JP2016518792A - 低減されたカップリングを有する小型化に適したhfデバイス。 - Google Patents

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Abstract

低減された電磁気的な内部カップリングを有し、かつこれによって小型化に適したHFデバイスCが提供される。さらにこのようなデバイスを製造するための方法が提供される。このデバイスCは、ラダー型パターンの1つの微小音響フィルタを1つのハウジングH内に備え、1つの第1のコイルセグメントS1および1つの第2のコイルセグメントS2を有する1つのダブルコイルを備える。これらの第1および第2のコイルセグメントS1,S2は、互いに反対向きになっている。これらの第1および第2のコイルセグメントS1,S2は、1つの層に配設されており、上記のダブルコイルDCLは、上記のラダー型フィルタパターンの1つの並列分岐共鳴器の近傍に配設されている。【選択図】 図2

Description

本発明はHFデバイスに関し、このHFデバイスは、たとえば誘導性の電磁カップリングが低減されており、かつこれによって小型化に非常に適している。このような低減されたカップリングは、とりわけHFフィルタでは有利である。
HFデバイスの小型化の継続したトレンドは、デバイスにおける回路部分の相互のカップリングに関して特に問題となっている。小型化された構造によって、これらの回路部分間の距離は小さくなる。これによって他の部分における一部の望ましくない信号成分が容易にカップリングされ得る。たとえば何の対策も無しにデュプレクサを小型化したとすると、絶縁が劣化しかねない。この絶縁のために、1つの臨界値からは、小型化はもはや可能でない。これは、そこではこのデュプレクサが絶縁に関する所定の仕様をもはや満たし得ないからである。
特許文献1から、クロストークを低減するために、デュプレクサのアンテナ接続端子と受信接続端子との間、または送信接続端子と受信接続端子との間に1つの静電容量素子を配設することが知られている。
特許文献2から送信接続端子での1つのコイルが知られている。ここでこのコイルは、そのフィルター構造的に隣接する共鳴器(複数)の近傍に配置されるように、基板上に配設されている。
特許文献3から、誘導カップリングの低減用のコイルパターンが知られている。ここでこのコイルは、そのコイル巻線の一部が他のコイルの一部を覆っている領域を備える。
特許文献4から、8の字の形状の電流ループを有する微小音響フィルタが知られている。
上記の特許文献は、電磁カップリングの低減のための方法を与えるものであるが、しかしながら技術的に実現するには比較的難しいものである。
米国特許出願公開第2011/0254639A1号公報 国際公開公報2011/092879A1号 米国特許公報第7151430B2号 国際公開公報2011/101314A1号
したがって本発明の課題は、カップリングが低減されたHFデバイスを提供することであり、ここでこのデバイスは容易に製造することができるものである。 さらに本発明の課題は、このようなデバイスの製造方法を提供することである。
これらの課題は独立請求項に記載の発明により解決される。従属項は本発明の有利な実施例を提示する。
HFデバイスは、1つのハウジングと、このハウジング内に配設されている、1つのラダー型フィルタパターンを有する1つの微小音響フィルタとを備える。ここでこのラダー型フィルタパターンは、少なくとも1つの直列分岐共鳴器と1つの並列分岐共鳴器とを備える。このデバイスはさらに、1つの第1のコイルセグメント(Spulensegment)と1つの第2のコイルセグメントとを有する、1つのダブルコイルを備える。このダブルコイルも、同様に上記のハウジング内に配設されている。第1のコイルセグメントは、第1の向きを有する1つの外側の巻回セグメント(Windungssegment)を備える。第2のコイルセグメントも同様に、1つの外側の巻回セグメントを備えるが、ただしこの巻回セグメントは、上記の第1の向きに反対方向の第2の向きを有する。これら2つの外側の巻回セグメントは、1つの接続点で結合されている。これら2つのコイルセグメントは、交差することなく1つの単一の層に配設されている。上記のダブルコイルは、上記の並列分岐共鳴器の近傍に配設されている。
上記の2つのコイルセグメントが反対方向であることは、これらのダブルコイルの近傍に配置されている少なくとも1つの領域における電磁気的カップリングを低減するように作用する。一般的にこのダブルコイルは、2つの領域におけるカップリングをも低減し、ここでこれらのコイルはこれらの領域の間のほぼ中央に配設されている。
