JP2017034188A - 基板処理装置および処理液吐出方法 - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 407
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 307
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 136
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 32
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 20
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 234
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 32
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 72
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 239000002585 base Substances 0.000 description 5
- 239000008155 medical solution Substances 0.000 description 4
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Natural products N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- JEGUKCSWCFPDGT-UHFFFAOYSA-N h2o hydrate Chemical compound O.O JEGUKCSWCFPDGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKAGJZJALZXOOV-UHFFFAOYSA-N hydrate;hydrochloride Chemical compound O.Cl DKAGJZJALZXOOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
また、開閉バルブが閉じられるときも同様の理由により、パーティクルが開閉バルブの内部に発生する場合がある。開閉バルブが完全に閉じられる前に発生したパーティクルは、処理液と共に処理液ノズルに供給される場合がある。また、パーティクルが、開閉バルブ内に残留し、開閉バルブが再び開かれたときに処理液と共に処理液ノズルに供給される場合がある。
そこで、本発明の目的は、開閉バルブ内で発生したパーティクルを含む処理液が基板に供給されることを確実に防止できる基板処理装置および処理液吐出方法を提供することである。
したがって、吐出停止ステップおよび処理液吐出ステップでは、開閉バルブを開閉することなく、処理液ノズルからの処理液を吐出停止および吐出再開を行う。開閉バルブの開閉がないので、吐出停止ステップおよび処理液吐出ステップにおいて、開閉バルブ内における新たなパーティクルの発生はない。
請求項2に記載の発明は、前記基板処理装置は、前記処理液ノズルから吐出される処理液を前記基板の上面に供給する処理位置と、前記処理液ノズルから吐出される処理液を排液するためのプリディスペンス位置との間で、前記処理液ノズルを移動させるための処理液ノズル移動ユニットをさらに含み、前記制御ユニットによって実行される前記プリディスペンスステップは、前記処理液ノズルを前記プリディスペンス位置に配置した状態で前記処理液ノズルから処理液を吐出するステップを含み、前記制御ユニットは、前記処理液ノズルからの処理液吐出が停止されている状態で、前記処理液ノズル移動ユニットを制御して、前記処理液ノズルを前記プリディスペンス位置から前記処理位置に移動させるノズル移動ステップをさらに実行し、前記制御ユニットによって実行される前記処理液吐出ステップは、前記処理液ノズルを前記処理液に配置した状態で前記処理液ノズルから処理液を吐出するステップを含む、請求項1に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、制御ユニットは、処理液配管に供給される処理液を分岐位置から分岐配管に導くように切換えユニットを制御することにより、開閉バルブを開状態に保持したまま、処理液ノズルからの処理液の吐出を停止することができる。
請求項3に記載の発明は、前記処理液ノズルの前記プリディスペンス位置は、平面視で、前記基板の側方に配置されている、請求項2に記載の基板処理装置である。
一方、プリディスペンスステップおよび処理液吐出ステップにおいて、制御ユニットは圧力損失変更ユニットを小圧力損失状態にする。そのため、下流側部分を液体が流通するのに要する圧力損失が小さくなる。その結果、処理液配管に供給される処理液は、分岐位置から下流側部分に進入するように促される。
