JPH03253981A - パッケージ部品のリードの検査方法 - Google Patents
パッケージ部品のリードの検査方法Info
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- JPH03253981A JPH03253981A JP2052945A JP5294590A JPH03253981A JP H03253981 A JPH03253981 A JP H03253981A JP 2052945 A JP2052945 A JP 2052945A JP 5294590 A JP5294590 A JP 5294590A JP H03253981 A JPH03253981 A JP H03253981A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 abstract description 17
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 8
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、表面実装に用いられるパッケージ部品のリ
ードの浮きを測定するリードの検査方法に関するもので
ある。
ードの浮きを測定するリードの検査方法に関するもので
ある。
〔従来の技術Ｊ
一般に、ＬＳＩ等の半導体装置は第４図に示すようにパ
ッケージ部品１の外周より直角方向に突出する複数本の
り−ド２が設けられ、このリード２は第５図、第６図に
示すように印刷配線板２１に印刷されたパッド２ｍに半
田付けされる。従って、半田付けが正確になされるよう
にするために、浮きｈがあってはならず、また、リード
２が第６図の２ｆに示すように曲がってはならない、そ
こで、製造後にリードを検査している。
ッケージ部品１の外周より直角方向に突出する複数本の
り−ド２が設けられ、このリード２は第５図、第６図に
示すように印刷配線板２１に印刷されたパッド２ｍに半
田付けされる。従って、半田付けが正確になされるよう
にするために、浮きｈがあってはならず、また、リード
２が第６図の２ｆに示すように曲がってはならない、そ
こで、製造後にリードを検査している。
従来のこの種の検査装置としては第７図に示すものがあ
った。第７図は従来のリードの検査装置の構成を示す斜
視図で、図においてｌはパッケージ部品、２はパッケー
ジ部品Ｉを印刷配線板のランドパターンに接合するため
のリード、７はパッケージ部品を平面上に固定する治具
、８は顕微鏡であり、３は顕微鏡の対物レンズである。
った。第７図は従来のリードの検査装置の構成を示す斜
視図で、図においてｌはパッケージ部品、２はパッケー
ジ部品Ｉを印刷配線板のランドパターンに接合するため
のリード、７はパッケージ部品を平面上に固定する治具
、８は顕微鏡であり、３は顕微鏡の対物レンズである。
５は照明装置、９はＸＹテーブル、１０は防振台、１１
はＸＹテーブルの移動量を表示するカウンターであり、
１２はカウンターのリセットボタンである。
はＸＹテーブルの移動量を表示するカウンターであり、
１２はカウンターのリセットボタンである。
次に動作について説明する。始めにパッケージ部品工を
治具７の平面上に固定し、顕微鏡８の視野に対して治具
７の平面とパッケージ部品のリド２の浮きが観測できる
ように、ＸＹテーブル９上にセットする。
治具７の平面上に固定し、顕微鏡８の視野に対して治具
７の平面とパッケージ部品のリド２の浮きが観測できる
ように、ＸＹテーブル９上にセットする。
リードの浮きは、顕微鏡の視野の中心を治具７の平面上
に合わせて、カウンター１１のリセットボタン１２を押
してカウンターリセットする０次に、ＸＹテーブル９を
Ｘ方向に移動し、リードの下端に顕ＷＬａの視野の中心
を合わし、カウンタの値を読み、その値をリードの浮き
とする。
に合わせて、カウンター１１のリセットボタン１２を押
してカウンターリセットする０次に、ＸＹテーブル９を
Ｘ方向に移動し、リードの下端に顕ＷＬａの視野の中心
を合わし、カウンタの値を読み、その値をリードの浮き
とする。
