JP2017006405A - 内面除染装置及びこれを用いた内面除染方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】作業用グローブなどを装着する接続ポートをアイソレーター装置の外部環境側から封鎖して、当該接続ポートと作業用グローブなどの内面とで囲まれた閉鎖空間を形成する接続ポート閉鎖部材と、当該接続ポート閉鎖部材を介して、閉鎖空間の内部に除染液を供給する除染液供給手段と、閉鎖空間の内部に供給される除染液を当該閉鎖空間の内部で霧化して作業用グローブなどの内面に噴霧する除染液噴霧手段とを有する。
【選択図】図2
Description
外部環境に位置する作業者が無菌環境を維持した作業室(1)の内部で作業するために、当該作業室の壁面(2)に開口した作業用開口部(3)に設けられた接続ポート(10)から当該作業室の内部に向けて気密性を保持して取り付けられた作業用部材(11)の前記外部環境側に接する面(内面)(11b)を除染するための装置(20、30、40、50)であって、
前記接続ポートを前記外部環境側から封鎖して、当該接続ポートと前記作業用部材の内面とで囲まれた閉鎖空間(14)を形成する接続ポート閉鎖部材(21、31、41、51)と、
前記接続ポート閉鎖部材を介して、前記閉鎖空間の内部に除染液を供給する除染液供給手段(22、32、42、52)と、
前記閉鎖空間の内部に供給される除染液を当該閉鎖空間の内部で霧化して前記作業用部材の内面に噴霧する除染液噴霧手段(23、33、43、53)とを有することを特徴とする。
前記除染液噴霧手段(23、43)は、圧縮空気を発生する圧縮空気発生装置(23a、43a)と、当該圧縮空気発生装置と前記閉鎖空間の内部とを前記接続ポート閉鎖部材(21、41)を介して連通する圧縮空気供給配管(23b、43b)とを具備すると共に、前記閉鎖空間の内部において当該圧縮空気供給配管の延端部が前記作業用部材の内面に向けて開口する空気吐出口(23c、43c)を形成し、
前記除染液供給手段(22、42)は、前記除染液を収容する除染液槽(22a、42a)と、当該除染液槽と前記閉鎖空間の内部とを前記接続ポート閉鎖部材を介して連通する除染液供給配管(22b、42b)とを具備すると共に、前記閉鎖空間の内部において当該除染液供給配管の延端部が前記空気吐出口の吐出方向と交差する方向に開口する除染液供給口(22c、42c)を形成し、
前記空気吐出口からの空気が、前記除染液供給口の上部に吐出されることにより、当該除染液供給口から供給される除染液が、前記空気吐出口から吐出される空気により吸い上げられ、前記作業用部材の内面に向けて霧状に噴射されることを特徴とする。
前記除染液供給手段(32)は、前記除染液を収容する除染液槽(32a)と、当該除染液槽と前記閉鎖空間の内部とを前記接続ポート閉鎖部材(31)を介して連通する除染液供給配管(32b)とを具備すると共に、前記閉鎖空間の内部において当該除染液供給配管の延端部が前記作業用部材の内面に向けて開口する除染液供給口(32c)を形成し、
前記除染液噴霧手段(33)は、前記除染液供給口に配設された噴射ノズル(33c)と、圧縮空気を発生する圧縮空気発生装置(33a)と、当該圧縮空気発生装置と前記除染液槽の内部とを連通する圧縮空気供給配管(33b)とを具備し、
前記圧縮空気発生装置から前記圧縮空気供給配管を介して供給される圧縮空気が、前記除染液槽の内部を加圧することにより、当該除染液槽の内部の除染液が、前記除染液供給配管を介して前記噴射ノズルに供給され、当該噴射ノズルから前記作業用部材の内面に向けて霧状に噴射されることを特徴とする。
作業用部材内加圧設定手段(53a、53b)、作業用部材内圧力検知手段(54)、及び、制御手段を有して、
前記接続ポート閉鎖部材を介して前記閉鎖空間の内部に圧縮空気を供給し、前記作業用部材内加圧設定手段により当該閉鎖空間の内部の圧力を一定に維持し、前記作業用部材内圧力検知手段により継時的な圧力変化を検知することにより、
作業用部材のピンホールなどの不備を検査するための作業用部材用リーク検査装置の機能を併せ持つことを特徴とする。
前記作業用部材は、作業用グローブ又はハーフスーツであることを特徴とする。
前記除染液は、エタノール又は2−プロパノールなどの消毒用アルコールであることを特徴とする。
請求項1〜6のいずれか1つに記載の内面除染装置を用いて、前記作業用部材の内面に対して前記除染液の噴霧量を1μL/cm2〜5μL/cm2の範囲内とすることを特徴とする。