一方、プリディスペンスステップおよび処理液吐出ステップにおいて、制御ユニットは開度調整バルブを高開度状態にする。これにより、処理液の下流側部分の流通に要する圧力損失が小さくなるから、その結果、処理液配管に供給される処理液は、分岐位置から下流側部分に進入するように促される。
一方、プリディスペンスステップおよび処理液吐出ステップにおいて、制御ユニットは分岐配管バルブを閉じる。したがって、処理液配管に供給される処理液は、分岐位置から分岐配管への流入が困難になり、下流側部分への進入が促される。
この構成によれば、内部でパーティクルが発生する可能性がない開度調整バルブが、開閉バルブよりも処理液ノズル側に配置されている。すなわち、処理液配管において開閉バルブと処理液ノズルとの間に開度調整バルブが配置されている。そのため、開閉バルブの内部でパーティクルが発生した場合であっても、そのパーティクルの処理液ノズルへのダイレクトな供給が阻害される。これにより、パーティクルが処理液ノズルに供給されるのを抑制できる。
この構成によれば、開閉バルブを分岐位置よりも下流側に配置するので、開閉バルブの内部で発生したパーティクルが分岐配管に流入するのを確実に防止できる。これにより、分岐配管を流通する処理液を清浄に保つことができる。
この構成によれば、下流側部分の一部に高位置部分を設けることにより、高位置部分の高低差による処理液の水頭圧による圧力損失がさらに生じる。下流側部分に供給される処理液の供給圧が、高位置部分の高低差による処理液の水頭圧を含んだ圧力損失を下回ると、分岐位置と高位置部分との高低差を処理液が乗り越えることができない。一方、下流側部分に供給される処理液の供給圧が、高位置部分の高低差による処理液の水頭圧を含んだ圧力損失を上回ると、分岐位置と高位置部分との高低差を処理液が乗り越えることができ、処理液ノズルから処理液が吐出される。
この構成によれば、分岐配管を流通する処理液を、循環配管に戻すことができる。
図1は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置1を水平方向に見た模式図である。
基板処理装置1は、半導体ウエハなどの円板状の基板Wを一枚ずつ処理する枚葉式の装置である。基板処理装置1は、処理液を用いて基板Wを処理する処理ユニット2と、処理ユニット2に基板Wを搬送する搬送ロボット(図示しない)と、基板処理装置1を制御する制御ユニット3とを含む。また、処理ユニット2に対して、薬液供給ユニット(処理液供給ユニット)101からの薬液が供給されるようになっている。
スピンチャック5は、水平な姿勢で保持された円板状のスピンベース6と、スピンベース6の上方で基板Wを水平な姿勢で保持する複数の挟持ピン7と、スピンベース6の中央部から下方に延びるスピン軸8と、スピン軸8を回転させることにより基板Wおよびスピンベース6を回転軸線A1まわりに回転させるスピンモータ9とを含む。スピンチャック5は、複数の挟持ピン7を基板Wの周端面に接触させる挟持式のチャックに限らず、非デバイス形成面である基板Wの裏面(下面)をスピンベース6の上面に吸着させることにより基板Wを水平に保持するバキューム式のチャックであってもよい。
薬液配管16は、下流側部分22の一部に、他の部分よりも一段、上下方向に高い高位置部分25を含む。図1では、下流側部分22は、分岐位置20側に設定された低位置部分26と、薬液ノズル13側に設定された高位置部分25と、低位置部分26と高位置部分25とを上下に接続する上下接続部分27と、高位置部分25と薬液ノズルとを接続する先端部分28とを含む。
低位置部分26は、分岐位置20とほぼ同じ上下高さを保ちながら、ほぼ水平に沿って延びている。この実施形態では、薬液ノズル13は、下流側部分22のうち低位置部分26に介装されている。
先端部分28は、図1に示すように鉛直に沿って延びていてもよいし、鉛直方向に対して傾斜する方向に沿っていてもよい。
吐出バルブ18は、たとえばダイヤフラムバルブである。吐出バルブ18は、第1の流路32が形成されたバルブ本体を含む。バルブ本体は、液体が流入する第1の流入口31と、第1の流入口31に流入した液体を吐出する第1の流出口33と、第1の流入口31と第1の流出口33とを接続する第1の流路32と、第1の流路32を取り囲む環状の第1の弁座34と、第1の流路32内に配置された第1の弁体35とを含む。第1の弁体35は、樹脂(たとえばPTFE)やゴムなどの弾性材料で形成されたダイヤフラムである。低位置部分26(薬液配管16)は、薬液供給ユニット101からの薬液を第1の流入口31に導く上流配管26aと、第1の流出口33からの薬液を薬液ノズル13に薬液を導く下流配管26bとを含む。
第1の弁体35と第1の弁座34とが擦れ合うときに吐出バルブ18の内部にパーティクルが発生することがある。したがって、パーティクルは、接触状態にある第1の弁体35が第1の弁座34から離れるときや、第1の弁体35が第1の弁座34に接触するときに吐出バルブ18の内部に発生することがある。