ここで1つのコイルは1つの導体であり、たとえば磁場の生成に適した1つの巻線である。ここで上記の2つのコイルセグメントの各々は、1つの巻き数を有する1つのコイルを備える。ここでこの巻き数は、上記の導体がこのコイルセグメントの中心の周りを何回回っているかを表すものである。ここでこの巻き数は0より大きい整数であると見做してよい。しかしながらこの巻き数は整数に限定されるものでなく、むしろ有理数または実数の値であると見做してもよい。
微小音響フィルタを有するHFデバイスが微小化に適していることは自明である。これは微小フィルタ、たとえばSAWデバイス(SAW=surface acoustic wave = akustische Oberflaechenwelle),BAWデバイス(BAW=bulk acoustic wave = akustische Volumenwelle),またはGBAWデバイス(GBAW=guided bulk acoustic wave = gefuehrte akustische Volumenwelle)は、小さなサイズで良好な絶縁特性を備えているからである。ダブルコイルは、このコイルの近傍の領域におけるカップリングを低減する位置にあることが知られている。さらにHFデバイス(複数)のあるデバイス、具体的には音響波で動作する小さなデバイスは、カップリングする信号にとりわけ敏感に反応し、このため特別な保護対策を必要とする。さらにこのダブルコイルは、とりわけ敏感なデバイスを保護するのに適している手段であることが知られている。このダブルコイルが上記の並列分岐共鳴器の近傍に配設されることにより、このダブルコイルは、このカップリングが低減された領域が感受性の1つの敏感なデバイスを有する少なくとも1つの領域と重なるように、容易に調整することができる。
ここでこのダブルコイル自体は、1つのインダクタンス素子となっており、これはフィルタ構造的には、たとえばインピーダンス素子またはESD保護素子としていずれにしても必要とされているものである。この場合このダブルコイルは、まったく追加的な素子ではなく、この低減されたサイズという利点は、このコイルの配設によるものであって、このコイル自体が必要とするスペースによるものではない。
1つの実施形態においては、上記の2つのコイルセグメントの少なくとも1つはスパイラル形状に形成されている。これら両方のコイルセグメントがスパイラル形状に形成されていてもよい。この「スパイラル形状」とは、ここでは導体が1つの経路を辿り、この経路の距離が、たとえば電流方向で見て、ほぼこのコイルの中心の周りを延伸し、かつその距離が単調に増加または低下することを意味している。この経路に沿った距離は単に単調に増大または低下するのでなく、むしろ極めて単調に増大または低下してよい。
1つの実施形態においては、上記の2つのコイルセグメントの少なくとも1つは、1つのm角形の外形により、またはn個の直線状の導体切片から構成されている。ここでmおよびnは3以上であってよい。さらにこれらのコイルセグメントの少なくとも1つが湾曲した経路を備えてよい。したがってこの曲がりは単調に増大または低下し、または極めて単調に増大または低下してよい。
ここで上記のm角形の外形は、3,4,5,6,7,8,9,10,11,12,またはこれ以上の角を備えてよい。上記の直線状の導体切片の数nは、実質的にこの外形の角の数mに巻き数を掛けたもので定義される。上記のコイルセグメントが、m角形の外形を全く有していない場合、この直線状の導体切片の数は5〜80であってよい。
さらに上記の2つのコイルセグメントを、直線状の導体切片(複数)から、および/または1つのm角形の外形を用いて構成することが可能である。
さらに1つのコイルセグメントまたは2つのコイルセグメントが、1つの湾曲した経路に沿って延在することが可能である。
1つの実施形態においては、上記の2つのコイルセグメントの少なくとも1つは、アスペクト比がほぼ1より小さいか,1に等しいか,または1より大きい。
ここでこのアスペクト比は、ほぼ1つの部分コイルの長さ/幅の比である。ここでこの長さは、上記のコイルセグメント(複数)の両方の中心を結んだ線に対して平行な方向で規定される。この幅はこれに垂直な方向で規定される。たとえば1つのコイルセグメントが、巻き数の多い、細い導体路および巻線間の狭い間隔の1つのスパイラルである場合、この大きな巻き数のアスペクト比はほぼ1に近づく。
上記の2つのコイルセグメントが同じアスペクト比または異なるアスペクト比を有することが可能である。1つのコイルセグメントが1より小さいアスペクト比を有し、もう1つのコイルセグメントが1より大きいアスペクト比を有することも可能である。
