JP2890568B2

JP2890568B2 - Ｑｆｐｉｃのリード曲り検査装置

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Publication number: JP2890568B2
Application number: JP32928789A
Authority: JP
Inventors: 真人高山
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1989-12-18
Filing date: 1989-12-18
Publication date: 1999-05-17
Anticipated expiration: 2014-05-17
Also published as: JPH03188641A

Description

【発明の詳細な説明】以下の順序に従って本発明を説明する。

A.産業上の利用分野 B.発明の概要 C.従来技術 D.発明が解決しようとする問題点［第４図］ E.問題点を解決するための手段 F.作用 G.実施例［第１図乃至第３図］ a.構成［第１図、第２図］ b.動作説明［第３図］ H.発明の効果（A.産業上の利用分野）本発明はQFPICのリード曲り検査装置、特にQFPICの表
又は裏側に光学変位センサを設け、該光学変位センサか
らの光で上記QFPICの四辺のリード上を走査し、反射光
を光学変位センサで受光してリードの曲りを検査するQF
PICのリード曲り検査装置に関する。

（B.発明の概要）本発明は、上記のQFPICのリード曲り検査装置におい
て、各辺のリードをすべて支障なく正確に検査できるよう
にするため、光学変位センサを１個だけでなく２個設けることと
し、該光学変位センサの向きを互いに直交させたもので
ある。

（C.従来技術） QFPICの需要の増加に伴ってQFPICの供給量の増大が図
られているが、それに伴って製造を終えたQFPICの検査
を大量に行うことが必要である。そして、電気的特性の
検査の重要性が高いことはいうまでもないが、QFPICの
リード変形、パッケージのマーク不良の有無を調べる外
観検査の重要性が高まっている。特に、QFPICのリード
変形の有無を調べる検査の重要性が非常に高まっている
のである。

というのは、QFPICは高集積化に伴ってリードの数が
増え、リードのピッチが小さくなる傾向にあり、僅かな
リードの寄り、浮き沈みがQFPICとこれが接続されるプ
リント配線基板の配線膜と整合性に支障をきたすからで
ある。従って、非常に精確に検査する必要があり、目視
検査ではその必要に応じることは事実上不可能となる。
しかも抜き取り検査では不充分で全数検査の必要性があ
り、そのため大量検査が必要となる。

そこで、画像処理方式によるあるいは特開平１−2721
26号公報、特開昭63−278345号公報等に紹介された光学
式変位センサによるリード曲り検査装置が開発されてい
る。

しかし、画像処理方式は信号処理時間が長くなり、大
量のQFPICを検査するという要求に充分に応えることが
難しい。しかも、リード間の寄りはQFPICの上側からカ
メラで撮像して測定できるが、浮き沈みはQFPICの側方
に置いたカメラでリード端面を撮像しなければ検査がで
きない。そして、四辺リードの浮き沈みを検査するには
四回の検査が必要である。従って、１個のQFPICを検査
するに要する時間がきわめて長くなる。

それに対して特開平１−272126号公報等により紹介さ
れた光学式変位センサによるリード曲り検査装置によれ
ば、画像認識処理という複雑な処理が必要ではなく、単
に光学変位センサから出力された電気信号をリアルタイ
ムで処理することによって検査を行うことができ、更に
一つの変位センサでリードの浮き沈みと寄りを同時に検
査することができ検査スピードをきわめて速くすること
ができる。その点で優れているといえる。

ところで、光学式変位センサによるリード曲り検査装
置は、センサ内にレーザ光等の光を発生する光源と、該
光源から投射された光のリードからの反射光を受光する
受光素子（例えばPSD）を設け、該受光素子の出力信号
を処理してリードの寄り（リードの平面方向の曲り）、
浮き沈み（リードの高さ方向の曲り）を測定するもので
ある。

