JP6969250B2 - 吐出ユニット - Google Patents

Description

本発明は、液体を吐出する吐出ユニットに関する。

特許文献１には、吐出ユニットの一例として、塗料を収容するメインタンクと、塗料を吐出する塗装ガンと、メインタンク及び塗装ガンの間で塗料が循環するように両者を接続する第１循環配管と、第１循環配管内の塗料を循環させるポンプと、を備える塗装装置が記載されている。さらに、塗装装置は、ポンプの駆動によって脈動する第１循環配管内の塗料の圧力を平滑化するアキュームレータと、第１循環配管内の塗料の圧力を調整するレギュレータと、を備える。こうして、塗装装置は、第１循環配管内の塗料の圧力変化を抑制し、塗装ガンによる対象物へ塗料の塗布量を均一にしている。

特開２００１−２７６７１６号公報

ところが、上記のような塗装装置において、アキュームレータ及びレギュレータは、ポンプの駆動に伴う第１循環配管内の塗料の圧力変動を完全に抑制できない場合がある。この場合には、塗装ガンによる対象物への塗料の塗布量が不安定となるおそれがある。本発明の目的は、液体を安定に吐出できる吐出ユニットを提供することである。

以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
上記課題を解決する吐出ユニットは、液体供給源から間欠的に供給される液体を貯留する液室と、前記液室に貯留された液体を吐出するノズルと、気体を貯留可能な気室と、前記気室を第１気室及び第２気室に区画するように配置され、前記第１気室及び前記第２気室の圧力差に応じて移動する移動体と、前記第１気室を外気に接続する開放状態と前記第１気室を気体供給源に接続する供給状態とを切り替える第１切替弁と、前記第２気室を外気に接続する前記開放状態と前記第２気室を前記気体供給源に接続する前記供給状態とを切り替える第２切替弁と、を有する吐出部と、前記液室に供給される液体の圧力を検出する圧力検出部と、前記圧力検出部の検出結果に基づいて、前記吐出部を制御する制御部と、を備え、前記移動体は、前記第１切替弁を前記開放状態に切り替え、前記第２切替弁を前記供給状態に切り替えたとき、前記ノズルを塞ぐ閉位置に配置され、前記第１切替弁を前記供給状態に切り替え、前記第２切替弁を前記開放状態に切り替えたとき、前記ノズルを介して前記液室及び外気を接続する開位置に配置され、前記制御部は、前記液室に供給される液体の圧力が、許容圧力範囲に収まっていない場合には、前記吐出部の液体の吐出を制限し、前記移動体を前記閉位置から前記開位置に移動させるとき、前記第１切替弁を前記供給状態に切り替えるタイミングと異なるタイミングで、前記第２切替弁を前記開放状態に切り替える。

上記構成によれば、液体供給源から間欠的に液体が供給されることで、液室に供給される液体の圧力が変動する場合であっても、当該圧力が許容圧力範囲に収まっていなければ、吐出部の液体の吐出が制限される。すなわち、吐出部は、液室に供給される液体の圧力が、液体の吐出に適さない圧力である場合に液体を吐出しない。言い換えれば、吐出部は、液体の吐出に適した圧力である場合に液体を吐出できる。こうして、吐出ユニットは、液体を安定に吐出できる。また、吐出ユニットは、第１切替弁及び第２切替弁を切り替えるだけで、移動体を開位置及び閉位置の間で移動させることができる。すなわち、吐出ユニットは、第１切替弁及び第２切替弁の状態を切り替えるだけで、吐出部から液体を吐出できる。
第１切替弁を開放状態から供給状態に切り替えるタイミングと同じタイミングで第２切替弁を供給状態から開放状態に切り替える場合には、第２気室の圧力が第１気室の圧力よりも高い状態で、第１切替弁及び第２切替弁が切り替えられる。このため、第１切替弁及び第２切替弁を切り替えてから、第２気室の圧力が第１気室の圧力よりも低い状態となるまでの時間が長くなりやすい。すなわち、第１切替弁及び第２切替弁を切り替えてから、移動体が開位置に移動するまでの時間が長くなりやすい。
これに対し、上記構成によれば、第１切替弁と第２切替弁とを異なるタイミングで切り替えるため、先の切替弁の切り替えにより、第１気室と第２気室との圧力差を小さくし、後の切替弁の切り替えにより、移動体の移動を開始できる。すなわち、後の切替弁を切り替えてから、移動体が開位置に移動するまでの時間が短くなりやすい。こうして、吐出ユニットは、第１切替弁及び第２切替弁の切り替えに伴う液体の吐出開始タイミングを制御しやすくなる。

上記吐出ユニットは、前記吐出部における液体の吐出状況を報知する報知部を備え、前記制御部は、前記液室に供給される液体の圧力が、前記許容圧力範囲に収まっていない状況が続く場合には、その旨を前記報知部に報知させることが好ましい。

液室に液体を間欠的に供給する際には、液室に対する液体の供給量が増減するタイミングで、液室に供給される液体の圧力が一時的に許容圧力範囲から外れる場合がある。ただし、この場合には、時間の経過とともに液室に供給される液体の圧力が許容圧力範囲に収まりやすい。この点、上記構成では、液室に供給される圧力が許容圧力範囲に収まっていない状況が続く場合に、その旨が報知部によって報知される。このため、液室に供給される液体の圧力変動が時間経過に伴って早期に解消する場合には、報知部による報知がされない。こうして、吐出ユニットは、報知部に過剰な報知を行わせることを抑制する一方で、必要な報知を行わせることができる。

上記課題を解決する吐出ユニットは、液体供給源から間欠的に供給される液体を貯留する液室と、前記液室に貯留された液体を吐出するノズルと、気体を貯留可能な気室と、前記気室を第１気室及び第２気室に区画するように配置され、前記第１気室及び前記第２気室の圧力差に応じて移動する移動体と、前記第１気室を外気に接続する開放状態と前記第１気室を気体供給源に接続する供給状態とを切り替える第１切替弁と、前記第２気室を外気に接続する前記開放状態と前記第２気室を前記気体供給源に接続する前記供給状態とを切り替える第２切替弁と、を有する吐出部と、前記液室に供給される液体の圧力を検出する圧力検出部と、前記圧力検出部の検出結果に基づいて、前記吐出部を制御する制御部と、を備え、前記移動体は、前記第１切替弁を前記開放状態に切り替え、前記第２切替弁を前記供給状態に切り替えたとき、前記ノズルを塞ぐ閉位置に配置され、前記第１切替弁を前記供給状態に切り替え、前記第２切替弁を前記開放状態に切り替えたとき、前記ノズルを介して前記液室及び外気を接続する開位置に配置され、前記制御部は、前記液室に供給される液体の圧力が、許容圧力範囲に収まっていない場合には、前記吐出部の液体の吐出を制限し、前記移動体を前記開位置から前記閉位置に移動させるとき、前記第１切替弁を前記開放状態に切り替えるタイミングと異なるタイミングで、前記第２切替弁を前記供給状態に切り替える。

上記構成によれば、液体供給源から間欠的に液体が供給されることで、液室に供給される液体の圧力が変動する場合であっても、当該圧力が許容圧力範囲に収まっていなければ、吐出部の液体の吐出が制限される。すなわち、吐出部は、液室に供給される液体の圧力が、液体の吐出に適さない圧力である場合に液体を吐出しない。言い換えれば、吐出部は、液体の吐出に適した圧力である場合に液体を吐出できる。こうして、吐出ユニットは、液体を安定に吐出できる。また、吐出ユニットは、第１切替弁及び第２切替弁を切り替えるだけで、移動体を開位置及び閉位置の間で移動させることができる。すなわち、吐出ユニットは、第１切替弁及び第２切替弁の状態を切り替えるだけで、吐出部から液体を吐出できる。
第１切替弁を供給状態から開放状態に切り替えるタイミングと同じタイミングで第２切替弁を開放状態から供給状態に切り替える場合には、第１気室の圧力が第２気室の圧力よりも高い状態で、第１切替弁及び第２切替弁が切り替えられる。このため、第１切替弁及び第２切替弁を切り替えてから、第１気室の圧力が第２気室の圧力よりも低い状態となるまでの時間が長くなりやすい。すなわち、第１切替弁及び第２切替弁を切り替えてから、移動体が閉位置に移動するまでの時間が長くなりやすい。

これに対し、上記構成によれば、第１切替弁と第２切替弁とを異なるタイミングで切り替えるため、先の切替弁の切り替えにより、第１気室と第２気室との圧力差を小さくし、後の切替弁の切り替えにより、移動体の移動を開始できる。すなわち、後の切替弁を切り替えてから、移動体が閉位置に移動するまでの時間が短くなりやすい。こうして、吐出ユニットは、第１切替弁及び第２切替弁の切り替えに伴う液体の吐出終了タイミングを制御しやすくなる。

上記課題を解決する吐出ユニットは、液体供給源から間欠的に供給される液体を貯留する液室と、前記液室に貯留された液体を吐出するノズルと、を有する吐出部と、前記液室に供給される液体の圧力を検出する圧力検出部と、前記ノズルの開口の軸線上の位置であって、前記吐出部の液体の吐出方向における直下の位置である第１の位置における物体の有無を検出する第１物体検出部と、前記圧力検出部の検出結果に基づいて、前記吐出部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記液室に供給される液体の圧力が、許容圧力範囲に収まっていない場合には、前記吐出部の液体の吐出を制限し、前記第１物体検出部の検出結果に基づいて、前記吐出部から吐出した液体が前記第１の位置を通過したか否かを判定し、前記吐出部から吐出した液体が前記第１の位置を通過するまでは、前記吐出部の次の液体の吐出を制限する。

上記構成によれば、液体供給源から間欠的に液体が供給されることで、液室に供給される液体の圧力が変動する場合であっても、当該圧力が許容圧力範囲に収まっていなければ、吐出部の液体の吐出が制限される。すなわち、吐出部は、液室に供給される液体の圧力が、液体の吐出に適さない圧力である場合に液体を吐出しない。言い換えれば、吐出部は、液体の吐出に適した圧力である場合に液体を吐出できる。こうして、吐出ユニットは、液体を安定に吐出できる。
吐出部が液体を連続的に吐出する場合において、吐出部が液体を吐出してから次の液体を吐出するまでの期間が短いと、先の液体の吐出が次の液体の吐出に影響を与えるおそれがある。一方、液体を吐出してから次の液体を吐出するまでの期間が長いと、吐出部が単位時間あたりに液体を吐出できる回数が少なくなり、スループットが低下するおそれがある。この点、上記構成によれば、吐出部が吐出した液体がノズル直下の第１の位置を通過するまでは次の液体の吐出が制限され、ノズル直下の第１の位置を通過した後は次の液体の吐出が許可される。このため、吐出部が連続的に液体を吐出する場合において、先の液体の吐出が後の液体の吐出に影響を与えることを抑制しつつ、スループットが低下することを抑制できる。

