JP2016503642A - 熱電デバイスおよびその製作方法 - Google Patents

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Abstract

熱電デバイス、モジュール、及びシステム並びに製作方法を提供する。熱電デバイス(200)は、第1及び第2の素子(202及び204)を有する。第1及び第2の素子(202及び204)は、第1及び第2の部分(206及び208)と第3及び第4の部分(212及び214)とを有し、第1及び第2の領域(210及び216)が第1の部分と第2の部分(206と208)の間及び第3の部分と第4の部分(112と114)の間をそれぞれ接続する。第1の部分と第2の部分(206と208)及び第3の部分と第4の部分(112と114)は、領域(210及び216)により電気的に結合され、第1の部分と第2の部分(206と208)の間及び第3の部分と第4の部分(212と214)の間の熱伝導は、それぞれ領域(110及び116)により妨げられる。熱電素子(203)は、第1及び第2の電極(219, 221)を有し、熱電素子(103)の電極(221)は、電気的及び熱的に部分(208)に結合され、電極(119)は、電気的及び熱的に部分(112)に結合される。

Description

本発明は、熱電材料、熱電デバイス、熱電素子等に関し、より具体的には、熱電デバイスの設計、モジュール、およびその製作に関する。
従来の熱電デバイスは、トムソン効果、ペルチェ効果、およびゼーベック効果などの熱電効果を示す熱電材料として周知の種類の材料を使用して、熱エネルギーを電気エネルギー流に直接変換するか、あるいはその逆に直接変換する。熱電材料は、相対する2つの端部があるように形成され、相対する2つの端部は、ゼーベック効果を用いて発電するための熱接点および電気接点を有し、熱電材料は一端を低温に、他端を高温にした熱勾配下に置かれる。2つの端部の温度差により、熱電材料は電流および電圧を発生する。
図1は先行技術に一致する簡略な斜視図であり、上部基板の一部を切り取ってモジュール100の内部構造を露出させている。熱がモジュール100を垂直に流れる一方で、電流は、モジュールの全体にわたって直列に接続されている各熱電対の中を上下に流れる。従来の熱電モジュールは、熱電対104および106で例示される複数の熱電デバイス102を使用しており、P型熱電材料110およびN型熱電材料108の両方を使用する。従来のP型熱電材料110およびN型熱電材料108を同じ温度勾配に曝すと、N型およびP型の熱電材料は、互いに反対方向の電流を発生する。図1に示す従来の熱電モジュールは、この特性を利用するために、共通の高温プレート112と共通の低温プレート114との間に挟まれて交互に並んだP型およびN型の材料110および108を、金属ストラップ120および122を例とする第1および第2の複数の金属ストラップを用いて直列回路内で電気的に接続して組み立てられている。矢印124および126で示す熱フラックスは、連続して電力が発生している間、PおよびNの熱電材料を平行に通過し、交互に並んだP型およびN型の熱電材料108および110により発生する電圧は付加的である。
モジュール100で示す従来の熱電モジュールは、その設計と機能にいくつかの固有の問題を有する。従来の設計には、前述したように熱電対104および106などのN型およびP型の両方のデバイスが必要である。PおよびNの熱電材料、例えば、熱電材料110および108は、電気的に整合しなければならず、そのために個々の熱電材料の物理的なサイジングを別々にすることがしばしば必要である。従来のモジュール設計では、P型およびN型のデバイスは直列に電気的に結合されるので、各デバイスはモジュールの性能を最適化するために、同じ個別電流を発生しなければならない。P型およびN型のデバイスの製作に使用される熱電材料は、通例、固有の異なる電流発生能力を有し、これはP型およびN型の熱電材料を異なるサイズで製作することにより緩和することができる。熱電材料のサイジングにより、モジュールの設計および製造はより複雑に、かつ高価になる。その結果、ほとんどのモジュール製造業者は、PおよびNのデバイスを同じサイズにするのがよりコスト効果的であることに気づき、それがモジュールの最適ではない発電に繋がっている。
PおよびNのデバイスは熱膨張に関しても整合しなければならない。P型およびN型のデバイスはそれぞれ、異なる熱膨張係数を有する異なる半導体材料で作られることがあるが、それが機械的応力を生じさせて、モジュールの信頼性と耐用期間を減じる結果となっている。
PおよびNの両方の熱電材料の温度依存性能は、最適な性能のためには整合しなければならない。しかし、P型およびN型の熱電材料のピーク電力動作温度は異なることがあり、共通のモジュールに押し込むと最適ではない発電性能に繋がる。
電流モジュール設計の製作には、P型およびN型の熱電材料を選択して、それをモジュールアレイに交互に精密に配置することが必要である。このためには、1つの熱電材料および/またはデバイスの置き違えがモジュールの機能を損なうので、熱電デバイスを構築する2種類の熱電材料(P型およびN型の材料)およびその配置を慎重に追跡する必要がある。P型およびN型のデバイスを接合する別々の接点構造も必要となることがあり、それは製造プロセスをより複雑かつ高価にする。
現在の熱電デバイスの設計と熱電モジュールの設計およびこれらの製作方法には厳しい制限と問題があることは容易に分かる。また、熱電デバイスおよびモジュールを構築するための現在の製作方法は複雑であって、信頼性不足を免れないことは明らかである。そのため、大量生産環境においてコスト効果的で簡単で製造容易な熱電デバイスおよびモジュールの組立品、設計および方法があれば非常に望ましい。
発明の概要
前述の欠点を是正した熱電モジュールの製作方法を説明する。本発明は、N型またはP型のいずれか1つの型の熱電材料を使用する。本発明により、すべての熱電デバイスは、電流に関して電気的に整合し、熱膨張に関して整合し、温度動作点に関して整合する。電流、熱膨張および温度動作点を整合することにより、最適なモジュール性能を設計して達成することができる。しかも、1種類の熱電型を使用することにより、製造の複雑さが大幅に単純になり、その結果、コストが低減する。
簡単に述べると、様々な代表的な態様において、本発明は、熱電デバイスおよびモジュールの製品とその製作する方法を提供する。第1の部分と第2の部分と領域とを有する第1の素子が形成されている。第1および第2の部分は、それぞれ第1および第2の部分上に第1および第2の表面を有し、第1および第2の表面は導電性でかつ熱伝導性である。第1の領域は、第1の部分から第2の部分まで延びており、第1の領域は断熱性でかつ導電性である。第2の素子は、第3の部分と第4の部分と第2の領域とを有する。第3の部分および第4の部分は第6および第7の表面をそれぞれ有し、第6および第7の表面は熱伝導性でかつ導電性である。第2の領域は、第3の部分から第4の部分まで延びており、この領域は断熱性でかつ導電性である。熱電素子は第1および第2の電極を有する。熱電素子の第1および第2の電極は、第1および第2の素子の第2および第3の部分の第2の表面および第6の表面に機械的および電気的にそれぞれ結合されている。
別の実施形態においては、熱電モジュールの製品およびその製作方法が提供される。第1の基板は、熱伝導性でかつ、第1の表面と第2の表面と第3の表面とを有し、第1の表面および第2の表面は互いに実質的に平行であり、第1の表面および第2の表面はある量だけずれて通常、変位しており、第3の表面は、第1および第2の表面から第1および第2の表面に対してある角度で延びている。第2の基板は、熱伝導性でかつ、第4の表面と第5の表面と第6の表面とを有し、第4の表面および第5の表面は実質的に平行でかつ、ある量だけずれており、第6の表面は、第4および第5の表面から第1および第2の表面に対してある角度で延びている。第1の部分と第2の部分と領域とを有する第1の素子が形成されている。第1および第2の部分は、第1および第2の部分上に第7、第8、第9および第10の表面をそれぞれ有し、第7および第8の表面は導電性でかつ熱伝導性である。第1の領域は、第1の部分から第2の部分まで延びており、第1の領域は断熱性でかつ導電性である。第2の素子は、第3の部分と第4の部分と第2の領域とを有する。第3の部分および第4の部分は第11、第12、第13および第14の表面をそれぞれ有し、第3および第4の部分の表面は熱伝導性でかつ導電性である。第2の領域は、第3の部分から第4の部分まで延びており、この領域は断熱性でかつ導電性である。熱電素子は、第1および第2の素子の第1の部分と第3の部分との間に設けられて、電気的に結合されており、第2の導電性素子は、第2の基板の熱伝導性でかつ電気絶縁性の第2の層上に設けられる。
本発明の追加の利点は、以下の詳細な説明に記載しており、詳細な説明から明らかであるか、あるいは本発明の例示的な実施形態の実施により知ることができる。本発明のさらに他の利点は、請求項で具体的に挙げる手段、方法または組合せのいずれかによって実現できる。
本発明の代表的な要素、動作特性、用途、および/または利点は、特に以下でより完全に図示し、説明し、請求される構造および動作の細部にある。これの一部をなす添付の図面を参照するが、同じ記号は全体を通して同じ部品である。他の要素、動作特性、用途、および/または利点は、詳細な説明で列挙する一定の例示的な実施形態に鑑みて当業者には明らかになるであろう。
先行技術における熱電モジュールを拡大したものである。 本発明の熱電デバイスの基本構成要素を大幅に簡略化して示す分解斜視図である。 異なる幾何学デザインを有する素子、部分、および熱電材料の種々の構成を大幅に簡略化して示す分解図である。 線形の熱電モジュールを形成するように直列に接続された複数の熱電デバイスの電気コンポーネントを大幅に簡略化して示す分解図である。 絶縁部材を有する直列に接続された複数の熱電デバイスを有する熱電モジュールを大幅に簡略化して示す斜視断面図であり、内部構造を詳細に見せるために一定の部分を取り除いている。 熱電モジュールを大幅に簡略化して示す斜視断面図であり、熱電モジュールを簡略化して示す斜視内部断面図として示されるように一部を取り除いており、一部は熱電モジュールの外面を示す熱電モジュールの簡略斜視図である。 本発明の熱電デバイスの代替実施形態を大幅に簡略化して示す断面図である。
図面中の各要素が単純化および明確化のために示されたものであって、必ずしも縮尺通りに描かれていないことを当業者は認識するであろう。例えば、本発明の様々な実施形態をよりよく理解する助けとなるように、図面中のいくつかの要素の寸法を他の要素と比べて大きくしていることがある。また、本明細書中の「第1」、「第2」などの用語は、類似の要素を区別するために特に使用されており、必ずしも順序または時系列を記述しているものではない。さらに、説明および/または請求項の中の前、後、上部、底部、上、下などの用語は、説明の目的で概して採用されたものであり、必ずしも排他的な相対位置を包括的に記述しているものではない。したがって、このように使用される前述のいずれの用語も適切な状況下では入れ替えが可能であり、本明細書中で説明される本発明の様々な実施形態が、例えば、明示的に図示またはその他で説明されているのとは別の配置で動作できることを当業者は理解するであろう。
