JP2018137375A - 絶縁回路基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
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また、上述の絶縁回路基板においては、絶縁層の一方の面に導電性の優れた金属片を接合して回路層とし、また、他方の面に放熱性に優れた金属片を接合して金属層を形成した構造のものが提供されている。
さらに、回路層に搭載した素子等において発生した熱を効率的に放散させるために、絶縁層の他方の面側にヒートシンクを接合したヒートシンク付き絶縁回路基板も提供されている。
また、特許文献2には、セラミックス基板の一方の面にアルミニウム片を接合し、このアルミニウム片に銅片を固相拡散接合することにより、アルミニウム層と銅層とが積層された回路層を形成した絶縁回路基板が提案されている。
さらに、特許文献3には、セラミックスからなる基材の一方の面に導電性の回路層が形成され、絶縁基板の他方の面に放熱体が接合され、回路層上に発光素子が搭載された構造のLEDモジュールが開示されている。
また、アクリル系樹脂と溶剤とを含有する仮止め材の粘着力により、絶縁層と金属片とを確実に仮止めすることができる。これにより、その後の工程における金属片の脱落や位置ズレの発生を抑制することができ、絶縁回路基板の製造が容易となる。
また、アクリル系樹脂と溶剤とを含有する仮止め材の粘着力により、アルミニウム層と金属片とを確実に仮止めすることができる。これにより、その後の工程における金属片の脱落や位置ズレの発生を抑制することができ、絶縁回路基板の製造が容易となる。
この場合、仮止め材を塗布後に、溶剤が急激に揮発することがなく、仮止め材の粘着力を確保することができ、金属片を確実に仮止めすることができる。
この場合、前記アクリル系樹脂の含有量Aと溶剤の含有量Bとの重量比A/Bが30/70以上とされているので、仮止め材の流動性が低くなり、金属片を確実に固定することができる。
一方、前記アクリル系樹脂の含有量Aと溶剤の含有量Bとの重量比A/Bが90/10以下とされているので、溶剤によって粘着性を確保することができ、金属片を確実に固定することができる。
この場合、前記仮止め材は、沸点範囲が互いに異なる低沸点溶剤と高沸点溶剤の少なくとも2種以上の溶剤を含有しているので、溶剤の比率が高く粘度が低い状態で仮止め材を良好に塗布することができる。そして、仮止め材を塗布後に低沸点溶剤が揮発することで仮止め材の粘度が上昇することになり、金属片を確実に固定することができる。
この場合、沸点範囲が50℃以上150℃未満の範囲内とされた低沸点溶剤を含んでいるので、仮止め材を塗布する際には粘度が低く、塗布後に低沸点溶剤が速やかに揮発して仮止め材の粘度が上昇し、金属片を確実に固定することができる。
一方、沸点範囲が180℃以上300℃以下の範囲内とされた高沸点溶剤を有しているので、溶剤が容易に揮発することがなく、アクリル系樹脂と高沸点溶剤とを有することで粘着性が確保され、金属片を確実に固定できるとともに、高沸点溶剤を接合工程で揮発させることができる。
この場合、前記アクリル系樹脂の含有量Aと前記高沸点溶剤の含有量Bとの重量比A/Bが30/70以上とされているので、仮止め材の流動性が低くなり、金属片を確実に固定することができる。
一方、前記アクリル系樹脂の含有量Aと前記高沸点溶剤の含有量Bとの重量比A/Bが90/10以下とされているので、溶剤によって粘着性を確保することができ、金属片を確実に固定することができる。
この場合、仮止め材を塗布する際には低沸点溶剤を含んでいることから容易に塗布することができ、塗布後に低沸点溶剤を揮発させることで仮止め材の粘度が上昇し、金属片を確実に固定することができる。
図1に、本発明の実施形態である絶縁回路基板の製造方法によって製造された絶縁回路基板10、及び、この絶縁回路基板10を用いたパワーモジュール1を示す。
半導体素子3は、半導体を備えた電子部品であり、必要とされる機能に応じて種々の半導体素子が選択される。
この回路層12には、上述の金属片22をパターン状に接合することで回路パターンが形成されており、その一方の面(図1において上面)が、半導体素子3が搭載される搭載面とされている。ここで、回路層12の厚さは0.1mm以上2.0mm以下の範囲内に設定されており、本実施形態では0.6mmに設定されている。
