JP2016192545A - スピン処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の実施形態について図1乃至図5を参照して説明する。
第2の実施形態について図6を参照して説明する。なお、第2の実施形態では、第1の実施形態との相違点について説明し、その他の説明は省略する。相違点は、三つのクランプ部3dを一組とし、その組ごとに一対の変換機構3g及び昇降機構3hを設ける点である。
第3の実施形態について図7及び図8を参照して説明する。なお、第3の実施形態では、第1の実施形態との相違点について説明し、その他の説明は省略する。第1及び第2の実施形態では、クランプピン21を同期させて基板Wを把持し、同期させて基板Wの把持を開放するチャック機構として遊星歯車機構を用いているが、第3の実施形態では、他方式のチャック機構として同期リング機構及び伸縮クランプ機構を用いている。
前述の第1乃至第3の実施形態においては、基板Wとして、円形のウェーハのような円板状の基板に対して処理を行っているが、基板Wの形状は限定されるものではなく、例えば、基板Wとして、液晶パネルのような矩形板状のガラス基板に対して処理を行っても良い。この場合にも、少なくとも三本のクランプピン21が必要であるが、基板Wの把持の安定性向上のためには、四本のクランプピン21を設けることが好ましい。また、四本のクランプピン21を二組設けた場合には、前述の第2又は第3の実施形態と同様に、処理中に組ごとに交互に基板Wを把持することも可能である。
6 制御部
3e 子歯車
3f 親歯車
3g 変換機構
3h 昇降機構
21 クランプピン
35 回転リングマグネット
36 固定リングマグネット
39 チャックセンサ
W 基板
Claims (8)
- 基板の外周面に付勢力により各々当接して前記基板を把持する少なくとも三本のクランプピンと、
前記三本のクランプピンにより把持された前記基板を平面内で回転させるように前記基板の外周まわりに前記三本のクランプピンを回転させる回転機構と、
前記基板の回転軸方向に沿って昇降する第1の磁石を有し、前記第1の磁石を前記基板の回転軸方向に沿って上下させる昇降機構と、
前記第1の磁石に対向して反発する第2の磁石を有し、前記第2の磁石の上下方向の運動を横方向の運動に変換する変換機構と、
前記横方向の運動のいずれか一方向の運動に応じて前記三本のクランプピンを同期させて前記付勢力に逆らって前記基板の外周面から離れる方向に同じ量移動させ、前記横方向の運動の他方向の運動に応じて前記付勢力により前記三本のクランプピンを同期させて前記基板の外周面に近づく方向に同じ量移動させる同期移動機構と、
を備えることを特徴とするスピン処理装置。 - 前記同期移動機構は、少なくとも前記基板の回転中、前記三本のクランプピンが前記基板に当接する個々の当接力を等しくするように前記三本のクランプピンを同期させて移動させることを特徴とする請求項1に記載のスピン処理装置。
- 前記三本のクランプピンは、それぞれ、前記基板の回転軸に平行なピン回転軸から偏心して回転することが可能になるように設けられており、前記基板の外周面から離れる方向及び前記基板の外周面に近づく方向に同期して回転することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のスピン処理装置。
- 前記三本のクランプピンは、それぞれ、前記基板の回転半径方向に沿って移動することが可能になるように設けられており、前記基板の外周面から離れる方向及び前記基板の外周面に近づく方向に同期して移動することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のスピン処理装置。
- 前記第1の磁石の高さ位置を検出する位置検出部と、
前記位置検出部により検出された前記高さ位置から前記三本のクランプピンが前記基板を正常に把持しているか否かを判断する判断部と、
を備えることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のスピン処理装置。 - 前記クランプピンは、前記基板の回転軸まわりに一本置きに並ぶ三本を一組として六本設けられており、
前記昇降機構、前記変換機構及び前記同期移動機構は、前記クランプピンの組ごとに設けられていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のスピン処理装置。 - 前記同期移動機構は、
前記三本のクランプピンに個別に設けられた複数の子歯車と、
前記複数の子歯車に噛み合う親歯車と、
を具備し、
前記変換機構は、
前記親歯車に設けられた固定ローラと、
前記第2の磁石に設けられた昇降ローラと、
前記昇降ローラが前記第2の磁石の上下方向の運動によって上昇及び下降することに応じて前記固定ローラを揺動させる変換アームと、
を具備することを特徴とする請求項1、請求項2又は請求項3に記載のスピン処理装置。 - 前記同期移動機構は、
前記基板の回転軸を軸として回転する同期リングと、
前記同期リングに前記三本のクランプピンごとに個別に設けられた複数の同期ピンと、
前記三本のクランプピンごとに設けられ、前記付勢力に逆らって前記基板の外周面から離れる方向及び前記付勢力によって前記基板の外周面に近づく方向に移動する複数のスライド軸と、
前記複数のスライド軸に個別に設けられた複数の同期伸縮ピンと、
前記複数のスライド軸ごとに設けられ、前記同期伸縮ピンが前記スライド軸の移動によって移動することに応じて前記同期ピンを揺動させる複数の同期アームと、
を具備し、
前記変換機構は、
前記複数のスライド軸に個別に設けられた複数の伸縮回転ピンと、
前記複数のスライド軸ごとに前記第2の磁石に設けられた複数の昇降ピンと、
前記複数のスライド軸ごとに設けられ、前記昇降ピンが前記第2の磁石の上下方向の運動によって上昇及び下降することに応じて前記伸縮回転ピンを揺動させる複数の伸縮アームと、
を具備することを特徴とする請求項1、請求項2又は請求項4に記載のスピン処理装置。
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