以下の説明は、本発明の例示的な実施形態および発明者らの最良の形態の概念であり、本発明の範囲、適用性、または構成を制限することを一切意図していない。むしろ、以下の説明は、本発明の様々な実施形態を実施するための便宜上の例示を提示することを意図している。これから明らかになるように、本発明の精神および範囲を逸脱することなく、開示される例示的な実施形態で説明される要素のいずれかの機能および/または配置に変更を行うことができる。
電力を感知および発生するための使用に適切に適合された熱電デバイスを提供することによる例示的な用途、すなわちシステムとデバイスおよびその製作方法の詳細な説明は、当業者が本発明の様々な実施形態に従って開示されるシステムおよび方法のいずれかの用途に容易に一般化できる具体的に実施可能な程度の開示として提示される。
以下に説明する図面の詳細を取り上げる前に、いくつかの用語を定義および/または明確にする。
「熱電デバイス」という用語は、熱電材料に電気的および機械的に結合された少なくとも2つの導電素子間に位置する熱電材料のあらゆる実装を意味することが意図される。
「熱電材料」という用語は、トムソン効果、ペルチェ効果、およびゼーベック効果など、熱エネルギーを電気エネルギーに、またその逆に直接変換する熱電効果を示すあらゆる材料を意味することが意図される。「熱電素子」という用語は、熱電材料が電気的に効率の良い接点を有することができるように形成された熱電材料のあらゆる集合を意味することが意図される。材料系に合わせて作られる電極もまた設計に組み込むことができることは理解されるべきである。
「温度勾配」という用語は、低い方の温度と高い方の温度との間の温度差を意味する。通例、熱エネルギーの移動は、高温から低温へ移動するフォノンとして記述される。
「ダイ」という用語は、立方体、長円形、円柱などのあらゆる適切な三次元幾何学形状を有する単一の熱電素子を意味する。
「導電性トレース」という用語は、電圧および電流を伝導することのできる導電材料を意味する。通例、導電性トレースは、電圧および電流を損失がほとんどまたは全くなく伝導可能にすることのできるように作成されたワイヤまたは導電材料である。単なる例として、導電性トレースは、金属、合金、層状導電構造など、これだけに限定されないあらゆる導電材料から作ることができる。
「断熱性」という用語は、熱を妨げるか、あるいは熱を材料に伝達もしくは通過させない材料、材料の再構成および/または材料の組合せを意味する。
「電気絶縁性」という用語は、電流を妨げるか、あるいは電流を材料に伝達もしくは通過させない材料、材料の再構成および/または材料の組合せを意味する。
「電極」という用語は、電流が容易に流れることのできる電気的接続デバイスを意味する。電極は、金属、金属の組合せ、半導体材料、半導体の組合せ、半導体材料とドーパントの組合せ、および/または前述の材料の任意の組合せなど、任意の好適な材料または材料の組合せから作ることができる。
「線形」という用語は、熱電デバイスを直線に沿って並んでいることを意味するように意図される。単なる例として、素子のそれぞれが中心点(質量中心)を有し、素子の中心点が直線に沿って並んでいる場合、その素子は線形に配置されている。ただし、素子が線形に並んでいる場合、熱電デバイスは垂直方向にも離間して階段構造を形成することは理解されるべきである。
「アディティブ法およびサブトラクティブ法」という用語は、第1の材料層、すなわち基板が提供されるプロセスを意味する。基板、すなわち第1の材料層の上にはマスキング層、すなわち第2の材料層が設けられる。その後、マスキング層、すなわち第2の材料層にパターンまたは開口が開けられて、基板または第1の材料層が露出する。通例、マスキング層、すなわち第2の材料層のパターンを基板、すなわち第1の材料層に転写する湿式または乾式の化学エッチプロセスが行われる。
「材料の変態」という用語は、そのオリジナルの特性を別の特性および/または特性の組合せのいずれかに変化させることのできるあらゆる材料を意味することが意図される。例えば、これだけに限定されないが、酸素などの酸化性イオンをスズ(Sb)、銅(Cu)などの金属、またはケイ素(Si)などの半導体にイオン注入すると、スズを酸化スズ(SbO2)に変態させることができ、酸化銅(CuO2)や二酸化ケイ素(SiO2)などに変態させることができる。
「延性金属」という用語は、破損なく長く薄い長さに引き延ばすことのできるあらゆる金属を意味することが意図される。
「従来の熱電対」という用語は、p型熱電素子とn型熱電素子とを有するものと定義される。
「単極性の熱電デバイス」とは、ドープされた1種類の(N型またはP型材料)熱電材料を備えてかつ、これを使用する熱電デバイスを意味することが意図される。
図2は、本発明の最も基本的な電気的および物理的な構成要素を表す。熱がデバイスを垂直に流れる一方で、電流は横方向に流れる。図2は、熱電デバイス200を大幅に簡略化して示す分解斜視図であり、熱電デバイス200は、素子202および204と熱電素子203と領域210および216とを備え、素子202および素子204は部分206,208及び部分212、214をそれぞれ有する。図2に示すように、部分208および212は、導電性でかつ熱伝導性であり、熱電素子203を支持して熱電素子203の熱エネルギーコレクタ/スプレッダとして作用する。
一般に、素子202および204は物理的に類似している。しかし、特定の用途に応じて、素子202および204は互いに実質的に異なることができ、部分206、208、212、214並びに領域210および216内に多様性を有することができる。領域210および216は、部分206と208および部分212と214を電気的に相互に接続しながら、前記部分間の熱の流れを最小限にすることが意図される。さらに、素子202および204は、部分206、208、212、214がどれも熱伝導性でかつ導電性であり、領域210および216がともに断熱性でかつ導電性である電気特性および熱特性を有する。
一般に、図2に示すように、部分206、208、212および214は直方体として形成されており、直方体は、熱電素子203の長さ227および幅225(1mmから数センチメートル)を超える長さ252および幅250を有し、ほとんど抵抗損なしで電気を伝導する厚さ248を有する。しかし、部分206、208、212および214は、3D長円形、円柱など任意の好適なサイズの任意の好適な3D幾何学形状に作ることができることは理解されるべきである。長さ252と長さ299との合計は線246と同じであることは理解されるべきである。
部分206および208は、表面218、220、222、224、226、228、230、および表面275、232、234、236、238、240、242をそれぞれ有する。一般に、表面218および275は実質的に平行であり、線246で示すように同じ平面上にある。表面228および232は実質的に平行であるが、図2で線246が示すように、表面218および275とは異なる平面上にすることができる。しかし、いくつかの設計用途では、表面228および232は非平行面に構成することができる。表面224、230、220と表面240、242、236とは互いに実質的に平行であり、表面226、222と238および234も実質的に平行である。平面224、230、220と平面240、242、236、および表面226、222と表面238および234は任意の好適な角度277で形成することができる。素子204は素子202と同様に処理できることは理解されるべきである。角度277および/または角度293は、独立して選択することができるか、あるいは角度277および/または293がいくつかの表面と繋がるようにいくつかの表面を互いに繋げ合わすことができることは理解されるべきである。
部分212および214は、表面254、256、258、260、262、264、266、および表面268、270、272、274、276、278および280をそれぞれ有する。一般に、表面254および268は実質的に平行で、同じ平面上にあるが、離間している。表面256および270は実質的に平行であるが、表面254および268とは異なる平面上にある。表面260、264、266および276、278および280は互いに実質的に平行であり、表面262、258と274および272とは互いに実質的に平行であり、表面262と272とは別の平面上にあり、表面258と272とは別の平面上にある。表面254、256、258、260、262、264、266と、表面268、270、272、274、276、278、280は、表面をあらゆる角度279および/または293で設定できるように作ることができることは理解されるべきである。また、表面の角度279および/または293は独立して設定することができるか、あるいは角度277および/または293がいくつかの表面と繋がるようにいくつかの表面を互いに繋げ合わせることができる。
図2に示すように、領域210および216は一般に直方体として形作られているが、領域210および216は、円柱、3D長円形など、これだけに限定されない任意の好適な望ましい3D形状に形作ることができることは理解されるべきである。図2に示すように、領域210および216は、それぞれ幅296および285、厚さ298および295、長さ299および297を有する。領域210および216は、部分206と208との間、部分212と214との間にそれぞれ設けられる表面291、282、284、286、および表面288、290、292、294を含んでおり、電気的および機械的接続が行われるように、表面291と286とは互いに平行であり、表面284と282も互いに平行である。しかし、部分206と208との間、および部分212と214との間に良好な電気伝導率が達成される一方で、領域210および216を通る熱伝導は防がれることは理解されるべきである。単なる例として、図2に示すように、領域210および216は、それぞれ表面230/220で部分206に、表面240/242で部分208に接合され、表面266/264で部分212に、表面278/280で部分214に接合される。
素子202および204は、金属、金属合金、層状金属構造、半導体材料、そのあらゆる組合せなど、これだけに限定されない任意の好適な導電性材料から作ることができ、および銅(Cu)、アルミニウム(Al)、鉄(Fe)、銀(Ag)、ニッケル(Ni)、スズ(Sn)、銀(Ag)、金(Au)、鋼、ステンレス鋼、真鍮、Cu/Al、青銅、銅/アルミニウム、ニッケル/銅、炭素素材など、これだけに限定されないあらゆる材料を使用することができ、同様に、鋼、真鍮、銅/アルミニウム、青銅など、これだけに限定されない材料の合金を使用することができる。通例、素子202および204の材料の選択は用途固有であり、用途によってかなり変えることができる。一般に、上記挙げた材料は、成形、スタンピング、ミリング、微細加工、サブトラクティブプロセス、およびアディティブプロセスなど、これだけに限定されない、素子204および206の所望の形状、寸法および構成を達成するための任意の好適な方法もしくは手法および/または手法もしくは方法の任意の好適な組合せで形成または加工することができる。
