JP2016184649A - 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明では、基板(8)を希釈液で希釈された処理液で処理する液処理部(38)と、前記処理液を供給する処理液供給部(39)と、前記処理液を希釈するための希釈液を供給する希釈液供給部(40)と、前記希釈液で希釈された処理液の濃度を計測する濃度計測部(濃度センサ54)と、前記濃度計測部で計測した前記希釈液で希釈された処理液の濃度に応じて前記処理液供給部及び希釈液供給部を制御する制御部(7)とを有し、前記液処理部で前記基板の処理中に前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できないと判断した場合、前記処理液及び希釈液の供給状態を予め決められた供給状態で維持し、前記液処理部での前記基板の処理を継続することにした。
【選択図】図3
Description
(1)前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できないと判断した時点より前の前記処理液及び希釈液と同じ供給量で前記処理液及び希釈液を供給する状態、
(2)前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できないと判断した時点より前の所定期間での平均した前記処理液及び希釈液の供給量で前記処理液及び希釈液を供給する状態、
(3)前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できないと判断した時点より前の所定期間で変動する前記処理液及び希釈液の供給量で前記処理液及び希釈液を変動させて供給する状態、
のいずれかであることにした。
(1)前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できないと判断した時点より前の前記処理液及び希釈液と同じ供給量で前記処理液及び希釈液を供給する状態、
(2)前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できないと判断した時点より前の所定期間での平均した前記処理液及び希釈液の供給量で前記処理液及び希釈液を供給する状態、
(3)前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できないと判断した時点より前の所定期間で変動する前記処理液及び希釈液の供給量で前記処理液及び希釈液を変動させて供給する状態、
のいずれかであることにした。
(1)濃度センサ正常判断ステップS3の実行時点(濃度計測部(濃度センサ54)で処理液の濃度を正常に計測できないと判断した時点)より前の供給ステップS8で実行した処理液及び希釈液と同じ供給量で処理液及び希釈液を供給する状態。
(2)濃度センサ正常判断ステップS3の実行時点(濃度計測部(濃度センサ54)で処理液の濃度を正常に計測できないと判断した時点)より前の所定期間(たとえば、10秒間)で供給ステップS8で実行した処理液及び希釈液の供給量を平均した量で処理液及び希釈液を供給する状態。
(3)濃度センサ正常判断ステップS3の実行時点(濃度計測部(濃度センサ54)で処理液の濃度を正常に計測できないと判断した時点)より前の所定期間(たとえば、20秒間)で供給ステップS8で実行した時間とともに変動する処理液及び希釈液の供給量で処理液及び希釈液を変動させて供給する状態。
7 制御部
8 基板
38 液処理部
39 処理液供給部
40 希釈液供給部
54 濃度センサ(濃度計測部)
64 大気圧センサ(大気圧計測部)
Claims (11)
- 基板を希釈液で希釈された処理液で処理する液処理部と、
前記処理液を供給する処理液供給部と、
前記処理液を希釈するための希釈液を供給する希釈液供給部と、
前記希釈液で希釈された処理液の濃度を計測する濃度計測部と、
前記濃度計測部で計測した前記希釈液で希釈された処理液の濃度に応じて前記処理液供給部及び希釈液供給部を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記液処理部で前記基板の処理中に前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できないと判断した場合、前記処理液及び希釈液の供給状態を予め決められた供給状態で維持するように前記処理液供給部及び希釈液供給部を制御し、前記液処理部での前記基板の処理を継続することを特徴とする基板液処理装置。 - 前記予め決められた供給状態は、
(1)前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できないと判断した時点より前の前記処理液及び希釈液と同じ供給量で前記処理液及び希釈液を供給する状態、
(2)前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できないと判断した時点より前の所定期間での平均した前記処理液及び希釈液の供給量で前記処理液及び希釈液を供給する状態、
