク上に供
給された複数の粒状体を静電気力により限られた領域内
に保ちながら移送しつつマスクの各位置決め孔に落下さ
せるから、従来より少量の粒状体でも、高密度に集めら
れた状態でマスクの各位置決め孔に効率良く供給され
る。
【００１１】請求項２に記載された発明は、請求項１記
載の粒状体搭載装置における粒状体移送手段が、マスク
の位置決め孔で必要とされる量より多くの粒状体をマス
ク上に供給する粒状体供給体と、粒状体供給体から一定
の粒状体収容間隔を保ちながらマスク上を粒状体供給体
と一体的に移動しつつマスクの位置決め孔で粒状体搭載
部材に搭載されなかったマスク上の粒状体を静電気力に
より回収する粒状体回収体とを具備したものであり、こ
れにより、粒状体供給体から一定の粒状体収容間隔を保
ちながらマスク上を粒状体供給体と一体的に移動する粒
状体回収体は、粒状体搭載部材に搭載されなかったマス
ク上の余分な粒状体を、マスク上の広範囲に拡散させる
ことなく限られた範囲内で静電気力により直ちに回収す
るから、異物の混入などによる粒状体の品質劣化が防止
され、回収後の粒状体をリサイクルして再使用する場合
に有利である。
【００１２】請求項３に記載された発明は、請求項２記
載の粒状体搭載装置において、推移する静電気力で粒状
体を粒状体回収体から粒状体供給体に戻す粒状体循環機
構を具備したものであり、これにより、粒状体の回収お
よび再供給を粒状体循環機構により自動的かつ連続的に
でき、手動で循環させる手間を省略できるとともに、粒
状体回収体で回収した余分な粒状体を粒状体循環機構に
より直ちに粒状体供給体に戻すから、従来より少量の粒
状体を循環供給すれば良く、予め大量の粒状体を供給元
に蓄えて用意しておく必要がなく、さらに、これによ
り、回収後の粒状体をリサイクルして再供給する割合が
下がるため、その分、粒状体の品質劣化が抑えられる。
【００１３】請求項４に記載された発明は、請求項１乃
至３のいずれか記載の粒状体搭載装置において、マスク
および粒状体搭載部材が、粒状体移送手段の移動方向に
向かって下降傾斜されたものであり、これにより、粒状
体の自重による自然落下力を利用して、粒状体の円滑な
移動を助け、ひいては粒状体移送手段の引掛かりを防止
するとともに、粒状体の回収を容易にする。
【００１４】請求項５に記載された発明は、請求項１乃
至４のいずれか記載の粒状体搭載装置において、マスク
に振動を与える加振器を具備したものであり、これによ
り、加振器からマスクに与えられた振動を利用して、静
電気や湿気などでマスクに付着した粒状体に振動を与え
て、マスク上での粒状体の円滑な移動および位置決め孔
への落下を容易にし、ひいては粒状体移送手段の引掛か
りを防止する。
【００１５】請求項６に記載された発明は、請求項１乃
至５のいずれか記載の粒状体搭載装置において、マスク
が、推移する静電気力により粒状体を移送する静電リニ
アモータを内蔵したものであり、これにより、静電気力
を利用して、粒状体の円滑な移動を助け、ひいては粒状
体移送手段の引掛かりを防止するとともに、粒状体の回
収を容易にする。
【００１６】請求項７に記載された発明は、請求項２乃
至６のいずれか記載の粒状体搭載装置において、粒状体
供給体が、粒状体をマスク上に供給する方向に推移する
静電気力により粒状体を移送する静電リニアモータを内
蔵し、粒状体回収体が、粒状体をマスク上から回収する
方向に推移する静電気力により粒状体を移送する静電リ
ニアモータを内蔵したものであり、これにより、粒状体
は、粒状体供給体の静電リニアモータによりマスク上に
円滑に供給され、また、粒状体搭載部材に搭載されなか
ったマスク上の余分な粒状体は、粒状体回収体の静電リ
ニアモータにより円滑に回収されるから、粒状体供給体
と粒状体回収体との間の限られた領域内に常に適当数の
粒状体が保たれる。