一般に、素子202および204の部分206、208、212および214並びに領域210および216はそれぞれ、素子202および204に関して上記説明した任意の好適な材料または材料の組合せから作ることができる。しかし、部分206、208、212および214はともに熱伝導性でかつ導電性であり、領域210および216は断熱性でかつ導電性であることは理解されるべきである。また、部分206、208、212および214並びに領域210および216は、材料およびそれから作られる熱電デバイスの統合性を保護するように、膨張係数に関して合理的に整合されることは理解されるべきである。本発明において、デバイスの設計、材料およびプロセスは、熱電デバイス200を製作するための材料の要求事項を満たすように部分206、208、212および214並びに領域210および216を構成するために使用される。
さらに、領域210および216並びに部分206、208、212および214は個別の素子として別々に製作して、後で素子202および204を形成するように組み立てることができる。通例、部分206、208、212および214並びに領域210および216の組み立ては、これだけに限定されないが、はんだ付け、導電性接着剤、溶接、ろう付けなど、任意の好適なプロセスまたは手法によって達成される。さらに、領域210および216並びに部分206、208、212および214は要素202および204として形成することができ、部分および領域が適切な材料特性を有するように、領域210および216並びに部分206、208、212および214を物理的もしくは化学的方法および/またはプロセスで修飾することができる。
領域210および216の所望の電気特性および熱特性を得るためには、上記した方法、手法、または方法および/または手法の組合せなど、これだけに限定されない任意の好適な方法、手法、または方法もしくは手法の組合せを使用することができる。通例、領域210および216の材料の質量または容積は、そこから大幅に取り除かれる。これは、長さ299および297、幅296および285、厚さ298および295をそれぞれ含んだ領域210および/または216のいずれか1つまたはすべての寸法を減じることによって達成することができる。領域210および216の材料の質量を実質的に取り除くことによって、部分206と208の間、212と214との間にそれぞれ十分な電気伝導率を与えながら、熱伝導を妨げる十分な断熱性を提供する。
単なる例として、領域210および216が金属材料で作られるとき、厚さ298および295は0.05ミリメートルから5.0ミリメートルの範囲にすることができ、幅296および288は0.5ミリメートルから5.0ミリメートルの範囲にすることができ、長さ299および297は0.5ミリメートルから5.0ミリメートルの範囲にすることができる。また、領域210および216は同じ寸法を共有する必要はない、つまり長さ299、297、幅296、285、厚さ298、295は特定の用途並びに特定の金属および/またはその材料特性の選択に応じて変えることができることは理解されるべきである。
素子202および204は、任意の好適な金属材料または材料の組合せから作られるので、領域210および216の金属を金属酸化物に変換する、領域210および216の選択的な酸化を行うことができる。そのため、領域210および216を、部分206と208との間、および212と214との間に十分な電気伝導率を与えるとともに、部分206と208との間、および212と214との間に十分な断熱性を与えるようにすることができる。当業者には、領域210および216に断熱性コンポーネントを与えることにより、囲み枠259で示す熱が部分212を通して囲み枠261で示す低温側に誘導されて集束し、次に自由電子が生成される熱電素子203を通って、次に熱および自由電子が部分208を通過する。このように、熱がより効率的かつより少ない寄生損失で熱電素子203を通して誘導されるので、ごく少ない熱の寄生損失でより効率的な熱電素子203全体が製作される。
素子202および204の領域210および216の選択的な酸化は、過酸化物、水蒸気、熱、圧力、イオン注入などの酸化剤を使用するなど、これだけに限定されない任意の好適な方法、手法またはその組み合わせで実現できる。簡潔にいうと、例として、部分206および208は、領域210および216を露出した状態で、窒化物層、酸化物層、フォトレジスト層など、これだけに限定されない、保護被覆または層で被覆される。次に、領域210および216を、高温、圧力および酸化環境への暴露、イオン注入など、これだけに限定されない、保護される金属を酸化から保護しながら、露出した金属をその酸化物形態に変換する任意の好適な酸化方法または手法によって酸化する。
別の例では、素子202の部分206および208がシリコン材料もしくは金属材料等のいずれかで作られるとき、部分206および208をフォトレジスト材料、酸化物材料などのマスキング材料で被覆する。そのため、素子202の領域210は露出されたままで、部分206および208はマスキング材料によって保護される。次に保護された部分206および208と保護されていない領域210を、酸素イオンによってイオン注入を施す。通例、これらの酸素イオンは、これだけに限定されないが、10keVから5MeVまでの範囲のエネルギーで注入され、公称エネルギー範囲は100keVから4MeVである。領域210に酸素イオンが注入されたら、保護マスキング材料を除去するように素子202を任意の好適な方法で洗浄する。通例、これは湿式化学法、乾式化学法、または湿式および乾式両方の化学法の組合せで行われる。通例、次に素子202を、窒素、フォーミングガスなど、これだけに限定されない任意の好適な雰囲気でアニールし、ある場合には、水蒸気および圧力への暴露を使用することができる。異なるガスおよび/または化学物質、温度および時間で暴露すると領域210の化学組成を変えることができ、それによって領域210の電気伝導率および熱伝導率を所望のレベルに変えることができることは理解されるべきである。
素子202および204が炭素素材および/または炭素素材の誘導体のいずれかから作られているとき、安定した酸化炭素、炭素繊維、グラファイトなど、これだけに限定されない任意の好適なプロセスまたは方法を使用することができる。異なる各炭素素材は、使用できる非常に多様なプロセスをもつことができることは理解されるべきである。例えば、炭素繊維を成形して素子202および204に形作ることができる。さらに、電気伝導率および熱伝導率は、炭素繊維に金属粒子または金属イオンを含浸する、セラミックス材料で積層、成形、レイヤリングする等によって変えることができる。
一般に、部分206、208、212および214の寸法は同様である。しかし、特定の寸法は用途固有であることは理解されるべきである。したがって、ある部分、例えば部分206の寸法は、他の部分のいずれか、例えば部分208とは全く異なることができ、または寸法、例えば部分206および部分208は同じにすることができる。通例、厚さ248は抵抗損がほとんどなく電気および熱エネルギーを楽に伝導するようなサイズにしなければならない。部分206および208の幅250および長さ252は、熱電素子203のそれぞれ長さ227および幅225を優に超えるようなサイズにされ、熱電素子203は1.0平方mmから数平方センチメートルまでの任意の好適な寸法である。
前述したように、領域210および216は、材料または複数の材料が実質的に導電性で、熱伝導が最小限になるような任意の好適な材料、組合せ材料、材料の変態、または材料のサイジングから作ることができる。図2に示すように、領域210は、部分206と208との間に配置して製作される。さらに、素子204の表面256は素子202の表面275の上に設けられ、熱電素子203は、素子202のそれぞれ表面275および256が表面205および207にそれぞれ熱的および電気的に結合するように、表面275と表面256との間に設けられる。一般に、領域210および216は同様な幾何学形状および寸法を有する。しかし、単独または組合せのいずれでも任意の好適な幾何学形状を使用できることは理解されるべきである。(図3を参照)。さらに、領域210の寸法を述べるが、この考察は同様に領域216にも適用できることも理解されるべきである。単なる例として、図2に示すように、領域210および216は直線構成のブロックとして描かれている。しかし、領域210および216は、その間に部分206、208と部分212および214がある長円形として形作ることもできるであろう。さらに、領域210および216は、領域210および216が、それぞれ表面220、230、240および242、並びに表面264、266、278、280の幅全体250にわたって延びるように形成することができるであろう。
領域210は、任意の好適な断熱性および導電性の固体形態のアルミニウム、炭素、銅、インコネル、ニッケル、炭化ケイ素、窒化ケイ素、スズ、亜鉛、およびその他から作ることができる。このようなある例が、10ワット/メートル度ケルビンの熱伝導率と6.5×10−5オームメートルの電気抵抗率を有するDuocel銅発泡体(ERGエアロスペース・コーポレーション社(ERG Aerospace Corporation))である。別の例は、0.25ワット/メートル度ケルビンの熱伝導率と1×10−2オームメートルの電気抵抗率を有する炭素発泡体CFOAM(タッチストーン・リサーチ・ラボラトリ社(Thouchstone Research Laboratory))である。別の例は0.09ワット/メートル度ケルビンの熱伝導率と3×10−2オームメートルの電気抵抗率を有するカーボンナノフォーム(マーケテック・インターナショナル社(MarkeTech International))である。
さらに、導電性添加剤を加えた断熱性ポリマー系材料を使用することができ、このような例は、電気抵抗を1e3オームメートルまで下げるために様々な導電性添加剤を利用した断熱性Dyneon導電ナイロン、ポリエステルウレタン、またはポリエーテルウレタン(3Mカンパニ社(3M Company))である。別の例は、銅、銀およびアルミニウムなどの金属と同じオーダーの電気伝導率をもつ断熱性材料になる導電性金属ナノクラスタを組み込んだ工学ポリマーから構成されるメタルラバー(ナノ・ソニック社(NanoSonic Inc))である。別の例は、ポリマーシリコンを連続気泡金属発泡体と組み合わせた導電性断熱材(ロッキード・マーティン・コーポレーション社(Lockheed Martin Corporation)、US2003/0064606)である。
また、ニッケル、アルミニウム、銅、銀、金、スズ、亜鉛、鉛、テルル、コバルト、モリブデン、チタン、インジウム、プラチナ、パラジウム、およびアンチモンなど、断面積を大幅に減じるように形作られる金属導体は、導電率を保持しながらも、熱伝導率を下げる。
断熱性添加剤と格子方位で調整した格子間カーボングラファイトは、熱伝導率が6〜24ワット/メートル度ケルビンの範囲に、電気抵抗率が1〜6×10−5オームメートルになる。また、断熱性で導電性セラミックスおよび層状セラミックス並びに同様なものも使用することができる。
