JP2016219577A - 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Fieldの略語を用いて「TF」とする。以下、同じ)40に仮想分割される。
110 制御計算機
150 描画部
160 制御部
200 電子ビーム
208 主偏向器
209 副偏向器
216 副副偏向器
Claims (5)
- 偏向器により荷電粒子ビームを偏向させてパターンを描画する荷電粒子ビーム描画装置であって、
前記偏向器を制御するDAC(デジタル・アナログコンバータ)アンプのセトリング時間、及び前記偏向器による荷電粒子ビームの偏向量を変えながら第1基板上に描画された各評価パターンの描画位置の設計位置からの位置ずれ量と前記セトリング時間との対応関係を示す近似式を記憶する記憶部と、
描画データを、荷電粒子ビームのショットを単位として構成されるショットデータに変換するショットデータ生成部と、
前記ショットデータから求まるショットの偏向量に基づく前記DACアンプのセトリング時間と、前記近似式とから、このセトリング時間における偏向量とショット位置ずれ量との関係を示す補正式を作成し、このショットの偏向量と前記補正式とを用いて位置補正量を求め、前記位置補正量に基づいて前記ショットデータで定義されるショット位置を補正するショット位置補正部と、
ショット位置が補正されたショットデータを用いて第2基板上に荷電粒子ビームを照射し、描画を行う描画部と、
を備えることを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置。 - 前記近似式は、前記第1基板上に描画された各評価パターンの描画位置の設計位置からの位置ずれ量と、前記セトリング時間に各評価パターンのショット時間の半分を足し合わせた時間との対応関係を示し、
前記ショット位置補正部は、前記ショットデータから求まるショットの偏向量に基づく前記DACアンプのセトリング時間にショット時間の半分を足し合わせた時間と、前記近似式とから、前記補正式を作成することを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子ビーム描画装置。 - 第1方向及び前記第1方向に直交する第2方向のそれぞれにおいて、少なくとも2種類の偏向量で前記評価パターンが描画され、前記記憶部は、方向及び偏向量毎の前記近似式を記憶することを特徴とする請求項1又は2に記載の荷電粒子ビーム描画装置。
- 偏向器により荷電粒子ビームを偏向させてパターンを描画する荷電粒子ビーム描画方法であって、
前記偏向器を制御するDAC(デジタル・アナログコンバータ)アンプのセトリング時間、及び前記偏向器による荷電粒子ビームの偏向量を変えながら第1基板上に描画された各評価パターンの描画位置の設計位置からの位置ずれ量と前記セトリング時間との対応関係を示す近似式を記憶部に格納する工程と、
描画データを、荷電粒子ビームのショットを単位として構成されるショットデータに変換する工程と、
前記ショットデータから求まるショットの偏向量に基づく前記DACアンプのセトリング時間と、前記近似式とから、このセトリング時間における偏向量とショット位置ずれ量との関係を示す補正式を作成し、このショットの偏向量と前記補正式とを用いて位置補正量を求め、前記位置補正量に基づいて前記ショットデータで定義されるショット位置を補正する工程と、
ショット位置が補正されたショットデータを用いて第2基板上に荷電粒子ビームを照射し、描画を行う工程と、
を備えることを特徴とする荷電粒子ビーム描画方法。 - 前記近似式は、前記第1基板上に描画された各評価パターンの描画位置の設計位置からの位置ずれ量と、前記セトリング時間に各評価パターンのショット時間の半分を足し合わせた時間との対応関係を示し、
前記ショットデータから求まるショットの偏向量に基づく前記DACアンプのセトリング時間にショット時間の半分を足し合わせた時間と、前記近似式とから、前記補正式を作成することを特徴とする請求項4に記載の荷電粒子ビーム描画方法。
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