【００１７】請求項８に記載された発明は、請求項２乃
至７のいずれか記載の粒状体搭載装置において、粒状体
供給体の下端部に設けられ粒状体に帯電した静電気を除
去する除電手段を具備したものであり、これにより、粒
状体供給体からマスク上に粒状体を供給する際に、粒状
体に帯電している静電気が除電手段で除去されるから、
帯電した粒状体が相互にまたは他の部材に付着しやすく
なる問題が解消される。
【００１８】請求項９に記載された発明は、請求項１乃
至８のいずれか記載の粒状体搭載装置において、粒状体
が、バンプ形成材料であり、粒状体搭載部材が、半導体
ウエハであり、粒状体搭載部が、半導体ウエハの電極で
あるとしたものであり、これにより、粒状体移送手段
は、マスク上に間隙を維持して移動しながら、バンプ形
成材料を静電気力により非接触で移送し、バンプ形成部
材に負荷をかけないから、マスクの位置決め孔にバンプ
形成材料を介して粒状体移送手段が引掛かることもな
く、粒状体移送手段は円滑に移動しながら、マスクの位
置決め孔を通してバンプ形成材料を半導体ウエハの電極
上に確実に搭載し、かつ、粒状体移送手段は、マスク上
に供給された複数のバンプ形成材料を静電気力により限
られた領域内に保ちながら移送しつつマスクの各位置決
め孔に落下させるから、従来より少量のバンプ形成材料
でも、高密度に集められた状態でマスクの各位置決め孔
に効率良く供給される。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の一実施の形態を
図１乃至図５を参照しながら説明する。
【００２０】図１に示されるように、ベース板11の上面
に凹部12が形成され、この凹部12に粒状体搭載部材13が
収納されている。この粒状体搭載部材13の上側に、ベー
ス板11の周縁部上に載置されたマスク14が配置されてい
る。
【００２１】このマスク14は、マスク14上の粒状体15を
粒状体搭載部材13の複数の粒状体搭載部16に搭載するた
めに、各粒状体搭載部16と対応する位置に複数の位置決
め孔17が形成され、供給された粒状体15を各位置決め孔
17にて各粒状体搭載部16上に搭載する。
【００２２】粒状体15は、バンプ形成材料であり、図示
されたものは例えば直径２００μｍ程度のはんだボール
である。粒状体搭載部材13は、半導体ウエハであり、粒
状体搭載部16は、半導体ウエハの電極である。この半導
体ウエハの電極には接着効果のある揮発性の材料が塗布
されている。
【００２３】なお、粒状体15は、はんだボールより微細
なはんだ粉末でも良く、半導体ウエハの各電極上に多数
のはんだ粉末をそれぞれ供給するようにしても良い。
【００２４】さらに、マスク14の下面には、マスク14に
振動を与える加振器18が装着されている。
【００２５】マスク14上には、間隙19，20を維持して移
動する粒状体移送手段21が設けられている。この粒状体
移送手段21は、マスク14上に供給された複数の粒状体15
を静電気力により限られた領域内に保ちながら移送しつ
つマスク14の各位置決め孔17に落下させるものである。
【００２６】ベース板11、粒状体搭載部材13およびマス
ク14は、粒状体移送手段21の移動方向に向かって下降傾
斜されている。
【００２７】粒状体移送手段21は、マスク14の位置決め
孔17で必要とされる量より多くの粒状体15をマスク14上
に供給する粒状体供給体22と、この粒状体供給体22から
一定の粒状体収容間隔を保ちながらマスク14上を粒状体
供給体22と一体的に移動しつつマスク14の位置決め孔17
で粒状体搭載部材13に搭載されなかったマスク14上の粒
状体15を静電気力により回収する粒状体回収体23とを具
備したものである。
【００２８】マスク14は、移動電界により推移する静電
気力でマスク14上の粒状体15を移送する平板状の静電リ