1より大きなアスペクト比では、より小さな幅の上記のダブルコイルが得られ、これにより、不利となり得るこのダブルコイルの他の回路素子との重なりを低減することができる。
1つの実施形態においては、上記の第1のコイルセグメントは、第1の拡がりを有し、これに対し上記の第2のコイルセグメントは、第2の拡がりを有する。ここでこの第2の拡がりは、第1の拡がりとほぼ等しいか、または大きいかまたは小さくてよい。ここでこの「拡がり」なる用語は、その内部に1つのコイルセグメントの全ての導体切片が延在する最も小さな領域を意味する。ここで上記の2つのコイルセグメントの拡がりの形状と大きさ、およびこれらの拡がりの内側のコイルの行路は、これらのコイルが生成することができる電磁場の形状と強度をほぼ決定する。以上のようにこれらの拡がりは、上記のダブルコイルによるカップリングがどの程度低減されるかを決定するために重要である。
1つの実施形態においては、上記の2つのコイルセグメントの双方の巻き数は、同じかまたは異なっている。これらの巻き数は、それぞれ互いに独立に、概ね0.25〜100で任意に選択されていてよい。
1つの実施形態においては、上記の第1のコイルセグメントは1つの中心を有し、かつ上記の第2のコイルセグメントは1つの中心を有する。これら2つの中心を通る接続線に垂直になっており、かつ上記の接続点を通って延在する軸は、この軸の回りの領域における電磁気的カップリングが低減された範囲を画定する。
たとえば上記の2つのコイルセグメントが対称またはほぼ対称に形成されている場合、この電磁気的カップリングが低減された範囲がダブルコーンであることが可能である。このダブルコーンの領域、すなわち一般的には電磁気的カップリングが低減された範囲においては、反対向きの誘導性カップリングの感受性のあるデバイス機能部が配設されている。
ここで上記のダブルコーンの領域は、実質的に、上記の2つのコイルセグメントによって生成された磁場が相互に補償し合っていることを特徴としており、これによりカップリングが低減された領域、すなわちダブルコーンが得られる。
とりわけ感受性のあるデバイス機能部、たとえば音響波で動作するフィルタにおけるDMSパターン(DMS=Double Mode SAW,二重モードSAW)は、この領域に配設されていてよい。
1つの好ましい実施形態においては、上記のダブルコーンは、半開き角αのダブルコーンとなっており、ここでαは0°〜50°である。特にこの半開き角αは40°であってよい。
電子HFデバイスの1つの製造方法においては、上記の2つのコイルセグメントが1つの共通な層に形成される。これは容易に可能であるが、これは上記のダブルコイルが1つの単一の層に配設されているからである。
本発明によるデバイスおよび/または方法の1つの実施形態においては、上記の共通な層は、2つ以上の重なって配設された層膜を備える。
このデバイスが1つのデュプレクサである場合、1つのバランス型に実装された受信出力への1つの送信フィルタのカップリングが低減されるように、上記のダブルコイルを上記のハウジングの中に配置することが可能である。
上記のダブルコイルは、上記の接続点を対称中心とする点対称であってよく、またはこの接続点を通る鏡面対称軸とする鏡面対称であってよい。しかしながらこのダブルコイルは非対称に形成されていてもよい。これよりたとえばコイルセグメント当たりの巻き数は異なっていてよい。
このダブルコイルの製造は、単層プロセスで可能である。
以下で本発明によるHFデバイスを、実施例および実施例に関連した概略図に参照してより詳細に説明する。
デバイスCのハウジングHの横断面を示す。 1つの並列共鳴器に対するダブルコイルの可能な配置を示す。 ダブルコイルがほぼ1のアスペクト比を有する、1つのデバイス Cを示す。 ダブルコイルが1より大きいアスペクト比を有する、1つのデバ イスCを示す。 ダブルコイルの向きに対するダブルコーンの領域を示す。 ダブルコイルの1つの可能な実施形態を示す。 ダブルコイルの1つの代替の実施形態を示す。 ダブルコイルの1つの代替の実施形態を示す。 ダブルコイルの1つの代替の実施形態を示す。 ダブルコイルの1つの代替の実施形態を示す。 ダブルコイルの1つの代替の実施形態を示す。 ダブルコイルの1つの代替の実施形態を示す。 5角形の外形を有する1つのコイルセグメントの1つの構成を 示す。 ダブルコイル有り/無しのデュプレクサの行列要素S12,S23 を示す。 ダブルコイル有り/無しのデュプレクサのTX−RXの絶縁を 示す。 より大きな周波数領域における行列要素S12,S23を示す。 より大きな周波数領域におけるデュプレクサの行列要素S13( TX−RXの絶縁)を示す。 TX入力部での反射を示す。 TX入力部での周波数依存の入力インピーダンスを示す。 RX出力部での反射を示す。 RX出力部での周波数依存のインピーダンスを示す。 アンテナ接続端子での反射を示す。 アンテナ接続端子での周波数依存のインピーダンスを示す。