スローリークバルブ17は、たとえばダイヤフラムバルブである。スローリークバルブ17は、第2の流路42が形成されたバルブ本体を含む。バルブ本体は、液体が流入する第2の流入口41と、第2の流入口41に流入した液体を吐出する第2の流出口43と、第2の流入口41と第2の流出口43とを接続する第2の流路42と、第2の流路42を取り囲む環状の第2の弁座44と、第2の流路42内に配置された第2の弁体45とを含む。第2の弁体45は、樹脂(たとえばPTFE)やゴムなどの弾性材料で形成されたダイヤフラムである。上下接続部分27(薬液配管16)は、薬液供給ユニット101からの薬液を第2の流入口41に導く上流配管27aと、第2の流出口43からの薬液を薬液ノズル13に薬液を導く下流配管27bとを含む。
スローリークバルブ17の開状態および一部開状態のいずれでも、第2の弁体45が第2の弁座44から離れる。つまり、第2の弁体45と第2の弁座44とが擦れ合うことがない。そのため、スローリークバルブ17の内部には、パーティクルは発生しない。
図3は、プリディスペンスステップT1から薬液吐出ステップT4に至る、吐出バルブ18、スローリークバルブ17および分岐配管バルブ24の状態を示すタイムチャートである。図4Aは、プリディスペンスステップT1の薬液の流れを示す模式図である。図4Bは、吐出停止ステップT2の薬液の流れを示す模式図である。図4Cは、ノズル移動ステップT3の薬液の流れを示す模式図である。図4Dは、薬液吐出ステップT4の薬液の流れを示す模式図である。図5は、下流側部分22内の薬液に作用する圧力を説明するための図である。
下流側部分22の低位置部分26における薬液の供給圧PDが、上下接続部分27の上端一杯まで薬液が存在するときの最大水頭圧PMHと、スローリークバルブ17を通過する際の圧力損失PSとの合計圧力を上回れば、低位置部分26からの薬液は、高位置部分25を乗り越えて薬液ノズル13に供給される。
前述のように、第2の弁座44と第2の弁体45との間を流通する液体において発生する圧力損失PSは、スローリークバルブ17の一部開状態の方が、スローリークバルブ17の開状態と比較して、著しく大きい。そのため、開状態にあるスローリークバルブ17の圧力損失PSを、当該圧力損失PSと最大水頭圧PMHとの合計圧力が、低位置部分26における薬液の供給圧PDよりも大きくなるように設定しておけば、吐出バルブ18を開状態のまま保っていても、低位置部分26からの薬液は高位置部分25を乗り越えることはできず、この場合、薬液ノズル13から薬液が吐出されることはない。
基板処理装置1の処理例では、薬液の吐出に先立ち、制御ユニット3は、プリディスペンス位置P1にある薬液ノズル13から薬液を吐出するプリディスペンスステップT1と、薬液ノズル13からの薬液の吐出を停止させる吐出停止ステップT2と、薬液ノズル13をプリディスペンス位置P1から処理位置P2に移動させるノズル移動ステップT3とを実行する。その後、薬液ノズル13から基板Wに向けて薬液を吐出する薬液吐出ステップ(処理液吐出ステップ)T4を実行する。
したがって、吐出停止ステップT2および薬液吐出ステップT4では、吐出バルブ18を開閉することなく、薬液ノズル13からの薬液を吐出停止および吐出再開を行う。吐出バルブ18の開閉がないので、吐出停止ステップT2および薬液吐出ステップT4において、吐出バルブ18内における新たなパーティクルの発生はない。
また、吐出停止ステップT2において、制御ユニット3が、吐出バルブ18を開いたままの状態で、分岐配管バルブ24を開きかつスローリークバルブ17を一部開状態とすることにより、薬液ノズル13からの薬液の吐出を停止する。すなわち、吐出バルブ18を開状態に保持したままの状態で、薬液ノズル13からの薬液の吐出を停止することができる。したがって、吐出バルブ18の開状態を維持しながらかつ薬液ノズル13からの薬液の吐出停止が保たれながら、プリディスペンス位置P1から処理位置P2に薬液ノズル13を移動させることができる。これにより、吐出バルブ18の開状態を維持しながら薬液ノズル13を移動させても、基板Wの周辺部材や基板Wを薬液によって汚染するおそれがない。
たとえば前述の実施形態では、吐出バルブ18およびスローリークバルブ17に関し、エアシリンダ36,46によって弁体(ダイヤフラム)35,45の形態を変化させる場合について説明した。しかしながら、吐出バルブ18およびスローリークバルブ17の少なくとも一方において、電動モータなど、エアシリンダ以外のアクチュエータによって第1の弁体35の形態を変化させてもよい。
また、前述の説明では、吐出バルブ18を低位置部分26に介装し、スローリークバルブ17を上下接続部分27に介装すると説明したが、吐出バルブ18およびスローリークバルブ17の双方を低位置部分26に介装してもよいし、吐出バルブ18およびスローリークバルブ17の双方を上下接続部分27に介装してもよい。