さらに、単なる例として、領域210は、素子202の部分206と208との間および素子204の部分212と214との間に、任意の好適な方法、手法又は手段で接合して設けられる酸化インジウムスズ(InSbO)から作ることができる。単なる例として、領域210は、銀ペーストなど、これだけに限定されない、導電接着剤、導電ペースト、溶接、ろう付けまたははんだによって、部分206と208との間の領域210を接着することによって設けられる。通例、次に、素子202は、窒素、フォーミングガスなど、これだけに限定されない任意の好適な雰囲気でアニールされ、ある場合には水蒸気および圧力への暴露を使用することができる。異なるガスおよび/または化学物質、温度および時間で暴露すると領域210の化学組成を変えることができ、それによって領域210の電気伝導率および熱伝導率を所望のレベルに変えることができることは理解されるべきである。
さらに別の例では、領域210は、シリコーン、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポニフェニレンスルフィド(PPS)、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、スルホンなど、これだけに限定されない、高温ポリマーのブレンドから作ることができる。次に、高温ポリマーは、適切な断熱性および適切な電気伝導率をもたらすように、導電粒子および/またはナノ粒子とブレンドすることができる。
図2に示すように、熱電素子203は表面205、207、209、211、213および215を有する立方体として形成され、表面205が上面205を形成し、表面207が底面207を形成し、表面209、211、213、215が立方体の側面を形成する。熱電素子203の端部283および229には、それぞれ電極219および221が配置および/または製作される。一般に、電極219および221は、熱電素子203から素子202および204の部分208および212までの電気的、機械的および熱的な接続が良好になるように製作されるため、図2に示すように熱電素子203によって発生する電流および電圧を素子202および204に流すことができると同時に、領域210および216は部分206と208との間、および部分212と214との間の熱エネルギーの流れを制限し、それによって寄生熱エネルギー損を最小限にしながら熱電素子203が発生する電流および電圧を最大限にするように、熱電素子203を流れる熱エネルギーを誘導、集束および最大化する。
熱電素子203は、ビスマスカルコゲナイド、テルル化鉛(PbTe)、テルル化ビスマス(BiTe)、無機包接化合物、ケイ化物、シリコンゲルマニウムおよび/またはシリコンゲルマニウム合金、マグネシウム基IV化合物、スクッテルダイト熱電材料、酸化物熱電材料、ハーフホイスラー合金など、これだけに限定されない任意の好適な熱電材料から作ることができる。
熱電素子203の電極219および221は、任意の好適な方法もしくは手法または方法もしくは手法の組合せによって製作される。一般に、電飾219および221は、領域の電流−電圧(I−V)曲線が線形で対称形になるように製作され、それによって電子の流れが熱電デバイス200に容易に通過できる。特定の用途によって、電極219および221は、ドーピング、アニーリング、注入、蒸着、湿式化学法、電気分解および無電解を含むメッキ手法など、これだけに限定されない、いくつかの手法の組合せにより製作することができる。方法および手法のいくつかはウェハースケールで実施できることは理解されるべきである。しかし、これらのプロセスのいくつかは個別のダイレベルスケールで繰り返されるときがあることも理解されるべきである。
通例、電極219および221は、熱電素子203の適切な面からすべての酸化物、コンタミ等を、湿式もしくは乾式の方法または手法を含むあらゆる適した方法または手法で洗浄することによって製作される。電極219および221はp型またはn型のドーパントでドーピングすることができる。ドーピングおよび洗浄が完了したら、電極219および221には、金属、導電材料、ナノ構造、はんだなど、これだけに限定されない他の材料層を設けることができる。次に、素子202および204に接合するために接点エリアおよび/または電極を準備する。
熱電素子203は、はんだ付け、電気接着剤、超音波溶着、圧縮、もしくはアニーリングによる層の合金化など、これだけに限定されない任意の好適な方法またはプロセスによって、表面256および275に設けられ、熱的および電気的に結合される。一般に、電極219および221は、性能を最適にするために、部分208および212の表面275および256とそれぞれ良好な電気的、熱的および機械的な接続にする必要がある。
機能的には、図2に示すように、熱電デバイス200は、熱電素子203の電極219を素子204の部分212上に設け、熱電素子203の電極221を素子202の部分208上に設けて製作され、電極219および221はそれぞれ部分212および208に熱的、電気的および機械的に結合される。その後、熱電デバイス200は、部分212が温度勾配の囲み枠259によって示される高温側と接触し、部分208が囲み枠261によって示される低温側に接触する温度勾配に配置される。熱電デバイス200を高温側259と低温側261との間にすることによって、熱電素子203から電圧および電流が発生する。電圧および電流は、部分212から領域216を通して214に接続され、同様に部分208から領域210を通して206に接続される。こうして、電流および電圧は線245、271、269、265、263および249を介して部分214および206から直接出力して、メータ281で計測することができる。領域210および216はともに導電性でかつ断熱性であるので、熱電素子203から十分な量の電子が収穫されると同時に、熱エネルギーをほとんど浪費せずに熱エネルギーを熱電素子203に集束させて通される。一般に、図2の囲み枠259の内部の高温という言葉で示される熱源から利用できる熱、および図2の囲み枠261の内部の低温という言葉で示される冷却源からの冷却によって支持できる最も薄く最も大きい表面積をもつことが望ましい。
さらに、図2に示すように、素子202および204と熱電素子203との物理的な関係は、特定の用途に応じて変えることができる。例えば、部分208の中心、熱電素子203の中心および部分212の中心を通ることのできる中心線287を使用することによって、部分208および212並びに熱電素子203を互いに重ねて幾何学中心をとることができる。
別の例において、図2に示すように、部分208および212は、矢印273で示すようにずらすことができる。ずれ273は、熱電素子203が部分208および212に熱的および電気的に結合される限り、任意の好適な寸法に調整することができる。
さらに別の例では、素子202が図2に示すように配置される場合、素子204は、矢印289で示す360度の弧に沿ったどの場所にも配置させることができる。そのため、素子202および204の配置を可能にすることおよび/または選択することにより、熱電デバイス200は、素子202および204の使用および配置に関して設計を容易にできる設計上の回転方向の柔軟性がある。この柔軟性はさらに、熱電デバイス200の小型化を高め、サイズを縮小する。
図2にも示すように、素子202および204のそれぞれ部分208と212とに温度差がある場合、メータ281は一定の電圧を測定する。一般に、N型デバイスの場合、矢印251は電流の流れの方向を示す。
図3は、図2に述べる基本構成の様々な代替例を示す。ここで図3を参照すると、素子302、304、306および308の部分310、312、314、316、318、320はそれぞれ、任意の好適な三次元幾何学デザインを有するように製作することができ、部分310および312は長円体形状を示して、それぞれ厚さ342および344を有し、部分314および316は円柱形状を示して、それぞれ厚さ346および348を有し、部分318および320は長方形形状を示して、それぞれ厚さ350および352を有する。また、図3に示すように、厚さ354、356および358をそれぞれ有する熱電素子322、324および326は、任意の好適な三次元形状にも製作または形成することができ、熱電素子322は長円形状を示し、熱電素子324は円形または円盤状形状を示し、熱電素子326は方形形状を示している。
領域328、330、332および334も、円形、方形など、これだけには限定されない任意の好適な三次元幾何学形状に形作ることができる。
図3に示すように、例として、熱電素子322、324、326は、それぞれ素子302、304、306および308のそれぞれ部分310、312、314、316、318の特定の幾何学的な表面積を近似するおよび/または埋めるように製作することができる。例えば、熱電デバイス336、338および340によって示される作動熱電デバイスを生成するために任意の好適な厚さ354、356および358を使用することができるが、性能は厚さと表面積に影響される。これらのパラメータの最適な値を選択することはシステムの用途によって決まる。
図4は、外部電気相互接続を含む多脚モジュールの電気的および物理的構成の分解図である。熱エネルギーが構造を垂直に流れ、電流が構造を横方向に流れる階段形状の特徴が示されている。図4は、複数の熱電デバイス402が線形に配置された熱電モジュール400を大幅に簡略化して示す分解図である。図4に示すように、複数の熱電デバイス402は熱電デバイス404、406および408を含む。熱電デバイス404は、部分412および416と、部分422および426をそれぞれ備える素子410と420とをさらに含み、部分416は電気ソケット448を受止するように構成されており、部分412は表面403および405を含み、部分422および426はそれぞれ表面407および411と表面409および413を含む。領域414および424は部分412と416との間、422と426との間にそれぞれ設けられ、熱電418は電極435および437を含み、電極435および437は、それぞれ部分426および412に電気的、熱的および機械的に結合されている。
熱電デバイス406は素子420および430をさらに含み、部分422および426並びに部分432および434はそれぞれ表面415および417並びに表面419および421を有する。領域424および436はそれぞれ部分422と426との間、432と434との間に設けられ、熱電素子428は電極431および433を有し、電極431および433はそれぞれ部分434および422に電気的、熱的および機械的に結合されている。
熱電デバイス408は素子430および440をさらに含んでおり、部分432および434並びに部分442および444は表面423および425を有し、部分442は電気ソケット450を受止するように構成されており、領域436および446は部分432と434との間、442と444との間に設けられており、熱電素子438は電極427および429を有し、電極427および429はそれぞれ部分444および432に電気的、熱的および機械的に結合されている。