なお、ヒートシンク31と絶縁回路基板10の金属層13とは、固相拡散接合されている。
まず、図3で示すように、セラミックス基板11の一方の面に複数の金属片22を接合して回路層12を形成するとともに、セラミックス基板11の他方の面に金属片23を接合して金属層13を形成する(金属片接合工程S01)。
ここで、本実施形態では、セラミックス基板11の一方の面に複数の金属片22をパターン状に配置することにより、回路パターンが形成される。
なお、仮止め材40は、アクリル系樹脂の含有量Aと沸点が150℃以上の溶剤の含有量Bとの重量比A/Bが30/70以上90/10以下の範囲内とされている。
なお、溶剤としては、メチルセルソルブ、エチルセルソルブ、モノプロピレングリコールモノメチルエーテル、テルピネオール、メチルカルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、フタル酸ジブチル、フタル酸ビス(2−エチルヘキシル)等を用いることができる。
低沸点溶剤としては、エタノール、イソプロピルアルコール、アセトン、トルエン、メチルセルソルブ、エチルセルソルブ、モノプロピレングリコールモノメチルエーテル等を適用することができる。
高沸点溶剤としては、テルピネオール、メチルカルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、フタル酸ジブチル、フタル酸ビス(2−エチルヘキシル)等を用いることができる。
なお、沸点範囲が互いに異なる低沸点溶剤と高沸点溶剤の少なくとも2種以上の溶剤を用いる場合、アクリル系樹脂の含有量Aと高沸点溶剤の含有量Bとの重量比A/Bが30/70以上90/10以下の範囲内とするとよい。
ここで、塗布時における仮止め材40の粘度範囲は、それぞれの塗布方法に適した粘度範囲とすることができる。例えば、ディスペンサーを用いる場合には0.01Pa・s以上10Pa・s以下の範囲内とすることが好ましい。また、スクリーン印刷を用いる場合には10Pa・s以上200Pa・s以下の範囲内とすることが好ましい。さらに、スプレーを用いる場合には0.001Pa・s以上10Pa・s以下の範囲内とすることが好ましい。
このように、溶剤が低沸点溶剤と高沸点溶剤とを含有する場合、塗布時には低沸点溶剤が含有されるため、仮止め材40の粘度が比較的低粘度となり、仮止め材40の塗布作業が容易になる。そして、塗布後に低沸点溶剤を揮発させることで、仮止め材40の粘度が上昇することにより、確実な仮止め効果を生じさせることが可能となる。
なお、低沸点溶剤を揮発させる際に加熱しても良いが、加熱することにより金属片22,23が酸化してしまうおそれがあるので、加熱することなく作業を行うことが好ましい。
この接合工程S12における接合条件は、真空条件は10−6Pa以上10−3Pa以下の範囲内、加熱温度は790℃以上850℃以下の範囲内、上記加熱温度での保持時間は0.1分以上120分以下の範囲内、積層方向の加圧荷重が0.01MPa以上0.35MPa以下(1kgf/cm2以上35kgf/cm2以下)の範囲内に設定されている。
また、接合工程S12における加熱温度での保持時間の下限は1分以上とすることが好ましい。一方、加熱温度での保持時間の上限は60分以下とすることが好ましい。
さらに、接合工程S12における加圧荷重の下限は0.03MPa以上(3kgf/cm2以上)とすることが好ましい。一方、加圧荷重の上限は0.25MPa以下(25kgf/cm2以下)とすることが好ましい。
このヒートシンク接合工程S02における接合条件は、真空条件は10−6Pa以上10−3Pa以下の範囲内、加熱温度は400℃以上548℃以下の範囲内、加熱温度での保持時間が5分以上240分以下の範囲内に設定されている。
上記のようにして、図1に示すパワーモジュール1が製造される。
一方、アクリル系樹脂の含有量Aと高沸点溶剤の含有量Bとの重量比A/Bが90/10以下とされている場合には、溶剤によって粘着性を確保することができ、金属片22,23を確実に固定することができる。
この絶縁回路基板110は、図4に示すように、セラミックス基板11(絶縁層)と、このセラミックス基板11の一方の面(図4において上面)に形成された回路層112と、セラミックス基板11の他方の面(図4において下面)に形成された金属層113と、を備えている。