（D.発明が解決しようとする問題点）［第４図］ところが、一つの光学変位センサによりQFPICのリー
ドの曲りを検査すると、第４図（Ａ）及び（Ｂ）に示す
ようにパッケージの一つの辺から突出するリードの検査
に支障をきたし、検査ができない場合があった。

同図において、ａはQFPICのレジンモールドパッケー
ジ、ｂ、ｂ、…はそれａの１つの辺から突出したリー
ド、ｃ、ｃ、…はその辺と直交する１つ隣りの１つの辺
から突出したリード、ｄ、ｄ、…は更にその１つ隣りの
辺から突出したリード、ｅ、ｅ、…は更にその１つ隣り
の辺から突出したリード、ｆは光学変位センサ、ｇは光
源、ｈは光位置検出素子、ｉは該光位置検出素子ｈから
出射されたレーザ光、ｊは該レーザ光ｉのリードで反射
された光である。

この図、特に正面図（Ｂ）から明らかなようにリード
ｂ、ｂ、…［即ち、レジンモールドパッケージａの第４
図（Ｂ）における左側の辺から突出しているリード］を
検査するとき光学変位センサｆの光源ｇから出射された
レーザ光ｉがリードｂによってその付け根に反射され、
反射光ｊがリードｂの付け根近傍にあたることになる。
というのは、各リードｂ、ｂ、…、ｃ、ｃ、…、ｄ、
ｄ、…、ｅ、ｅ、…は上から見ると真直ぐに延びている
が横から見ると真直ぐではなく、クランク状あるいはＳ
字状に曲げられ、リード先端部がパッケージ底面と同じ
かそれよりも低いところに位置するようにされているか
らである。

従って、破線、２点鎖線で示すようにリードｃ、ｃ、
…、ｄ、ｄ、…（そしてリードｅ、ｅ、…）の検査につ
いては問題はないけれども、リードｂ、ｂ、…について
は検査に支障をきたすのである。具体的には、光学変位
センサｆの光源ｇと受光素子ｈを含む垂直面に対して平
行な向きに延びるリードであって、上から見て受光素子
ｈから光源ｇ側へ向かう方向と同じ方向に延びているリ
ードｂ、ｂ、…については検査に支障をきたす虞れがあ
るのである。

そのため、１つの光学変位センサで２つの辺のリード
の検査を行うとQFPICの向きを90度回動させ、その光学
変位センサで残りの２つの辺のリードの検査を行うこと
が、例えば特開昭63−278345号公報により提案されてい
る。しかしながら、このようにするにはQFPICを90度回
動させる回動機構を必要とし、検査装置の構造が複雑に
なってしまうという問題がある。また、QFPICを位置決
めして２つの辺のリードを検査するとその後回動して再
び位置合せして残りの２つの辺のリードを検査しなけれ
ばならない。従って、測定時間が長くなるという問題も
有している。

また、QFPICを置くステージをＸ軸測定用とＹ軸測定
用の２個設け、一方のステージ上にてQFPICの２辺のリ
ードを検査した後そのQFPICを他方のステージに移して
そこで残りの２辺のリードを検査するということも提案
されているが、やはり測定用ステージが２個必要となり
装置の構造が複雑になることは避けられない。また、位
置合せの回数も１個のQFPICに対して２回必要になる。
また、２つの測定用ステージ間の高さ、位置決め位置の
違いが測定精度低下の要因となり、これに対して適切な
措置を講じる必要も生じてくる。従って、これも現実性
のある提案とはいい難い。

本発明はこのような問題点を解決すべく為されたもの
であり、装置の複雑化、測定時間の増加を伴うことなく
各辺のリードをすべて支障なく正確に検査できるように
することを目的とする。

（E.問題点を解決するための手段）本発明QFPICのリード曲り検査装置は上記問題点を解
決するため、光学変位センサを１個だけでなく２個設け
ることとし、該光学変位センサの向きを互いに直交させ
たことを特徴とする。

