JP2017005182A - セラミックス配線板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明のセラミックス配線板の製造方法は、少なくとも一方の面に溝が設けられた接合用銅板の溝が設けられた面のうち、溝が設けられていない部分の表面に、ロウ材を主成分として含むロウ材層を形成するロウ材層形成工程と、セラミックスおよびガラスセラミックスから選択される絶縁体材料からなる絶縁体基板と、接合用銅板とを、ロウ材層が絶縁体基板と接触するように積層して焼成することにより、絶縁体基板と接合用銅板とを接合する接合工程と、絶縁体基板と接合用銅板とが接合された積層体の接合用銅板が設けられた側の表面を、溝が貫通孔となるまでエッチングするエッチング工程と、を少なくとも経て、セラミックス配線板を製造することを特徴とする。
まず、ロウ材層形成工程では、少なくとも一方の面に溝12Gが設けられた接合用銅板10の溝12Gが設けられた面(第一面14)のうち、溝12Gが設けられていない部分の表面(接合面14C)に、ロウ材を主成分として含むロウ材層20を形成する。
接合工程では、まず、図1(C)に示すように、セラミックスおよびガラスセラミックスから選択される絶縁体材料からなる絶縁体基板30と、接合用銅板10とを、ロウ材層20が絶縁体基板30と接触するように積層する。そして、積層することで得られた第一中間積層体40を焼成することにより、絶縁体基板30と接合用銅板10とを接合する。これにより絶縁体基板30と接合用銅板10とが、焼成されたロウ材層20(焼成後ロウ材層22)により接合された第二中間積層体42を得る(図1(D))。
続いて、エッチング工程では、絶縁体基板30と接合用銅板10とが接合された積層体(第二中間積層体42)の接合用銅板10が設けられた側の表面(接合用銅板10の第二面16)を、溝12Gが貫通孔12THとなるまでエッチングする。
図2に示す手順にて、厚さ200μmの銅板100の片面をエッチングすることで、片面に溝12G(深さ100μm)を設けた接合用銅板10を2枚作製した。次に、各々の接合用銅板10に対して、ペースト状ロウ材をスクリーン印刷することにより、図1(B)に示すように接合面14C上にのみ選択的にロウ材層20を形成した。なお、スクリーン印刷に用いたスクリーンマスクとしては、メッシュ状の開口部が一様に形成された125メッシュのステンレス版(全面開口マスク)を用いた。また、ペースト状ロウ材に用いたロウ材としては、BAg−8(Ag:71〜73質量%、Ag,Cu以外の元素:0.15質量%以下、Cu:残部):100質量部に対してチタン:2質量部の割合で添加した銀ロウ(ロウ材の最大粒径:45μm)を用いた。なお、ステンレス版の溝12G側に刷り出したペースト状ロウ材は、スクリーン印刷機の裏掻き機能により回収して、再利用した。なお、スクリーン印刷に際しては、ステンレス版の表面に対するペースト状ロウ材の刷り出し厚みは100〜120μmに設定した。但し、ロウ材層20の厚みと溝12Gの深さとの和は、刷り出し厚みよりも十分に大きかった。
実施例1において、接合用銅板10の溝12Gの深さを150μmとした以外は、実施例1と同様にしてセラミックス配線板60を作製した。
実施例1において、接合用銅板10の代わりに銅板100を用いると共に、銅板100の表面へのロウ材層20の形成に際しては、メッシュ状の開口部が配線パターン対応して形成された125メッシュのステンレス版(部分開口マスク)を用いてスクリーン印刷を行った以外は、実施例1と同様にしてセラミックス配線板を作製した。
実施例1,2のセラミックス配線板60および比較例1のセラミックス配線板について、これらを分解して光学顕微鏡により、焼成後ロウ材層22の滲みや配線間の短絡の有無等について評価した。結果を以下の表1に示す。なお、表1中に示す評価結果の評価基準は以下の通りである。
◎:ロウ材の滲みは無く、焼成後ロウ材層22の形状もシャープである。配線間の短絡も全く無い。
○:部分的にロウ材の滲みの大きい箇所があり、焼成後ロウ材層22の形状は、シャープさに欠ける。但し、配線間の短絡は無く、配線板として問題無く利用できる。
×:ロウ材の滲みが著しく、焼成後ロウ材層22の形状は大幅に型崩れしている。配線間に滲み出たロウ材をエッチングして除去しないと配線板として使用できない。
12G :溝
12TH :貫通孔
14 :第一面
14C :接合面
16 :第二面
20 :ロウ材層
22 :焼成後ロウ材層
30 :絶縁体基板
40 :第一中間積層体
42 :第二中間積層体
50 :配線層
60 :セラミックス配線板
100 :銅板
110,120 :レジスト膜
Claims (8)
- 少なくとも一方の面に溝が設けられた接合用銅板の前記溝が設けられた面のうち、前記溝が設けられていない部分の表面に、ロウ材を主成分として含むロウ材層を形成するロウ材層形成工程と、
セラミックスおよびガラスセラミックスから選択される絶縁体材料からなる絶縁体基板と、前記接合用銅板とを、前記ロウ材層が前記絶縁体基板と接触するように積層して焼成することにより、前記絶縁体基板と前記接合用銅板とを接合する接合工程と、
前記絶縁体基板と前記接合用銅板とが接合された積層体の前記接合用銅板が設けられた側の表面を、前記溝が貫通孔となるまでエッチングするエッチング工程と、
を少なくとも経て、セラミックス配線板を製造することを特徴とするセラミックス配線板の製造方法。 - 前記接合用銅板の厚みを100%とした場合の前記溝の深さが40%〜80%であることを特徴とする請求項1に記載のセラミックス配線板の製造方法。
- 前記接合用銅板の平面方向において、前記溝が前記接合用銅板の外周端まで達するように連続して設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のセラミックス配線板の製造方法。
- 前記絶縁体材料が、窒化アルミニウムおよび窒化ケイ素からなる群より選択される窒化物系セラミックスであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のセラミックス配線板の製造方法。
- 前記絶縁体材料が、炭化ケイ素であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のセラミックス配線板の製造方法。
- 前記ロウ材は、銀およびニッケルの少なくともいずれかを主成分として含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載のセラミックス配線板の製造方法。
- 前記接合用銅板が、両面が平坦面からなる銅板の少なくとも一方の面の一部分を選択的にエッチングすることで前記溝を形成する溝形成工程を経て製造されることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載のセラミックス配線板の製造方法。
- 前記ロウ材層形成工程において、メッシュ状の開口部が一様に形成されたスクリーンマスクを用いてスクリーン印刷を行うことにより前記ロウ材層を形成することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載のセラミックス配線板の製造方法。
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2015
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