一般に、熱電モジュール400の複数の熱電デバイス402は、階段構造439を有するように構成されており、素子410、420、430および440並びにその関連熱電素子418、428および438は、独特な垂直、水平および長手状に配置して結合されている。図4に示すように、線456で示される垂直軸、線450で示される水平軸および線460で示される長手軸で、部分412の表面405は熱電素子418の電極437に設けられ、部分426の表面409は熱電素子418の電極435に設けられていることが分かる。さらに、部分422の表面411は熱電素子428の電極433に設けられ、部分434の表面419は熱電素子428の電極431に設けられている。また、部分432の表面417は熱電素子438の電極429に設けられて、部分444の表面423は熱電素子438の電極427に設けられている。追加の熱電素子が追加されると、階段設計439が形成されることは容易に分かる。複数の熱電デバイス402に任意の好適な数の熱電デバイスを追加できることは理解されるべきである。複数のデバイス402に追加の熱電電気デバイスを追加することによって、対応する量の電圧および電流が発生する。例として熱電デバイス404および406を使用して、熱電素子418および428が矢印460で示す長手方向、および矢印450で示す水平方向の両方に、それぞれの表面405、409、411および419上のいずれにも移動できることが分かる。表面405と表面409との間の厚さ475は、熱電素子418の厚さ443に依存することも分かる。
図4に示すように、熱電デバイス404、406および408は囲み枠454で示す高温側と、囲み枠441で示す低温側とを有し、それによってそれぞれ熱電素子418、428および438に温度勾配が発達する。熱電素子418、428および438に温度勾配があるので、対応する電圧および電流は各熱電デバイス404、406おび408から発達する。熱電デバイス404、406および408は直列に電気的に接続されているので、各熱電デバイスからの各電圧が合計される。単なる例として、熱電デバイス404が0.5ボルトを出力し、熱電デバイス406が0.7ボルトを出力し、熱電デバイス408が0.8ボルトを出力すると、熱電モジュール400から出力される合計電圧は2.0ボルトである。このように、所望の量の電圧は、直列に接続される熱電デバイスの加減のいずれかによって調整することができることは理解されるべきである。
通例、熱電モジュール400からの電流の総量は、熱電素子418、428および438の材料特性、熱電素子418、428および438の温度勾配に依存する。しかし、通常の電気原理によると、電流は加法的ではない、つまり、熱電デバイス404および406からの電流は、熱電デバイス404および406が直接に接続されているとしても総計されず、電流はどこで測定されても同じである。しかし、当業者には、これだけに限定されないが、素子404、406および408の部分412、426、422、434、432と接触する熱電素子418、428および438の表面積の総量など、電流を変化できるものがあることは理解されるはずである。代わりに、複数の熱電素子を隣り合わせに取り付けて、表面積を効果的に増やすことができる。
熱電モジュール400は、熱電デバイス404、406および408を含むように示されているが、これは単なる例であり、熱電モジュール400は任意の好適な数の熱電デバイスを含むことができることは理解されるはずである。図2および図3に関して前述した材料およびプロセスは図4に適用されることは理解されるはずである。さらに、明確にするために、各熱電デバイスは、図4、図5、図6、図7および図8に示すように、階段連鎖で隣にあるデバイスと素子を共有することは理解されるはずである。単なる例として、熱電デバイス406は熱電デバイス404と406との間で素子420を共有する。これは完全に機能する熱電デバイスが形成されるように行われ、直列に電気的に接続されている状態が示されている。
図4に示すように、部分416および442は、電気ソケットまたはプラグ448および450を受止することができるように形成される。電気プラグまたはソケット448および450には、導電性ワイヤ、導電性トレースなど、これだけに限定されない、導電手段452が取り付けられるので、熱電モジュール400が発生する電気エネルギーを別の場所に移動することができる。
図5は、すべての絶縁材料および筐体材料を含む完全な構成のモジュールの斜視中心線断面図である。熱が構造を垂直に流れる場合、電流は階段構造を横方向に通過する。ここで図5を参照すると、図5は、熱電モジュール500の内部構造が見えるように一定の部分を取り除いた熱電モジュール500を大幅に簡略化して示す斜視断面図である。複数の熱電デバイス502は、素子538、540、542、544および546と、熱電素子548、549、551および553として個々に識別され、電極550および552、560および562、564および566、568および570をそれぞれ有する複数の熱電素子547とをさらに含む。素子538、540、542、544および546のそれぞれは、その間に2つの部分と1つの領域とを含み、図を明確にするためにこれらの特徴は図示されていないが、存在すると想定されることは理解されるべきである。素子538、540、542、544および546並びに熱電素子548、549、551および553は、素子202および204、熱電素子203として上記説明され、特徴付けられており、ここでは詳細に特徴付ける必要がない。領域556は図2の領域210および216、図3の領域328、330並びに図4の領域446、436、424および414として上記説明した。
領域556から通常延びているはずの素子540の部分(図示せず)、および素子540の一部を覆うはずの熱伝導性でかつ電気絶縁性の領域518の部分(図示せず)、並びに断熱性でかつ電気絶縁性の領域520の部分は、本発明をより明確に図示するために取り除いていることは理解されるべきである。
複数の熱電デバイス502は、断熱性でかつ電気絶縁性の領域514、516、518(一部は図示せず)および520として個別に識別される複数の断熱性でかつ電気絶縁性の領域512と、この一連の第1の領域を明確にするために図示していないが、熱伝導性でかつ電気絶縁性の領域522、524および526として個別に識別される複数の熱伝導性でかつ電気絶縁性の領域511と、熱伝導性でかつ電気絶縁性の領域530、532、534および536として個別に識別される複数の熱伝導性でかつ電気絶縁性の領域528とをさらに含む。
複数の断熱性でかつ電気絶縁性の領域512は、ガス、エアロゲル、エアロゲル誘導体など任意の好適な断熱性でかつ電気絶縁性の材料または材料の組合せを充填することができることは理解されるべきである。複数の熱伝導性でかつ電気絶縁性の領域511および528は、セラミックス(例、窒化ホウ素(BN)および窒化アルミナ)、陽極酸化層(例、陽極酸化Al)など、熱伝導性でかつ電気絶縁性の任意の好適な材料および/または材料の組合せで充填できる。囲み枠527で示す高温側から熱を集束および/または集中することにより、矢印509で示す熱電素子548、549,551および553に集束および/または集中させて通して、低温側に移動することで、より効率的に熱収集および処理ができ、その後より大きな電力を発生できる。複数の断熱性でかつ電気絶縁性の領域512並びに複数の熱伝導性でかつ電気絶縁性の領域511および528を充填するために、ピックアンドプレイス、リソグラフィ、蒸着等を含むアディティブ手法およびサブトラクティブ手法など任意の好適な方法または手法を使用することができる。
図5に示すように、自己完結型モジュール500となるように、層523および525が複数の熱電デバイス502の外面に設けられる。層523および525は、例えばアルミニウム(Al)、銅(Cu)、スズ(Sn)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、Ruthium(Ru)、マンガン(Mn)もしくは同様なものなどの金属、鋼(一般式FeC)、ステンレス鋼、青銅、真鍮(CuZn)、銅アルミニウム(CuAl)、ケイ素(Si)、ダイヤモンド様材料など、任意の好適な合金、またはそのあらゆる組合せなど、これだけに限定されない、熱を伝導する任意の好適な材料から作ることができる。さらに、材料は混ぜることもできは理解されるべきであり、層523は銅材料で作り、層525はアルミニウム材料で作られる。多くの他の材料の選択を行うことができ、選択材料は特定の材料特性および特定の用途に依存することは理解されるべきである。また、層523および525のそれぞれの厚さ567および569は、任意の好適な厚さにできることも理解されるべきである。例として、層523および525の厚さ567および569は1.0ミクロンから10.0センチメートル以上の範囲にすることができる。層523および525の厚さは、階段構造558の輪郭に適合する個別の金属片としてより大きくすることができ、これは層523および525を個別に製作させ、その後一緒にプレスして、複数の熱伝導性でかつ電気絶縁性の領域511および528、複数の断熱性でかつ電気絶縁性の領域512、複数の熱電素子547、および素子538、540、542、544および546を一緒に保持して、それを内蔵する層523および525を形成することができる。
層523および525の製作は、スパッタリングや焼結などの蒸着、例えば予め形成された層523および525のミリング、成形、スタンピング、および/または物理的な塗布などの形成法のような任意の好適な方法または手法によって実現することができる。
一般に、図5に示すように、素子538、540、542、544および546は、熱電素子548、549、551および553が素子538、540、542、544および546に設けられて、図5に示す階段558構造を作るように配置され、熱電素子548、549、551および553は素子538、540、542、544および546によって直列に電気的に接続される。複数の熱伝導性でかつ電気絶縁性の領域511および528の層が、素子538、540、542、544および546の上およびその周囲に設けられて、断熱性でかつ電気絶縁性の領域512が複数の熱電素子547を取り囲んでいるので、熱伝導は複数の熱電素子547に効果的に移動する。複数の熱伝導性でかつ電気絶縁性の領域511が素子538、540、542、544および546の上面と、複数の断熱性でかつ電気絶縁性の領域512の部分とに設けられるとともに、熱伝導性でかつ電気絶縁性の複数の領域528が素子538、540、542、544および546の底面と、複数の断熱性でかつ電気絶縁性の領域512の部分とに設けられており、複数の熱伝導性でかつ電気絶縁性の領域511の部分529、531、533および535、並びに571および573は、素子538、540、542、544および546の端部に設けられて、さらに複数の絶縁層512に密閉することにより素子を絶縁している。
例として熱電デバイス502を使用して、熱電素子551の電極546は素子542上に設けられていることが分かる。さらに、熱電素子551の電極566は、電極566が素子544に結合するように配置して設けられることになろう。図5では、熱電素子551は直方体の形状であるが、あらゆる幾何学形状を使用できるであろうことは理解されるべきである。さらに、図5で分かるように、断熱性でかつ電気絶縁性の層516は熱電素子551に隣接して、これを取り囲んでいる。断熱性でかつ電気絶縁性の領域516を熱電素子551に近づけることおよび/または熱電素子551と合わせて接合することによって、熱勾配からの熱エネルギーを熱電素子551に誘導して通して、熱電素子551の減損を制限する。熱電素子551を通る熱エネルギーの流れを増大し、厳密に制御することによって、熱電デバイス506および熱電モジュール500の全体としての効率は大幅に高まる。
熱電モジュール500の電気出力は、素子546および538の露出部分への電気的接続によって達成される。