上記吐出ユニットは、前記ノズルの開口の軸線上の位置であって、前記吐出部の液体の吐出方向における直下の位置である第１の位置における物体の有無を検出する第１物体検出部を備え、前記制御部は、前記第１物体検出部の検出結果に基づいて、前記第１の位置に物体が存在している状況が続いていると判定できる場合には、前記吐出部の液体の吐出を制限することが好ましい。

吐出部が液体を吐出し損なう場合には、ノズルの開口から液体が垂れ下がることがある。この場合には、吐出部は、ノズルの開口から垂れ下がる液体により、正常に液体を吐出できなくなるおそれがある。この点、上記構成では、ノズルの開口から液体が垂れ下がっている場合、すなわち、ノズル直下の第１の位置に物体が存在している状況が続く場合には、吐出部の液体の吐出が制限される。このため、吐出部が正常に液体を吐出できない状況下で、液体を吐出することを抑制できる。

上記吐出ユニットは、前記ノズルをクリーニングするクリーニング部を備え、前記制御部は、前記第１の位置に物体が存在している状況が続く場合には、前記クリーニング部に前記ノズルをクリーニングさせることが好ましい。

上記構成によれば、吐出ユニットは、正常に液体を吐出できなくなった吐出部のノズルをクリーニングして、ノズルの状態を回復できる。

上記構成の吐出ユニットによれば、液体を安定に吐出できる。

一実施形態に係る液体吐出ユニットの概略構成を示す模式図。 液体吐出ユニットの電気的構成を示すブロック図。 吐出部が液体を正常に吐出できるか否かを判定する際に、制御部が実行する処理の流れを示すフローチャート。 吐出部が液体を吐出する際に、制御部が実行する処理の流れを示すフローチャート。 吐出部のクリーニングを行う際に、制御部が実行する処理の流れを示すフローチャート。 第２温調部を駆動する際に、制御部が実行する処理の流れを示すフローチャート。 吐出部が液体を正常に吐出できたか否かを判定する際に、制御部が実行する処理の流れを示すフローチャート。 （ａ）〜（ｃ）は、吐出部が液体を吐出する際の状態変化を示すタイミングチャート。 （ａ），（ｂ）は、供給部が吐出部に液体を供給する際の状態変化を示すタイミングチャート。 他の実施形態に係る第２温調部の概略構成を示す模式図。 他の実施形態に係る観測部が備える第３物体検出部の概略構成を示す斜視図。 上記第３物体検出部の検出結果に基づいて、吐出部から吐出される液体の体積を演算する方法を示す模式図。

以下、ワークに向けて液体を吐出する吐出ユニットの一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の吐出ユニットは、ワークの摺動部に向けてグリスなどの潤滑剤を吐出する潤滑剤吐出ユニットである。ワークの摺動部とは、例えば、ワークの構成部材としてのギヤが噛み合う部分であったり、ワークの構成部材としての軸受及び軸が接触する部分であったりする。

図１に示すように、吐出ユニット１０は、ワークＷに向けて液体を吐出する吐出装置２０と、吐出装置２０から吐出される液体の温度を調整する温調装置３０と、吐出装置２０の液体の吐出状況を確認する検査装置４０と、を備える。

図１に示すように、吐出装置２０は、液体を吐出する吐出部２１と、吐出部２１に液体を供給する供給部２３と、ワークＷを支持する支持部２４と、吐出部２１をクリーニングするクリーニング部２５と、を備える。図２に示すように、吐出装置２０は、吐出部２１の姿勢（位置及び角度）を変更する姿勢変更部２６と、吐出部２１に供給される液体の圧力を検出する圧力検出部２７と、吐出装置２０の構成部材を制御する第１制御部５１と、を備える。

吐出部２１は、内部に円柱状の空間を有するシリンダ２１１と、シリンダ２１１の内部空間を液室２１２及び気室２１３に区画するシール部材２１４と、気室２１３を第１気室２１５及び第２気室２１６に区画する移動体２１７と、第２気室２１６に配置されるコイルばね２１８と、を有する。また、吐出部２１は、外気圧以上の気体（大気圧以上の空気）を供給する気体供給源１１及び第１気室２１５を接続する第１気体流路２２１と、気体供給源１１及び第２気室２１６を接続する第２気体流路２２２と、第１気体流路２２１に設けられる第１切替弁２２３と、第２気体流路２２２に設けられる第２切替弁２２４と、を有する。

シリンダ２１１の先端には、液室２１２に連なるノズル２２５が形成される。シリンダ２１１の内部空間は、ノズル２２５、第１気体流路２２１及び第２気体流路２２２との接続部位を除いて外気から遮断される。シリンダ２１１の内部において、液室２１２は供給部２３から供給される液体を貯留し、第１気室２１５及び第２気室２１６は、気体供給源１１から供給される気体を貯留する。

移動体２１７は、円板状をなすピストン２２６と、ピストン２２６から延びる棒状のロッド２２７と、を有する。ピストン２２６は、第１気室２１５及び第２気室２１６の圧力差に応じて、気室２１３内を移動する。第１気室２１５は、シリンダ２１１の先端寄りに設けられ、第２気室２１６は、シリンダ２１１の後端寄りに設けられる。ロッド２２７において、ピストン２２６に連結される基端とは反対側の先端は、ノズル２２５の開口よりも大きな半球状をなしている。ロッド２２７は、ピストン２２６とともにシリンダ２１１の内部空間を移動し、ノズル２２５を塞いだり、ノズル２２５を開放したりする。

以降の説明では、ロッド２２７の先端がノズル２２５を塞ぎ、液室２１２を外気から遮断するときの移動体２１７の位置を「閉位置」とし、ロッド２２７の先端がノズル２２５を開放し、ノズル２２５を介して液室２１２を外気に接続するときの移動体２１７の位置を「開位置」とする。すなわち、移動体２１７は、第１気室２１５及び第２気室２１６の圧力差に応じて、閉位置と開位置との間を移動する。

コイルばね２１８は、第２気室２１６の容積が大きくなる方向にピストン２２６を押す。このため、第１気室２１５及び第２気室２１６に圧力差が生じていない場合には、ピストン２２６が第１気室２１５の容積が小さくなる方向に移動した状態となる。なお、この場合には、第１気室２１５の容積が最も小さくなり、第２気室２１６の容積が最も大きくなる。

第１切替弁２２３は、第１気室２１５を気体供給源１１に接続する供給状態と、第１気室２１５を外気に接続する開放状態とに切り替わる。同様に、第２切替弁２２４は、第２気室２１６を気体供給源１１に接続する供給状態と、第２気室２１６を外気に接続する開放状態とに切り替わる。供給状態は、第１気室２１５又は第２気室２１６に対して外気圧以上に圧縮された気体を供給する状態であり、開放状態とは、第１気室２１５又は第２気室２１６を外気に開放する状態である。なお、気体供給源１１は、例えば、大気圧以上に圧縮された空気が流れるエア配管及び大気圧以上に圧縮された空気を供給するコンプレッサーなどであればよい。また、第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４は、例えば、三方向電磁弁であればよい。

吐出部２１において、第１切替弁２２３を供給状態から開放状態に切り替え、第２切替弁２２４を開放状態から供給状態に切り替えると、第１気室２１５から気体が流出する一方で第２気室２１６に気体が流入する。その結果、第１気室２１５の圧力が第２気室２１６の圧力よりも低くなり、移動体２１７が開位置から閉位置に向かって移動する。正確には、第１気室２１５内の気体がピストン２２６を押す力が第２気室２１６内の気体及びコイルばね２１８がピストン２２６を押す力よりも小さくなると、移動体２１７は、開位置から閉位置に向かって移動する。

一方、吐出部２１において、第１切替弁２２３を開放状態から供給状態に切り替え、第２切替弁２２４を供給状態から開放状態に切り替えると、第１気室２１５に気体が流入する一方で第２気室２１６から気体が流出する。その結果、第１気室２１５の圧力が第２気室２１６の圧力よりも高くなり、移動体２１７が閉位置から開位置に向かって移動する。正確には、第１気室２１５内の気体がピストン２２６を押す力が第２気室２１６内の気体及びコイルばね２１８がピストン２２６を押す力よりも大きくなると、移動体２１７が閉位置から開位置に向かって移動する。

供給部２３は、液体の供給源となる液体供給源２３１と、液体供給源２３１及び吐出部２１を接続する液体流路２３２と、液体供給源２３１から吐出部２１に液体を間欠的に供給する往復ポンプ２３３と、を有する。また、供給部２３は、液体流路２３２内の液体の圧力変動を抑制するアキュームレータ２３４と、液体流路２３２内の液体の圧力を調整するレギュレータ２３５と、を有する。

液体供給源２３１は、液体を貯留した容器であればよい。液体供給源２３１は、外気に対して開放系の容器であってもよいし、外気に対して密閉系の容器であってもよい。往復ポンプ２３３は、ピストン、プランジャ及びダイヤフラムの往復動により液体を供給するピストンポンプ、プランジャポンプ及びダイヤフラムポンプなどであればよい。このため、往復ポンプ２３３は、液体を供給する際、主に液体供給源２３１から液体を吸入する吸入工程と、主に吐出部２１に向けて液体を吐出する吐出工程と、を繰り返す。そして、往復ポンプ２３３の駆動により、液体流路２３２を流れる液体及び吐出部２１の液室２１２に貯留される液体の圧力は、外気圧以上となる。

クリーニング部２５は、吐出部２１のノズル２２５の形状に応じた凹み形状を有するノズル受容部２５１と、ノズル受容部２５１に一端が接続される廃液流路２５２と、廃液流路２５２の他端が接続される吸引ポンプ２５３と、を備える。図１に示すように、クリーニング部２５は、ノズル受容部２５１にノズル２２５を収容した状態で、吸引ポンプ２５３を駆動し、ノズル受容部２５１に負圧を発生させる。こうして、クリーニング部２５は、ノズル２２５に付着した異物を吸引して除去する。

以降の説明では、吐出部２１のノズル２２５がノズル受容部２５１に収容されるときの吐出部２１の位置を「クリーニング位置」とも言う。これに対し、吐出部２１のノズル２２５が支持部２４又は支持部２４に支持されたワークＷを向くときの吐出部２１の位置を「吐出位置」とも言う。

圧力検出部２７は、図１に示すように、液体流路２３２に設けてもよいし、液室２１２に設けてもよい。圧力検出部２７は、吐出部２１の液室２１２に供給される液体の圧力又は当該圧力に準じた圧力を検出できるように構成すればよい。