ニアモータを内蔵し、また、粒状体供給体22は、粒状体
15をマスク14上に供給する方向に推移する静電気力によ
り移送する静電リニアモータを内蔵し、さらに、粒状体
回収体23は、粒状体15をマスク14上から回収する方向に
推移する静電気力により移送する静電リニアモータを内
蔵する。
【００２９】図２に示されるように、マスク14の静電リ
ニアモータは、板状の絶縁材24の内部に、交番電圧の印
加で移動電界を生じさせる複数の線状電極25が配線され
たものであり、線状電極25を避けるとともに粒状体搭載
部材13の粒状体搭載部16と対応する絶縁材位置に、前記
位置決め孔17が、粒状体15よりやや大径に穿設されてい
る。この位置決め孔17の下部には、粒状体搭載部材13の
粒状体搭載部16と嵌合する凹溝26が設けられている。
【００３０】板状の絶縁材24は、強度のあるマスクベー
ス27上に、電極埋設樹脂層28が設けられ、その上に、粒
状体15に静電気を自然発生させないための高分子系の材
料で形成した保護膜29が設けられている。
【００３１】複数の線状電極25は、図３に示されるよう
に、紙面に対し直交する方向へ、例えば直径２００μｍ
の粒状体15に対し例えば３５０μｍ程度の等ピッチで平
行に配置され、６本ごとに結ばれた各線状電極25に交番
電圧が印加される６相の多相電極である。なお、この線
状電極25は、３相交流電圧が印加される３相電極でも良
い。
【００３２】これらの線状電極25に、図３に示されるよ
うに電源が配線され、例えば図３に示されるように電圧
が印加されると、保護膜29上には不平等電界が発生す
る。これらの線状電極25に交番電圧を印加すると移動電
界が発生し、粒状体15は、移動電界により推移する静電
気力、すなわちクーロン力またはグレーディエント力に
より、矢印の方向に移動する。
【００３３】印加電圧を次の表１のように変化させる
と、粒状体15は、電圧が替わるごとに線状電極25の１ピ
ッチ分移動するから、これを繰り返すことにより、連続
して移送することができる。
【００３４】
【表１】
【００３５】粒状体供給体22の静電リニアモータおよび
粒状体回収体23の静電リニアモータも、マスク14の静電
リニアモータと同様に、交番電圧の印加で移動電界を生
じさせる複数の線状電極（図示せず）を有し、移動電界
により推移する静電気力、すなわちクーロン力またはグ
レーディエント力により粒状体15を移送する。
【００３６】図１および図２に示されるように、前記粒
状体供給体22の下端部には、粒状体15をマスク14上に供
給するに当って粒状体15に帯電している静電気を除去す
る除電手段としての除電用電極30が設けられている。こ
の除電用電極30は、図示されない配線により接地されて
おり、接触した粒状体15の静電気をアースに逃がすこと
で除去する。
【００３７】粒状体供給体22の除電用電極30の先端とマ
スク14との間に設けられた前記間隙19は、粒状体15の半
径よりも小さく設定することにより、粒状体15が間隙19
内に噛み込まれないようにする。
【００３８】また、粒状体回収体23の下端とマスク14と
の間に設けられた前記間隙20は、マスク14に接触しない
限度でマスク14にできる限り近付けることにより、粒状
体15が粒状体回収体23の静電リニアモータの静電気力を
受けやすいようにする。
【００３９】図１に示されるように、マスク14の上側に
は、マスク14の位置決め孔17に落下しなかった粒状体15
aを、移動電界により推移する静電気力で粒状体回収体2
3から粒状体供給体22に戻す粒状体循環機構31が設置さ
れている。
【００４０】この粒状体循環機構31は、粒状体15aを回
収する粒状体容器32と、粒状体15aを移動電界により推
移する静電気力で移送する管状に形成された静電リニア