（F.作用）本発明QFPICのリード曲り検査装置によれば、互いに
直交する２個の光学変位センサを有するので、各光学変
位センサそれぞれに検査に支障をきたさない側辺のリー
ドのみを検査させることにより全部のリードを支障なく
検査することが可能になる。そして、２個の光学変位セ
ンサを一体でQFPICに対して相対的に位置を移動しなが
ら全リードを検査するので、一旦QFPICを位置決めする
とそのQFPICについては２度と位置決めを必要としな
い。従って、検査時間を短かくできる。

そして、QFPICを回動させる機構やリード曲り検査用
のステージを２個も設ける必要はないのでQFPICのリー
ド曲り検査装置の構造も簡単で済む。

（G.実施例）［第１図乃至第３図］以下、本発明QFPICのリード曲り検査装置を図示実施
例に従って詳細に説明する。

第１図乃至第４図は本発明リード曲り検査装置の一つ
の実施例を一部として備えた検査機を説明するためのも
のであり、第１図は全体の斜視図であり、第２図は二つ
の変位センサを示す斜視図である。

（a.構成）［第１図、第２図］１は検査機のベースで、該ベース１上に第１の台２、
マーク検査装置３及び第２の台４が固定されている。５
は上記第１の台２上に矢印６に示すＸ方向に移動可能に
設けられたトレイステージで、図面に現われない駆動手
段によってＸ方向に移動せしめられるようになってい
る。

７は上記トレイステージ５の一半部、具体的には第１
図における右斜め下側半部に配置された被検査IC用トレ
イ、８はトレイステージ５の他半部に配置された不良品
トレイである。

該被検査IC用トレイ７にはこれから検査しようとする
多数のQFPIC9、９、…が収納され、これがトレイステー
ジ５の上記一半部上に置かれているのである。そして、
QFPIC9が１個ずつ検査されるわけであるが、検査を受け
て良品と判定されたQFPIC9が被検査IC用トレイ７の元の
位置に戻されるようになっている。従って、被検査用IC
用トレイ７は良品IC用トレイをも兼ねているのである。
一方、不良品と判定されたQFPIC9は上記トレイステージ
５の他半部、具体的には第２図における左斜め上側半部
に配置された不良品トレイ８上に置かれるのである。

10、10は第１の台２に立設された一対の支柱で、互い
に矢印11に示すＹ方向に離間せしめられている。該支柱
10、10の上半部間にはＹ方向に延びるステージ12が固定
されている。13は該ステージ12にそのトレイ７、８（正
面）側の側面上をＹ方向に移動可能に取り付けられた移
動板で、垂直な向きにされている。14は該移動板13の表
面に取り付けられたＺ駆動ブロックであり、これの下側
の上下動板15を矢印16に示すＺ方向（垂直方向）に移動
させるものであり、該上下動板15は該Ｚ駆動ブロック14
により第１の高さ、それより数センチ低い第２の高さ、
更にそれより2mm程度低い第３の高さに高さが変化せし
められるようになっている。

17は上記上下動板15の先端部下面に保持棒18、18、1
8、18を介して一端部を取り付けられたアームで、Ｙ方
向に延びており、該アーム17の他端部に真空チャック回
動機構19が取り付けられている。20は該真空チャック回
動機構19をアーム17の端部に固定するための取付ブラケ
ットであり、該取付ブラケット20の水平片21にはロータ
リアクチュエータ22が回動軸を下向きにして取り付けら
れている。該ロータリアクチュエータ22は180度回動す
るもので、それの回動軸には回動体23の中央部が固定さ
れている。

24a、24bは上記回動体23の両端部に垂直方向に取り付
けられた真空チャックである。

しかして、被検査IC用トレイ７上の被検査IC9は上記
各部材12〜24等からなるIC搬送機構により真空チャック
24a、24bにて保持された状態で搬送されるのである。即
ち、真空チャック24a、24bは移動板13によりＹ方向に移
動せしめられ、Ｚ駆動ブロックによりＺ方向（即ち、高
さ方向）に移動せしめられるのである。

