JP2016213891A - バルク音響波共振器及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記第1電極の上部に位置する圧電層と、前記圧電層の上部に位置する第2電極と、前記エアーギャップの中心から所定距離だけ離れた位置に形成されるエアーエッジとを含む。
第2電極を形成するステップと、前記第1電極と前記第2電極との間に圧電層を形成するステップと、バルク音響波共振器の中心から所定距離だけ離れる位置でエアーエッジを形成するステップとを含む。
以下、例示的な形態を列挙する。
(付記1)
第1電極、第2電極、及び前記第1電極と前記第2電極との間に位置する圧電層を含むバルク音響波共振部と、
前記バルク音響波共振部の中心から一定距離だけ離れた位置に形成されるエアーエッジと、
を含む、バルク音響波共振器。
(付記2)
前記エアーエッジは、前記バルク音響波共振部のエッジ部分が前記バルク音響波共振部の厚さだけ垂直方向にエッチングされた部分である、付記1に記載のバルク音響波共振器。
(付記3)
前記エアーエッジは、前記バルク音響波共振部に位置する拡張されたビアホールである、付記1又は2に記載のバルク音響波共振器。
(付記4)
前記第1電極、前記第2電極、及び前記圧電層は、前記バルク音響波共振部のエッジではない部分に積層されたフォトマスクを用いて同じ工程ステップでエッチングされることによって傾斜面が形成される、付記1〜3のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。
(付記5)
前記エアーエッジは、前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち、20パーセント以上のエッジ部分で形成される、付記1〜4のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。
(付記6)
前記バルク音響波共振部の下部に位置し、基板の上部に位置し、前記バルク音響波共振部で発生する垂直方向の音響波を反射させるエアーギャップをさらに含む、付記1〜5のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。
(付記7)
前記エアーエッジは、前記バルク音響波共振部の所定のエッジ部分が前記エアーギャップに達するまで垂直方向に貫通された部分である、付記6に記載のバルク音響波共振器。
(付記8)
前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち、前記エアーエッジが形成された部分を除いた一定領域に位置し、前記バルク音響波共振部を支持するブリッジをさらに含む、付記1〜7のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。
(付記9)
酸化ケイ素系列、窒化ケイ素系列、及び窒化アルミニウム系列のうち1つの物質で構成され、前記圧電層、第1電極、または前記第2電極のいずれか1つの上部または下部に位置する不動態化層をさらに含む、付記1〜8のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。
(付記10)
前記バルク音響波共振部は、
前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち前記エアーエッジが形成されず、前記第1電極が接続された部分に追加的な膜を蒸着して形成された第1フレームと、
前記第2電極が接続された部分に追加的な膜を蒸着して形成された第2フレームと、
を含み、
前記第2フレームは前記バルク音響波共振部のエッジ部分のうち前記エアーエッジは除去する、付記1〜9のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。
(付記11)
前記バルク音響波共振部は、 前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち前記エアーエッジが形成されず、前記第1電極が接続された部分でエッチングされた第1フレームと、
前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち前記エアーエッジが形成されず、前記第2電極が接続された部分でエッチングされた第2フレームと、
を含む、付記1〜9のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。
(付記12)
前記第1電極及び第2電極のうちの少なくとも1つは、
フィンガー形態に前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち一定部分に接続された部分と、
前記エアーエッジに露出したパターン部分と、
を含む、付記1〜11のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。
(付記13)
前記バルク音響波共振部は、
前記第1電極がフィンガー形態に前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち所定の部分に接続された部分に追加的な膜を蒸着して形成された第1フレームと、
前記第2電極がフィンガー形態に前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち所定の部分に接続された部分に追加的な膜を蒸着して形成された第2フレームと、
を含む、付記1〜12のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。
(付記14)
前記バルク音響波共振部は、
前記第1電極がフィンガー形態に前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち一定部分に接続された部分でエッチングされた第1フレームと、
前記第2電極がフィンガー形態に前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち一定部分に接続された部分でエッチングされた第2フレームと、
を含む、付記1〜12のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。
(付記15)
前記傾斜面は約90度である、付記4に記載のバルク音響波共振器。
(付記16)
前記エアーギャップの形態を保持し、前記エアーギャップ上に位置するメンブレインをさらに含む、付記6に記載のバルク音響波共振器。
(付記17)
基板と、
前記基板の上部のうち一定領域に位置するエアーギャップと、
前記エアーギャップの上部に位置する第1電極と、
前記第1電極の上部に位置する圧電層と、
前記圧電層の上部に位置する第2電極と、
前記エアーギャップの中心から一定距離だけ離れた位置に形成されるエアーエッジと、
を含む、バルク音響波共振器。
(付記18)
前記エアーエッジは、前記第1電極、前記圧電層、及び前記第2電極で一列に整列した一定のエッジ部分が前記第1電極、前記圧電層、及び前記第2電極の厚さだけ垂直方向にエッチングされた部分である、付記17に記載のバルク音響波共振器。
(付記19)
1より多いエアーエッジをさらに含む、付記17又は18に記載のバルク音響波共振器。
(付記20)
第1電極を形成するステップと、
第2電極を形成するステップと、
前記第1電極と前記第2電極との間に圧電層を形成するステップと、
バルク音響波共振部の中心から一定距離だけ離れる位置にエアーエッジを形成するステップと、
を含む、バルク音響波共振器の製造方法。
(付記21)
前記バルク音響波共振部のエッジの一定部分を前記バルク音響波共振部の厚さだけ垂直方向にエッチングすることによりエアーギャップを形成するステップをさらに含む、付記20に記載のバルク音響波共振器の製造方法。