モータ33と、粒状体15aをマスク14上に供給する粒状体
投入器34とが、連続的に設けられたものである。
【００４１】管状の静電リニアモータ33内には、窒素ガ
スなどの不活性ガスを吹込む不活性ガス吹込手段として
のノズル35が、粒状体15aの移動方向と対向するように
挿入されている。
【００４２】図４に示されるように、粒状体循環機構31
の静電リニアモータ33は、管状に形成された絶縁材36の
肉厚内部に、リング状に形成された複数の線状電極37が
所定間隔で繰返し配線され、マスク14と同様に、これら
の線状電極37に多相の交番電圧を印加することにより移
動電界を生じさせるものである。
【００４３】この管状に形成された静電リニアモータ33
は、前記表１に示される交番電圧の印加により、内部に
ある粒状体15aを、その配管形状に沿って移送すること
ができ、３次元的に任意の方向へ移送することが可能で
ある。
【００４４】次に、この実施の形態の作用を説明する。
【００４５】粒状体15は、粒状体供給体22の静電リニア
モータによりマスク14上に円滑に供給される。
【００４６】その粒状体供給体22からマスク14上に供給
される粒状体15は、必ず除電用電極30を通過するので、
粒状体15に帯電している静電気は除電用電極30により除
去され、帯電した粒状体15が相互にまたは他の部材に付
着しやすくなる問題が解消される。
【００４７】マスク14上に供給された粒状体15は、粒状
体移送手段21の粒状体供給体22と粒状体回収体23とで囲
まれた限られた領域内に、ほぼ一定量が保たれながら、
マスク14に沿って移送される。
【００４８】その際、粒状体供給体22による粒状体供給
速度および粒状体回収体23による粒状体回収速度は、粒
状体供給体22と粒状体回収体23との間の限られた領域内
に常にほぼ一定量の粒状体15が保たれるように考慮して
設定する。
【００４９】マスク14上の粒状体15は、マスク14の静電
リニアモータの移動電界により推移する静電気力すなわ
ちクーロン力またはグレーディエント力の作用で、円滑
に移動しながら、マスク14の各位置決め孔17に落下す
る。
【００５０】このとき、粒状体移送手段21は、マスク14
上に間隙19，20を維持して移動しながら、マスク14の傾
斜と静電リニアモータによる静電気力により粒状体15を
非接触で移送し、粒状体15に負荷をかけないから、マス
ク14の位置決め孔17に粒状体15を介して粒状体移送手段
21が引掛かることもない。
【００５１】特に、粒状体搭載部材13およびマスク14
は、粒状体移送手段21の移動方向に向かって下降傾斜さ
れているから、粒状体15の自重による自然落下力を利用
してマスク14上での粒状体15の円滑な移動を助けること
ができ、さらに、加振器18からマスク14に与えられた振
動を利用して、静電気や湿気などでマスク14に付着した
粒状体に振動を与えて、マスク14上での粒状体15の自重
による落下運動をさらに助けるとともに、粒状体15の位
置決め孔17への落下を容易にすることができ、ひいて
は、位置決め孔17の開口縁と粒状体供給体22の除電用電
極30の先端との間に粒状体15が挟まれるなどして粒状体
移送手段21が引掛かることを防止できる。
【００５２】よって、粒状体移送手段21は円滑に移動し
ながら、マスク14の位置決め孔17に粒状体15を確実に落
下させ、位置決め孔17の下側に位置する粒状体搭載部材
13の粒状体搭載部16上に粒状体15を確実に位置決め搭載
できる。
【００５３】かつ、粒状体移送手段21は、マスク14上に
供給された複数の粒状体15を静電気力により限られた領
域内に保ちながら移送しつつマスク14の各位置決め孔17
に落下させるから、従来より少量の粒状体15でも、高密
度に集められた状態でマスク14の各位置決め孔17に効率
良く供給できる。