一方、上記被検査IC用トレイ７、不良IC用トレイ８は
真空チャック回動機構19のＹ方向への移動経路の下方に
あり、トレイステージ５によりＸ方向に移動せしめられ
るようになっている。従って、これ等Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の
移動動作の組み合わせによって、トレイ７上の一つのQF
PIC9の上方に真空チャック、例えば24aを位置させ、真
空チャック24a、24bを第１の高さから第３の高さまで下
降させて真空チャック24aにそのQFPIC9を真空吸着さ
せ、次いで真空チャック24a、24bを第１の高さまで上昇
させ、その後移動板13をＹ方向に移動させることにより
QFPIC9を検査部側に搬送することができる。

また、検査部側で検査を終えたQFPIC9をＸ、Ｙ、Ｚ方
向の移動動作の組み合わせによりトレイ７又は８に戻す
ことができる。尚、本検査機においては、Ｘ、Ｙ、Ｚ方
向の動作のほかに真空チャック回動機構19の働きにより
真空チャック24a、24bを矢印25に示す回動方向に180度
回動させる回動動作を行うので、ICの搬送動作はかなり
複雑なものになるが、この動作は第３図に従って後で詳
細に説明する。

26はマーク検査用IC受け台で、マーク検査を受けるQF
PIC9は真空チャック24aあるいは24bによって該IC受け台
26上に置かれる。27は該IC受け台26の上方に位置された
マーク検査用カメラである。そして、該カメラ27により
撮像してIC9のパッケージに印刷されたマークの良不良
を判定するようになっている。

28は第２の台４上に設けられたリード曲り検査装置で
あり、IC位置決め部29と、第２図に示すように互いに直
交配置された２個の変位センサ30a、30bと、該センサ30
a、30bをＸ方向及びＹ方向に駆動するXY駆動機構31によ
って構成されている。

IC位置決め部29はシリンダ32の働きにより図面に現わ
れない４個の位置決め爪によりQFPIC9の四側面から突出
するリード33、33、…の端面を四方から押してIC9を位
置決めする。

尚、この位置決めの機構の原理は、本願出願人会社に
よる既出願の特願昭63−270522に係る発明の実施例とし
て紹介したハンドリングチャックの位置決め機構のそれ
と略同じである。但し、位置決め機構は必ずしもこのよ
うな機構であることは必要ではないこというまでもな
い。

上記変位センサ30a、30bは、IC位置決め部29の上方に
てＸ、Ｙ方向に移動せしめられ得るようにXY駆動機構28
に取り付けられており、レーザ光源34と、該レーザ光源
34から出射されQFPIC9のリード33、33、…により反射さ
れたレーザ光を受光する光位置検出素子（PSD）35を少
なくとも内蔵している。そして、各変位センサ30a、30b
はQFPIC9のリードの寄りと浮き沈みを検出することがで
きるが、その検出原理は、例えば、特開平１−272126号
公報により紹介された半導体装置のリード曲り検査装置
の検出原理と同じである。尚、本検査装置においては変
位センサが２個30a、30b互いに直交する向きに配置され
ている。

36はXY駆動機構31を構成するＹステージで、モータ37
により台４上をＹ方向に移動せしめられる。38は同じく
Ｘステージで、モータ39によりＹステージ36上をＸ方向
に移動せしめられる。40は該Ｘステージ38に固定された
アームで、その先端部に上記一対の変位センサ30a、30b
が固定されているのである。

尚、変位センサ30a、30bによりリード曲り検査を受け
るQFPIC9の位置（第２の検査部）41及びマーク検査を受
ける位置（第１の検査部）26は真空チャック回動機構19
が通る経路の真下側に位置している。

リード曲り検査をする場合は、先ず、QFPICを検査部4
1上に位置決めした後、位置決め爪を開く。なぜなら
ば、位置決め爪によっても光が反射され、その反射した
光の一部が受光素子に入射して検査に支障をきたす虞れ
があるからである。

