JPH04311052A - パッケージ部品のリード形状曲り検査方法 - Google Patents
パッケージ部品のリード形状曲り検査方法Info
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- JPH04311052A JPH04311052A JP7649091A JP7649091A JPH04311052A JP H04311052 A JPH04311052 A JP H04311052A JP 7649091 A JP7649091 A JP 7649091A JP 7649091 A JP7649091 A JP 7649091A JP H04311052 A JPH04311052 A JP H04311052A
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- Japan
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- package component
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- Pending
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 15
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、表面実装にもちいら
れるパッケージ部品のリードピッチを測定するリード検
査方法に関するものである。
れるパッケージ部品のリードピッチを測定するリード検
査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は、リード検査装置の構成を示す斜
視図で、図において１０１はパッケージ部品、１０２は
パッケージ部品の印刷配線板のランドパターンに接合す
るためのリード、１０３は対物レンズ、１０４はエリア
センサであるＩＴＶカメラ、１０５はパッケージ部品を
下斜めから光を照射する照明装置である。また、図３は
、リード先端形状とＩＴＶカメラに入力された画像の相
対関係を表したものである。図４は、従来のリード曲り
検査方法を説明したものである。
視図で、図において１０１はパッケージ部品、１０２は
パッケージ部品の印刷配線板のランドパターンに接合す
るためのリード、１０３は対物レンズ、１０４はエリア
センサであるＩＴＶカメラ、１０５はパッケージ部品を
下斜めから光を照射する照明装置である。また、図３は
、リード先端形状とＩＴＶカメラに入力された画像の相
対関係を表したものである。図４は、従来のリード曲り
検査方法を説明したものである。
【０００３】次に動作について説明する。パッケージ部
品１０１をリファレンス位置に置き、パッケージ部品１
０１に対して、斜めに設置した照明装置１０５によって
斜め下から光を照射し、パッケージ部品１０１のリード
１０２の先端を投影し、ＩＴＶカメラ１０４で計測する
。図３は、リード先端形状とＩＴＶカメラ１０４に入力
された画像の相対関係を示した図である。この図におい
て、リードピッチの求め方は、次式で求められる。 ＰＴ（ｍ）＝｛Ｇ（ｍ）−Ｇ（１）｝×Ｋ但し、Ｇ（ｍ
）：ｍピンまでの画素数 Ｇ（１）：１ピンまでの画素数 Ｋ ：予め求めていた「１画素の分解能」図
４は曲りの求め方である。（ａ）は上式によって求めら
れた値をセンター基準に取り直し、リード１，リード２
，リード３のセンター基準からの距離Ａ１，Ａ２，Ａ３
を求める。（ｂ）は検査基準を示す。（ａ）と同様に部
品の中心を基準にして、リード１，リード２，リード３
の距離Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３を求め、基準データとする。 （Ｃ）は、（ａ）と（ｂ）を重ね合わせたものである。 この図に於いて、点線が検査基準データであり、実線が
実際の測定データである。曲りは、実測値から基準値を
引くことによって求めることができる。
品１０１をリファレンス位置に置き、パッケージ部品１
０１に対して、斜めに設置した照明装置１０５によって
斜め下から光を照射し、パッケージ部品１０１のリード
１０２の先端を投影し、ＩＴＶカメラ１０４で計測する
。図３は、リード先端形状とＩＴＶカメラ１０４に入力
された画像の相対関係を示した図である。この図におい
て、リードピッチの求め方は、次式で求められる。 ＰＴ（ｍ）＝｛Ｇ（ｍ）−Ｇ（１）｝×Ｋ但し、Ｇ（ｍ
）：ｍピンまでの画素数 Ｇ（１）：１ピンまでの画素数 Ｋ ：予め求めていた「１画素の分解能」図
４は曲りの求め方である。（ａ）は上式によって求めら
れた値をセンター基準に取り直し、リード１，リード２
，リード３のセンター基準からの距離Ａ１，Ａ２，Ａ３
を求める。（ｂ）は検査基準を示す。（ａ）と同様に部
品の中心を基準にして、リード１，リード２，リード３
の距離Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３を求め、基準データとする。 （Ｃ）は、（ａ）と（ｂ）を重ね合わせたものである。 この図に於いて、点線が検査基準データであり、実線が
実際の測定データである。曲りは、実測値から基準値を
引くことによって求めることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の検査方法は以上
のような方法なので、１画素の分解能を正確に求めなけ
ればならず、また、１画素の分解能はＩＴＶカメラと測
定物間の距離にて決定するので、パッケージ部品のリー
ド先端とテレビカメラ間の間隔を一定にすることが必要
であった。また、１辺当たりの計測距離が長い程一画素
の分解能の誤差が測定データに影響し、なおかつ、パッ
ケージ部品の大きさは、一定でない為リード先端とテレ
ビカメラ間の間隔を一定に保つことは現実的にはできな
いなどの問題点があった。
のような方法なので、１画素の分解能を正確に求めなけ
ればならず、また、１画素の分解能はＩＴＶカメラと測
定物間の距離にて決定するので、パッケージ部品のリー
ド先端とテレビカメラ間の間隔を一定にすることが必要
であった。また、１辺当たりの計測距離が長い程一画素
の分解能の誤差が測定データに影響し、なおかつ、パッ
ケージ部品の大きさは、一定でない為リード先端とテレ
ビカメラ間の間隔を一定に保つことは現実的にはできな
いなどの問題点があった。
【０００５】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、パッケージ部品テレビカメラ
間の位置ズレを生じても正確に検査できるとともに、１
辺のピン数が多くなればなるほど、より正確に検査でき
るリード形状曲り検査装置を得ることを目的とする。
るためになされたもので、パッケージ部品テレビカメラ
間の位置ズレを生じても正確に検査できるとともに、１
辺のピン数が多くなればなるほど、より正確に検査でき
るリード形状曲り検査装置を得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係るパッケー
ジ部品のリード形状曲り検査装置は、リードピッチを測