図1は1つのデバイスCの横断面を示す。ハウジングH内にはデバイス素子(複数)CCが配設されている。これらのデバイス素子CCは、たとえば音響波で動作するフィルタ素子(複数)であってよい。微小化の継続的なトレンドによって、これらのデバイス素子CCの間の距離は減少し、これによりカップリングはますます問題となっている。ここでこれらの素子CCの1つは、上述のような1つのダブルコイルを含んでよく、またこれによってカップリングの低減された領域を実現することができ、これによってさらなる微小化が可能である。
図2は1つのラダー型フィルタ回路を有する1つのデバイスCの1つの実施形態を示す。このラダー型フィルタ回路は、直列に接続されている2つの直列分岐共鳴器を備える。さらにこのフィルタ回路は、2つの並列共鳴器PRを備え、これらはそれぞれ上記の直列分岐のグラウンドとの接続部であり得る。1つのダブルコイルDCLは、1つの並列分岐共鳴器PRの近傍に配設されており、かつ上記の2つの直列共鳴器SRの右側が1つのダブルコーンの領域に配設されるように配置されている。ここでこのダブルコイルDCLは、1つの第1のコイルセグメントS1と1つの第2のコイルセグメントS2とを備える。これら2つのコイルセグメントの向きは、電流の流れ方向に関し、互いに逆方向となっている。
図3は、1つのダブルコイルDCLと1つのラダー型フィルタパターンとを有する、1つのデバイスCを示す。このラダー型フィルタパターンは、5個の直列分岐共鳴器SRおよび4個の並列分岐共鳴器PRを備える。このダブルコイルDCLは、最も下側の並列分岐共鳴器の近傍に配設されている。最も上側の直列共鳴器SRと結合されて、1つのDMSパターンが配設されている。ここでダブルコイルDCLは、このDMSパターンDMSに対して、このDMSパターンDMSが、このコイルDCLによってカップリングが低減される1つの領域にあるように、配設および配向される。DMSパターンは、具体的には1つのデュプレクサの1つのRX出力と回路接続されていてよく、かつ受信信号を1つの低雑音増幅器に転送してよい。このため1つのDMSパターンへの望ましくない信号のカップリングは、特に重大であろう。
ここでダブルコイルDCLは、長さL1および幅W1を有する。ここでこの長さは、上記のコイルセグメント(複数)の中心を結んだ線の方向で規定される。この幅はこれに直角な方向で規定される。アスペクト比の定義には、このダブルコイルの長さの半分、すなわちほぼ1つのコイルセグメントの長さが用いられる。図3のダブルコイルのコイルセグメント(複数)は、ほぼ1のアスペクト比を有している。
図4は、デバイスCの1つの実施形態を示し、ここでは上記のダブルコイルのコイルセグメント(複数)が1つの増大されたアスペクト比を有している。長さL2は、ほぼ図3のダブルコイルの長さに相当している。図4のダブルコイルの幅W2は、図3のダブルコイルの幅W1に対して低減されている。こうして増大されたアスペクト比となる。この結果並列分岐共鳴器PR2との重なりは低減される。
図5は、ダブルコイルの配置に対するダブルコーンの配置を示す。コイルセグメント(複数)は、それぞれ1つの外側の巻線セグメントEXTSを備え、これらは1つの接続点CPで互いに結合されている。ダブルコーンDCNは、1つの対称軸Sを有し、これはコイルセグメント(複数)の中心(複数)を結ぶ線に対して直角になっている。このダブルコーンは、開き角2×40°、すなわち半開き角40°を有する。このダブルコーンにおいては、上記の電磁気的カップリング、具体的には誘導性カップリングが低減されている。このダブルコーンに配設されているデバイスは、ダブルコイルを通る電流による、低減された誘導性のクロストークを受ける。
図6はダブルコイルの1つの実施形態を示し、ここで下側のコイルセグメントは巻き数が2.5であり、また上側のコイルセグメントは巻き数が2.5である。
図7はダブルコイルの1つの実施形態を示し、ここで上側のコイルセグメントS1は巻き数が2であり、また下側のコイルセグメントS2は巻き数がほぼ0.75である。
図8はダブルコイルの1つの実施形態を示し、ここで上側のコイルセグメントは巻き数が2.5であり、また下側のコイルセグメントは巻き数が2である。