銅層112Bは、アルミニウム層112Aの一方側(図6において上側)に銅又は銅合金からなる銅片122Bが接合されることにより形成されている。本実施形態においては、銅層112Bは、図6に示すように、無酸素銅の圧延板からなる複数の銅片122Bがアルミニウム層112Aに固相拡散接合されることにより形成されている。
まず、図6で示すように、セラミックス基板11の一方の面にアルミニウム片122Aを接合してアルミニウム層112Aを形成するとともに、セラミックス基板11の他方の面にアルミニウム片123を接合して金属層113を形成する(アルミニウム片接合工程S101)。
このとき、複数のアルミニウム片122Aをパターン状に配置することにより、回路パターンが形成される。
ここで、本実施形態では、予めアルミニウム片122Aとろう材126、及び、アルミニウム片123とろう材127とが超音波接合によって一体化されている。
そして、本実施形態において使用される仮止め材40は、第一の実施形態と同様に、アクリル系樹脂と溶剤とを含有するものとされている。図6に示すように、セラミックス基板11に仮止め材40を塗布することによって、アルミニウム片122A、セラミックス基板11、アルミニウム片123が仮止めされることになる。
なお、本実施形態で用いられる仮止め材40は、第一の実施形態で説明した仮止め材と同様の構成のものを適用することができる。また、仮止め材40の塗布方法についても、第一の実施形態で説明した方法を適用することができる。
このアルミ接合工程S112における接合条件は、真空条件は10−6Pa以上10−3Pa以下の範囲内、加熱温度は630℃以上655℃以下の範囲内、上記加熱温度での保持時間は1分以上180分以下の範囲内、積層方向の加圧荷重が0.01MPa以上0.35MPa以下(1kgf/cm2以上35kgf/cm2以下)の範囲内に設定されている。
また、アルミ接合工程S112における加熱温度での保持時間の下限は5分以上とすることが好ましい。一方、加熱温度での保持時間の上限は120分以下とすることが好ましい。
さらに、アルミ接合工程S112における加圧荷重の下限は0.03MPa以上(3kgf/cm2以上)とすることが好ましい。一方、加圧荷重の上限は0.20MPa以下(20kgf/cm2以下)とすることが好ましい。
この銅片接合工程S102においては、まず、図6に示すように、アルミニウム層112Aの表面に、銅層112Bとなる銅片122Bを積層する(銅積層工程S121)。
このとき、パターン状に配置されたアルミニウム層112Aの上にそれぞれ銅片122Bを積層する。
そして、本実施形態において使用される仮止め材40は、第一の実施形態と同様に、アクリル系樹脂と溶剤とを含有するものとされている。図6に示すように、アルミニウム層112A及び銅片122Bの接合界面に仮止め材40を塗布することによって、アルミニウム層112Aと銅片122Bが仮止めされることになる。
なお、本実施形態で用いられる仮止め材40は、第一の実施形態で説明した仮止め材と同様の構成のものを適用することができる。また、仮止め材40の塗布方法についても、第一の実施形態で説明した方法を適用することができる。
この銅接合工程S122における接合条件は、真空条件は10−6Pa以上10−3Pa以下の範囲内、加熱温度は400℃以上548℃以下の範囲内、加熱温度での保持時間が5分以上240分以下の範囲内に設定されている。
また、本実施形態では、絶縁層をセラミックス基板で構成したもので説明したが、これに限定されることはなく、絶縁層を樹脂等で構成したものであってもよい。
さらに、本実施形態では、ヒートシンクをアルミニウムから成るものとして説明したが、これに限定されることはなく、銅等で構成されていてもよいし、内部に冷却媒体が流通される流路を備えたものであってもよい。
この積層体を積層方向に加圧した状態で加熱し、セラミックス基板の一方の面にアルミニウム層を形成し、セラミックス基板の他方の面に金属層を形成した。なお、このときの接合条件は、加圧荷重0.10MPa(10kgf/cm2)、加熱温度650℃、保持時間30分とした。また、真空度は10−6Paから10−3Paの間に収まるように制御した。
このとき、アルミニウム層と銅片の接合界面に、表1に示す仮止め材を配置し、アルミニウム層と銅片の位置決めを行って仮止めした。
ここで、後述する方法によって、シェア強度を測定した。
上述のようにして得られた絶縁回路基板について、回路パターン間の耐圧性を評価した。