図6は、部分601および603を示す斜視中心線断面図であり、部分601は、特に、モジュールの内部および外部を示しており、部分603は、特に、部分603の外部構成を示している。熱は構造を垂直に流れ、電流は階段664および670構造を横方向に通過する。図6は、端部607および613から端部609および615までを横方向切断し、取り外して分離することにより部分601および603を形成した熱電モジュール600を大幅に簡略化して示す斜視断面図である。部分601および603を離して、熱電モジュール600の内部構造631が見えるようにしている。熱電モジュール600の内部構造631は熱電モジュール500の内部構造と非常に似ており、そのため熱電モジュール600の内部構造631はそのまま同じ識別名を使い、関係ある部分を除き詳細には述べない。
一般に、熱電モジュール600は任意の好適な寸法にすることができ、長さ617は10.0mmから500.0mmの範囲にすることができ、公称範囲は30.0mmから250.0mmであり、好適な範囲は46.2mmから106.2mmである。さらに、熱電モジュール600は任意の好適な幅619にすることができ、幅619は3.0mmから300.0mmの範囲にすることができ、公称範囲は10.00mmから200.0mmであり、好適な範囲は11.0mmから30.0mmである。図示される熱電モジュール600は、特定の設計要件に応じて、図6に示すものとは異なる形状にすることができることは理解されるべきである。
図6に示すように、部分601および603は基板605および611を含み、基板605は表面658、641、639と内面622とを含み、基板611は表面621、637,660と内面668とを含む。一般に、表面658、641、637、621、660および639は部分601および603の外面であり、任意の好適な形状または形態にすることができる。分かるように、内面662および668はそれぞれ階段構造664および670にされて、複数の熱電デバイス602を構築している。部分601および603を合体すると、部分601および603の表面658、641、637、621、639および660が合わさって、それぞれ連続面を形成することは理解されるべきである。
基板605および611は、金属、金属合金、複合金属、層状金属、半導体など、これだけには限定されない、熱伝導性の任意の好適な材料から作ることができる。使用できる代表的な金属は、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、タングステン(Ti)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、ステンレス鋼などであるが、これだけに限定されない。使用できる代表的な金属合金は、鋼、青銅等であるが、これだけに限定されない。使用できる代表的な金属複合材は、銅/アルミニウム、ニッケル/鉄等であるが、これだけに限定されない。使用できる代表的な層状金属は、銅/金、アルミニウム/金、ニッケル/銅等であるが、これだけに限定されない。材料の選択およびプロセスの選択は用途固有であり、すべての材料が同じプロセスで加工できるわけではないことは理解されるべきである。基板605および611が熱伝導性でかつ電気絶縁性である場合には、熱伝導性でかつ電気絶縁性の層654および656は省略できることは理解されるべきである。また、基板605および611を製作するには、成形、ミリング、エッチングなど、これだけに限定されない任意の好適なプロセスまたは方法を使用できることは理解されるべきである。
図6に示すように、内面662および668は、それぞれ階段構造664および670に作られている。内面662および668の階段664および670構造は、成形、ミリング、エッチングなど、これだけには限定されない任意の好適な方法または手法で製作することができる。例として熱電デバイス606および608を使用すると、階段664および670は部分601の内面662に製作され、長さ674および高さ678を有する。分かるように、部分601では、階段664および670は表面658に対して角度679で配置されている。角度679は選択される内部コンポーネントの寸法に応じて適した角度に設定することができる。通例、角度679は5.0度から45.0度等の範囲にすることができる。角度679をより大きな角度に設定することにより、より多くのスペースができるので、より多くの数の熱電デバイスをモジュールユニットエリアに配置できるようになる。また、より多くの熱電デバイスを配置することができ、表面658および660を熱エネルギー源もしくはヒートシンクと合わせることができるように、表面658および660を平らにおよび/または任意の形状にすることができれば、モジュール600の熱を電気に変換する効率が高まり、それによって熱電モジュール600全体としての発電量が増加する。図6に示すように、表面680および684は90度の角度として示される角度688であるように示されている。しかし、角度688は所望の任意の好適な角度に変えることができる。通例、角度688は60度から120度の範囲にすることができ、90度が好ましい。
内面662および668を階段664および670構造に形成し、内面662および668を互いに相対して、横方向にずらして配置することにより、複数の熱電デバイス602、複数の熱電素子618、複数の素子634、熱伝導性でかつ電気絶縁性の層654および656、並びに断熱性でかつ電気絶縁性の複数の領域635をその間に形成および/または配置することができるので複数の熱電デバイス602を構成する。また、内面662および内面668を開放しておくことによって、複数の熱電デバイス602の構築を容易にする。
個別に604、606、608、610、612、614および616として示す複数の熱電デバイス602は、階段構造664および670に配置されており、個別に熱電素子620、622、624、626、628、630および632として識別されている複数の熱電素子618は、個別に素子636、638、640、642、644、646、648および650として識別されている複数の素子634を介して、熱電素子620および632の周りに設けられている断熱性でかつ電気絶縁性の領域652として例示されている複数の熱電素子618の周りに設けられている断熱性でかつ電気絶縁性の複数の領域635に電気的に直列に接続される。
熱伝導性でかつ電気絶縁性の層654および656は、それぞれ基板605および611の内面662および668に設けられる。熱伝導性でかつ電気絶縁性の層654および656は、モジュール600の基板605および611と複数の素子634との間、複数の熱電素子618と断熱性でかつ電気絶縁性の領域635との間に電気的な障壁を提供する。しかし、熱伝導性でかつ電気絶縁性の層654および656は内部構造631を基板605および611から電気的に絶縁しながら、熱エネルギーを熱電モジュール600に通過させることは理解されるべきである。熱エネルギーを複数の熱電素子618に通過させることによって、熱エネルギーの一部は電気エネルギーに変換されて、これが熱電モジュール600から出て接点692に伝導する。
部分601および603は、熱電モジュール600の外部構造の一実施形態を示しており、表面658および660は、複数の熱電デバイス602に入って通過して熱電モジュール600から出る熱伝導用の表面を提供する。この特定の実施形態において、表面658および660は平らでかつ滑らかであるとして説明されている。しかし、当業者は、表面658および660を、凹面、凸面など、これだけには限定されないあらゆる望ましい形状にすることができ、および/またはあらゆる所望の形状等に適合できることは理解するはずである。
熱伝導性でかつ電気絶縁性の層654および656は、ペースト、エポキシ、ポリマーシート、セラミックス(BN、AIN)、陽極酸化Alなど、これだけに限定されない任意の好適な材料から作ることができることも理解されるべきである。図5で説明する作動部分に使用される材料および手法は、図6に示す熱電モジュール600を製作するための手法および方法に採用し、使用することができることも理解されるべきである。また、複数の熱電デバイス602の製作を容易にするために、階段664および670は、それぞれ基板605および611の内面662および668に形成して、階段664および670を開放して露出することは理解されるべきである。階段664および670を開放して露出することで、基板の1つ、例、基板605、複数の熱電素子618、複数の素子634、熱伝導性でかつ電気絶縁性の層654および656、並びに複数の断熱性でかつ電気絶縁性の領域635を、手動または自動、例えば、ピックアンドプレイスシステムなど、これだけに限定されない任意の好適な手段で基板605上に正確に形成および/または配置され、したがって階段664および670は熱電モジュール600の組み立ての基礎として機能する。複数の熱電デバイスを基板605上に正確に組み立てたら、次に内部構造631を保持するように基板605上に基板611を固定すると、熱電モジュール600が完成する。
部分601および603の上にはサイドキャップ690が示して設けられており、サイドキャップは、熱電モジュール600を設置しようとする環境に配慮して、電気絶縁性で耐熱性の任意の好適な材料から作られる。プラスチック、セラミックス、繊維、ペースト、パテ、エポキシなど、これだけに限定されない材料を使用することができる。本発明では、表面658および660だけを露出させるように、エンドキャップ690の縁を隠すことができるであろうことも考えられる。
電気コネクタ692が、負荷(図示せず)に接続するように端部694および696に配置されている。電気コネクタ692は、複数の熱電デバイス602が発生する電力を使用できるように、任意の好適な構成にすることができる。
単なる例として、熱電モジュール600は、平らな外面658および660を有する2枚のステンレス鋼製の基板605および611から始まり、角度付きの階段664および670構造がそれぞれ、図6に示されるように内面662および668内にミリングされる。図6に示すように、合計で7つの段が階段664および670に示されており、これが7つの熱電素子620、622、624、626、628、630および632を保持する能力を有する。熱電モジュール600は、約76.2mmの全長617と約12.7mmの幅とを有する。各段は、約2.5mmの長さ674と約12.7mmの高さを有する。表面656および内面662には、約1.59mmの厚さを有するホットプレスされたセラミック窒化ホウ素から作られた電気絶縁層654および656が重ねられている。
複数の素子634は、銅、ニッケルまたは同様な平らな素材から切断することができ、形状および寸法は設計要件に適合させられる。通例、平らな素材の厚さは約0.5mmから2.0mmである。しかし、任意の好適な厚さを使用できることは理解されるべきである。
複数の熱電素子618を次に、図6に示すように複数の素子634間に置いて位置決めする。図示される複数の熱電素子618はドーピングされたN型PbTeから作られている。複数の熱電素子618は約2.0mm×2.0mmの寸法を有し、高さは約1.86mmである。次に、複数の熱電素子を部分に結合するために使用される鉛−スズ−銀フラックスコアはんだの組成を有するはんだで、複数の熱電素子618を素子の部分に結合する。次に、基板605および611を図6に示すように重ねて置き、図6に示すように一緒に圧着する。端部694および696の電気的接続リード692は、発生する電力を任意の好適な態様で使用または測定させるために外側に延びている。