図9はダブルコイルの1つの実施形態を示し、ここで上側のコイルセグメントS1と下側のコイルセグメントS2は、それぞれ僅かに0.25を越える巻き数となっている。このダブルコイルは、入力あるいは出力ポートPを介して他の回路素子と回路接続されていてよい。こうしてこのダブルコイルは、たとえば上記のラダー型フィルタパターンの1つの並列共鳴器と回路接続されていてよい。
図10はダブルコイルの1つの実施形態を示し、ここで上側のコイルセグメントは巻き数が1.75であり、また下側のコイルセグメントは巻き数が2.5である。
図11はダブルコイルの1つの実施形態を示し、ここで上側のコイルセグメントも下側のコイルセグメントも巻き数が2である。
図12はダブルコイルの1つの実施形態を示し、ここで上側のコイルセグメントは巻き数が2.125であり、また下側のコイルセグメントは巻き数が2.625である。
図13は、5角形の外形を備え、15個の直線状の導体セグメントを備える、1つのコイルセグメントの1つの実施形態を示す。ここで内側の、最も短い導体セグメントは、径方向に向いており、かつ巻き数には寄与しない。
合計すると、図13のコイルセグメントの巻き数は2.8となる。
ここでは5角形であるが、上記のm角形の外形は対称的なm角形に基づいていてよい。しかしながらこの外形が非対称なm角形に基づいていてもよい。
図14は、1つのデュプレクサの伝達関数の行列要素S12の大きさを、ダブルコイル有りの場合(曲線1)と、従来の簡単なコイル(Einfachspule)の場合(曲線2)とに対し示す。曲線3および4は、受信フィルタの伝達関数S23を示す。ここでダブルコイルを有するデュプレクサの曲線1は、TX通過帯域の外側、特に受信周波数領域において、顕著に改善された阻止効果を示す。伝達関数3および4は、受信フィルタの伝達関数にはほぼこのダブルコイルの影響が無いことを示している。
図15は、ダブルコイル有り(曲線1)とダブルコイル無し(曲線2)のTX−RXの絶縁(行列要素S13)を示す。ここでダブルコイルがある場合は、絶縁が顕著に改善されている。
図16は図14の曲線ではあるが、これより広い周波数領域で示したものである。通過帯域から遥かに離れた伝達関数の振る舞いがほぼ一定となるように、上記のコイルを設置することが可能である。
図17は、図15の曲線をより広い周波数領域に対して示す。
図18は、1つのデュプレクサの接続端子での反射(行列要素S11)を示す。ここで曲線1は、ダブルコイルを有する1つのデュプレクサの反射を示し、これに対し曲線2は、従来の簡単なコイルを有する1つのデュプレクサの反射を示している。
図19は、送信接続端子の周波数依存のインピーダンスのスミスチャートを2つのデュプレクサに対し示したものであり、1つはダブルコイルを備えたもの、もう1つは従来の簡単なコイルを備えたものである。ここではこれらの特性インピーダンスは、殆ど差が無い。
図20は、アンテナ接続端子の反射(行列要素S33)を2つのデュプレクサに対して示したものであり、1つはダブルコイルを備えたもの、もう1つは従来の簡単なコイルを備えたものである。2つの曲線の振る舞いは、ほぼ同一であり、これよりダブルコイルはアンテナ入力での反射特性に影響を与えていない。
図21は、図20のデュプレクサに対する周波数依存のインピーダンスを示し、ここでも同様にコイルによるインピーダンスの変化は認められない。
図22は、受信接続端子での反射を2つのデュプレクサに対して示したものであり、1つはダブルコイルを備えたもの、もう1つは従来の簡単なコイルを備えたものである。これらの曲線はほぼ一致しており、これよりダブルコイルは受信接続端子での反射に対し認識できるような影響を全く与えない。
図23は、受信接続端子での周波数依存のインピーダンスを示し、1つはダブルコイルを備えたデュプレクサに対し、もう1つは簡単なコイルを備えたデュプレクサに対し示している。少なくともここで関連する周波数領域、すなわち50Ωの周りの領域である、スミスチャートの中心においては、ダブルコイルに起因する差が全く認識されない。
本発明によるデバイスは上記の実施形態例の1つに限定されない。追加的な導体切片(複数),フィルタ(複数),インピーダンス素子,およびこれらの組合せを有するデバイスも同様に本発明による実施形態例となるものである。
1,2 : 伝達関数S12,S23
11,12 : 受信接続端子での反射
3,4 : 伝達関数S23
5,6 : TX−RXの絶縁S13
7,8 : 送信接続端子での反射
9,10 : アンテナ接続端子での反射
C : HFデバイス
CC : デバイス素子
CP : 接続点