第１制御部５１（制御部５０）は、姿勢変更部２６を制御し、支持部２４に支持されるワークＷに対する吐出部２１の姿勢を変更させる。すなわち、第１制御部５１は、吐出部２１のノズル２２５の向く方向に、ワークＷの液体を付着させたい領域が位置するように、吐出部２１の位置及び角度を変化させる。その後、第１制御部５１は、圧力検出部２７の検出結果に基づいて、吐出部２１の液室２１２に供給される液体の圧力（以下、「検出圧力Ｐｄ」とも言う。）を取得する。そして、第１制御部５１は、検出圧力Ｐｄに基づいて、吐出部２１の液体の吐出を許可したり制限したりする。

第１制御部５１は、液体を吐出する場合、第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４の状態を切り替えて、移動体２１７を短時間だけ閉位置から開位置に移動させる。すると、外気圧以上の圧力で液体を貯留する吐出部２１の液室２１２及び外気が短時間だけ接続される。その結果、液室２１２及び外気の圧力差によって、液室２１２に貯留された液体がノズル２２５を介して液滴として吐出される。

また、第１制御部５１は、往復ポンプ２３３を駆動し、液体供給源２３１から吐出部２１に液体を供給する。このとき、第１制御部５１は、吐出部２１が液体を吐出することで単位時間あたりに消費する液体量を補えるように、往復ポンプ２３３の吐出工程における液体の供給量を制御する。なお、往復ポンプ２３３が１回の吐出工程で供給する液体量は、吐出部２１が一度に吐出する液体量に比べて非常に多いものとする。

次に、温調装置３０について説明する。
図１及び図２に示すように、温調装置３０は、吐出部２１の液室２１２に供給される液体の温度を調整する第１温調部３１と、温調対象物の一例としての第１温調部３１の温度を調整する第２温調部３２と、第１温調部３１及び第２温調部３２を制御する第２制御部５２と、を備える。

第１温調部３１は、いわゆるペルチェ素子である。第１温調部３１は、吐出部２１のシリンダ２１１の一部を覆うように複数（本実施形態では２つ）設けられる。第１温調部３１において、第１の面３１１は吐出部２１のシリンダ２１１における液室２１２を構成する壁部に面し、第２の面３１２は第２温調部３２に面している。第１温調部３１は、電流の流れる方向によって、第１の面３１１及び第２の面３１２の一方の面の温度が上昇し、他方の面の温度が低下する。

第２温調部３２は、熱媒体を貯留する第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２と、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２を接続する熱媒体流路３２３と、第１温調部３１と熱交換を行う熱交換部材３２４と、を有する。また、第２温調部３２は、一端が第１貯留室３２１に接続される第３気体流路３２５と、一端が第２貯留室３２２に接続される第４気体流路３２６と、第３気体流路３２５及び第４気体流路３２６の他端が接続される第３切替弁３２７と、第３切替弁３２７及び気体供給源１１を接続する第５気体流路３２８と、を有する。さらに、第２温調部３２は、第１貯留室３２１の熱媒体量を検出する第１熱媒体量検出部３３１と、第２貯留室３２２の熱媒体量を検出する第２熱媒体量検出部３３２と、吐出部２１の液室２１２に貯留される液体の温度を検出する温度検出部３３３と、を有する。

第１貯留室３２１は、熱媒体流路３２３及び第３気体流路３２５の接続部位を除いて外気から遮断され、第２貯留室３２２は、熱媒体流路３２３及び第４気体流路３２６の接続部位を除いて外気から遮断される。本実施形態において、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２は、容積が略等しくなっている。また、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２は、金属などの熱伝導率が高い材料で構成することが好ましい。この場合、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２は、外気との熱交換の効率を高めるためのフィンなどの構成を有してもよい。なお、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２に貯留される熱媒体は、水及び油などの液体であってもよいし、気体であってもよい。

熱交換部材３２４は、第１温調部３１を覆うように複数（本実施形態では２つ）設けられる。熱交換部材３２４は、金属などの熱伝導率が高い材料で構成され、内部に熱媒体流路３２３の一部が設けられる。熱交換部材３２４の内部において、熱媒体流路３２３は、熱交換の効率を高めるために、蛇行させたり、複数の細管に分岐させたりすることが好ましい。また、こうした点で、本実施形態において、熱媒体流路３２３は、温調対象物の一例としての第１温調部３１と熱交換可能に設けられる。

第３切替弁３２７は、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２と外気及び気体供給源１１との接続態様を切り替える電磁弁である。詳しくは、第３切替弁３２７は、第１貯留室３２１を気体供給源１１に接続するとともに第２貯留室３２２を外気に接続する第１状態と、第１貯留室３２１を外気に接続するとともに第２貯留室３２２を気体供給源１１に接続する第２状態と、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２の双方を外気に接続する第３状態と、の３つの状態に切り替わる。

第１状態は、気体供給源１１に接続される第１貯留室３２１に外気圧以上に圧縮された気体を供給する一方で、第２貯留室３２２を外気に開放する状態である。第２状態は、気体供給源１１に接続される第２貯留室３２２に外気圧以上に圧縮された気体を供給する一方で、第１貯留室３２１を外気に開放する状態である。第３状態とは、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２の双方を外気に開放する状態である。

このため、第３切替弁３２７が第１状態に切り替えられる場合、第１貯留室３２１が第２貯留室３２２よりも高圧となるため、第１貯留室３２１の熱媒体が熱媒体流路３２３を介して第２貯留室３２２に移送される。一方、第３切替弁３２７が第２状態に切り替えられる場合、第２貯留室３２２が第１貯留室３２１よりも高圧となるため、第２貯留室３２２の熱媒体が熱媒体流路３２３を介して第１貯留室３２１に移送される。対して、第３切替弁３２７が第３状態に切り替えられる場合、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２の圧力差がなくなるため、熱媒体が熱媒体流路３２３を流れなくなる。

こうした点で、本実施形態では、第３気体流路３２５、第４気体流路３２６、第３切替弁３２７及び第５気体流路３２８が、第１貯留室３２１の熱媒体及び第２貯留室３２２の熱媒体の間に圧力差を発生させる「圧力調整部」の一例に相当し、第３切替弁３２７が「切替弁」の一例に相当する。

なお、第３切替弁３２７は、１つの切替弁で構成する必要はない。例えば、第３切替弁３２７は、第１貯留室３２１の接続先を外気又は気体供給源１１に切り替える切替弁と、第２貯留室３２２の接続先を外気又は気体供給源１１に切り替える切替弁と、で構成してもよい。

第１熱媒体量検出部３３１及び第２熱媒体量検出部３３２は、例えば、熱媒体が液体である場合には、熱媒体の液面を検出するレベルセンサであればよい。なお、以降の説明では、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２において、貯留する熱媒体量が少なくなったときの熱媒体量を第１規定量ＶＬ１ｔｈ及び第２規定量ＶＬ２ｔｈとする。一例として、第１規定量ＶＬ１ｔｈ及び第２規定量ＶＬ２ｔｈは、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２の容積の１０％程度の量とすればよい。なお、本実施形態では、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２の容積が等しいため、第１規定量ＶＬ１ｔｈ及び第２規定量ＶＬ２ｔｈも同じ値に設定される。

本実施形態において、第２温調部３２は、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２の間で熱媒体を移送するため、一方の貯留室の熱媒体量が多くなる場合には、他方の貯留室の熱媒体量が少なくなる。このため、第１貯留室３２１の熱媒体量が第１規定量ＶＬ１ｔｈ程度となるときに、第２貯留室３２２の熱媒体量が最大量程度となるように、第２温調部３２で扱う熱媒体の総量を決定することが好ましい。

温度検出部３３３は、吐出部２１の液室２１２に貯留された液体の温度を直接的又は間接的に検出する構成であればよい。例えば、温度検出部３３３は、吐出部２１のノズル２２５近傍の温度を検出することで、吐出部２１の液室２１２に貯留された液体の温度に準じた温度を検出する構成であってもよい。

第２制御部５２は、温度検出部３３３からの検出結果に基づいて、吐出部２１の液室２１２に貯留される液体の温度（以下、「検出温度」とも言う。）を取得する。そして、第２制御部５２は、検出温度が設定温度よりも低い場合、吐出部２１に面する第１の面３１１の温度が高くなるように第１温調部３１を駆動し、検出温度が設定温度よりも高い場合、吐出部２１に面する第１の面３１１の温度が低くなるように、第１温調部３１を駆動する。

以降の説明では、吐出部２１の液室２１２に貯留された液体を加熱するために第１温調部３１を駆動することを「加熱駆動」とも言い、吐出部２１の液室２１２に貯留された液体を冷却するために第１温調部３１を駆動することを「冷却駆動」とも言う。また、設定温度とは、吐出部２１から液体を正常に吐出できるときの液体の温度であって、予め実験等で定められる温度である。

ところで、第１温調部３１を加熱駆動する場合には、第２の面３１２の温度が次第に低くなり、第１温調部３１を冷却駆動する場合には、第２の面３１２の温度が次第に高くなる。このため、第１温調部３１を駆動し続けていると、第１の面３１１及び第２の面３１２のうち高温側の面から低温側の面に熱が伝わり、第１温調部３１の加熱効率及び冷却効率が低下しやすくなる。

そこで、第２制御部５２は、第１温調部３１を駆動する場合には、第２温調部３２を合わせて駆動する。すなわち、第２制御部５２は、第１温調部３１を駆動する場合には、第３切替弁３２７を第１状態及び第２状態に切り替えて、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２の間で熱媒体を移送させる。こうして、第２温調部３２は、第１温調部３１を加熱駆動する場合に第２の面３１２の温度が低くなり過ぎることを抑制し、第１温調部３１を冷却駆動する場合に第２の面３１２の温度が高くなり過ぎることを抑制する。

次に、検査装置４０について説明する。
図１に示すように、検査装置４０は、吐出部２１のシリンダ２１１の先端から延びる一対の延設板４１と、一方の延設板４１に配置される第１物体検出部４２及び第２物体検出部４３と、他方の延設板４１に配置される反射板４４と、を備える。また、図２に示すように、検査装置４０は、吐出部２１の液体の吐出状況を報知する報知部４５と、検査装置４０の構成部材を制御する第３制御部５３と、を備える。

一対の延設板４１は、吐出部２１のノズル２２５の開口の軸線ＡＸと直交する方向において、間隔をあけて設けられる。一対の延設板４１は、吐出部２１のノズル２２５が間に位置するように設けられる。

第１物体検出部４２は、ノズル２２５の開口の軸線ＡＸ上の位置である第１の位置Ｐ１を通過するようにレーザ光を投光する第１投光部４２１と、第１投光部４２１が投光したレーザ光を受光する第１受光部４２２と、を有する。第２物体検出部４３は、ノズル２２５の開口の軸線ＡＸ上の位置である第２の位置Ｐ２を通過するようにレーザ光を投光する第２投光部４３１と、第２投光部４３１が投光したレーザ光を受光する第２受光部４３２と、を有する。