【００５４】そして、粒状体搭載部材13に搭載されなか
ったマスク14上の余分な粒状体15aは、粒状体回収体23
に移載され、この粒状体回収体23の静電リニアモータに
より円滑に回収される。
【００５５】このとき、下降傾斜したマスク14は、粒状
体回収体23への粒状体15aの乗移りを容易にすること
で、粒状体15aの回収を容易にする。また、マスク14の
静電リニアモータは、移動電界により推移する静電気力
により、マスク14上から粒状体回収体23への粒状体15a
の乗移りを後押しすることで、粒状体15aの回収を容易
にする。
【００５６】粒状体回収体23では、マスク14と同様に、
複数の線状電極への交番電圧の印加で生じた移動電界に
より推移する静電気力を用いて、粒状体15aを斜め上方
へ移送し、粒状体循環機構31の粒状体容器32に回収す
る。
【００５７】この粒状体回収体23により粒状体循環機構
31の粒状体容器32に回収された余分な粒状体15aは、さ
らに、粒状体循環機構31の管状に形成された静電リニア
モータ33の静電気力で、供給側の粒状体投入器34に循環
される。
【００５８】静電リニアモータ33は、微細な粒状体15a
を、マスク14上と同様に移動電界により推移する静電気
力で粒状体供給側へ円滑に返送する。
【００５９】その循環の際、管状の静電リニアモータ33
内が、ノズル35から吹込まれた不活性ガスで満たされ、
その不活性ガス中で移動する粒状体15aの酸化を防止で
きるとともに、粒状体15aに付着した異物を、対向する
ノズル35から噴出する不活性ガスの吹込圧により除去す
る。
【００６０】特に、粒状体15aが、粒状体搭載部材13の
粒状体搭載部16に搭載されるはんだボール、はんだ粉末
などのバンプ形成材料である場合は、酸化防止および異
物除去の効果が顕著になり、品質を向上できる。
【００６１】以上のように、粒状体15の回収および再供
給を粒状体循環機構31により自動的かつ連続的にでき、
手動で循環させる手間を省略できるとともに、粒状体回
収体23で回収した余分な粒状体15を粒状体循環機構31に
より直ちに粒状体供給体22に戻すから、従来より少量の
粒状体15を循環供給すれば良く、予め大量の粒状体を供
給元に蓄えて用意しておく必要がなく、さらに、これに
より、回収後の粒状体15をリサイクルして再供給する割
合が下がるため、その分、粒状体15の品質劣化が抑えら
れる。
【００６２】また、粒状体供給体22から一定の粒状体収
容間隔を保ちながらマスク14上を粒状体供給体22と一体
的に移動する粒状体回収体23は、粒状体搭載部材13に搭
載されなかったマスク14上の余分な粒状体15を、マスク
14上の広範囲に拡散させることなく限られた範囲内で静
電気力により直ちに回収するから、異物の混入などによ
る粒状体15の品質劣化が防止され、回収後の粒状体15を
リサイクルして再使用する場合に有利である。
【００６３】なお、粒状体15が、半導体ウエハの電極に
搭載されるはんだボール、はんだ粉末などの微細なバン
プ形成材料である場合は、粒状体搭載部16に予め塗布さ
れた接着効果のある揮発性の材料によりバンプ形成材料
が固定される。
【００６４】このバンプ形成材料搭載後の半導体ウエハ
をリフロー炉内に搬入して、リフロー加熱することによ
り、半導体ウエハの各電極上で溶融されたバンプ形成材
料は、はんだバンプを形成する。
【００６５】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、粒状体移
送手段は、マスク上に間隙を維持して移動しながら、粒
状体を静電気力により非接触で移送し、粒状体に負荷を
かけないから、マスクの位置決め孔に粒状体を介して粒
状体移送手段が引掛かることもなく、粒状体移送手段は
円滑に移動しながら、粒状体を粒状体搭載部材の所定位