DCL : ダブルコイル
DCN : ダブルコーン
DMS : DMS(二重モードSAW,Double Mode SAW)パターン
EXTS : 外側巻線セグメント
H : ハウジング
L1,L2 : ダブルコイルの長さ
P : ダブルコイルの入力または出力ポート
PR : 並列分岐共鳴器
PR2 : 並列分岐共鳴器
S : ダブルコイルの対称軸
S1,S2 : 第1,第2のコイルセグメント
SR : 直列分岐共鳴器
1,W2 : ダブルコイルの幅

Claims (11)

  1. 電子HFデバイス(C)であって、
    ハウジング(H)と、
    前記ハウジング内に1つの直列分岐共鳴器(SR)と1つの並列分岐共鳴器(PR)とを有する1つのラダー型フィルタパターンを有する1つの微小音響フィルタと、
    前記ハウジング(H)内に1つの第1のコイルセグメント(S1)と1つの第2のコイルセグメント(S2)とを有する1つのダブルコイル(DCL)と、
    を備え、
    前記第1のコイルセグメント(S1)は、第1の向きを有する1つの外側の巻回セグメント(EXTS)を備え、
    前記第2のコイルセグメント(S2)は、反対方向の第2の向きを有する1つの外側の巻回セグメント(EXTS)を備え、
    前記第1および第2の巻回セグメント(S1,S2)は、1つの接続点(CP)に結合されており、
    前記第1および第2の巻回セグメント(S1,S2)は、交差することなく1つの単一の層に配設されており、
    前記ダブルコイル(DCL)は、前記並列分岐共鳴器(PR)の近傍に配設されている、
    ことを特徴とする電子HFデバイス。
  2. 前記第1および第2のコイルセグメント(S1,S2)の少なくとも1つはスパイラル形状に形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の電子HFデバイス。
  3. 前記第1および第2のコイルセグメント(S1,S2)の少なくとも1つは、
    mが3以上の、m角形の外形を有し、または
    nが3以上の、n個の直線状の導体切片から構成されている、
    ことを特徴とする、請求項1または2に記載の電子HFデバイス。
  4. 前記第1および第2のコイルセグメント(S1,S2)の少なくとも1つは、ほぼ1より小さいか,1に等しいか,または1より大きいアスペクト比を有することを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電子HFデバイス。
  5. 前記第1のコイルセグメント(S1)は、第1の拡がりを有し、前記第2のコイルセグメント(S2)は、第2の拡がりを有し、当該第2の拡がりは、前記第1の拡がりと異なるか、または前記第1の拡がりとほぼ等しいことを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電子HFデバイス。
  6. 前記第1および第2のコイルセグメント(S1,S2)の双方の巻き数は、同じかまたは異なっていることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の電子HFデバイス。
  7. 前記第1のコイルセグメント(S1)は、1つの中心を有し、前記第2のコイルセグメントは1つの中心を有し、
    1つの電磁気的カップリングが低減された領域が、前記第1のコイルセグメントおよび前記第2のコイルセグメントの中心を結ぶ直線に対して垂直で、かつ前記接続点(CP)を通って延在する1つの軸(S)によって規定されており、
    1つの互いに誘導性カップリングに対し感受性のあるデバイス機能部が前記領域に配設されている、
    ことを特徴とする、請求項6に記載の電子HFデバイス。
  8. 前記電磁気的カップリングが低減された領域は、1つのダブルコーンとなっており、
    前記デバイス機能部は、前記ダブルコーンの領域に配設されている、
    ことを特徴とする、請求項7に記載の電子HFデバイス。
  9. 前記ダブルコーン(DCN)は、50°以下の半開き角αを有することを特徴とする、請求項8に記載の電子HFデバイス。
  10. 前記第1および第2のコイルセグメント(S1,S2)は、1つの共通な層に形成されることを特徴とする、請求項1に記載の電子HFデバイスを製造するための方法。
  11. 前記共通な層は、2つ以上の層膜の堆積によって形成されることを特徴とする、請求項10に記載の方法。
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