リードの曲りは、顕微鏡の視野の中心をリードの端に合
わせて、カウンター１１のリセットボタン１２を押し、
カウンターリセットし、顕微鏡の視野の中心が、隣のリ
ード端に合うようにＸＹテブル９をＹ方向に移動し、合
ったときのカウンターの値をリードピッチＰ、とする。
わせて、カウンター１１のリセットボタン１２を押し、
カウンターリセットし、顕微鏡の視野の中心が、隣のリ
ード端に合うようにＸＹテブル９をＹ方向に移動し、合
ったときのカウンターの値をリードピッチＰ、とする。
ここで、リドピッチの規格値をＰ３とすると、リード曲
りΔＰは ΔＰ＝Ｐ、−Ｐ。
りΔＰは ΔＰ＝Ｐ、−Ｐ。
となる。以下、すべてのリードピッチに対して、同様の
方法でリードの曲りを測定する。
方法でリードの曲りを測定する。
従来のリードの検査装置は以上のように構成されている
ので、その都度パフケージ部品を治具７の平面上の規定
位置に固定しなければならず、また、リードの１ピン毎
に顕微鏡の視野中心とリード端を合わせて測定すること
が必要であり、多ピンのパッケージ部品を測定するのに
多くの時間を費やしていた。
ので、その都度パフケージ部品を治具７の平面上の規定
位置に固定しなければならず、また、リードの１ピン毎
に顕微鏡の視野中心とリード端を合わせて測定すること
が必要であり、多ピンのパッケージ部品を測定するのに
多くの時間を費やしていた。
また、測定は肉眼にたよらざるを得ないため、観測者の
バラツキによる測定誤差が生じるなどの問題点があった
。
バラツキによる測定誤差が生じるなどの問題点があった
。
そこで、特開昭６４−７９８７４号では、リード等の被
検査部材に対して斜め方向から少なくとも２個のカメラ
を当てて、両者で撮像される像のずれを比較して浮きを
検出しているが、浮きの存在は確認できても、浮きがど
の程度かは計測できなかった。
検査部材に対して斜め方向から少なくとも２個のカメラ
を当てて、両者で撮像される像のずれを比較して浮きを
検出しているが、浮きの存在は確認できても、浮きがど
の程度かは計測できなかった。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、パッケージ部品のリードの浮きの測定を自
動的にかつ高精度に行えるようにするものである。
れたもので、パッケージ部品のリードの浮きの測定を自
動的にかつ高精度に行えるようにするものである。
透明板の一表面の一点Ｐに向けて垂直方向に向けられた
第１カメラと、上記一点Ｐに向けてθ０傾斜する如く向
けられた第２カメラと、上記透明板の他表面側に位置さ
れて上記第１カメラに向けて光を照射する第１照明装置
及び上記第２カメラに向けて光を照射する第２照明装置
とを備え、上記一点Ｐの近傍にリードの先端が位置する
如くパフケージを透明板の一表面上にセットして上記リ
ードの透明板の一表面からの浮きｈを検査する。
第１カメラと、上記一点Ｐに向けてθ０傾斜する如く向
けられた第２カメラと、上記透明板の他表面側に位置さ
れて上記第１カメラに向けて光を照射する第１照明装置
及び上記第２カメラに向けて光を照射する第２照明装置
とを備え、上記一点Ｐの近傍にリードの先端が位置する
如くパフケージを透明板の一表面上にセットして上記リ
ードの透明板の一表面からの浮きｈを検査する。
第１カメラで撮像されるリードの先端Ｐ１と当該第１カ
メラのリファレンス原点との間のずれをΔｘｍとし、第
２カメラで撮像される上記リードの下側先端Ｐ２と当該
第１カメラのリファレンス原点との間の距離をｙｌとし
たとき、次式を演算して浮きｈを求める。
メラのリファレンス原点との間のずれをΔｘｍとし、第
２カメラで撮像される上記リードの下側先端Ｐ２と当該
第１カメラのリファレンス原点との間の距離をｙｌとし
たとき、次式を演算して浮きｈを求める。
ｈ”’ ）’ ｍ ／ ｃ ｏ ｓθ−ΔｘｌＩ ｔａ
ｎθ〔発明の実施例〕 以下、この発明の実施例を図面について説明する。第１
図はこの発明の一実施例であるリードの検査方法を適用
するリード検査装置の構成を示す断面図で、第７図と同
一符号は、同−又は相当部分を示す。同図において、４
はエリアセンサであるＩＴＶカメラ、６はパッケージ部