次に、例えば光学変位センサ30aを検査可能状態にしX
Y駆動機構31により光学変位センサ30aを光学変位センサ
30bと一体にＸ方向に移動して光学変位センサ30aの光源
から出射されたレーザ光でQFPIC9の一辺のリード33、3
3、…上を走査して検査する。次に、光学変位センサ30a
を光学変位センサ30bと一体にＹ方向に移動して光学変
位センサ30aのレーザ光でQFPIC9の上記一辺と反対側の
辺のリード33、33、…上を走査して検査する。次に、光
学変位センサ30bを検査可能状態にし、Ｙ方向の移動に
より光学変位センサ30bのレーザ光で残りの２つの辺の
一方のリード上を走査させ、検査を行う。その後、Ｘ方
向の移動より光学変位センサ30bのレーザ光をずらし残
りの辺のリード上を走査させ検査を行う。これによりQF
PIC9の全リードがQFPIC9の回動や置き換えを行うことな
くリード曲りの検査を受けることになる。そして、各光
学変位センサ30aと30bはそれぞれリード曲り検査に支障
をきたさない側辺のリードを検査するので、反射された
レーザ光がリードの付け根近傍にあたり検査に支障をき
たす虞れは全くないのである。

（b.動作説明）［第３図］以下に第３図の（１）〜（21）に従って本検査装置の
動作を説明する。同図においてＡ〜Ｅは真空チャック回
動機構19が通る経路上の位置を示す。位置Ａは、リード
曲り検査位置（41）とマーク検査位置（26）との中間点
であり、位置Ｂはマーク検査位置よりも回動体23の真空
チャック24a、24bの回動半径分正面から見て左側に寄っ
たところにある位置であり、位置Ｃはその位置Ｂから更
に適宜（例えば真空チャック24a、24bの回動半径程度）
左側に寄ったところにある位置であり、そして、位置Ｄ
は被検査IC用トレイ上方、位置Ｅは不良IC用トレイ上方
を指す。尚、位置Ａ、Ｂ、Ｃは一点を指すが、位置Ｄ、
Ｅには被検査用ICトレイ７、不良IC用トレイ８と同じ大
きさの幅（範囲）がある。

（１）回動体23は一方の真空チャック24aが左側に位置
し、他方の真空チャック24bが右側に位置する向きを有
しており、そして、その状態のままで真空チャック24a
が検査しようとするIC（便宜上第３図においては○で示
す）上方に位置するようにＸ方向の移動動作（トレイス
テージ５の移動動作）とＹ方向の移動動作（移動板13の
移動動作）を行わせる。

（２）そして、真空チャック24aが検査しようとするIC9
上方に位置したとき真空チャック24aが第１の高さ（Ｙ
方向に移動するときの高さ）から第２の高さ（真空チャ
ック24から吸着しているIC9を放すときの高さ）を経て
第３の高さ（真空チャック24でICを吸着するときの高
さ）に至るようにＺ駆動ブロック14に下降動作を行わせ
る。すると、真空チャック24aが第３の高さに達したと
きそのIC9が真空チャック24aにより吸着される。

（３）次に、真空チャック24aは真空チャック24bと一体
で第１の高さまで上昇せしめられ、その後回動体23の回
動中心が位置Ｂに位置するところまで搬送されると同時
に、回動体23の回動により真空チャック24a及び24bが18
0度回動せしめられる。すると、真空チャック24aはマー
ク検査位置（26）の上方に位置した状態になる。

（４）次に、真空チャック24a、24bを第１の高さから第
２の高さまで下降させて真空チャック24aに真空吸引を
停止させる。すると、IC9はマーク検査位置（26）上に
おかれた状態になる。次に、真空チャック24a、24bは第
１の高さまで上昇せしめられる。

