JP2017023956A5 - - Google Patents
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- 239000011344 liquid material Substances 0.000 claims description 7
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- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
Description
上記の液体材料吐出装置において、前記リーク機構が、前記制御装置により流量を可変できる流量制御弁を備えて構成されることを特徴としてもよい。
上記の液体材料吐出装置において、前記圧力制御弁が、前記制御装置により動作を制御される電空レギュレータであることを特徴としてもよい。
上記の液体材料吐出装置において、さらに、前記圧力制御弁、前記吐出弁、前記リーク機構、および、前記制御装置を収納する筐体を備え、前記筐体が、前記圧縮気体源と連通する配管が着脱される第一の継手、前記貯留容器と連通する配管が着脱される第二の継手を備えることを特徴としてもよい。
上記の液体材料吐出装置において、前記リーク機構が、前記第三の配管の終端に接続された負荷増強用バキューム機構を備えることを特徴としてもよい。
上記の液体材料吐出装置において、前記吐出弁内の流路に負圧を生じさせる吐出弁用バキューム機構を備えることを特徴としてもよい。
上記の液体材料吐出装置において、前記第一の配管に設けられたバッファタンクを備えることを特徴としてもよい。
上記の液体材料吐出装置において、前記圧力制御弁が、前記制御装置により動作を制御される電空レギュレータであることを特徴としてもよい。
上記の液体材料吐出装置において、さらに、前記圧力制御弁、前記吐出弁、前記リーク機構、および、前記制御装置を収納する筐体を備え、前記筐体が、前記圧縮気体源と連通する配管が着脱される第一の継手、前記貯留容器と連通する配管が着脱される第二の継手を備えることを特徴としてもよい。
上記の液体材料吐出装置において、前記リーク機構が、前記第三の配管の終端に接続された負荷増強用バキューム機構を備えることを特徴としてもよい。
上記の液体材料吐出装置において、前記吐出弁内の流路に負圧を生じさせる吐出弁用バキューム機構を備えることを特徴としてもよい。
上記の液体材料吐出装置において、前記第一の配管に設けられたバッファタンクを備えることを特徴としてもよい。
Claims (1)
- さらに、前記圧力制御弁、前記吐出弁、前記リーク機構、および、前記制御装置を収納する筐体を備え、
前記筐体が、前記圧縮気体源と連通する配管が着脱される第一の継手、前記貯留容器と連通する配管が着脱される第二の継手を備えることを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
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KR102400123B1 (ko) * | 2020-08-21 | 2022-05-19 | 주식회사 지오테크놀로지 | 디스펜서 및 이를 통한 시린지 내 액체잔량 정밀 산출 방법 |
CN112481603B (zh) * | 2020-11-16 | 2023-04-28 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 一种液态源存储设备 |
CN115672597A (zh) * | 2021-07-27 | 2023-02-03 | 长鑫存储技术有限公司 | 一种喷涂装置及喷涂方法 |
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KR102583100B1 (ko) * | 2023-03-29 | 2023-09-27 | 국방과학연구소 | 전자 마이크로 밸브를 활용한 초미량 액적 디스펜서 장치 및 액적 디스펜서 장치를 활용한 액적 적하 방법 |
Family Cites Families (50)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2246594A (en) * | 1937-04-29 | 1941-06-24 | Celanese Corp | Supplying liquids at constant rates |
US3057517A (en) * | 1960-02-19 | 1962-10-09 | G M Warehime | Apparatus and method for dispensing liquids |
US3250293A (en) * | 1963-10-17 | 1966-05-10 | American Brake Shoe Co | Electric and fluid pressure operated valve mechanism |
US3933285A (en) * | 1973-12-03 | 1976-01-20 | The Gyromat Corporation | Electrostatic paint spraying system with paint line voltage block |
JPS5460132U (ja) | 1977-10-04 | 1979-04-25 | ||
DE2849265C2 (de) * | 1978-11-14 | 1982-04-29 | Gema AG Apparatebau, 9015 St. Gallen | Druckregler |
US4634027A (en) * | 1985-01-04 | 1987-01-06 | Mvm Valve Co., Inc. | Liquid dispensing apparatus and an anti-drip valve cartridge therefor |
US4759477A (en) * | 1985-06-17 | 1988-07-26 | Corporation Loctite | Variable flow rate dispensing valve assembly |
DE3728054A1 (de) * | 1987-08-20 | 1989-03-02 | Klatt Helmuth | Verfahren und vorrichtung zum dosieren und auftragen von fluessigen oder pastoesen medien auf einen gegenstand |
JPH01245120A (ja) * | 1988-02-09 | 1989-09-29 | Westofen Gmbh | 流動可能な媒体を計量する方法及び装置 |
US5016665A (en) * | 1990-03-07 | 1991-05-21 | Nordson Corporation | Method and apparatus of isolating pneumatic panels in liquid application systems |
JPH03290715A (ja) * | 1990-04-07 | 1991-12-20 | Iwashita Eng Kk | 圧力センサを有する定量吐出装置の圧力変更型吐出量安定ディスペンス制御装置 |
KR940009257B1 (ko) * | 1990-07-10 | 1994-10-06 | 무사시엔지니어링 가부시기가이샤 | 액체 정량 토출장치 |
CA2057948A1 (en) * | 1991-01-11 | 1992-07-12 | James W. Schmitkons | Method and apparatus for metering flow of a two-component dispensing system |
US5226575A (en) * | 1991-11-21 | 1993-07-13 | Scott Faust | Pneumatic mortar dispenser with flex release |
US5341990A (en) * | 1993-06-11 | 1994-08-30 | Nordson Corporation | Apparatus and method for dispensing electrically conductive coating material including a pneumatic/mechanical control |