品ｌを搭載する印刷配線板をシ旦ユレートする透明板と
しての板ガラスである。
ｎθ〔発明の実施例〕 以下、この発明の実施例を図面について説明する。第１
図はこの発明の一実施例であるリードの検査方法を適用
するリード検査装置の構成を示す断面図で、第７図と同
一符号は、同−又は相当部分を示す。同図において、４
はエリアセンサであるＩＴＶカメラ、６はパッケージ部
品ｌを搭載する印刷配線板をシ旦ユレートする透明板と
しての板ガラスである。
５ａは板ガラス６の下から垂直に光を照射する第１照明
装置で、この照明により作られるリードの投影像を測定
するのが第１カメラとしてのＩＴＶカメラ４ａである。
装置で、この照明により作られるリードの投影像を測定
するのが第１カメラとしてのＩＴＶカメラ４ａである。
同様に５ｂは板ガラス６の下斜めから光を照射する第２
照明装置で、この照明により作られる投影像を測定する
のが、第２カメラとしてのＩＴＶカメラ４ｂである。
照明装置で、この照明により作られる投影像を測定する
のが、第２カメラとしてのＩＴＶカメラ４ｂである。
また、第２図はリード先端形状とＩＴＶカメラ４ｂに入
力された画像の相対関係を示した図で、リードピッチの
計測は、ＩＴＶカメラ４ｂの分解能の範囲で正しく行わ
れるが、リード浮き方向はカメラをθ０傾斜させている
ために、実寸法では入力されていないことがわかる。
力された画像の相対関係を示した図で、リードピッチの
計測は、ＩＴＶカメラ４ｂの分解能の範囲で正しく行わ
れるが、リード浮き方向はカメラをθ０傾斜させている
ために、実寸法では入力されていないことがわかる。
すなわち、本実施例においては、リファレンス原点に位
置され、かつ板ガラス６の一表面の一点Ｐに向けて垂直
方向に向けられたＩＴＶカメラ４ａと、リファレンス原
点に位置され、かつ上記一点Ｐに向けてθ″傾斜する如
く向けられたＩＴＶカメラ４ｂと、上記板ガラス６の他
表面側に位置されてＩＴＶカメラ４ａに向けて光を照射
する第１照明装置５ａ及びＩＴＶカメラ４ｂに向けて光
を照射する第２照明装置５ｂとを備え、上記一点Ｐの近
傍にリード２の先端が位置する如くパフケージ部品１を
板ガラス６の一表面上にセットして上記リードの板ガラ
ス６の一表面からの浮きｈを検査するものである。
置され、かつ板ガラス６の一表面の一点Ｐに向けて垂直
方向に向けられたＩＴＶカメラ４ａと、リファレンス原
点に位置され、かつ上記一点Ｐに向けてθ″傾斜する如
く向けられたＩＴＶカメラ４ｂと、上記板ガラス６の他
表面側に位置されてＩＴＶカメラ４ａに向けて光を照射
する第１照明装置５ａ及びＩＴＶカメラ４ｂに向けて光
を照射する第２照明装置５ｂとを備え、上記一点Ｐの近
傍にリード２の先端が位置する如くパフケージ部品１を
板ガラス６の一表面上にセットして上記リードの板ガラ
ス６の一表面からの浮きｈを検査するものである。
次に動作について説明する。あらかじめ、板ガラス６に
対して垂直にセットしたＩＴＶカメラ４ａのリファレン
ス原点と板ガラス６に対して斜めにセットしたＩＴＶカ
メラ４ｂのリファレンス原点は、一致するように設定さ
れ、この位置関係は不変のものとしておいて、パッケー
ジ部品１を板ガラス６の上に搭載する。
対して垂直にセットしたＩＴＶカメラ４ａのリファレン
ス原点と板ガラス６に対して斜めにセットしたＩＴＶカ
メラ４ｂのリファレンス原点は、一致するように設定さ
れ、この位置関係は不変のものとしておいて、パッケー
ジ部品１を板ガラス６の上に搭載する。
第２図はリード先端形状とＩＴＶカメラ４ｂに入力され
た画像の相対関係を示した図で、リードピッチの計測は
、ＩＴＶカメラ４ｂの分解能の範囲で正しく行われるこ
とがわかる。これに対し、リード浮き方向はカメラ４ｂ
を板ガラス６に対してθ＠傾斜させているため実寸法で
は入力されていないことがわかる。
た画像の相対関係を示した図で、リードピッチの計測は
、ＩＴＶカメラ４ｂの分解能の範囲で正しく行われるこ
とがわかる。これに対し、リード浮き方向はカメラ４ｂ
を板ガラス６に対してθ＠傾斜させているため実寸法で
は入力されていないことがわかる。
以下、浮きの測定法について第３図について説明する。