置に確実に搭載でき、かつ、粒状体移送手段は、マスク
上に供給された複数の粒状体を静電気力により限られた
領域内に保ちながら移送しつつマスクの各位置決め孔に
落下させるから、従来より少量の粒状体でも、高密度に
集められた状態でマスクの各位置決め孔に効率良く供給
できる。
【００６６】請求項２記載の発明によれば、粒状体供給
体から一定の粒状体収容間隔を保ちながらマスク上を粒
状体供給体と一体的に移動する粒状体回収体は、粒状体
搭載部材に搭載されなかったマスク上の余分な粒状体
を、マスク上の広範囲に拡散させることなく限られた範
囲内で静電気力により直ちに回収するから、異物の混入
などによる粒状体の品質劣化を防止でき、回収後の粒状
体をリサイクルして再使用する場合に有利である。
【００６７】請求項３記載の発明によれば、粒状体の回
収および再供給を粒状体循環機構により自動的かつ連続
的にでき、手動で循環させる手間を省略できるととも
に、粒状体回収体で回収した余分な粒状体を粒状体循環
機構により直ちに粒状体供給体に戻すから、従来より少
量の粒状体を循環供給すれば良く、予め大量の粒状体を
供給元に蓄えて用意しておく無駄を防止でき、さらに、
これにより、回収後の粒状体をリサイクルして再供給す
る割合が下がるため、その分、粒状体の品質劣化を抑え
ることができる。
【００６８】請求項４記載の発明によれば、下降傾斜さ
れたマスクおよび粒状体搭載部材により、粒状体の自重
による自然落下力を利用して、粒状体を円滑に移動させ
ることができ、ひいては粒状体移送手段の引掛かりを防
止できるとともに、粒状体を容易に回収できる。
【００６９】請求項５記載の発明によれば、加振器から
マスクに与えられた振動を利用して、静電気や湿気など
でマスクに付着した粒状体に振動を与えて、マスク上で
の粒状体の円滑な移動および位置決め孔への落下を容易
にでき、ひいては粒状体移送手段の引掛かりを防止でき
る。
【００７０】請求項６記載の発明によれば、推移する静
電気力により粒状体を移送する静電リニアモータを内蔵
したマスクにより、マスク上での粒状体の円滑な移動を
助けることができ、ひいては粒状体移送手段の引掛かり
を防止できるとともに、粒状体を容易に回収できる。
【００７１】請求項７記載の発明によれば、粒状体を、
粒状体供給体の静電リニアモータによりマスク上に円滑
に供給でき、また、粒状体搭載部材に搭載されなかった
マスク上の余分な粒状体を、粒状体回収体の静電リニア
モータにより円滑に回収できるから、粒状体供給体と粒
状体回収体との間の限られた領域内に常に適当数の粒状
体を保つことができる。
【００７２】請求項８記載の発明によれば、粒状体供給
体からマスク上に粒状体を供給する際に、粒状体に帯電
している静電気を除電手段で除去できるから、帯電した
粒状体が相互にまたは他の部材に付着しやすくなる問題
を解消できる。
【００７３】請求項９記載の発明によれば、粒状体移送
手段は、マスク上に間隙を維持して移動しながら、バン
プ形成材料を静電気力により非接触で移送し、バンプ形
成材料に負荷をかけないから、マスクの位置決め孔にバ
ンプ形成材料を介して粒状体移送手段が引掛かることも
なく、粒状体移送手段は円滑に移動しながら、マスクの
位置決め孔を通してバンプ形成材料を半導体ウエハの電
極上に確実に搭載でき、かつ、粒状体移送手段は、マス
ク上に供給された複数のバンプ形成材料を静電気力によ
り限られた領域内に保ちながら移送しつつマスクの各位
置決め孔に落下させるから、従来より少量のバンプ形成
材料でも、高密度に集められた状態でマスクの各位置決
め孔に効率良く供給できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る粒状体搭載装置の一実施の形態を
示す断面図である。
【図２】同上搭載装置の要部を拡大した断面図である。