US5474214A (en) * | 1994-06-15 | 1995-12-12 | King Cho Machinery Industrial Co., Ltd. | Pneumatically controlled air grease gun |
JP2656013B2 (ja) * | 1995-09-25 | 1997-09-24 | 中外炉工業株式会社 | ダイコータ塗料供給装置 |
JPH09181432A (ja) * | 1995-12-26 | 1997-07-11 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品実装システムにおけるディスペンサ |
US5863146A (en) * | 1996-06-06 | 1999-01-26 | Apla-Tech, Inc. | Apparatus for applying joint compound |
US6016937A (en) * | 1998-04-23 | 2000-01-25 | Clay; Charles L. | Dispenser apparatus |
US6715506B1 (en) * | 1998-12-28 | 2004-04-06 | Musashi Engineering, Inc. | Method and device for injecting a fixed quantity of liquid |
WO2001024605A1 (en) * | 1999-10-04 | 2001-04-12 | Textron Inc. | Method and system for high pressure liquid injection of turf seed |
US6669051B1 (en) * | 1999-11-09 | 2003-12-30 | Niagara Pump Corporation | High speed beverage dispensing method and apparatus |
US7121287B2 (en) * | 2002-06-28 | 2006-10-17 | Nestec S.A. | Sanitary manifold system and method for hygienically dispensing fluids |
JP4392474B2 (ja) * | 2003-02-21 | 2010-01-06 | 兵神装備株式会社 | 材料供給システム |
CN100543359C (zh) * | 2003-07-25 | 2009-09-23 | 丰田自动车株式会社 | 气体供给装置 |
JP4704710B2 (ja) * | 2004-08-26 | 2011-06-22 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 液体定量吐出装置 |
US7172096B2 (en) * | 2004-11-15 | 2007-02-06 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liquid dispensing system |
JP4789233B2 (ja) * | 2005-01-18 | 2011-10-12 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 液体吐出装置 |
US7617953B2 (en) * | 2005-09-29 | 2009-11-17 | Nordson Corporation | Pneumatic dispensing system with linear actuation and method |
JP2007152165A (ja) * | 2005-12-01 | 2007-06-21 | Oji Paper Co Ltd | 気体パルス吐出装置および微小液滴生成装置 |
US8580117B2 (en) * | 2007-03-20 | 2013-11-12 | Taiwan Semiconductor Manufactuing Company, Ltd. | System and method for replacing resist filter to reduce resist filter-induced wafer defects |
US8220661B2 (en) * | 2008-08-04 | 2012-07-17 | Asm Assembly Automation Ltd | Apparatus for dispensing measured quantities of liquid |
JP2010092406A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Ckd Corp | 流量制御装置 |
US8464902B2 (en) * | 2009-01-09 | 2013-06-18 | Nordson Corporation | Apparatus and method for pulsed dispensing of liquid |
JP5460132B2 (ja) * | 2009-06-03 | 2014-04-02 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 液体定量吐出方法および装置 |
JP5342489B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2013-11-13 | Ckd株式会社 | 薬液供給システム |
JP2012024704A (ja) * | 2010-07-23 | 2012-02-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 液体塗布装置及び液体塗布方法 |
US8608025B2 (en) * | 2010-11-02 | 2013-12-17 | Nordson Corporation | Pneumatic liquid dispensing apparatus and method |
JP5529003B2 (ja) * | 2010-12-28 | 2014-06-25 | キヤノンマシナリー株式会社 | 液体供給装置及び液体供給方法 |
JP5779353B2 (ja) * | 2011-01-19 | 2015-09-16 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 液体材料の塗布方法、塗布装置およびプログラム |
KR101911701B1 (ko) * | 2011-12-28 | 2018-10-26 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법 |
US20130260569A1 (en) * | 2012-03-30 | 2013-10-03 | Lam Research Ag | Apparatus and method for liquid treatment of wafer-shaped articles |
JP2014108414A (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-12 | Nidec Machinery Corp | 液剤吐出装置および液剤吐出方法 |
CN203725295U (zh) * | 2013-01-10 | 2014-07-23 | 日本电产增成株式会社 | 液剂吐出装置 |
TWI496623B (zh) * | 2013-07-09 | 2015-08-21 | All Ring Tech Co Ltd | Method and device for measuring the amount of residual glue in valve |
JP6211328B2 (ja) * | 2013-07-24 | 2017-10-11 | 株式会社Screenホールディングス | 吐出装置および吐出方法 |
US20150155188A1 (en) * | 2013-11-29 | 2015-06-04 | Semes Co., Ltd. | Substrate treating apparatus and method |
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