さらに、図7に示すように、分岐位置220が、薬液配管16においてスローリークバルブ17よりも下流側に設定されていてもよい。
また、分岐配管21,221の下流側に吸引ユニット(図示しない)が配置され、吸引ユニットが発生する吸引力によって、薬液配管16内の薬液が分岐配管21,221を介して吸引可能な構成が採用されていてもよい。すなわち、分岐配管21,221が吸引配管で構成されていてもよい。この場合、吸引ユニットが駆動されると、吸引ユニットの吸引力が、吸引配管を介して薬液配管16の内部に伝達され、薬液配管16内の薬液が、吸引配管を介して吸引ユニットに吸引される。吸引ユニットは、吸引ポンプであってもよいし、吸引力を発生するエジェクタとエジェクタへの気体の供給および供給停止を切り替える気体バルブとを組み合わせた構成であってもよい。
また、基板処理装置1が複数の処理ユニット2を含んでいる場合には、薬液供給ユニット101は、複数の処理ユニット2に共通に薬液を供給するものであってもよい。この場合、各処理ユニット2に含まれる薬液配管16が、循環配管103に分岐接続されており、また、各処理ユニット2に含まれる分岐配管21も、循環配管103に分岐接続されている。
また、前述の実施形態では、薬液ノズル13が基板Wの上面に向けて薬液を吐出する場合について説明したが、薬液ノズル13は、基板Wの下面に向けて薬液を吐出してもよい。
また、前述の全ての変形例のうちの二つ以上が組み合わされてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
3 :制御ユニット
5 :スピンチャック(基板保持ユニット)
13 :薬液ノズル(処理液ノズル)
16 :薬液配管(処理液配管)
17 :スローリークバルブ(圧力損失変更ユニット、開度調整バルブ)
18 :吐出バルブ(開閉バルブ)
20 :分岐位置
21 :分岐配管
22 :下流側部分
24 :分岐配管バルブ
25 :高位置部分
101 :薬液供給ユニット(処理液供給ユニット)
103 :循環配管
217 :スローリークバルブ(圧力損失変更ユニット、開度調整バルブ)
218 :吐出バルブ(開閉バルブ)
220 :分岐位置
221 :分岐配管
Claims (11)
- 基板を保持するための基板保持ユニットと、
前記基板を処理するための処理液を吐出する処理液ノズルと、
前記処理液ノズルに接続され、処理液供給ユニットからの処理液を前記処理液ノズルに供給する処理液配管と、
前記処理液配管を開閉するための開閉バルブと、
前記処理液ノズルと前記開閉バルブとの間に設定された分岐位置で前記処理液配管に分岐接続された分岐配管と、
前記処理液供給ユニットから前記処理液配管に供給された処理液を、前記処理液配管における分岐位置よりも下流側の下流側部分に導く状態と前記分岐配管に導く状態との間で切り換えるための切換えユニットと、
前記開閉バルブおよび前記切換えユニットを制御して、前記開閉バルブを開きかつ前記処理液配管に供給される処理液を前記分岐位置から前記下流側部分に導くことにより、前記処理液ノズルからプリディスペンスのために処理液を吐出するプリディスペンスステップと、前記開閉バルブを開状態に保持したままの状態で、前記処理液配管に供給される処理液を、前記分岐位置から前記分岐配管に導くことにより、前記処理液ノズルからの処理液の吐出を停止させる吐出停止ステップと、前記開閉バルブを開状態に保持したままの状態で、前記処理液配管に供給される処理液を前記分岐位置から前記下流側部分に導くことにより、前記処理液ノズルから前記基板に向けて処理液を吐出する処理液吐出ステップとを実行する制御ユニットとを含む、基板処理装置。 - 前記基板処理装置は、前記処理液ノズルから吐出される処理液を前記基板の上面に供給する処理位置と、前記処理液ノズルから吐出される処理液を排液するためのプリディスペンス位置との間で、前記処理液ノズルを移動させるための処理液ノズル移動ユニットをさらに含み、
前記制御ユニットによって実行される前記プリディスペンスステップは、前記処理液ノズルを前記プリディスペンス位置に配置した状態で前記処理液ノズルから処理液を吐出するステップを含み、
前記制御ユニットは、前記処理液ノズルからの処理液吐出が停止されている状態で、前記処理液ノズル移動ユニットを制御して、前記処理液ノズルを前記プリディスペンス位置から前記処理位置に移動させるノズル移動ステップをさらに実行し、
前記制御ユニットによって実行される前記処理液吐出ステップは、前記処理液ノズルを前記処理液に配置した状態で前記処理液ノズルから処理液を吐出するステップを含む、請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記処理液ノズルの前記プリディスペンス位置は、平面視で、前記基板保持ユニットの側方に配置されている、請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記切換えユニットは、前記下流側部分を液体が流通するのに要する圧力損失を変更する圧力損失変更ユニットを含み、