最終樹脂濃度は高沸点溶剤と樹脂の比率として計算した。
アルミニウム層の上に仮止めした銅片との間のシェア強度を、ボンドテスター(西進商事株式会社製SS−15KP)を用いて測定した。
耐電圧試験機(菊水電子工業株式会社製TOS5050)を用いて、カットオフ値を0.5mAに設定した。接合後の絶縁回路基板のそれぞれの回路パターンにそれぞれ電極を当てて2kVの電圧を印加し、カットオフ値以上の電流が流れたものを「×」と評価し、カットオフ値未満の電流が流れたものを「○」と評価した。
これに対して、アクリル系樹脂を含有した仮止め材を用いた本発明例においては、パターン間に炭素残渣の付着なく耐圧性が十分であった。接合時に仮止め材に含まれるアクリル系樹脂が分解し、残渣が残らなかったためと推測される。また、シェア強度も、仮止めするのに十分な強度であった。
さらに、沸点範囲が互いに異なる少なくとも2種以上の溶剤(低沸点溶剤及び高沸点溶剤)を含む本発明例2−8においては、1種の溶剤のみを含む本発明例1に比べて、仮止め材の粘度調整が容易であり、作業性が向上した。
3 半導体素子
10,110 絶縁回路基板
11 セラミックス基板(絶縁層)
12,112 回路層
13,113 金属層
112A アルミニウム層
112B 銅層
22,23 金属片
122A、123 アルミニウム片(金属片)
122B 銅片(金属片)
Claims (8)
- 絶縁層と、この絶縁層の一方の面に形成された回路層と、前記絶縁層の他方の面に形成された金属層と、を備えた絶縁回路基板の製造方法であって、
前記絶縁層の表面に金属片を接合する金属片接合工程を備えており、
前記金属片接合工程においては、前記絶縁層と前記金属片との接合界面に、アクリル系樹脂と溶剤とを含有する仮止め材を塗布し、前記絶縁層と前記金属片とを位置決めした状態で仮止めする積層工程と、この積層体を積層方向に加圧して加熱することにより、前記絶縁層と前記金属片を接合する接合工程と、を有していることを特徴とする絶縁回路基板の製造方法。 - 絶縁層と、この絶縁層の一方の面に形成された回路層と、前記絶縁層の他方の面に形成された金属層と、を備えた絶縁回路基板の製造方法であって、
前記回路層及び前記金属層の少なくとも一方は、前記絶縁層側に配置されたアルミニウム層と、このアルミニウム層に積層された銅層と、を有し、
前記アルミニウム層の表面に銅又は銅合金からなる金属片を接合することによって前記銅層を形成する金属片接合工程を備えており、
前記金属片接合工程においては、前記アルミニウム層と前記金属片との接合界面に、アクリル系樹脂と溶剤とを含有する仮止め材を塗布し、前記アルミニウム層と前記金属片とを位置決めした状態で仮止めする積層工程と、この積層体を積層方向に加圧して加熱することにより、前記アルミニウム層と前記金属片を接合する接合工程と、を有していることを特徴とする絶縁回路基板の製造方法。 - 前記仮止め材に含まれる溶剤の沸点が150℃以上であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の絶縁回路基板の製造方法。
- 前記仮止め材は、前記アクリル系樹脂の含有量Aと溶剤の含有量Bとの重量比A/Bが30/70以上90/10以下の範囲内とされていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の絶縁回路基板の製造方法。
- 前記仮止め材は、沸点範囲が互いに異なる低沸点溶剤と高沸点溶剤の少なくとも2種以上の溶剤を含むことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の絶縁回路基板の製造方法。
- 前記低沸点溶剤の沸点範囲が50℃以上150℃未満の範囲内とされ、前記高沸点溶剤の沸点範囲が180℃以上300℃以下の範囲内とされていることを特徴とする請求項5に記載の絶縁回路基板の製造方法。
- 前記仮止め材は、前記アクリル系樹脂の含有量Aと前記高沸点溶剤の含有量Bとの重量比A/Bが30/70以上90/10以下の範囲内とされていることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の絶縁回路基板の製造方法。
