JP2017009586A5

JP2017009586A5 -

Info

Publication number: JP2017009586A5
Application number: JP2016109394A
Authority: JP
Filing date: 2016-05-31
Publication date: 2019-07-04

Claims

分光光度計によってフィルムの厚さの分析を提供するための方法において、
基材表面上に蒸着したフィルムに光ビームを放射する照明装置を構成することであって、前記照明装置が前記基材表面に隣接して配置されている、構成することと、
屈折率分布型レンズ及び第１の線形可変フィルタを介して前記基材表面上に前記蒸着した第１のフィルムからの反射光を受光するように第１のリニアセンサを構成することであって、前記第１のリニアセンサが基材に隣接して配置されており、前記屈折率分布型レンズが、前記基材表面から反射する光ビームの光路に配置され、前記基材表面と前記第１の線形可変フィルタとの間に配置されており、前記第１の線形可変フィルタが、前記基材表面から反射する光の光路に配置され、前記第１のリニアセンサと前記屈折率分布型レンズとの間に配置されている、構成することと、
前記第１のリニアセンサから受信した前記第１のフィルムの分光反射率に基づいて前記第１のフィルムの厚さを判定するためのプロセッサを構成すること、
前記第１のフィルム上に配置された第２のフィルムにおいて光ビームを放射するように第２の照明装置を構成することと、
第２の屈折率分布型レンズ及び第２の線形可変フィルタを介して前記第１のフィルム上に配置された前記第２のフィルムからの反射光を受光するように前記第１のリニアセンサとは異なる位置に第２のリニアセンサを構成することであって、前記第２のリニアセンサが前記基材に隣接して配置されており、前記第２の屈折率分布型レンズが、前記第１のフィルムの表面からの反射光の光路に配置され、前記第１のフィルムの表面と第２の線形可変フィルタとの間に配置され、前記第２の線形可変フィルタが、前記第１のフィルムの表面から反射した光ビームの光路に配置され、前記第２のリニアセンサと前記第２の屈折率分布型レンズとの間に配置されている、構成することと、
前記第２のリニアセンサから受信した前記第２のフィルムの分光反射率に基づいて前記第２のフィルムの厚さを判定するように前記プロセッサを構成することとを備え、
前記第１の線形可変フィルタが、バンドパスコーティングを有する光学フィルタであり、前記バンドパスコーティングの特性が、前記第１の線形可変フィルタの長さにわたって線形的に前記第１の線形可変フィルタの中心波長をシフトするように前記第１の線形可変フィルタの長さにわたって変化し、
前記第２の線形可変フィルタが、バンドパスコーティングを有する光学フィルタであり、前記バンドパスコーティングの特性が、前記第２の線形可変フィルタの長さにわたって線形的に前記第２の線形可変フィルタの中心波長をシフトするように前記第２の線形可変フィルタの長さにわたって変化する、方法。
前記第１の線形可変フィルタと前記第１のリニアセンサとの間に間隙を設けることをさらに備える、請求項１に記載の方法。
前記第１のリニアセンサが全幅アレイイメージセンサである、請求項１に記載の方法。
前記第１のリニアセンサがイメージセンサチップである、請求項１に記載の方法。
前記基材は、少なくとも、感光体ドラム、感光体ベルト、中間転写ベルト、中間転写ドラム、画像形成ドラム、又は、文書の中の少なくとも１つである、請求項１に記載の方法。
前記バンドパスコーティングの特性は、前記バンドパスコーティングの厚さである、請求項１に記載の方法。
前記第１のフィルムは、ベルト感光体の層を含む、請求項１に記載の方法。
前記基材はウェブを含む、請求項１に記載の方法。
前記光ビームを放射することと、前記第１のリニアセンサから受信した前記第１のフィルムの分光反射率に基づいて前記第１のフィルムの厚さを判定することとの間の時間は、走査時間を定義する、請求項１に記載の方法。
前記走査時間は、約９０μｓ以下である、請求項９に記載の方法。
命令を実行するように前記プロセッサを構成することをさらに備え、前記命令が、
前記分光反射率に基づいて所定の厚さ値と前記第１のフィルムの厚さを比較することと、
前記第１のフィルムの厚さと前記所定の厚さ値との差異が所定の許容値よりも大きい場合に、調整後の蒸着パラメータを定義するために少なくとも１つの蒸着パラメータを調整することとを備える、請求項１に記載の方法。
前記少なくとも１つの蒸着パラメータは、基材供給速度、前記基材上に蒸着されたフィルム材料の量、又は、蒸着時間の中の少なくとも１つを含む、請求項１１に記載の方法。
前記命令は、更に、前記第１のリニアセンサから受信した前記第１のフィルムの分光反射率に基づいて前記第１のフィルムの第２の部分の厚さを決定することを備え、
前記第１のフィルムの前記第２の部分は、前記調整後の蒸着パラメータに基づいて蒸着される、請求項１１に記載の方法。
命令を実行するように前記プロセッサを構成することをさらに備え、前記命令が、
前記分光反射率に基づいて所定の厚さ値と前記第２のフィルムの厚さを比較することと、
前記第２のフィルムの厚さと前記所定の厚さ値との差異が所定の許容値よりも大きい場合、少なくとも１つの蒸着パラメータを調整することとを備える、請求項１に記載の方法。
前記蒸着パラメータは、基材供給速度、前記前記第２のフィルムとしての前記基材上に蒸着された材料の量、又は、前記第２のフィルムを蒸着するための蒸着時間の中の少なくとも１つを含む、請求項１４に記載の方法。
液体を前記基材上に蒸着することと、前記液体を乾燥させて前記第１のフィルムを形成することとを更に備える、請求項１に記載の方法。