まず、第１照明装置５ａによって板ガラス６の下から垂
直に光を照射し、パフケージ部品１のリード先端を投影
し、ＩＴＶカメラ４ａでリファレンス原点からの搭載ず
れ（ｒＴＶカメラ４ａの光軸と直角方向）Δｘｍを測定
する。次の第２照明装置５ｂによって光を板ガラス６の
下斜めより照射し、パッケージ部品１のリード２を投影
させ、ＩＴＶカメラ４ｂで、リファレンス原点からリー
ドの下端までの距離（ＩＴＶカメラ４ｂの光軸と直角方
向〉ｙｍを測定する。ここで、浮きをり、板ガラス６と
ＩＴＶカメラ４ｂとのｆ頃きを００とすると ｙＩＩ＝ｈｃｏｓθ＋Δｘ、ｓｉｎθ となる。よって浮きｈは次の式にて求められる。
直に光を照射し、パフケージ部品１のリード先端を投影
し、ＩＴＶカメラ４ａでリファレンス原点からの搭載ず
れ（ｒＴＶカメラ４ａの光軸と直角方向）Δｘｍを測定
する。次の第２照明装置５ｂによって光を板ガラス６の
下斜めより照射し、パッケージ部品１のリード２を投影
させ、ＩＴＶカメラ４ｂで、リファレンス原点からリー
ドの下端までの距離（ＩＴＶカメラ４ｂの光軸と直角方
向〉ｙｍを測定する。ここで、浮きをり、板ガラス６と
ＩＴＶカメラ４ｂとのｆ頃きを００とすると ｙＩＩ＝ｈｃｏｓθ＋Δｘ、ｓｉｎθ となる。よって浮きｈは次の式にて求められる。
ｙ＃
ｈ＝ −ΔｘＩＩ ｔａｎθｃｏｓθ
（ただしΔｈ＃０）なお、上記実施例では、ＩＴ
Ｖカメラ４ａとＩＴＶカメラ４ｂは、固定された構成の
ものを示したが、リファレンス原点ｌとリファレンス原
点２との位置関係が不変なら、すなわち、両カメラ４ａ
、４ｂの相互の関係が図示状態を保ったままＩＴＶカメ
ラ４ａとＩＴＶカメラ４ｂは、リードピッチ方向に移動
してもよく、ＩＴＶカメラ４ａとＩＴＶカメラ４ｂをリ
ードピッチ方向にシフトする機構を追加することによっ
て更に、広い領域で各リード検査が行える。
（ただしΔｈ＃０）なお、上記実施例では、ＩＴ
Ｖカメラ４ａとＩＴＶカメラ４ｂは、固定された構成の
ものを示したが、リファレンス原点ｌとリファレンス原
点２との位置関係が不変なら、すなわち、両カメラ４ａ
、４ｂの相互の関係が図示状態を保ったままＩＴＶカメ
ラ４ａとＩＴＶカメラ４ｂは、リードピッチ方向に移動
してもよく、ＩＴＶカメラ４ａとＩＴＶカメラ４ｂをリ
ードピッチ方向にシフトする機構を追加することによっ
て更に、広い領域で各リード検査が行える。
また、板ガラス６に対して斜めに設置するＩＴＶカメラ
をパッケージ部品の４方向に対して測定できるように増
設すれば更に効率よく検査が行える。
をパッケージ部品の４方向に対して測定できるように増
設すれば更に効率よく検査が行える。
また、リードの曲りについては第１カメラ４ａによって
検査することなく、他の手段によって検査するようにし
てもよい、要は、第１カメラ、第２カメラによって浮き
ｈを検査すればよい。
検査することなく、他の手段によって検査するようにし
てもよい、要は、第１カメラ、第２カメラによって浮き
ｈを検査すればよい。
以上のように、この発明によれば透明板にパフケージ部
品を搭載し、リードの浮きを、垂直配置と斜め配置の第
１．第２カメラで自動的に測定して、所定式を演算する
ように槽底したので、高速かつ、測定精度で浮きを計測
できる。
品を搭載し、リードの浮きを、垂直配置と斜め配置の第
１．第２カメラで自動的に測定して、所定式を演算する
ように槽底したので、高速かつ、測定精度で浮きを計測
できる。
第１図はこの発明によるパンケージ部品のリードの検査
方法を適用する装置の断面図、第２図はリードを斜めか
ら見たときのリード先端形状とＩＴＶカメラに入力され
た画像の相対関係を示した図、第３図は本発明によるリ
ード浮きの測定方法を説明した図、第４図はパッケージ
部品の一例を示す斜視図、第５図、第６図はその要部を
示す図、第７図は従来のリード検査装置を示す図である
。 １・・・パフケージ部品、２・・・リード、４ａ、４ｂ
・−・ｒＴＶカメラ、５ａ、５ｂ・・・第１．第２照明
装置。
方法を適用する装置の断面図、第２図はリードを斜めか
ら見たときのリード先端形状とＩＴＶカメラに入力され
た画像の相対関係を示した図、第３図は本発明によるリ