前記制御ユニットは、前記吐出停止ステップにおいて、前記圧力損失変更ユニットをその圧力損失が相対的に大きい大圧力損失状態にし、かつ前記プリディスペンスステップおよび前記処理液吐出ステップにおいて、前記圧力損失変更ユニットをその圧力損失が相対的に小さい小圧力損失状態にする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記圧力損失変更ユニットは、前記下流側部分の開度を調整するための開度調整バルブを含み、
前記開度調整バルブをその開度が相対的に低い低開度状態とすることにより前記大圧力損失状態を実現し、かつ前記開度調整バルブをその開度が相対的に高い高開度状態とすることにより前記小圧力損失状態を実現する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記切換えユニットは、前記分岐配管を開閉するための分岐配管バルブを含み、
前記制御ユニットは、前記吐出停止ステップにおいて前記分岐配管バルブを開き、かつ前記プリディスペンスステップおよび前記処理液吐出ステップにおいて前記分岐配管バルブを閉じる、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記開度調整バルブは、前記処理液配管において前記開閉バルブよりも下流側に配置されている、請求項6に記載の基板処理装置。
- 前記分岐位置は、前記処理液配管において前記開閉バルブの介装位置よりも上流側に配置されている、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記下流側部分は、前記分岐位置よりも上下方向に高い高位置部分を一部に有する、請求項1〜8のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記処理液供給ユニットは、処理液が循環する循環配管を含み、
前記処理液配管の上流端が前記循環配管に接続され、かつ前記分岐配管の下流端が前記循環配管に接続されている、請求項1〜9のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 処理液ノズルから基板に向けて処理液を吐出する処理液吐出方法であって、
前記処理液ノズルに処理液を供給する処理液配管に供給される処理液を、前記処理液ノズルと前記処理液配管を開閉するための開閉バルブとの間に設定された分岐位置から、前記処理液配管における前記分岐位置よりも下流側の下流側部分に導き、かつ前記開閉バルブを開くことにより、前記処理液ノズルからプリディスペンスのために処理液を吐出するプリディスペンスステップと、
前記開閉バルブを開状態に保持したままの状態で、前記処理液配管に供給される処理液を、前記分岐位置から、当該分岐位置において前記処理液配管に分岐接続された分岐配管に導くことにより、前記処理液ノズルからの処理液の吐出を停止させる吐出停止ステップと、
前記開閉バルブを開状態に保持したままの状態で、前記処理液配管に供給される処理液を前記分岐位置から前記下流側部分に導くことにより、前記処理液ノズルから前記基板に向けて処理液を吐出する処理液吐出ステップとを含む、処理液吐出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015155199A JP6624599B2 (ja) | 2015-08-05 | 2015-08-05 | 基板処理装置および処理液吐出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2015155199A JP6624599B2 (ja) | 2015-08-05 | 2015-08-05 | 基板処理装置および処理液吐出方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017034188A true JP2017034188A (ja) | 2017-02-09 |
JP2017034188A5 JP2017034188A5 (ja) | 2018-09-13 |
JP6624599B2 JP6624599B2 (ja) | 2019-12-25 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015155199A Active JP6624599B2 (ja) | 2015-08-05 | 2015-08-05 | 基板処理装置および処理液吐出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6624599B2 (ja) |
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