図2は、本第1実施形態に係る内面除染装置をクリーンルームに配設されたアイソレーター装置の作業用グローブに取り付けた状態を側面から見た断面図である。なお、図2においては、無菌環境(グレードB)を維持したクリーンルーム(図示しない)、高度の無菌環境(グレードA)を維持したアイソレーター装置(図示しない)のチャンバー1、チャンバー1のガラス窓2に開口した円形の作業用開口部3、作業用開口部3に取り付けられた接続ポート10、及び、接続ポート10に装着された合成樹脂製の作業用グローブ11については、上記図1と同様である。
本第2実施形態に係る内面除染装置は、上記第1実施形態と同様にクリーンルームに配設されたアイソレーター装置の作業用グローブに取り付けられている。図4は、本第2実施形態に係る内面除染装置を作業用グローブに取り付けた状態を側面から見た断面図である。なお、図4においては、無菌環境(グレードB)を維持したクリーンルーム(図示しない)、高度の無菌環境(グレードA)を維持したアイソレーター装置(図示しない)のチャンバー1、チャンバー1のガラス窓2に開口した円形の作業用開口部3、作業用開口部3に取り付けられた接続ポート10、及び、接続ポート10に装着された合成樹脂製の作業用グローブ11については、上記図1と同様である。
本第3実施形態に係る内面除染装置は、上記第1実施形態と同様にクリーンルームに配設されたアイソレーター装置の作業用グローブに取り付けられている。図5は、本第3実施形態に係る内面除染装置を作業用グローブに取り付けた状態を側面から見た断面図である。なお、図5においては、無菌環境(グレードB)を維持したクリーンルーム(図示しない)、高度の無菌環境(グレードA)を維持したアイソレーター装置(図示しない)のチャンバー1、チャンバー1のガラス窓2に開口した円形の作業用開口部3、作業用開口部3に取り付けられた接続ポート10、及び、接続ポート10に装着された合成樹脂製の作業用グローブ11については、上記図1と同様である。
本第4実施形態に係る内面除染装置は、上記第1実施形態と同様にクリーンルームに配設されたアイソレーター装置の作業用グローブに取り付けられている。図6は、本第4実施形態に係る内面除染装置を作業用グローブに取り付けた状態を側面から見た断面図である。なお、図6においては、無菌環境(グレードB)を維持したクリーンルーム(図示しない)、高度の無菌環境(グレードA)を維持したアイソレーター装置(図示しない)のチャンバー1、チャンバー1のガラス窓2に開口した円形の作業用開口部3、作業用開口部3に取り付けられた接続ポート10、及び、接続ポート10に装着された合成樹脂製の作業用グローブ11については、上記図1と同様である。
(1)上記各実施形態においては、接続ポートに装着した作業用グローブの内面を装着した状態で除染するものであるが、これに限定するものではなく、接続ポートに装着したハーフスーツの内面を装着した状態で除染するようにしてもよい。
(2)上記各実施形態においては、アイソレーター装置の接続ポートに装着した作業用グローブの内面を装着した状態で除染するものであるが、これに限定するものではなく、RABS(アクセス制限バリアシステム)の壁面の接続ポートに装着した作業用グローブやハーフスーツの内面を装着した状態で除染するようにしてもよい。
(3)上記各実施形態においては、除染液としてエタノールを使用し、その適正噴霧量についても説明したが、これに限定するものではなく、2−プロパノールその他の除染液を使用し、当該除染液に適する量を噴霧するようにしてもよい。
(4)上記第3実施形態に係る一体型の内面除染装置は、噴霧機構として第1実施形態と同じベンチュリ効果を採用するものであるが、これに限定するものではなく、第2実施形態と同じ噴射ノズルを採用するようにしてもよい。
(5)上記第4実施形態に係るリーク検査機能を有する内面除染装置は、噴霧機構として第1実施形態と同じベンチュリ効果を採用するものであるが、これに限定するものではなく、第2実施形態と同じ噴射ノズルを採用するようにしてもよい。
(6)上記第4実施形態に係るリーク検査機能を有する内面除染装置は、第1実施形態と同じく除染液供給手段と除染液噴射手段を接続ポート閉鎖部材の外部に有するものであるが、これに限定するものではなく、第3実施形態と同じ一体型としたリーク検査機能を有する内面除染装置としてもよい。
11…作業用グローブ、11a…外表面、11b…内面、11c…指部、
12…基端部(上腕部)、13…オーリング、14…閉鎖空間、15…霧状の噴射、
20、30、40、50…内面除染装置、
21、31、41、51…接続ポート閉鎖部材、
21a、31a、41a、51a…蓋部、