【図３】同上搭載装置のマスクの断面図である。
【図４】同上搭載装置の粒状体循環機構の断面図であ
る。
【符号の説明】
13 粒状体搭載部材（粒状体搭載部材） 14 マスク 15 粒状体（バンプ形成材料） 16 粒状体搭載部（粒状体搭載部） 17 位置決め孔 18 加振器 19，20 間隙 21 粒状体移送手段 22 粒状体供給体 23 粒状体回収体 30 除電手段 31 粒状体循環機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小野崎 純一 東京都練馬区東大泉一丁目19番43号 株式 会社タムラ製作所内 (72)発明者 鹿野 快男 東京都北区浮間４−26−１−103 Ｆターム(参考） 5F044 QQ04

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 粒状体搭載部材の上側に配置され粒状体
    搭載部材の複数の粒状体搭載部と対応する位置に複数の
    位置決め孔が設けられ供給された粒状体を各位置決め孔
    にて各粒状体搭載部上に搭載するマスクと、 マスク上に間隙を維持して移動しマスク上に供給された
    複数の粒状体を静電気力により限られた領域内に保ちな
    がら移送しつつマスクの各位置決め孔に落下させる粒状
    体移送手段とを具備したことを特徴とする粒状体搭載装
    置。
  2. 【請求項２】 粒状体移送手段は、 マスクの位置決め孔で必要とされる量より多くの粒状体
    をマスク上に供給する粒状体供給体と、 粒状体供給体から一定の粒状体収容間隔を保ちながらマ
    スク上を粒状体供給体と一体的に移動しつつマスクの位
    置決め孔で粒状体搭載部材に搭載されなかったマスク上
    の粒状体を静電気力により回収する粒状体回収体とを具
    備したことを特徴とする請求項１記載の粒状体搭載装
    置。
  3. 【請求項３】 推移する静電気力で粒状体を粒状体回収
    体から粒状体供給体に戻す粒状体循環機構を具備したこ
    とを特徴とする請求項２記載の粒状体搭載装置。
  4. 【請求項４】 マスクおよび粒状体搭載部材は、粒状体
    移送手段の移動方向に向かって下降傾斜されたことを特
    徴とする請求項１乃至３のいずれか記載の粒状体搭載装
    置。
  5. 【請求項５】 マスクに振動を与える加振器を具備した
    ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載の粒状
    体搭載装置。
  6. 【請求項６】 マスクは、推移する静電気力により粒状
    体を移送する静電リニアモータを内蔵したことを特徴と
    する請求項１乃至５のいずれか記載の粒状体搭載装置。
  7. 【請求項７】 粒状体供給体は、粒状体をマスク上に供
    給する方向に推移する静電気力により粒状体を移送する
    静電リニアモータを内蔵し、 粒状体回収体は、粒状体をマスク上から回収する方向に
    推移する静電気力により粒状体を移送する静電リニアモ
    ータを内蔵したことを特徴とする請求項２乃至６のいず
    れか記載の粒状体搭載装置。
  8. 【請求項８】 粒状体供給体の下端部に設けられ粒状体
    に帯電した静電気を除去する除電手段を具備したことを
    特徴とする請求項２乃至７のいずれか記載の粒状体搭載
    装置。
  9. 【請求項９】 粒状体は、バンプ形成材料であり、 粒状体搭載部材は、半導体ウエハであり、 粒状体搭載部は、半導体ウエハの電極であることを特徴
    とする請求項１乃至８のいずれか記載の粒状体搭載装
    置。
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