- 前記仮止め材を塗布した後に、低沸点溶剤を揮発させることを特徴とする請求項5から請求項7のいずれか一項に記載の絶縁回路基板の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021193150A1 (ja) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | 三井金属鉱業株式会社 | 仮固定用組成物及び接合構造体の製造方法 |
WO2023100939A1 (ja) * | 2021-11-30 | 2023-06-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 仮止め材、および、接合体の製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014168811A (ja) * | 2013-03-05 | 2014-09-18 | Mitsubishi Materials Corp | ろう付用シート、ろう付用シート構成体及びパワーモジュール用基板の製造方法 |
JP2014175425A (ja) * | 2013-03-07 | 2014-09-22 | Mitsubishi Materials Corp | パワーモジュール用基板の製造方法 |
JP2016105452A (ja) * | 2014-07-02 | 2016-06-09 | 三菱マテリアル株式会社 | 接合体の製造方法、多層接合体の製造方法、パワーモジュール用基板の製造方法、ヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法及び積層体の製造装置 |
-
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014168811A (ja) * | 2013-03-05 | 2014-09-18 | Mitsubishi Materials Corp | ろう付用シート、ろう付用シート構成体及びパワーモジュール用基板の製造方法 |
JP2014175425A (ja) * | 2013-03-07 | 2014-09-22 | Mitsubishi Materials Corp | パワーモジュール用基板の製造方法 |
JP2016105452A (ja) * | 2014-07-02 | 2016-06-09 | 三菱マテリアル株式会社 | 接合体の製造方法、多層接合体の製造方法、パワーモジュール用基板の製造方法、ヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法及び積層体の製造装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021193150A1 (ja) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | 三井金属鉱業株式会社 | 仮固定用組成物及び接合構造体の製造方法 |
JP6961137B1 (ja) * | 2020-03-27 | 2021-11-05 | 三井金属鉱業株式会社 | 仮固定用組成物及び接合構造体の製造方法 |
CN114730715A (zh) * | 2020-03-27 | 2022-07-08 | 三井金属矿业株式会社 | 临时固定用组合物及接合结构体的制造方法 |
CN114730715B (zh) * | 2020-03-27 | 2023-04-25 | 三井金属矿业株式会社 | 临时固定用组合物及接合结构体的制造方法 |
US11945974B2 (en) | 2020-03-27 | 2024-04-02 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Composition for provisional fixation and method for producing bonded structure |
WO2023100939A1 (ja) * | 2021-11-30 | 2023-06-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 仮止め材、および、接合体の製造方法 |
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Publication number | Publication date |
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