第１の位置Ｐ１は、吐出部２１の液体の吐出方向において、ノズル２２５の直下の位置であり、第２の位置Ｐ２は、第１の位置Ｐ１よりもノズル２２５から離れた位置である。第１投光部４２１及び第２投光部４３１は、ノズル２２５の開口の軸線ＡＸと交差（直交）する方向にレーザ光を投光する。第１受光部４２２は、第１投光部４２１が投光したレーザ光であって反射板４４で反射された光を受光し、第２受光部４３２は、第２投光部４３１が投光したレーザ光であって反射板４４で反射された光を受光する。

すなわち、第１の位置Ｐ１に物体が存在する場合、当該物体に第１投光部４２１が投光するレーザ光が遮られ、第１受光部４２２における受光量が変化する。同様に、第２の位置Ｐ２に物体が存在する場合、当該物体に第２投光部４３１が投光するレーザ光が遮られ、第２受光部４３２における受光量が変化する。こうして、本実施形態において、第１物体検出部４２及び第２物体検出部４３は、反射型の光学センサを構成する。なお、第１物体検出部４２及び第２物体検出部４３は、透過型の光学センサであってもよい。

なお、第１投光部４２１が投光するレーザ光の第１の位置Ｐ１におけるビーム径及び第２投光部４３１が投光するレーザ光の第２の位置Ｐ２におけるビーム径は、吐出部２１から吐出される液体の大きさに応じて変更することが好ましい。

そして、第１物体検出部４２は、第１受光部４２２の受光量に基づいて、第１の位置Ｐ１における物体の有無を検出し、第２物体検出部４３は、第２受光部４３２の受光量に基づいて、第２の位置Ｐ２における物体の有無を検出する。こうして、本実施形態では、第１物体検出部４２及び第２物体検出部４３がノズル２２５から吐出される液体を観測する「観測部」の一例に相当する。

報知部４５は、例えば、液晶パネル、警告灯及びブザーなど光又は音などを出力できる装置としてもよいし、ログファイルなどのデータを出力する機器であってもよい。なお、報知部４５は、少なくとも吐出部２１から正常に液体が吐出されなかった場合に、その旨を報知できればよい。

第３制御部５３は、第１物体検出部４２及び第２物体検出部４３の検出結果に基づいて、吐出部２１から吐出される液体が第１の位置Ｐ１及び第２の位置Ｐ２を通過するタイミングを取得する。そして、第３制御部５３は、吐出部２１から吐出される液体が第１の位置Ｐ１及び第２の位置Ｐ２を通過するタイミングと、第１の位置Ｐ１から第２の位置Ｐ２までの距離と、基づいて、吐出部２１から吐出された液体の速度（以下、「検出速度Ｖｄ」とも言う。）を演算する。さらに、第３制御部５３は、演算した検出速度Ｖｄに基づいて、吐出部２１から正常に液体が吐出されたか否かを判定したり、吐出部２１が正常に液体を吐出できる状況か否かを判定したりする。

次に、図３に示すフローチャートを参照して、液体の吐出が可能か否かを判定するために制御部５０（第１制御部５１）が実行する処理の流れについて説明する。本処理は、所定の制御サイクル毎に実行される処理である。

図３に示すように、制御部５０は、圧力検出部２７の検出結果に基づいて取得される検出圧力Ｐｄが、許容圧力範囲Ｒｐに収まっているか否かを判定する（ステップＳ１１）。許容圧力範囲Ｒｐは、吐出部２１における液体の吐出に適した圧力範囲であり、予め実験等で求めることが好ましい。また、許容圧力範囲Ｒｐは、吐出する液体の種類及び液体の温度に応じて変更することが好ましい。

検出圧力Ｐｄが許容圧力範囲Ｒｐに収まっている場合（ステップＳ１１：ＹＥＳ）、制御部５０は、液体の吐出を許可し（ステップＳ１２）、本処理を終了する。一方、検出圧力Ｐｄが許容圧力範囲Ｒｐに収まっていない場合（ステップＳ１１：ＮＯ）、制御部５０は、ステップＳ１１の処理が否定判定されてからの経過時間Ｔ１の計時を開始する（ステップＳ１３）。続いて、制御部５０は、吐出部２１の液体の吐出を制限する（ステップＳ１４）。その後、制御部５０は、検出圧力Ｐｄが許容圧力範囲Ｒｐに収まっているか否かを再度判定する（ステップＳ１５）。

検出圧力Ｐｄが許容圧力範囲Ｒｐに収まっている場合（ステップＳ１５：ＹＥＳ）、制御部５０は、その処理を先のステップＳ１２に移行する。一方、検出圧力Ｐｄが許容圧力範囲Ｒｐに収まっていない場合（ステップＳ１５：ＮＯ）、制御部５０は、ステップＳ１１の処理が否定判定されてからの経過時間Ｔ１が所定の判定時間Ｔ１ｔｈ以上であるか否かを判定する（ステップＳ１６）。

経過時間Ｔ１が判定時間Ｔ１ｔｈ未満の場合（ステップＳ１６：ＮＯ）、制御部５０は、その処理を先のステップＳ１５に移行する。一方、経過時間Ｔ１が判定時間Ｔ１ｔｈ以上の場合（ステップＳ１６：ＹＥＳ）、制御部５０は、吐出部２１の液室２１２に供給される液体の圧力が異常である旨を報知部４５に報知させる（ステップＳ１７）。その後、制御部５０は、本処理を終了する。

上述した処理によれば、検出圧力Ｐｄが許容圧力範囲Ｒｐに収まらなくなることがあっても、制御部５０は、判定時間Ｔ１ｔｈを経過するまで、報知部４５に吐出部２１の液室２１２の圧力異常を報知させない。このため、供給部２３の往復ポンプ２３３において、吸入行程及び吐出工程が切り替わる場合などに、検出圧力Ｐｄが短時間だけ大きく変動（脈動）することがあっても、制御部５０は、液室２１２の圧力異常を報知させない。なお、こうした点で、判定時間Ｔ１ｔｈは、往復ポンプ２３３の吸入行程及び吐出工程を行う時間に応じて決定すればよい。

次に、図４に示すフローチャートを参照して、液体を吐出する際に制御部５０（第１制御部５１）が実行する処理の流れについて説明する。本処理は、液体の吐出が許可されている場合に実行される処理である。

図４に示すように、制御部５０は、姿勢変更部２６を駆動し、吐出部２１の姿勢を変更させる（ステップＳ２１）。詳しくは、制御部５０は、吐出部２１のノズル２２５が向く方向に、ワークＷの液体を付着させたい部位が位置するように、吐出部２１の姿勢を変更させる。

続いて、制御部５０は、第２切替弁２２４を開放状態に切り替え（ステップＳ２２）、吐出部２１の第２気室２１６を外気に接続させる。すなわち、制御部５０は、吐出部２１の第１気室２１５及び第２気室２１６の圧力をともに外気圧とする。その後、制御部５０は、第１切替弁２２３を供給状態に切り替え（ステップＳ２３）、吐出部２１の第１気室２１５を気体供給源１１に接続させる。すなわち、制御部５０は、吐出部２１の第１気室２１５の圧力を第２気室２１６の圧力よりも高くする。その結果、移動体２１７が閉位置から開位置に移動する。こうした点で、本実施形態では、移動体２１７を閉位置から開位置に移動させるとき、第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４が異なるタイミングで切り替えられる。

続いて、制御部５０は、第２切替弁２２４を供給状態に切り替え（ステップＳ２４）、第２気室２１６を気体供給源１１に接続させる。すなわち、制御部５０は、吐出部２１の第１気室２１５及び第２気室２１６の圧力をともに、気体供給源１１から供給される気体の圧力に応じた圧力とする。その後、制御部５０は、第１切替弁２２３を開放状態に切り替え（ステップＳ２５）、第１気室２１５を外気に接続させる。すなわち、制御部５０は、吐出部２１の第１気室２１５の圧力を第２気室２１６の圧力よりも低くする。その結果、移動体２１７が、開位置から閉位置に移動する。こうした点で、本実施形態では、移動体２１７を開位置から閉位置に移動させるとき、第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４が異なるタイミングで切り替えられる。

なお、ステップＳ２４は、ステップＳ２３の実行により、移動体２１７が開位置から閉位置に向かって移動し始める前に実行することが好ましい。これは、ステップＳ２３において、第２切替弁２２４を供給状態に切り替えることで、吐出部２１の第１気室２１５及び第２気室２１６の圧力差が０（零）になると、コイルばね２１８の作用により、ピストン２２６が第１気室２１５の容積が小さくなる方向に変位し始めかねないためである。言い換えれば、ステップＳ２４の処理を開始するタイミングで、移動体２１７の開位置から閉位置への移動を開始させるためである。

続いて、制御部５０は、ステップＳ２５を実行してからの経過時間Ｔ２の計時を開始する（ステップＳ２６）。そして、制御部５０は、第１受光部４２２の検出結果に基づいて、第１受光部４２２における受光量である第１受光量Ｌ１が変化し始めたか否かを判定する（ステップＳ２７）。第１受光量Ｌ１が変化し始めた場合（ステップＳ２７：ＹＥＳ）、すなわち、吐出部２１から吐出された液体が第１の位置Ｐ１を通過し始めた場合、制御部５０は、第１受光量Ｌ１が変化し終えたか否かを判定する（ステップＳ２８）。第１受光量Ｌ１が変化したままの場合（ステップＳ２８：ＮＯ）、すなわち、吐出部２１から吐出された液体が第１の位置Ｐ１を通過する途中である場合、制御部５０は、再度ステップＳ２８の処理を実行する。一方、第１受光量Ｌ１が変化し終えた場合（ステップＳ２８：ＹＥＳ）、すなわち、吐出部２１から吐出された液体が第１の位置Ｐ１を通過し終えた場合、制御部５０は、本処理を終了する。

一方、先のステップＳ２７において、第１受光量Ｌ１が変化を開始しない場合（ステップＳ２７：ＮＯ）、すなわち、吐出部２１が吐出したはずの液体が第１の位置Ｐ１に到達しない場合、制御部５０は、ステップＳ２５の処理を実行し終えてからの経過時間Ｔ２が判定時間Ｔ２ｔｈ以上か否かを判定する（ステップＳ２９）。経過時間Ｔ２が判定時間Ｔ２ｔｈ未満の場合（ステップＳ２９：ＮＯ）、制御部５０は、その処理を先のステップＳ２７に移行する。一方、経過時間Ｔ２が判定時間Ｔ２ｔｈ以上の場合（ステップＳ２９：ＹＥＳ）、すなわち、吐出部２１が吐出したはずの液体が第１の位置Ｐ１に到達しない場合、制御部５０は、吐出部２１の吐出を制限し（ステップＳ３０）、吐出部２１の液体の吐出不良を報知部４５に報知させる（ステップＳ３１）。その後、制御部５０は、本処理を終了する。