21b、31b、41b、51b…筒部、
21c、31c、41c、51c…パッキン、
22、32、42、52…除染液供給手段、
22a、32a、42a、52a…除染液槽、
22b、32b、42b、52b…除染液供給配管、
22c、32c、42c、52c…除染液供給口、
23、33、43、53…除染液噴霧手段、
23a、33a、43a、53a…圧縮空気発生装置、
23b、33b、43b、53b…圧縮空気供給配管、
23c、43c、53c…空気吐出口、33c…噴射ノズル、
54…圧力センサー、54a…センサー部、54b…アンテナ部。
Claims (7)
- 外部環境に位置する作業者が無菌環境を維持した作業室の内部で作業するために、当該作業室の壁面に開口した作業用開口部に設けられた接続ポートから当該作業室の内部に向けて気密性を保持して取り付けられた作業用部材の前記外部環境側に接する面(内面)を除染するための装置であって、
前記接続ポートを前記外部環境側から封鎖して、当該接続ポートと前記作業用部材の内面とで囲まれた閉鎖空間を形成する接続ポート閉鎖部材と、
前記接続ポート閉鎖部材を介して、前記閉鎖空間の内部に除染液を供給する除染液供給手段と、
前記閉鎖空間の内部に供給される除染液を当該閉鎖空間の内部で霧化して前記作業用部材の内面に噴霧する除染液噴霧手段とを有することを特徴とする内面除染装置。 - 前記除染液噴霧手段は、圧縮空気を発生する圧縮空気発生装置と、当該圧縮空気発生装置と前記閉鎖空間の内部とを前記接続ポート閉鎖部材を介して連通する圧縮空気供給配管とを具備すると共に、前記閉鎖空間の内部において当該圧縮空気供給配管の延端部が前記作業用部材の内面に向けて開口する空気吐出口を形成し、
前記除染液供給手段は、前記除染液を収容する除染液槽と、当該除染液槽と前記閉鎖空間の内部とを前記接続ポート閉鎖部材を介して連通する除染液供給配管とを具備すると共に、前記閉鎖空間の内部において当該除染液供給配管の延端部が前記空気吐出口の吐出方向と交差する方向に開口する除染液供給口を形成し、
前記空気吐出口からの空気が、前記除染液供給口の上部に吐出されることにより、当該除染液供給口から供給される除染液が、前記空気吐出口から吐出される空気により吸い上げられ、前記作業用部材の内面に向けて霧状に噴射されることを特徴とする請求項1に記載の内面除染装置。 - 前記除染液供給手段は、前記除染液を収容する除染液槽と、当該除染液槽と前記閉鎖空間の内部とを前記接続ポート閉鎖部材を介して連通する除染液供給配管とを具備すると共に、前記閉鎖空間の内部において当該除染液供給配管の延端部が前記作業用部材の内面に向けて開口する除染液供給口を形成し、
前記除染液噴霧手段は、前記除染液供給口に配設された噴射ノズルと、圧縮空気を発生する圧縮空気発生装置と、当該圧縮空気発生装置と前記除染液槽の内部とを連通する圧縮空気供給配管とを具備し、
前記圧縮空気発生装置から前記圧縮空気供給配管を介して供給される圧縮空気が、前記除染液槽の内部を加圧することにより、当該除染液槽の内部の除染液が、前記除染液供給配管を介して前記噴射ノズルに供給され、当該噴射ノズルから前記作業用部材の内面に向けて霧状に噴射されることを特徴とする請求項1に記載の内面除染装置。 - 作業用部材内加圧設定手段、作業用部材内圧力検知手段、及び、制御手段を有して、
前記接続ポート閉鎖部材を介して前記閉鎖空間の内部に圧縮空気を供給し、前記作業用部材内加圧設定手段により当該閉鎖空間の内部の圧力を一定に維持し、前記作業用部材内圧力検知手段により継時的な圧力変化を検知することにより、
作業用部材のピンホールなどの不備を検査するための作業用部材用リーク検査装置の機能を併せ持つことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の内面除染装置。 - 前記作業用部材は、作業用グローブ又はハーフスーツであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の内面除染装置。
- 前記除染液は、エタノール又は2−プロパノールなどの消毒用アルコールであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の内面除染装置。
- 請求項1〜6のいずれか1つに記載の内面除染装置を用いて、前記作業用部材の内面に対して前記除染液の噴霧量を1μL/cm2〜5μL/cm2の範囲内とすることを特徴とする内面除染方法。
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