(付記22)
前記バルク音響波共振部のエッジの一定部分を垂直方向に貫通することによってエアーエッジを形成するステップをさらに含む、付記20に記載のバルク音響波共振器の製造方法。
(付記23)
前記バルク音響波共振部に位置するビアホールを拡張することによってエアーエッジを形成するステップをさらに含む、付記20に記載のバルク音響波共振器の製造方法。
Claims (23)
- 第1電極、第2電極、及び前記第1電極と前記第2電極との間に位置する圧電層を含むバルク音響波共振部と、
前記バルク音響波共振部の中心から一定距離だけ離れた位置に形成されるエアーエッジと、
を含む、バルク音響波共振器。 - 前記エアーエッジは、前記バルク音響波共振部のエッジ部分が前記バルク音響波共振部の厚さだけ垂直方向にエッチングされた部分である、請求項1に記載のバルク音響波共振器。
- 前記エアーエッジは、前記バルク音響波共振部に位置する拡張されたビアホールである、請求項1又は2に記載のバルク音響波共振器。
- 前記第1電極、前記第2電極、及び前記圧電層は、前記バルク音響波共振部のエッジではない部分に積層されたフォトマスクを用いて同じ工程ステップでエッチングされることによって傾斜面が形成される、請求項1〜3のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。
- 前記エアーエッジは、前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち、20パーセント以上のエッジ部分で形成される、請求項1〜4のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。
- 前記バルク音響波共振部の下部に位置し、基板の上部に位置し、前記バルク音響波共振部で発生する垂直方向の音響波を反射させるエアーギャップをさらに含む、請求項1〜5のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。
- 前記エアーエッジは、前記バルク音響波共振部の所定のエッジ部分が前記エアーギャップに達するまで垂直方向に貫通された部分である、請求項6に記載のバルク音響波共振器。
- 前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち、前記エアーエッジが形成された部分を除いた一定領域に位置し、前記バルク音響波共振部を支持するブリッジをさらに含む、請求項1〜7のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。
- 酸化ケイ素系列、窒化ケイ素系列、及び窒化アルミニウム系列のうち1つの物質で構成され、前記圧電層、第1電極、または前記第2電極のいずれか1つの上部または下部に位置する不動態化層をさらに含む、請求項1〜8のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。
- 前記バルク音響波共振部は、
前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち前記エアーエッジが形成されず、前記第1電極が接続された部分に追加的な膜を蒸着して形成された第1フレームと、
前記第2電極が接続された部分に追加的な膜を蒸着して形成された第2フレームと、
を含み、
前記第2フレームは前記バルク音響波共振部のエッジ部分のうち前記エアーエッジは除去する、請求項1〜9のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。 - 前記バルク音響波共振部は、
前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち前記エアーエッジが形成されず、前記第1電極が接続された部分でエッチングされた第1フレームと、
前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち前記エアーエッジが形成されず、前記第2電極が接続された部分でエッチングされた第2フレームと、
を含む、請求項1〜9のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。 - 前記第1電極及び第2電極のうちの少なくとも1つは、
フィンガー形態に前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち一定部分に接続された部分と、
前記エアーエッジに露出したパターン部分と、
を含む、請求項1〜11のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。 - 前記バルク音響波共振部は、
前記第1電極がフィンガー形態に前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち所定の部分に接続された部分に追加的な膜を蒸着して形成された第1フレームと、
前記第2電極がフィンガー形態に前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち所定の部分に接続された部分に追加的な膜を蒸着して形成された第2フレームと、
を含む、請求項1〜12のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。 - 前記バルク音響波共振部は、
前記第1電極がフィンガー形態に前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち一定部分に接続された部分でエッチングされた第1フレームと、
前記第2電極がフィンガー形態に前記バルク音響波共振部の全体エッジ部分のうち一定部分に接続された部分でエッチングされた第2フレームと、
を含む、請求項1〜12のうち何れか一項に記載のバルク音響波共振器。 - 前記傾斜面は約90度である、請求項4に記載のバルク音響波共振器。
- 前記エアーギャップの形態を保持し、前記エアーギャップ上に位置するメンブレインをさらに含む、請求項6に記載のバルク音響波共振器。
- 基板と、
前記基板の上部のうち一定領域に位置するエアーギャップと、
前記エアーギャップの上部に位置する第1電極と、
前記第1電極の上部に位置する圧電層と、
前記圧電層の上部に位置する第2電極と、
前記エアーギャップの中心から一定距離だけ離れた位置に形成されるエアーエッジと、
を含む、バルク音響波共振器。 - 前記エアーエッジは、前記第1電極、前記圧電層、及び前記第2電極で一列に整列した一定のエッジ部分が前記第1電極、前記圧電層、及び前記第2電極の厚さだけ垂直方向にエッチングされた部分である、請求項17に記載のバルク音響波共振器。
- 1より多いエアーエッジをさらに含む、請求項17又は18に記載のバルク音響波共振器。
- 第1電極を形成するステップと、
第2電極を形成するステップと、
前記第1電極と前記第2電極との間に圧電層を形成するステップと、
バルク音響波共振部の中心から一定距離だけ離れる位置にエアーエッジを形成するステップと、
を含む、バルク音響波共振器の製造方法。 - 前記バルク音響波共振部のエッジの一定部分を前記バルク音響波共振部の厚さだけ垂直方向にエッチングすることによりエアーギャップを形成するステップをさらに含む、請求項20に記載のバルク音響波共振器の製造方法。
- 前記バルク音響波共振部のエッジの一定部分を垂直方向に貫通することによってエアーエッジを形成するステップをさらに含む、請求項20に記載のバルク音響波共振器の製造方法。
- 前記バルク音響波共振部に位置するビアホールを拡張することによってエアーエッジを形成するステップをさらに含む、請求項20に記載のバルク音響波共振器の製造方法。
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