上述した処理によれば、吐出部２１が吐出した液体が第１の位置Ｐ１を通過しなければ、吐出部２１は次の液体を吐出することができない。また、吐出部２１が吐出した液体が第１の位置Ｐ１に到達しなければ、吐出部２１の次の液体の吐出が制限されるとともに、吐出不良が報知される。

次に、図５に示すフローチャートを参照して、吐出部２１において、吐出不良が発生したりノズル２２５からの液垂れが発生したりして、液体の吐出が制限されている場合に、制御部５０（第１制御部５１）が実行する処理の流れについて説明する。

図５に示すように、制御部５０は、姿勢変更部２６を駆動し、吐出部２１をクリーニング位置に移動させる（ステップＳ４１）。続いて、制御部５０は、吐出部２１のノズル２２５のクリーニングを実行させて（ステップＳ４２）、ノズル２２５の開口に付着した液体及び異物を除去する。その後、制御部５０は、吐出部２１の液体の吐出不良が回復したか否かを判定する（ステップＳ４３）。吐出部２１の吐出不良が回復したか否かは、例えば、ノズル受容部２５１に液体を吐出するときの当該液体の速度に基づいて判定してもよいし、吐出ユニット１０の使用者が目視で判定してもよい。吐出不良が回復していない場合（ステップＳ４３：ＮＯ）、制御部５０は、その処理を先のステップＳ４２に移行する。一方、吐出不良が回復している場合（ステップＳ４３：ＹＥＳ）、制御部５０は、吐出部２１の液体の吐出を許可し（ステップＳ４４）、本処理を終了する。

次に、図６に示すフローチャートを参照して、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２の間で熱媒体を往復させるために制御部５０（第２制御部５２）が実行する処理の内容について説明する。なお、本処理は、第１温調部３１を駆動する際に実行される処理である。

図６に示すように、制御部５０は、第１貯留室３２１の熱媒体量ＶＬ１が第２貯留室３２２の熱媒体量ＶＬ２以上か否かを判定する（ステップＳ５１）。第１貯留室３２１の熱媒体量ＶＬ１が第２貯留室３２２の熱媒体量ＶＬ２以上の場合（ステップＳ５１：ＹＥＳ）、制御部５０は、第１貯留室３２１から第２貯留室３２２に液体を移送する状態である第１状態に第３切替弁３２７を切り替える（ステップＳ５２）。続いて、制御部５０は、第１貯留室３２１の熱媒体量ＶＬ１が第１規定量ＶＬ１ｔｈ未満であるか否かを判定する（ステップＳ５３）。第１貯留室３２１の熱媒体量ＶＬ１が第１規定量ＶＬ１ｔｈ未満の場合（ステップＳ５３：ＹＥＳ）、すなわち、第１貯留室３２１から第２貯留室３２２への液体の移送を継続できなくなる場合、制御部５０は、その処理を後述するステップＳ５６に移行する。

一方、第１貯留室３２１の熱媒体量ＶＬ１が第１規定量ＶＬ１ｔｈ以上の場合（ステップＳ５３：ＮＯ）、すなわち、第１貯留室３２１から第２貯留室３２２への液体の移送を継続できる場合、制御部５０は、液体の移送を停止するための停止条件が成立したか否かを判定する（ステップＳ５４）。停止条件が成立していない場合（ステップＳ５４：ＮＯ）、制御部５０は、その処理を先のステップＳ５３に移行する。一方、停止条件が成立している場合（ステップＳ５４：ＹＥＳ）、制御部５０は、第３切替弁３２７を第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２の間の液体の移送を停止させる第３状態に切り替えて（ステップＳ５５）、本処理を終了する。なお、停止条件とは、例えば、第１温調部３１の駆動が停止される場合など、第１温調部３１の温調が必要なくなる場合に成立する条件である。

先のステップＳ５１において、第１貯留室３２１の熱媒体量ＶＬ１が第２貯留室３２２の熱媒体量ＶＬ２未満の場合（ステップＳ５１：ＮＯ）、制御部５０は、第２貯留室３２２から第１貯留室３２１に液体を移送する状態である第２状態に第３切替弁３２７を切り替える（ステップＳ５６）。続いて、制御部５０は、第２貯留室３２２の熱媒体量ＶＬ２が第２規定量ＶＬ２ｔｈ未満であるか否かを判定する（ステップＳ５７）。第２貯留室３２２の熱媒体量ＶＬ２が第２規定量ＶＬ２ｔｈ未満の場合（ステップＳ５７：ＹＥＳ）、すなわち、第２貯留室３２２から第１貯留室３２１への液体の移送が継続できなくなる場合、制御部５０は、その処理を先のステップＳ５２に移行する。

一方、第２貯留室３２２の熱媒体量ＶＬ２が第２規定量ＶＬ２ｔｈ以上の場合（ステップＳ５７：ＮＯ）、すなわち、第２貯留室３２２から第１貯留室３２１への液体の移送を継続できる場合、第２制御部５２は、液体の移送を停止するための条件が成立したか否かを判定する（ステップＳ５８）。停止条件が成立していない場合（ステップＳ５８：ＮＯ）、制御部５０は、その処理を先のステップＳ５７に移行する。一方、停止条件が成立している場合（ステップＳ５８：ＹＥＳ）、制御部５０は、その処理をステップＳ５５に移行する。

次に、図７に示すフローチャートを参照して、第３制御部５３（制御部５０）が実行する処理の流れについて説明する。本処理は、吐出装置２０が液体を吐出する際に実行される処理である。

図７に示すように、制御部５０は、第１物体検出部４２（第１受光部４２２）の検出結果に基づいて、第１受光量Ｌ１が変化したか否かを判定する（ステップＳ６１）。第１受光量Ｌ１が変化しない場合（ステップＳ６１：ＮＯ）、すなわち、吐出部２１が吐出した液体が第１の位置Ｐ１に到達していない場合、制御部５０は、再度ステップＳ６１の処理を実行する。一方、第１受光量Ｌ１が変化する場合（ステップＳ６１：ＹＥＳ）、すなわち、吐出部２１が吐出した液体が第１の位置Ｐ１に到達する場合、制御部５０は、ステップＳ６１の処理が肯定判定されてからの経過時間Ｔ３の計時を開始する（ステップＳ６２）。

そして、制御部５０は、ステップＳ６１の処理が肯定判定されてからの経過時間Ｔ３が所定の判定時間Ｔ３ｔｈ以上か否かを判定する（ステップＳ６３）。経過時間Ｔ３が判定時間Ｔ３ｔｈ未満の場合（ステップＳ６３：ＮＯ）、制御部５０は、第２受光部４３２の検出結果に基づいて、第２受光部４３２における受光量である第２受光量Ｌ２が変化したか否かを判定する（ステップＳ６４）。第２受光量Ｌ２が変化しない場合（ステップＳ６４：ＮＯ）、すなわち、第１の位置Ｐ１に到達した液体が第２の位置Ｐ２に到達しない場合、制御部５０は、その処理を先のステップＳ６３に移行する。

第２受光量Ｌ２が変化する場合（ステップＳ６４：ＹＥＳ）、すなわち、第１の位置Ｐ１を通過した液体が第２の位置Ｐ２に到達した場合、制御部５０は、第１物体検出部４２及び第２物体検出部４３の検出結果に基づいて、吐出部２１が吐出する液体の速度である検出速度Ｖｄを演算する（ステップＳ６５）。詳しくは、制御部５０は、第１の位置Ｐ１から第２の位置Ｐ２までの距離を、第１受光量Ｌ１が変化し始めるタイミングから第２受光量Ｌ２が変化し始めるタイミングまでの時間で除することで、検出速度Ｖｄを演算する。つまり、本実施形態において、制御部５０は、吐出部２１から吐出された液体の先端が第１の位置Ｐ１及び第２の位置Ｐ２に到達するタイミングに基づいて、検出速度Ｖｄを演算する。

続いて、制御部５０は、演算した検出速度Ｖｄが許容速度範囲Ｒｖに収まっているか否かを判定する（ステップＳ６６）。許容速度範囲Ｒｖとは、予め実験などで定められる速度範囲であり、ワークＷの液体を付着させたい部位に液体を着弾させるために必要とされる速度の上下限を定めたものである。

検出速度Ｖｄが許容速度範囲Ｒｖに収まっている場合（ステップＳ６６：ＹＥＳ）、制御部５０は、本処理を終了する。この場合には、吐出部２１が正常に液体を吐出できているため、制御部５０は、吐出部２１の液体の吐出を制限しない。一方、検出速度Ｖｄが許容速度範囲Ｒｖに収まっていない場合（ステップＳ６６：ＮＯ）、吐出部２１が正常に液体を吐出できていないため、制御部５０は、吐出部２１の液体の吐出を制限し（ステップＳ６７）、その旨を報知部４５に報知させる（ステップＳ６８）。なお、検出速度Ｖｄが許容速度範囲Ｒｖに収まっていない場合としては、例えば、吐出部２１の液室２１２に気泡などの異物が含まれることで液体を正常に吐出できない場合及び吐出部２１のノズル２２５の開口付近に異物が付着することで液体を正常に吐出できない場合などが挙げられる。その後、制御部５０は、本処理を終了する。

一方、先のステップＳ６３において、経過時間Ｔ３が判定時間Ｔ３ｔｈ以上となる場合（ステップＳ６３：ＹＥＳ）、制御部５０は、吐出部２１の液体の吐出を制限し（ステップＳ６９）、吐出部２１のノズル２２５に液垂れが発生している旨を報知部４５に報知させる（ステップＳ７０）。すなわち、この場合には、吐出部２１のノズル２２５の直下の第１の位置Ｐ１に物体（液体）が存在している状況が続いていることから、制御部５０は、ノズル２２５から液体が垂れた状態で存在していると判定する。その後、制御部５０は、本処理を終了する。

なお、上記処理において、判定時間Ｔ３ｔｈは、吐出部２１から正常に吐出された液体が第１の位置Ｐ１から第２の位置Ｐ２までを飛行するのに要する時間よりも僅かに長い時間とすればよい。また、上記処理において、ステップＳ６７，Ｓ６９の処理を省略してもよい。これによれば、吐出不良及び液垂れの報知はなされるものの、液体の吐出が継続される。

