JP2016173371A - 基板検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
110 基板
112 測定対象物
114 認識マーク
120 投影部
130 照明部
140 撮像部
150 ビームスプリッター
Claims (13)
- 所定の高さを有する測定対象物が形成された基板を撮像部で測定して前記基板の平面方程式を取得し、
前記撮像部によって取得された平面イメージで、前記測定対象物が位置する測定対象物領域を特定し、
前記平面イメージで、前記測定対象物の前記高さと前記基板の傾斜による前記測定対象物領域の位置誤差とに基づいて、補正された測定対象物領域を生成し、
前記補正された測定対象物領域と基準データの測定対象物領域とを比較して前記測定対象物を検査すること、
を含む基板検査方法。 - 前記平面方程式を取得することは、
前記基板に形成された認識マークの間の距離の測定、
レーザーを用いた前記基板の測定
モアレ測定方式による前記基板の測定の少なくとも一つを用いて前記平面方程式を取得することを特徴とする請求項1に記載の基板検査方法。 - 前記測定対象物領域を特定することは、
前記測定対象物の4辺のうち互いに向き合う2辺が平行を保持するように前記測定対象物の4辺に対応する4個の直線を求めることを含む請求項1に記載の基板検査方法。 - 前記補正された測定対象物領域を生成することは、
前記撮像部のイメージ平面と、前記平面方程式が表す平面を前記イメージ平面と垂直に繋ぐ直線上の一つの点から前記平面方程式が表す平面上の一つの点との垂直距離が前記測定対象物の高さに対応する前記測定対象物領域の少なくとも一つの地点に対する前記平面方程式が表す平面上の一つの点を求めることにより、前記測定対象物領域を補正することを特徴とする請求項1に記載の基板検査方法。 - 前記測定対象物を検査する前に、
前記測定対象物領域が補正された前記基板の平面イメージと前記基準データとをマッチングさせることを特徴とする請求項1に記載の基板検査方法。 - 前記測定対象物領域が補正された前記基板の平面イメージと前記基準データとをマッチングさせることは、
前記基準データの認識マークを連結する線の中心と前記基板の平面イメージの認識マークを連結する線の中心とをマッチングさせることと、
前記基準データの認識マークを連結する線と前記基板の平面イメージの認識マークを連結する線とをマッチングさせることと、
を含む請求項5に記載の基板検査方法。 - 前記測定対象物を検査することは、
前記補正された測定対象物領域と前記基準データの測定対象物領域との間で、
前記測定対象物のセンターのX軸方向の誤差に該当する第1誤差と、
前記測定対象物のセンターのY軸方向の誤差に該当する第2誤差と、
前記測定対象物の傾斜角度に該当する第3誤差と、
前記測定対象物の4つのコーナーの離隔距離のうち少なくとも一つに該当する第4誤差と、
のうち少なくとも一つを検査することを特徴とする請求項1に記載の基板検査方法。 - 所定の高さを有する測定対象物が形成された基板を撮像部で測定して前記基板の平面方程式を取得することは、
テレセントリックレンズを備えた撮像部を使用して前記基板を測定することを含むことを特徴とする請求項1に記載の基板検査方法。 - 前記測定対象物が形成された基板を測定する前に高さ測定の基準となる基準面を補正することをさらに含み、
前記高さ測定の基準となる基準面を補正することは、
前記撮像部のイメージ平面に平行な理想的基準面と測定された基準面との間の相対的誤差を取得して、前記相対的誤差に基づいて、前記測定された基準面を補正することを含むことを特徴とする請求項1に記載の基板検査方法。 - 前記基板の平面方程式を取得することは、
前記測定対象物が形成された基板を複数の測定領域に区分して、それぞれ測定することと、
前記複数の測定領域での複数の平面方程式を取得することと、
を含み、
前記測定対象物の領域を特定することと、前記補正された測定対象物領域を生成することとは、前記複数の測定領域のそれぞれについて行われ、
前記測定対象物を検査することは、
前記複数の測定領域で取得された前記複数の平面方程式が表す複数の平面を代表する一つの同一の平面を生成することと、
前記一つの平面に生成された前記測定対象物の領域と前記基準データの測定対象物領域とを比較して前記測定対象物を検査することと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板検査方法。 - 前記複数の測定領域で取得された前記複数の平面方程式が表す複数の平面を代表する一つの同一の平面を生成することは、
前記複数の測定領域のそれぞれの共通領域及び前記測定対象物領域の少なくとも一つに基づいて生成することを特徴とする請求項10に記載の基板検査方法。 - 請求項1から請求項11の方法を実行するコンピュータソフトウェアを記録した記録媒体。
- 所定の高さを有する測定対象物が形成された基板を測定する撮像部と、
前記撮像部の測定結果を用いて前記基板の平面イメージを取得し、前記撮像部によって取得された平面イメージで測定対象物が位置する測定対象物領域を特定し、前記平面イメージで前記測定対象物の前記高さと前記基板の傾斜による前記測定対象物領域の位置誤差とに基づいて補正された測定対象物領域を生成し、前記補正された測定対象物領域と基準データの測定対象物領域とを比較して前記測定対象物を検査する制御部と、
を含む基板検査装置。
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