定し、検査基準ピッチと比較し、相違分だけ、実測した
リードピッチデータに補正をかけるようにしたものであ
る。
ジ部品のリード形状曲り検査装置は、リードピッチを測
定し、検査基準ピッチと比較し、相違分だけ、実測した
リードピッチデータに補正をかけるようにしたものであ
る。
【０００７】
【作用】この発明におけるパッケージ部品のリード形状
曲り検査方法は、リードピッチを測定し、検査基準ピッ
チと比較し、相違分だけ実測したリードピッチデータに
補正をかけるようにすることにより、パッケージ部品の
リード先端とテレビカメラ間に位置ズレが生じて、１画
素当たりの分解能が変化しても正確にリード曲りを検査
することが可能となる。
曲り検査方法は、リードピッチを測定し、検査基準ピッ
チと比較し、相違分だけ実測したリードピッチデータに
補正をかけるようにすることにより、パッケージ部品の
リード先端とテレビカメラ間に位置ズレが生じて、１画
素当たりの分解能が変化しても正確にリード曲りを検査
することが可能となる。
【０００８】
実施例
以下、この発明の一実施例を図について説明する。図１
において、１０１はパッケージ部品、１０２はパッケー
ジ部品を印刷配線板のランドパターンに接合するための
リードである。図の中の（ ）内の数字は左より数え
たリード本数で、１辺のリード本数がｎ個あり、リード
１を基準にし、リード１，リード２，リード３の決めた
距離をＡ１，Ａ２，Ａ３とする。なお、ここまでのリー
ドの距離の求め方は従来と変わらない。
において、１０１はパッケージ部品、１０２はパッケー
ジ部品を印刷配線板のランドパターンに接合するための
リードである。図の中の（ ）内の数字は左より数え
たリード本数で、１辺のリード本数がｎ個あり、リード
１を基準にし、リード１，リード２，リード３の決めた
距離をＡ１，Ａ２，Ａ３とする。なお、ここまでのリー
ドの距離の求め方は従来と変わらない。
【０００９】１辺のリード本数がｎであり、リード１を
基準に測定したリード１，リード２，リード３，…リー
ドｎの距離はＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａｎであったとする。 ここで、リード間のピッチは
基準に測定したリード１，リード２，リード３，…リー
ドｎの距離はＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａｎであったとする。 ここで、リード間のピッチは
【数１】
で求められる。この時、真の検査基準ピッチをＰＩＴＣ
Ｈとすると、リード先端２とＩＴＶＴカメラ４の位置ず
れによる誤差倍率は ＡＥ ＝Ｐｍ／ＰＩＴＣＨ となる。この求めた値ＡＥ を測定した値Ａ１，Ａ２，
Ａ３…Ａｎに還元し、 Ａｉ←Ａｉ／ＡＥ （ｉ：リードＮｏ）真値を得ること
ができる。以降の求め方は、従来の動作と同じなので省
略する。
Ｈとすると、リード先端２とＩＴＶＴカメラ４の位置ず
れによる誤差倍率は ＡＥ ＝Ｐｍ／ＰＩＴＣＨ となる。この求めた値ＡＥ を測定した値Ａ１，Ａ２，
Ａ３…Ａｎに還元し、 Ａｉ←Ａｉ／ＡＥ （ｉ：リードＮｏ）真値を得ること
ができる。以降の求め方は、従来の動作と同じなので省
略する。
【００１０】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、検査
基準ピッチを真とし、測定したピッチとの相違分だけを
補正するようにしたので、従来の装置を大幅に変更する
ことなく問題解決ができ、また、検査精度の高いものが
得られる効果がある。
基準ピッチを真とし、測定したピッチとの相違分だけを
補正するようにしたので、従来の装置を大幅に変更する
ことなく問題解決ができ、また、検査精度の高いものが
得られる効果がある。
【図１】この発明の実施例によるピッチずれによる測定
誤差を示す図である。
誤差を示す図である。
【図２】リード検査装置の概念構成を示す斜視図である
。
。
【図３】リードを斜めから見たときのリード先端形状と
テレビカメラに入力された画像の相対関係を示した図で
ある。
テレビカメラに入力された画像の相対関係を示した図で
ある。
【図４】従来例について曲りの求め方を示す図である。
１０１ パッケージ部品
１０２ リード
１０４ テレビカメラ
１０５ 照明装置
Claims (1)
- 【請求項１】 印刷配線板のランドパターンにパッケ
ージ部品を搭載する際のパッケージ部品のリード形状曲
りを検査するリード検査装置上で、パッケージ部品をリ
ファレンス位置に置き、パッケージ部品に対して斜めに
設置したテレビカメラで検査する方法において、焦点ズ
レにより生じる測定誤差を全ピッチの平均値を基準ピッ
チと比較して換算しなおすことにより、曲りを正確に測
定することを特徴とするパッケージ部品のリード形状曲
り検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7649091A JPH04311052A (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | パッケージ部品のリード形状曲り検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7649091A JPH04311052A (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | パッケージ部品のリード形状曲り検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04311052A true JPH04311052A (ja) | 1992-11-02 |
Family
ID=13606663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7649091A Pending JPH04311052A (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | パッケージ部品のリード形状曲り検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04311052A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08204096A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-08-09 | Nec Corp | 半導体装置のリード外観検査方法および検査装置 |
-
1991
- 1991-04-09 JP JP7649091A patent/JPH04311052A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08204096A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-08-09 | Nec Corp | 半導体装置のリード外観検査方法および検査装置 |
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