(3)前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できないと判断した時点より前の所定期間で変動する前記処理液及び希釈液の供給量で前記処理液及び希釈液を変動させて供給する状態、
のいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の基板液処理装置。 - 大気圧を計測する大気圧計測部をさらに有し、
前記制御部は、前記大気圧計測部で計測した大気圧が所定範囲内の場合、前記基板の処理中における前記処理液及び希釈液の供給状態を維持し、前記大気圧計測部で計測した大気圧が所定範囲外の場合、前記液処理部での前記基板の処理を中断するように制御することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基板液処理装置。 - 前記制御部は、
前記濃度計測部で前記希釈液で希釈された処理液の濃度を正常に計測できる場合、前記大気圧計測部で計測した大気圧が第1所定範囲内のときと第1所定範囲外のときとで異なる処理を行い、
前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できない場合、前記大気圧計測部で計測した大気圧が第2所定範囲内のときに前記基板の処理中における前記処理液及び希釈液の供給状態を維持し、前記大気圧計測部で計測した大気圧が第2所定範囲外のときに、前記液処理部での前記基板の処理を中断し、
前記第1所定範囲よりも第2所定範囲を狭い範囲としたことを特徴とする請求項3に記載の基板液処理装置。 - 前記希釈液は、前記処理液の加熱によって蒸発する水分を補充する純水であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の基板液処理装置。
- 液処理部で希釈液で希釈された処理液を用いて基板を処理し、前記基板の処理中に前記希釈液で希釈された処理液の濃度を正常に計測できなくなった場合に、前記処理液及び希釈液の供給状態を予め決められた供給状態で維持し、前記液処理部での前記基板の処理を継続することを特徴とする基板液処理方法。
- 前記予め決められた供給状態は、
(1)前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できないと判断した時点より前の前記処理液及び希釈液と同じ供給量で前記処理液及び希釈液を供給する状態、
(2)前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できないと判断した時点より前の所定期間での平均した前記処理液及び希釈液の供給量で前記処理液及び希釈液を供給する状態、
(3)前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できないと判断した時点より前の所定期間で変動する前記処理液及び希釈液の供給量で前記処理液及び希釈液を変動させて供給する状態、
のいずれかであることを特徴とする請求項6に記載の基板液処理方法。 - 大気圧を計測し、大気圧が所定範囲内の場合、前記基板の処理中における前記処理液及び希釈液の供給状態を維持し、大気圧が所定範囲外の場合、前記液処理部での前記基板の処理を中断することを特徴とする請求項6又は請求項7に記載の基板液処理方法。
- 前記希釈液で希釈された処理液の濃度を正常に計測できる場合、大気圧が第1所定範囲内のときと第1所定範囲外のときとで異なる処理を行い、
前記希釈液で希釈された処理液の濃度を正常に計測できない場合、大気圧が第2所定範囲内のときに前記基板の処理中における前記処理液及び希釈液の供給状態を維持し、大気圧が第2所定範囲外のときに、前記液処理部での前記基板の処理を中断し、
前記第1所定範囲よりも第2所定範囲を狭い範囲としたことを特徴とする請求項8に記載の基板液処理方法。 - 前記希釈液は、前記希釈液で希釈された処理液の加熱によって蒸発する水分を補充する純水であることを特徴とする請求項6〜請求項9のいずれかに記載の基板液処理方法。
- 基板を希釈液で希釈された処理液で処理する液処理部と、
前記処理液を供給する処理液供給部と、
前記処理液を希釈するための希釈液を供給する希釈液供給部と、
前記希釈液で希釈された処理液の濃度を計測する濃度計測部と、
を有する基板液処理装置を用いて基板液処理方法を実行させる基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体において、
前記液処理部で前記基板の処理中に前記濃度計測部で前記処理液の濃度を正常に計測できないと判断した場合、前記処理液及び希釈液の供給状態を予め決められた供給状態で維持するように前記処理液供給部及び希釈液供給部を制御し、前記液処理部での前記基板の処理を継続することを特徴とする基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
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