ード浮きの測定方法を説明した図、第４図はパッケージ
部品の一例を示す斜視図、第５図、第６図はその要部を
示す図、第７図は従来のリード検査装置を示す図である
。 １・・・パフケージ部品、２・・・リード、４ａ、４ｂ
・−・ｒＴＶカメラ、５ａ、５ｂ・・・第１．第２照明
装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 透明板に対し垂直で透明板の一表面の一点Ｐに向けら
れ、リファレンス原点に位置された第１カメラと、上記
透明板に対しθ゜傾斜しかつ一点Ｐに向けられ、リファ
レンス原点に位置された第２カメラと、上記透明板の他
表面側に位置されて上記第１カメラに向けて光を照射す
る第１照明装置及び上記第２カメラに向けて光を照射す
る第２照明装置とを備え、上記一点Ｐの近傍にリードの
先端が位置する如くパッケージ部品を透明板の一表面上
にセットして上記リードの透明板の一表面からの浮きｈ
を検査するものであって、第１カメラで撮像される上記
リードの先端Ｐ＿１と当該第１カメラのリファレンス原
点との間の、上記第１カメラの光軸と直角方向のずれを
Δｘ＿ｍとし、第２カメラで撮像される上記リードの下
側先端Ｐ＿２と当該第１カメラのリファレンス原点との
間の、上記第２カメラの光軸と直角方向の距離をｙ＿ｍ
としたとき、上記浮きｈを次式に従って ｈ＝ｙ＿ｍ／ｃｏｓθ−Δｘ＿ｍｔａｎθ 求めるようにしたことを特徴とするパッケージ部品のリ
ードの検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2052945A JPH03253981A (ja) | 1990-03-05 | 1990-03-05 | パッケージ部品のリードの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2052945A JPH03253981A (ja) | 1990-03-05 | 1990-03-05 | パッケージ部品のリードの検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03253981A true JPH03253981A (ja) | 1991-11-13 |
Family
ID=12929010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2052945A Pending JPH03253981A (ja) | 1990-03-05 | 1990-03-05 | パッケージ部品のリードの検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03253981A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000016076A1 (en) * | 1998-09-17 | 2000-03-23 | Viewwell Co., Ltd. | Electronic component lead inspection device |
| CN108575086A (zh) * | 2017-03-08 | 2018-09-25 | 台达电子电源(东莞)有限公司 | 电子元器件接脚位置采集装置、识别装置及自动插件机 |
-
1990
- 1990-03-05 JP JP2052945A patent/JPH03253981A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000016076A1 (en) * | 1998-09-17 | 2000-03-23 | Viewwell Co., Ltd. | Electronic component lead inspection device |
| CN108575086A (zh) * | 2017-03-08 | 2018-09-25 | 台达电子电源(东莞)有限公司 | 电子元器件接脚位置采集装置、识别装置及自动插件机 |
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