次に、図８に示すタイミングチャートを参照して、吐出ユニット１０（吐出装置２０）が液体をワークＷに向けて吐出するときの作用について説明する。
図８（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、吐出ユニット１０が液体を吐出する場合には、第１の時刻ｔ１１において、第２切替弁２２４が供給状態から開放状態に切り替えられ、その後の第２の時刻ｔ１２において、第１切替弁２２３が開放状態から供給状態に切り替えられる。このため、第２の時刻ｔ１２において、移動体２１７が閉位置から開位置に移動し、ノズル２２５が開放される。

続いて、第３の時刻ｔ１３において、第２切替弁２２４が開放状態から供給状態に切り替えられ、その後の第４の時刻ｔ１４において、第１切替弁２２３が供給状態から開放状態に切り替えられる。このため、第４の時刻ｔ１４において、移動体２１７が開位置から閉位置に移動し、ノズル２２５が閉塞される。

こうして、第１の時刻ｔ１１から第４の時刻ｔ１４までの期間において、移動体２１７が一時的に開位置に移動し、吐出部２１のノズル２２５から液体が吐出される。
吐出部２１が液体を吐出した後の第５の時刻ｔ１５になると、吐出部２１が吐出した液体が第１の位置Ｐ１を通過し始め、第１の検出部の第１受光量Ｌ１が変化し始める。詳しくは、吐出部２１が吐出した液体が、第１投光部４２１が投光するレーザ光を遮り、第１受光量Ｌ１が減少する。そして、第６の時刻ｔ１６になると、液体が第１の位置Ｐ１を通過し終わり、第１の検出部の第１受光量Ｌ１が元の受光量に戻る。すなわち、吐出部２１が吐出した液体が、第１投光部４２１が投光するレーザ光を遮らなくなり、第１受光量Ｌ１が増大する。

第６の時刻ｔ１６において、吐出部２１が吐出した液体が第１の位置Ｐ１を通過し終わると、第６の時刻ｔ１６の直後の第７の時刻ｔ１７から次の液体を吐出するための第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４の切り替えが開始される。すなわち、第７の時刻ｔ１７、第８の時刻ｔ１８、第１１の時刻ｔ２１及び第１２の時刻ｔ２２において、第１の時刻ｔ１１、第２の時刻ｔ１２、第３の時刻ｔ１３及び第４の時刻ｔ１４と同様に、第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４が切り替えられる。こうして、吐出部２１が液体を吐出した直後に、次の液体を吐出することが可能となる。

また、第６の時刻ｔ１６において、第１の位置Ｐ１を通過した液体は、第９の時刻ｔ１９において、第２の位置Ｐ２を通過し始め、第１０の時刻ｔ２０において、第２の位置Ｐ２を通過し終える。本実施形態では、第１の位置Ｐ１及び第２の位置Ｐ２の間の距離を、吐出部２１が吐出した液体が第１の位置Ｐ１を通過し始める第５の時刻ｔ１５から第２の位置Ｐ２を通過し始める第９の時刻ｔ１９までの時間で除することで、検出速度Ｖｄが演算される。そして、演算された検出速度Ｖｄに基づいて、吐出部２１から正常に液体が吐出されなかった場合には、その旨が報知される。

次に、図９に示すタイミングチャートを参照して、吐出ユニット１０（吐出装置２０）において、液体を吐出部２１に液体を供給するときの作用について説明する。
図９（ａ），（ｂ）に示すように、第１の時刻ｔ３１において、往復ポンプ２３３が吐出工程に切り替わってから十分に時間が経過した状態では、液室２１２の検出圧力Ｐｄが許容圧力範囲Ｒｐに収まっていることから、吐出部２１から液体の吐出が許容される。続いて、往復ポンプ２３３が前回の吸入工程で吸入した液体を吐出し終える第２の時刻ｔ３２になると、往復ポンプ２３３が吐出工程から吸入工程に切り替わる。すると、供給部２３から吐出部２１に対する液体の供給量が低下する一方で、吐出部２１から液体が吐出され続けることで、液室２１２の検出圧力Ｐｄが次第に低下し始める。

その後、往復ポンプ２３３が液体を吸入し終える第３の時刻ｔ３３になると、往復ポンプ２３３が吸入工程から吐出工程に切り替わる。すると、供給部２３から吐出部２１に対する液体の供給量が急激に増大することで、液体流路２３２内の液体の圧力が急激に上昇する。その結果、第３の時刻ｔ３３以降では、レギュレータ２３５及びアキュームレータ２３４で抑制しきれない一時的な圧力の上昇が液室２１２に発生する。

液室２１２の検出圧力Ｐｄが許容圧力範囲Ｒｐを超える第４の時刻ｔ３４になると、吐出部２１の液体の吐出が制限される。このため、吐出部２１は、液体を吐出するのに不適当な条件で、ワークＷに向けて液体を吐出することが抑制される。そして、液室２１２の検出圧力Ｐｄが許容圧力範囲Ｒｐに収まる第５の時刻ｔ３５になると、吐出部２１の液体の吐出が許可される。このため、吐出部２１は、再び安定して液体を吐出できる条件で、ワークＷに向けて液体を吐出できる。

なお、検出圧力Ｐｄが許容圧力範囲Ｒｐを超える第４の時刻ｔ３４から第５の時刻ｔ３５までの時間が判定時間Ｔ１ｔｈ未満であれば、報知部４５が液室２１２における圧力異常を報知することはない。すなわち、報知部４５が過剰な報知を行うことが抑制される。

以上説明した吐出ユニット１０によれば、以下に示す効果を得ることができる。以下に示す効果の説明では、吐出装置２０、温調装置３０及び検査装置４０の効果を括弧書きの中の数字で区別して記載する。

（１−１）吐出装置２０は、吐出部２１の液室２１２に供給される液体の検出圧力Ｐｄが変動（脈動）する結果、検出圧力Ｐｄが許容圧力範囲Ｒｐに収まっていなければ、吐出部２１の液体の吐出を制限する。すなわち、吐出部２１は、液室２１２に供給される液体の圧力が、液体の吐出に適さない圧力である場合に液体を吐出しない。言い換えれば、吐出部２１は、液体の吐出に適した圧力である場合に液体を吐出する。こうして、吐出装置２０は、液体を安定に吐出できる。

（１−２）吐出部２１の液室２１２に液体を間欠的に供給する際には、液室２１２に対する液体の供給量が増減するタイミングで、液室２１２に供給される液体の圧力が一時的に許容圧力範囲Ｒｐから外れる場合がある。ただし、この場合には、時間の経過とともに液室２１２に供給される液体の圧力が許容圧力範囲Ｒｐに収まりやすい。この点、本実施形態において、吐出装置２０は、液室２１２に供給される圧力が許容圧力範囲Ｒｐに収まっていない状況が判定時間Ｔ１ｔｈ以上続く場合に、圧力異常を報知部４５に報知させる。このため、吐出装置２０は、液室２１２に供給される液体の圧力が判定時間Ｔ１ｔｈを経過する前に許容圧力範囲Ｒｐに収まれば、圧力異常を報知部４５に報知させることはない。こうして、吐出装置２０は、報知部４５に過剰な報知を行わせることを抑制しつつ、時間経過で解消されない深刻な圧力異常に対して報知を行わせることができる。

（１−３）検査装置４０は、第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４の切り替えにより、ノズル２２５を開閉できる。すなわち、吐出装置２０は、簡易な構成で、吐出部２１から液体を吐出できる。

（１−４）第１切替弁２２３を開放状態から供給状態に切り替えるタイミングと同じタイミングで第２切替弁２２４を供給状態から開放状態に切り替える場合には、第２気室２１６の圧力が第１気室２１５の圧力よりも高い状態で、第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４が切り替えられる。このため、第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４を切り替えてから、第２気室２１６の圧力が第１気室２１５の圧力よりも低い状態となるまでの時間が長くなりやすい。すなわち、第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４を切り替えてから、移動体２１７が開位置に移動するまでの時間が長くなりやすい。

これに対し、本実施形態において、吐出装置２０は、第２切替弁２２４を開放状態に切り替えた後に第１切替弁２２３を供給状態に切り替える。このため、吐出装置２０は、第２切替弁２２４の切り替えにより、第１気室２１５及び第２気室２１６の圧力差を小さくし、第１切替弁２２３の切り替えにより、移動体２１７の移動を開始できる。すなわち、第１切替弁２２３を切り替えてから、移動体２１７が開位置に移動するまでの時間が短くなりやすい。こうして、吐出装置２０は、第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４の切り替えに伴う液体の吐出開始タイミングを調整しやすくなる。

（１−５）第１切替弁２２３を供給状態から開放状態に切り替えるタイミングと同じタイミングで第２切替弁２２４を開放状態から供給状態に切り替える場合には、第１気室２１５の圧力が第２気室２１６の圧力よりも高い状態で、第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４が切り替えられる。このため、第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４を切り替えてから、第１気室２１５の圧力が第２気室２１６の圧力よりも低い状態となるまでの時間が長くなりやすい。すなわち、第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４を切り替えてから、移動体２１７が閉位置に移動するまでの時間が長くなりやすい。

これに対し、本実施形態において、吐出装置２０は、第２切替弁２２４を供給状態に切り替えた後に第１切替弁２２３を開放状態に切り替える。このため、吐出装置２０は、第２切替弁２２４の切り替えにより、第１気室２１５及び第２気室２１６の圧力差を小さくし、第１切替弁２２３の切り替えにより、移動体２１７の移動を開始できる。すなわち、第１切替弁２２３を切り替えてから、移動体２１７が閉位置に移動するまでの時間が短くなりやすい。こうして、吐出ユニット１０は、第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４の切り替えに伴う液体の吐出終了タイミングを調整しやすくなる。

（１−６）吐出部２１が液体を連続的に吐出する場合において、吐出部２１が液体を吐出してから次の液体を吐出するまでの期間が短いと、先の液体の吐出が次の液体の吐出に影響を与えるおそれがある。一方、液体を吐出してから次の液体を吐出するまでの期間が長いと、吐出部２１が単位時間あたりに液体を吐出できる回数が少なくなり、スループットが低下するおそれがある。この点、本実施形態によれば、吐出部２１が吐出した液体がノズル２２５直下の第１の位置Ｐ１を通過するまでは次の液体の吐出が制限され、ノズル２２５直下の第１の位置Ｐ１を通過した後は次の液体の吐出が許可される。このため、吐出装置２０は、吐出部２１が連続的に液体を吐出する状況下において、先の液体の吐出が後の液体の吐出に影響を与えることを抑制しつつ、スループットが低下することを抑制できる。