このモジュール設計で動作する様々なコンポーネントの様々な寸法および材料がある。単なる例として、電流段の長さ674と幅の寸法はそれぞれ7mm×7mmであり、高さ678は約2.23mmであり、これが6回繰り返された。電気相互接点636および692は、厚さ0.50mmのニッケルプレートから製作される。これらの相互接点はニッケルめっき銅などの任意の好適な電気導体を使用して作ることもできる。断熱性でかつ電気絶縁性の複数の領域635を製作できる材料は、熱抵抗率が低く、電気抵抗率が高いため、窒化ホウ素が選択された。しかし、熱エポキシおよびセラミックスコーティングなど、これだけに限定されない材料を使用することができる。基板605および611は、所望の用途の電力仕様に合わせるために、適切な段寸法および段数を有するように最適化することができる。基板605および611は、銅(Cu)、真鍮(CuZn)、鋼(FeC)、チタン(Ti)など、これだけに限定されない任意の好適な材料から作ることができる。熱電素子はより大きな寸法にすることができ、3mm×3mmのダイを使用したが、より大きな表面積のダイは発生する電流を増加させる。
図7は、熱電デバイス700の代替設計を示す簡略断面図であり、熱エネルギーはデバイスを垂直に流れ、電流はデバイスを上下に流れる。図7は熱電デバイス700の大幅に拡大した簡略断面図である。図7は熱電デバイス700の断面図であるため、熱電デバイス700は、図7の領域720および722を途中で切断して示しているように、横方向に延びているとともに、図7の内外に延長することができ、それによって、10個、100個、1000個またはそれ以上の熱電デバイスを使用して1つまたは複数のモジュールを製作するために、複数の熱電デバイス(図示せず)を使用する能力を示していることは理解されるべきである。したがって、図7は本発明の一実施形態の例であり、単一の熱電デバイス700を例示することが意図されており、モジュールの他の多くの熱電デバイスは本発明の範囲内で設計できることは理解されるべきである。
一般に、任意の好適な材料、材料の組合せ、材料の変態、製作する方法および/または手法を使用して、熱電デバイス700を製作でき、そのうちの一部は上ですでに述べた。上記述べた材料は本明細書に組み込まれ、本出願を通して使用できることは理解されるべきである。また、本特許出願を明確にするために、関係ある部分を除き、一定の材料、手法およびプロセスを再び詳細に述べる必要はない。本特許出願で提示される教唆により、当業者であれば提示される教唆を用いて本発明を製作および使用できるであろう。
ここで図7を参照すると、熱電デバイス700は、表面705、707および709、711をそれぞれ備える基板701および703と、提示を明確にするために図7では示していないが、電極を設けることのできる表面766、768および770、772を有する熱電素子702および704と、表面736、738、740および742、表面744、746,748および750、表面752、754、756および758、表面760、762、764および763をそれぞれ有する部分708、710および712、714と、表面774、775、776および777、表面768、表面778をそれぞれ有する領域716、720および722とを含む。
一般に、図7を参照すると、基板703および711は、セラミックス材料、高温ポリマーなど、これだけに限定されない任意の好適な熱伝導性でかつ電気絶縁性の材料から作られる。導電性基板は図7に示す熱電デバイス700の製作に使用できないことは理解されるべきである。しかし、基板703および701のそれぞれの表面711および705と、部分710および714のそれぞれの表面746および762、部分708および712のそれぞれの表面742および758との間に絶縁層を追加すると、導電性基板の使用を用いることができる。さらに、基板703および701のそれぞれの表面711および705は、部分710および714の表面746および762と部分708および712の表面742および758との間に物理的および熱的な接続をしやすいように、合理的に平らであることは理解されるべきである。
一般に、部分708、710、712および714は、直方体として形作られる。しかし、図2〜図6を参照して説明したのと同様に、他の3D幾何学形状またはパターンを使用できることは理解されるべきである。部分708、710、712および714は長さ706、幅(図示せず)、および高さ715を有するように製作される。しかし、部分708、710、712および714は、任意の好適な寸法に製作できることは理解されるべきである。寸法は設計検討および用途に応じて、かなり変えることができることも理解されるべきである。通例、長さ706は1.0ミリメートルから10.0センチメートルの範囲にすることができ、公称範囲は2.0ミリメートルから2.0センチメートルであり、好適な範囲は2.0ミリメートルから1.0センチメートルである。幅は図2〜図6に近似させることができ、図2〜図6に従う。高さ715は0.001ミリメートルから1.0センチメートルの範囲にすることができ、公称範囲は0.1ミリメートルから2.0ミリメートルであり、好適な範囲は0.2ミリメートルから0.5ミリメートルである。部分708、710、712および714の寸法は、部分708、710、712および714同士の間で変えることができることも理解されるべきである。
部分708、710、712および714は、表面736、738、740および742、表面752、754、756および758、表面744、746、748および750、表面760、762、764および763がそれぞれ3D長方形を形成するように製作され、表面742、758、750および766が底面を形成し、表面740、736と表面756、752、748、744、表面764、760は表面742、750および766、758に対してそれぞれ90度の角度で配置されて3D長方形の側面を形成し、表面738、754、746および762は3D長方形を完成させるようにそれぞれの側面に置かれる。
また、熱電素子702および704は直方体または3D長方形として製作される。熱電素子702および704は表面766、768、767および769と、表面770、771、772、773を有するように製作され、表面768および770が熱電素子702および704の底面として機能し、表面767、769および表面771、773がそれぞれ側面として機能し、表面766および772がそれぞれ上面として機能する。
一般に、領域716は、任意の好適な方法または手法で、あらゆる断熱性でかつ導電性の材料または材料の組合せから作ることができる。これらの材料および手法は上記述べており、関係ある部分を除いて詳細に述べる必要はない。
図7に示すように、領域716、720および722は直方体として形作られている。領域716は部分708および714に物理的および電気的に結合されており、表面777が表面736に接続され、表面776が764に接続される。領域720および722は部分710および712にも物理的および電気的に接続されている。しかし、領域720および722は直列の他の部分への物理的および電気的な接続は遮断されているため、各電極は図示していない。
一般に、領域716は、表面774、775、776および777によって画定されており、領域716の表面775は、部分708から部分714の表面764まで延び、領域716の表面774は、部分714から電極708の表面736まで延び、領域716の表面777は、部分708の表面736に隣接し、領域716の表面776は、部分714の表面764に隣接している。しかし、熱電デバイス700の設計、加工および構成に応じて、部分708と714との間に電気的な接続がなされることを条件として、領域716はいくつかのバリエーションを有することができることは理解されるべきである。例えば、領域716が部分708および714の垂直辺に接続されるのに対し、領域716は部分708および714の水平面の延長部に接続することもできる。さらに、領域716は基板703および701の一方または両方に接触することもできることは理解されるべきである。
一般に、部分708および712は、表面736と表面756との間に長さ725が設けられて、基板701の表面705に物理的に接続されている。熱電素子702および704はそれぞれ部分708および712に電気的および物理的に接続されており、表面768および770はそれぞれ表面738および754に結合されている。さらに、部分710および714はそれぞれ熱電素子702および704に電気的および物理的に接続されており、表面750および763はそれぞれ表面766および772に結合されている。さらに、部分710および714は基板703の表面711に物理的に結合されている。
図7に示すように、部分708および712のそれぞれの表面736および756は、距離725だけ離れている。さらに、部分710および714のそれぞれの表面744および764も距離725だけ離れている。しかし、部分708、710、712および714の配置または装着は、設計検討によって独立したものにできることは理解されるべきである。すなわち、距離725は各部分ペアで別々にすることができる。例えば、部分710および714のそれぞれの表面744と表面764との間の距離725が25ミリメートルであるとする。部分708および712のそれぞれの表面736と756との間の距離725は35ミリメートルとすることができるであろう。別の例では、部分710および708と熱電素子702とはスタックとして一緒に固着することができ、部分712および714と熱電素子704とも一緒に固着することができ、別のスタックとして同じ寸法を維持する。部分708および712のそれぞれの表面736と756との間の距離725が大きくなると、距離725が大きくなるとともに、角度729、733、731および735は距離725の増減に従って変化する。角度729および735とともに対の角度733および731は一般に組み合わされて、それぞれ90度よりも大きい角度から30度よりも小さい角度まで、ゼロ(0)から60度よりも大きい角度までの範囲にすることができる。
一般に、熱電素子702および704は図2〜図6を参照して上記説明してきたので、ここで詳細に説明する必要はない。寸法、材料およびプロセスは同様であり、当業者であれば、特定の設計要件に合わせて寸法、材料およびプロセスを修正できるであろう。しかし、これらの変更は意図されたものであり、本発明の一部であることは理解されるべきである。
図7に示すように、断熱性でかつ電気絶縁性の領域780および781は、部分708と714との間を横断する領域716によって生成される。材料およびその特性は、図5の断熱性でかつ電気絶縁性の複数の領域512に関して上記説明してきたので、再び説明する必要はない。