（１−７）吐出部２１が液体を吐出し損なう場合には、ノズル２２５の開口から液体が垂れ下がることがある。この場合には、吐出部２１は、ノズル２２５の開口から垂れ下がる液体により、正常に液体を吐出できなくなるおそれがある。この点、本実施形態では、ノズル２２５直下の第１の位置Ｐ１に物体が存在している状況が続く場合、すなわち、ノズル２２５の開口から液体が垂れ下がっている場合には、吐出部２１の液体の吐出が制限される。このため、吐出装置２０は、吐出部２１が正常に液体を吐出できない状況下で、液体を吐出することを抑制できる。

（１−８）また、吐出装置２０は、ノズル２２５直下の第１の位置Ｐ１に物体が存在している状況が続く場合、すなわち、ノズル２２５の開口から液体が垂れ下がっている場合には、その旨を報知部４５に報知させる。このため、吐出装置２０は、ノズル２２５の開口に液垂れが発生していることを、吐出ユニット１０の使用者に知らせることができる。

（１−９）さらに、吐出装置２０は、ノズル２２５直下の第１の位置Ｐ１に物体が存在している状況が続く場合、すなわち、ノズル２２５の開口から液体が垂れ下がっている場合には、ノズル２２５の開口の液垂れを解消すべく、ノズル２２５のクリーニングを行う。こうして、吐出装置２０は、ノズル２２５の状態を回復できる。

（２−１）温調装置３０は、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２に貯留される熱媒体の圧力を変化させて、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２の間で液体を双方向に移送する。このため、熱媒体流路３２３に熱媒体を片方向にのみ流す場合と異なり、温調対象物の温度が不均一になることを抑制できる。

（２−２）温調装置３０は、第３切替弁３２７の切り替えに伴い、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２の接続先を外気としたり気体供給源１１としたりすることで、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２の圧力を変化できる。すなわち、温調装置３０は、ポンプなどの回転機器を使用しなくても、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２の間で熱媒体を双方向に移送できる。この点で、温調装置３０の構成が複雑化することを抑制できる。

また、熱媒体と接する領域にポンプなどの回転機器を用いなくてもよい点で、温調装置３０の使用者は、ポンプなどの回転機器における熱媒体に接触する部分の耐食性を踏まえて、回転機器の材質を決定したり、熱媒体の種類を決定したりしなくてもよくなる。

（２−３）温調装置３０は、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２の熱媒体量ＶＬ１，ＶＬ２を検出する第１熱媒体量検出部３３１及び第２熱媒体量検出部３３２を有し、その検出結果に基づいて第３切替弁３２７を切り替える。このため、第１貯留室３２１から第２貯留室３２２に熱媒体を移送する状況下において、第１貯留室３２１の熱媒体量ＶＬ１が０（零）になる前に、第２貯留室３２２から第１貯留室３２１に熱媒体を移送する状態に切り替えることができる。同様に、第２貯留室３２２から第１貯留室３２１に熱媒体を移送する状況下において、第２貯留室３２２の熱媒体量ＶＬ２が０（零）になる前に、第１貯留室３２１から第２貯留室３２２に熱媒体を移送する状態に切り替えることができる。こうして、温調装置３０は、一方の貯留室から他方の貯留室に熱媒体を移送できない状況が発生することを抑制できる。

（２−４）温調装置３０は、第１貯留室３２１及び第２貯留室３２２の間で熱媒体を双方向に移送する際に、一方向に熱媒体を移送する時間と、他方向に熱媒体を移送する時間と、を略等しくできる。このため、温調装置３０は、温調対象をより一定の温度に調整しやすくなる。

（２−５）温調装置３０は、第１温調部３１の駆動により、吐出部２１の液室２１２に貯留される液体の温度を詳細に調整できる。また、温調装置３０は、第１温調部３１を駆動する際に、第２温調部３２を駆動するため、第１温調部３１を加熱駆動する場合に第２の面３１２の温度が低くなり過ぎることを抑制でき、第１温調部３１を冷却駆動する場合に第２の面３１２の温度が高くなり過ぎることを抑制できる。

（３−１）吐出部２１から正常に吐出されない液体は、吐出部２１から正常に吐出された液体と比較して、液体の大きさ及び形状などが変化するため、空間を飛行する速度が変化する。この点、本実施形態によれば、検査装置４０は、検出速度Ｖｄが許容速度範囲Ｒｖに収まっておらず、吐出部２１から正常に液体が吐出されなかったと判定される場合には、報知部４５にその旨を報知させる。こうして、検査装置４０は、吐出部２１が吐出する液体の種類に関わらず、液体の吐出状況を確認できる。

（３−２）検査装置４０は、吐出部２１から吐出される液体が、第１の位置Ｐ１及び第２の位置Ｐ２を通過するタイミングに基づいて、検出速度Ｖｄを演算する。このため、検査装置４０は、第１の位置Ｐ１及び第２の位置Ｐ２における物体の有無を検出する簡易な検出部の検出結果に基づいて、検出速度Ｖｄを演算できる。

（３−３）吐出部２１から吐出される液体は、ワークに向けて飛行する最中に形状が変化する場合がある。この場合、吐出部２１から吐出される液体は、吐出方向における後端のほうが先端よりも形状が変化しやすい。このため、第１受光部４２２及び第２受光部４３２のレーザ光の受光量が変化し終わるタイミング、言い換えれば、吐出方向に進む液体の後端が第１の位置Ｐ１及び第２の位置Ｐ２を通過するタイミングに基づいて、検出速度Ｖｄを演算すると、検出速度Ｖｄの演算精度が低下するおそれがある。この点、検査装置４０は、吐出方向における液体の先端が第１の位置Ｐ１及び第２の位置Ｐ２を通過するタイミングに基づいて、吐出部２１から吐出される液体の速度を演算するため、検出速度Ｖｄの演算精度が低下することを抑制できる。

なお、上記実施形態は、以下に示すように変更してもよい。
・吐出装置２０は、吐出部２１の液室２１２に貯留される液体及び外気の圧力差で液体を吐出する構成としなくてもよい。例えば、移動体２１７が開位置に移動することでノズル２２５に液体を充填する工程と、移動体２１７が閉位置に移動することでノズル２２５に充填された液体を押し出して吐出する工程と、を含む構成としてもよい。

・吐出装置２０において、供給部２３が供給する液体は、レーザ光を吸収しやすい色に着色してもよい。これによれば、第１物体検出部４２、第２物体検出部４３の検出精度を高めることができる。

・吐出装置２０において、供給部２３は、一定量の液体を吐出部２１に供給する定量弁などの構成であってもよい。この場合であっても、定量弁が吐出部２１に一定量の液体を繰り返し供給する度に、吐出部２１の液室２１２に供給される液体の圧力が変動するおそれがある。このように、供給部２３は、吐出部２１に対して間欠的に液体を供給する構成であればよい。

・吐出装置２０において、クリーニング部２５は、ブラシ及びスクレーパーなどの払拭部材でノズル２２５の開口を払拭する払拭部を備えてもよい。
・吐出装置２０において、制御部５０は、吐出部２１から液体を吐出させた後、所定の時間を待機した後に、吐出部２１から次の液体を吐出させてもよい。すなわち、制御部５０は、第１物体検出部４２の検出結果に基づいて、吐出部２１の液体吐出タイミングを制御しなくてもよい。

・吐出装置２０において、移動体２１７を閉位置から開位置に移動させる際に、第１切替弁２２３を供給状態に切り替えた後に、第２切替弁２２４を開放状態に切り替えてもよい。また、移動体２１７を開位置から閉位置に移動させる際に、第１切替弁２２３を開放状態に切り替えた後に、第２切替弁２２４を供給状態に切り替えてもよい。また、移動体２１７を閉位置から開位置に移動させたり開位置から閉位置に移動させたりする際に、第１切替弁２２３及び第２切替弁２２４を同時に切り替えてもよい。

・温調装置３０において、第２温調部３２は、図１０に示すように変更してもよい。図１０に示すように、第２温調部３４は、内部に熱媒体を貯留する筒状のシリンダ３４１と、シリンダ３４１の内部を移動するピストン３４２と、ピストン３４２を駆動するアクチュエータ３４３と、を有する。シリンダ３４１の内部は、ピストン３４２によって、第１室３４４及び第２室３４５に区画される。第１室３４４は熱媒体流路３２３の一端が接続され、第２室３４５は熱媒体流路３２３の他端が接続される。アクチュエータ３４３は、モータ及びモータの回転運動をピストン３４２の直線運動に変換する機構などで構成すればよい。

そして、第２温調部３４において、ピストン３４２が、第１室３４４の容積が小さくなる方向に移動すると、第１室３４４に貯留された熱媒体が圧縮されることで、第１室３４４に貯留された熱媒体が熱媒体流路３２３を介して第２室３４５に移送される。一方、第２温調部３４において、ピストン３４２が、第１室３４４の容積が大きくなる方向に移動すると、第２室３４５に貯留された熱媒体が圧縮されることで、第２室３４５に貯留された熱媒体が熱媒体流路３２３を介して第１室３４４に移送される。こうして、図１０に示す第２温調部３４は、アクチュエータ３４３の駆動によりピストン３４２を往復動することで、熱媒体を熱媒体流路３２３に双方向に流すことができる。

・温調装置３０は、温調対象物の一例としての加熱対象物を加熱する加熱装置としてもよいし、温調対象物の一例としての冷却対象物を冷却する冷却装置としてもよい。また、温調装置３０の温調対象物は、適宜に選択すればよい。ここで、熱媒体流路３２３は、温調対象物の種類に応じて、温調対象物の内部に設けてもよいし、外部に設けてもよい。

・図１１に示すように、検査装置４０は、一対の延設板４１の一方に配置される第３投光部４６１と、一対の延設板４１の他方に配置される複数の第３受光部４６２と、を有する第３物体検出部４６（観測部の一例）を有してもよい。第３投光部４６１は、ノズル２２５の開口の軸線ＡＸと直交する方向に延びるように配置され、複数の第３受光部４６２は、第３投光部４６１の長手方向に並ぶように配置される。以降の説明では、複数の第３受光部４６２が並ぶ方向を「配列方向Ｘ」とも言う。

第３投光部４６１は、ノズル２２５の開口の軸線ＡＸ上の位置である第３の位置Ｐ３を含み、配列方向Ｘに延びる領域にレーザ光を投光する。複数の第３受光部４６２は、第３投光部４６１から投光されたレーザ光を受光し、受光量に応じた検出結果を所定の検出間隔ごとに第３制御部５３に出力する。検出領域を液体が通過する場合には、複数の第３受光部４６２のうち、第３投光部４６１との間に液体が存在している第３受光部４６２の受光量が減少する一方で、第３投光部４６１との間に液体が存在していない第３受光部４６２の受光量が変化しない。このため、制御部５０は、受光量が減少した部分の配列方向Ｘにおける長さに基づいて、検出領域を通過する液体の配列方向Ｘの長さを検出間隔ごとに取得できる。