上記明細書において、本発明は特定の例示的な実施形態を参照して説明してきた。しかし、以下の請求項に記載される本発明の範囲を逸脱することなく、様々な修正および変更を行えることは認識されるであろう。明細書および図面は制限的なものではなく、例示的に見なされるべきであり、あらゆる修正は本発明の範囲内に含まれることが意図される。したがって、本発明の範囲は上記説明した実施例のみによってではなく、これに添付される請求項およびその法的な同等物によって判断されるべきである。例えば、いずれかの方法またはプロセスクレームに挙げられるステップは、いかなる順番でも実行することができ、請求項に提示される特定の順番に制限されない。さらに、いずれかの装置クレームに挙げられるコンポーネントおよび/または要素は、本発明として実質的に同じ結果を生じるように多様な順列で組み立て、またはその他作動的に構成することができ、したがって請求項に挙げられる特定の構成に制限されない。
利点、他のメリット、および課題解決手段を特定の実施形態に関して上記説明してきた。しかし、特定の利点、メリットまたは解決手段を生じさせるか、あるいはより際立たせる何らかの利点、メリット、課題解決手段策、または何らかの要素を、いずれかまたはすべての請求項の決定的な、必須の、または本質的な特徴または構成要素と解釈してはならない。
本明細書で使用する用語「備える(comprises、comprising)」またはその変形は、非排他的な包含について言及することが意図されているので、要素のリストを含んだプロセス、方法、物品、組成、またはデバイスは、列挙される要素だけを含むのではなく、明示的に挙げられていないか、あるいは当該プロセス、方法、物品、組成、またはデバイスに本来備わっている他の要素も含むことができる。具体的に列挙されていないものに加えて、本発明の実施で使用される前述した構造、配置、用途、割合、要素、材料、またはコンポーネントの他の組合せおよび/または修正は、その一般的な原理を逸脱することなく、当業者によって変更することができ、あるいは特定の環境、製造仕様、設計パラメータ、または他の動作要件に特に適応させることができる。

Claims (34)

  1. 第1の部分と第2の部分と第1の領域とを有する第1の素子であって、前記第1の素子の前記第1および第2の部分は導電性であり、前記第1の領域は、前記第1の素子の前記第1の部分と前記第2の部分との間に設けられて導電性でかつ断熱性である、第1の素子、
    第3の部分と第4の部分と第2の領域とを有する第2の素子であって、前記第2の素子の前記第3および第4の部分は導電性であり、前記第2の領域は、前記第2の素子の前記第1の部分と前記第2の部分との間に設けられて導電性でかつ断熱性である、第2の素子、および
    前記第1の素子の前記第2の部分に設けられるとともに、前記第2の素子の前記第3の部分に設けられる熱電素子
    を備える熱電デバイス。
  2. 前記第1および第2の部分は金属から作られている、請求項1に記載の熱電デバイス。
  3. 前記金属は銅またはニッケルである、請求項2に記載の熱電デバイス。
  4. 前記第1および第2の部分は金属合金から作られている、請求項1に記載の熱電デバイス。
  5. 前記金属は一部、アルミニウムからなる、請求項4に記載の熱電デバイス。
  6. 前記第1の領域は一部をニッケル材料から作られている、請求項1に記載の熱電デバイス。
  7. 前記第1の領域は銅材料から作られている、請求項1に記載の熱電デバイス。
  8. 前記第1の領域は一部をニッケルめっき銅材料から作られている、請求項1に記載の熱電デバイス。
  9. 前記第1の領域は酸化物から作られている、請求項1に記載の熱電デバイス。
  10. 前記酸化物は金属酸化物である、請求項8に記載の熱電デバイス。
  11. 前記金属酸化物は酸化インジウムスズ(InSbO)からなる、請求項9に記載の熱電デバイス。
  12. 前記金属酸化物は酸化スズ(SnO)からなる、請求項9に記載の熱電デバイス。
  13. 前記熱電素子はテルル化鉛(PbTe)から作られている、請求項1に記載の熱電デバイス。
  14. 前記熱電素子はビスマスカルコゲナイドから作られている、請求項1に記載の熱電デバイス。
  15. 前記ビスマスカルコゲナイドはテルル化ビスマスである、請求項13に記載の熱電デバイス。
  16. 前記熱電素子はシリコンゲルマニウムから作られている、請求項1に記載の熱電デバイス。
  17. 前記第1の部分、前記第2の部分、前記第3の部分、および前記第4の部分は線形である、請求項1に記載の熱電デバイス。
  18. 前記第2および第3の部分は実質的に平行である、請求項1に記載の熱電デバイス。
  19. 前記第1の部分および前記第4の部分は90度の角度である、請求項1に記載の熱電デバイス。
  20. 第1の部分と第2の部分と第1の領域とを有する第1の素子であって、前記第1の素子の前記第1および第2の部分は導電性であり、前記第1の領域は、前記第1の素子の前記第1の部分と前記第2の部分との間に設けられて導電性でかつ断熱性である、第1の素子、
    第3の部分と第4の部分と第2の領域とを有する第2の素子であって、前記第2の素子の前記第3および第4の部分は導電性であり、前記第2の領域は、前記第2の素子の前記第1の部分と前記第2の部分との間に設けられて導電性でかつ断熱性である、第2の素子、および
    第1の電極と第2の電極とを有する熱電素子であって、前記第1の電極は、前記第1の素子の前記第2の部分に設けられ、前記第2の電極は、前記第2の素子の前記第3の部分に設けられる、熱電素子
    を備える熱電デバイス。
  21. 第1の部分と第2の部分と第1の領域とを有する第1の素子であって、前記第1の部分は、第1の表面および第2の表面を有し、前記第2の部分は、第3の表面および第4の表面を有し、前記第1の部分および前記第2の部分は、導電性でかつ熱伝導性であり、前記第1の領域は、前記第1の部分から前記第2の部分にまで延びて第1の長さ、第1の幅、および第1の厚さを有し、前記第1の領域は断熱性でかつ導電性である、第1の素子、
    第3の部分と第4の部分と第2の領域とを有する第2の素子であって、前記第3の部分は、第6の表面および第7の表面を有し、前記第3の部分および前記第4の部分は導電性でかつ熱伝導性であり、前記第2の領域は、前記第3の部分から前記第4の部分にまで延びて第2の長さ、第2の幅、および第3の厚さを有し、前記第2の領域は断熱性でかつ導電性である、第2の素子、および
    第1の接触エリアと第2の接触エリアとを有する第1の熱電デバイスであって、前記第1の熱電デバイスの前記第1の接触エリアは、前記第1の素子の前記第2の部分の前記第3の表面に電気的および機械的に結合され、前記第1の熱電デバイスの前記第2の接触エリアは、前記第2の素子の前記第3の部分の前記第6の表面に電気的および機械的に結合されている、第1の熱電デバイス
    を備える熱電デバイス。
  22. 前記第1の素子の前記第1の部分、前記第2の部分、および前記領域は実質的に平行である、請求項27に記載の熱電デバイス。
  23. 前記第1の素子の表面は金属から作られている、請求項20に記載の熱電デバイス。
  24. 前記第1の表面の金属は、Cu、Al、AlCu、Ag、鋼、Fe、単結晶材料、多結晶材料、および非晶質材料のうちの少なくとも1つから構成される、請求項22に記載の熱電デバイス。
  25. 第1の基板と第2の基板であって、前記第1の基板は、熱伝導性でかつ、第1の表面と第2の表面と第3の表面とを有し、前記第1および第2の表面は、実質的に平行でかつ、ある量だけずれており、前記第3の表面は、前記第1および第2の表面から前記第1および第2の表面に対してある角度で延びており、前記第2の基板は熱伝導性でかつ、第4の表面と第5の表面と第6の表面とを有しており、前記第4および第5の表面は、実質的に平行でかつ、ある量だけずれており、前記第6の表面は、前記第4および第5の表面から前記第1および第2の表面に対してある角度で延びている、第1の基板と第2の基板、
    前記第1および第2の基板の前記第1、第2、第3、第4、第5、および第6の表面に設けられている熱伝導性でかつ電気絶縁性の第1の層と第2の層、
    第1の部分と第2の部分と領域とを有する第1の導電性素子であって、前記第1の部分は、第7の表面と第8の表面とを有し、前記第2の部分は、第9の表面と第10の表面とを有し、前記領域は、第1の導電性素子の前記第1の部分と前記第2の部分との間に設けられており、前記第1の導電性素子は、熱伝導性でかつ電気絶縁性の前記第1の層に設けられている、第1の導電性素子、
    前記第1の導電性素子の前記第1の部分の前記第4の表面に設けられる第1の熱電素子、および
    第3の部分と第4の部分と第2の領域とを有する第2の導電性素子であって、前記第3の部分は、第11の表面と第12の表面とを有し、前記第4の部分は、第13の表面と第14の表面とを有し、前記第2の領域は、第2の導電性素子の前記第3の部分と前記第4の部分との間に設けられており、第2の導電性素子の前記第3の部分の前記第12の表面は、前記第1の熱電素子に設けられ、前記第2の導電性素子は、前記第2の基板の熱伝導性でかつ電気絶縁性の前記第2の層に設けられている、第2の導電性素子
    を備える熱電デバイス。
  26. 前記基板は金属から作られている、請求項25に記載の熱電デバイス。
  27. 前記基板の金属は、アルミニウム、銅、およびスズを含むいずれか1つの金属か、あるいはアルミニウム、銅、またはスズを含むいずれか1つの金属から作られている、請求項26の熱電デバイス。
  28. 前記基板は合金から作られている、請求項25の熱電デバイス。
  29. 前記基板の合金は、鋼、ステンレス鋼、アルミニウム、銅、および青銅を含むいずれか1つの合金か、あるいは鋼、ステンレス鋼、アルミニウム、銅、または青銅を含むいずれか1つの合金からなる、請求項28の熱電デバイス。
  30. 前記基板は半導体材料から作られている、請求項25の熱電デバイス。
  31. 前記基板の半導体は、ケイ素、炭素、ダイヤモンド様材料、およびサファイアを含むいずれか1つの半導体か、あるいはケイ素、炭素、ダイヤモンド様材料、またはサファイアを含むいずれか1つの半導体からなる、請求項30の熱電デバイス。
  32. 前記基板は、互いに異なる材料から作られている、請求項25の熱電デバイス。
  33. 一方の基板はアルミニウムから作られ、もう一方の基板はステンレス鋼から作られている、請求項32の熱電デバイス。
  34. 第1の部分と第2の部分と第1の領域とを有する第1の素子を提供するステップであって、前記第1の素子の前記第1および第2の部分は導電性であり、前記第1の領域は、前記第1の素子の前記第1の部分と前記第2の部分との間に設けられて導電性でかつ断熱性である、第1の素子を提供するステップ、
    第3の部分と第4の部分と第2の領域とを有する第2の素子を提供するステップであって、前記第2の素子の前記第3および第4の部分は導電性であり、前記第2の領域は、前記第2の素子の前記第1の部分と前記第2の部分との間に設けられて導電性でかつ断熱性である、第2の素子を提供するステップ、および
    第1の電極と第2の電極とを有する熱電素子を提供するステップであって、前記第1の電極は、前記第1の素子の前記第2の部分に設けられ、前記第2の電極は、前記第2の素子の前記第3の部分に設けられる、熱電素子を提供するステップ
    を含む、熱電デバイスの製作方法。
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