ここで、吐出部２１から吐出される液体の吐出方向と直交する断面形状が円形と仮定すると、第３制御部５３は、図１１に示すように、第３物体検出部４６の検出領域を通過する液体の直径Ｄを検出間隔ごとに取得できることとなる。そして、図１２に示すように、制御部５０は、単位時間あたりに検出領域を通過する液体の形状を円柱状の立体Ｓとみなし、当該円柱状の立体Ｓを足し合わせることで、吐出部２１から吐出される液体の体積を演算する。なお、円柱状の立体Ｓの体積は、当該立体Ｓの底面積Ａに高さＨを乗じることで演算できる。ここで、底面積Ａは、π／４及び直径Ｄの二乗の積であり、高さＨは、液体の検出速度Ｖｄ及び検出間隔の積である。

続いて、第３制御部５３は、このように演算された体積（以下、「検出体積」とも言う。）が許容体積範囲に収まっているか否かを判定し、吐出部２１が正常に液体を吐出できたか否かを判定する。詳しくは、第３制御部５３は、演算した液体の体積が許容体積範囲に収まっていない場合、その旨を報知部４５に報知させる。なお、検出速度Ｖｄが許容体積範囲に収まっていない場合としては、例えば、吐出部２１の液室２１２に気泡などの異物が含まれることで液体を正常に吐出できない場合及び吐出部２１のノズル２２５の開口付近に異物が付着することで液体を正常に吐出できない場合などが挙げられる。

これによれば、検査装置４０は、検出速度Ｖｄに加え検出体積に基づいて、吐出部２１の液体の吐出不良を検出できる。このため、検査装置４０は、吐出部２１の液体の吐出不良の検出精度を高めることができる。

・検査装置４０において、報知部４５は、吐出部２１に吐出不良が生じる度にその旨を報知しなくてもよい。例えば、報知部４５は、１つのワークＷに対する複数回の液体の吐出が完了した後に、吐出不良をまとめて報知してもよい。

・検査装置４０において、第１物体検出部４２及び第２物体検出部４３は、音波及び電磁波を発信する発信部と、発信部から発信された音波及び電磁波を受信する受信部と、を有する検出部であってもよい。また、第１物体検出部４２及び第２物体検出部４３は、吐出部２１が吐出した液体を撮像するカメラであってもよい。すなわち、第１物体検出部４２及び第２物体検出部４３は、第１の位置Ｐ１及び第２の位置Ｐ２における物体の有無を検出できるセンサであればよい。

・検査装置４０は、ノズル２２５の開口の軸線ＡＸ上の位置であって、第２の位置Ｐ２よりもノズル２２５から離れた第４の位置における物体の有無を検出する第４物体検出部（観測部の一例）を備えてもよい。この場合、制御部５０は、吐出部２１から吐出された液体の第１の位置Ｐ１及び第２の位置Ｐ２の間の速度に加えて、第２の位置Ｐ２及び第４の位置の間の速度を取得したり、吐出部２１から吐出された液体の加速度を取得したりできる。このため、制御部５０は、吐出部２１から吐出される液体の速度の変化（加速度）に基づいて、吐出部２１から正常に液体が吐出されたか否かを判定することもできる。

１０…吐出ユニット、１１…気体供給源、２０…吐出装置、２１…吐出部、２１１…シリンダ、２１２…液室、２１３…気室、２１４…シール部材、２１５…第１気室、２１６…第２気室、２１７…移動体、２１８…コイルばね、２２１…第１気体流路、２２２…第２気体流路、２２３…第１切替弁、２２４…第２切替弁、２２５…ノズル、２２６…ピストン、２２７…ロッド、２３…供給部、２３１…液体供給源、２３２…液体流路、２３３…往復ポンプ、２３４…アキュームレータ、２３５…レギュレータ、２４…支持部、２５…クリーニング部、２５１…ノズル受容部、２５２…廃液流路、２５３…吸引ポンプ、２６…姿勢変更部、２７…圧力検出部、３０…温調装置、３１…第１温調部、３１１…第１の面、３１２…第２の面、３２…第２温調部、３２１…第１貯留室、３２２…第２貯留室、３２３…熱媒体流路、３２４…熱交換部材、３２５…圧力調整部の一例を構成する第３気体流路、３２６…圧力調整部の一例を構成する第４気体流路、３２７…圧力調整部の一例を構成する第３切替弁（切替弁の一例）、３２８…圧力調整部の一例を構成する第５気体流路、３３１…第１熱媒体量検出部、３３２…第２熱媒体量検出部、３３３…温度検出部、３４…第２温調部、３４１…シリンダ、３４２…ピストン、３４３…アクチュエータ、３４４…第１室、３４５…第２室、４０…検査装置、４１…延設板、４２…観測部の一例を構成する第１物体検出部、４２１…第１投光部、４２２…第１受光部、４３…観測部の一例を構成する第２物体検出部、４３１…第２投光部、４３２…第２受光部、４４…反射板、４５…報知部、４６…観測部の一例を構成する第３物体検出部、４６１…第３投光部、４６２…第３受光部、５０…制御部、５１…第１制御部、５２…第２制御部、５３…第３制御部、ＡＸ…軸線、Ｌ１…第１受光量、Ｌ２…第２受光量、Ｐ１…第１の位置、Ｐ２…第２の位置、Ｐ３…第３の位置、Ｐｄ…検出圧力、Ｒｐ…許容圧力範囲、Ｒｖ…許容速度範囲、Ｓ…立体、Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３…経過時間、Ｔ１ｔｈ，Ｔ２ｔｈ，Ｔ３ｔｈ…判定時間、Ｖｄ…検出速度、ＶＬ１，ＶＬ２…熱媒体量、ＶＬ１ｔｈ…第１規定量、ＶＬ２ｔｈ…第２規定量、Ｗ…ワーク、Ｘ…配列方向。

Claims (6)

1. 液体供給源から間欠的に供給される液体を貯留する液室と、前記液室に貯留された液体を吐出するノズルと、気体を貯留可能な気室と、前記気室を第１気室及び第２気室に区画するように配置され、前記第１気室及び前記第２気室の圧力差に応じて移動する移動体と、前記第１気室を外気に接続する開放状態と前記第１気室を気体供給源に接続する供給状態とを切り替える第１切替弁と、前記第２気室を外気に接続する前記開放状態と前記第２気室を前記気体供給源に接続する前記供給状態とを切り替える第２切替弁と、を有する吐出部と、
   前記液室に供給される液体の圧力を検出する圧力検出部と、
   前記圧力検出部の検出結果に基づいて、前記吐出部を制御する制御部と、を備え、
   前記移動体は、前記第１切替弁を前記開放状態に切り替え、前記第２切替弁を前記供給状態に切り替えたとき、前記ノズルを塞ぐ閉位置に配置され、前記第１切替弁を前記供給状態に切り替え、前記第２切替弁を前記開放状態に切り替えたとき、前記ノズルを介して前記液室及び外気を接続する開位置に配置され、
   前記制御部は、
   前記液室に供給される液体の圧力が、許容圧力範囲に収まっていない場合には、前記吐出部の液体の吐出を制限し、
   前記移動体を前記閉位置から前記開位置に移動させるとき、前記第１切替弁を前記供給状態に切り替えるタイミングと異なるタイミングで、前記第２切替弁を前記開放状態に切り替える
   吐出ユニット。
2. 液体供給源から間欠的に供給される液体を貯留する液室と、前記液室に貯留された液体を吐出するノズルと、気体を貯留可能な気室と、前記気室を第１気室及び第２気室に区画するように配置され、前記第１気室及び前記第２気室の圧力差に応じて移動する移動体と、前記第１気室を外気に接続する開放状態と前記第１気室を気体供給源に接続する供給状態とを切り替える第１切替弁と、前記第２気室を外気に接続する前記開放状態と前記第２気室を前記気体供給源に接続する前記供給状態とを切り替える第２切替弁と、を有する吐出部と、
   前記液室に供給される液体の圧力を検出する圧力検出部と、
   前記圧力検出部の検出結果に基づいて、前記吐出部を制御する制御部と、を備え、
   前記移動体は、前記第１切替弁を前記開放状態に切り替え、前記第２切替弁を前記供給状態に切り替えたとき、前記ノズルを塞ぐ閉位置に配置され、前記第１切替弁を前記供給状態に切り替え、前記第２切替弁を前記開放状態に切り替えたとき、前記ノズルを介して前記液室及び外気を接続する開位置に配置され、
   前記制御部は、
   前記液室に供給される液体の圧力が、許容圧力範囲に収まっていない場合には、前記吐出部の液体の吐出を制限し、
   前記移動体を前記開位置から前記閉位置に移動させるとき、前記第１切替弁を前記開放状態に切り替えるタイミングと異なるタイミングで、前記第２切替弁を前記供給状態に切り替える
   吐出ユニット。
3. 液体供給源から間欠的に供給される液体を貯留する液室と、前記液室に貯留された液体を吐出するノズルと、を有する吐出部と、
   前記液室に供給される液体の圧力を検出する圧力検出部と、
   前記ノズルの開口の軸線上の位置であって、前記吐出部の液体の吐出方向における直下の位置である第１の位置における物体の有無を検出する第１物体検出部と、
   前記圧力検出部の検出結果に基づいて、前記吐出部を制御する制御部と、を備え、
   前記制御部は、
   前記液室に供給される液体の圧力が、許容圧力範囲に収まっていない場合には、前記吐出部の液体の吐出を制限し、
   前記第１物体検出部の検出結果に基づいて、前記吐出部から吐出した液体が前記第１の位置を通過したか否かを判定し、前記吐出部から吐出した液体が前記第１の位置を通過するまでは、前記吐出部の次の液体の吐出を制限する
   吐出ユニット。
4. 前記吐出部における液体の吐出状況を報知する報知部を備え、
   前記制御部は、前記液室に供給される液体の圧力が、前記許容圧力範囲に収まっていない状況が続く場合には、その旨を前記報知部に報知させる
   請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載の吐出ユニット。
5. 前記ノズルの開口の軸線上の位置であって、前記吐出部の液体の吐出方向における直下の位置である第１の位置における物体の有無を検出する第１物体検出部を備え、
   前記制御部は、前記第１物体検出部の検出結果に基づいて、前記第１の位置に物体が存在している状況が続いていると判定できる場合には、前記吐出部の液体の吐出を制限する
   請求項１〜請求項４のうち何れか一項に記載の吐出ユニット。
6. 前記ノズルをクリーニングするクリーニング部を備え、
   前記制御部は、前記第１の位置に物体が存在している状況が続く場合には、前記クリーニング部に前記ノズルをクリーニングさせる
   請求項５に記載の吐出ユニット。

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