（５）次に、真空チャック24a、24bをその回動軸が待機
位置である位置Ｃにくるまで移動すると共にマーク検査
位置（26）上のQFPIC9に対するマーク検査が行われる。
尚、第３図においてマーク検査を終えたICには便宜上左
斜下向きのハッチングを施す。

（６）次に、真空チャック24a、24bをその回動軸が位置
Ａに位置するまで移動する。すると、真空チャック24a
はリード曲り検査位置（41）の上方に、真空チャック24
bはマーク検査位置（26）の上方に位置する。

（７）次に、真空チャック24a、24bを第１の高さから第
３の高さまで下降させ真空チャック24bを真空吸引状態
にする。すると、真空チャック24bにマーク検査を終え
たIC9が真空吸着された状態になる。次いで、真空チャ
ック24a、24bを第１の高さまで上昇させる。

（８）次に、そこで回動体23を180度回動させる。そし
て、真空チャック24a、24bを第２の高さまで下降させて
真空チャック24bによる真空吸引を停止させる。する
と、真空チャック24bに真空吸引されていたQFPIC9がリ
ード曲り検査位置（41）におかれた状態になる。

（９）次いで、真空チャック24a、24bを被検査IC用トレ
イ７上方の位置Ｄまで移動させる。

そして、マーク検査を終えたリード曲り検査位置に置
かれたQFPIC9に対してリード曲り検査を行う。尚、第３
図において、リード曲り検査を終えたQFPIC9には便宜上
右斜め下方向のハッチングを付する。

（10）被検査IC用トレイ７上方にある真空チャック24a
に次の被測定QFPIC9を真空吸着させる。

（11）次に、真空チャック24a、24bをその回転中心が位
置Ｂに至るまで移動させると共に180度回転させる。す
ると、真空チャック24aはマーク検査位置（26）上方に
位置する。

（12）その後、真空チャック24aに真空吸着している未
検査のQFPIC9をマーク検査位置（26）上に置かせる。次
に、真空チャック24a、24bを第１の高さにして待機位置
Ｃに移動する。しかる後、マーク検査位置（26）上のIC
9をマーク検査する。

尚、（１）〜（12）は検査機の使用開始当初に行われ
る動作であり、その後は（13）〜（21）の動作が繰返さ
れることになる。

（13）次に、真空チャック24a、24bを回動中心が位置Ａ
に位置するまで移動する。すると、真空チャック24aが
リード曲り検査位置（41）上のIC9（マーク検査及びリ
ード曲り検査を終えている。）の上方に位置し、真空チ
ャック24bがマーク検査位置（26）上方に位置する。

（14）次に、真空チャック24a、24bを第３の高さまで下
降させ、２つのQFPIC9を真空吸着させる。

（15）次に、真空チャック24a、24bを第１の高さまで上
昇させ、その後、真空チャック24a、24bを180度回動さ
せる。

（16）次に、真空チャック24a、24bを第２の高さまで下
降させ、真空吸引を停止させる。すると、リード曲り検
査位置（41）上に位置していたQFPIC（リード曲り検査
及びマーク検査を終了している。）９がマーク検査位置
（26）上に置かれ、マーク検査位置（26）上に位置して
いたQFPIC（マーク検査は終了しているがリード曲り検
査は未だ済んでいない）９がリード曲り検査位置（41）
上に置かれる。即ち、２つのQFPICの置き換えが行われ
る。その後、真空チャック24a、24bを第３の高さまで上
昇させ、更に、被検査IC用トレイ７上方の位置Ｄまで移
動する。そして、リード曲り検査装置（41）上のQFPIC9
をリード曲り検査する。

（17）次に、真空チャック24aに被検査QFPIC用トレイ７
上の次に検査するQFPIC9を真空吸着させ、その後、真空
チャック24a、24bを回動中心が位置Ｂに位置するまで移
動する。すると、真空チャック24bはマーク検査位置（2
6）上の両方の検査が済んだQFPIC9の上方に位置する。

（18）次に、真空チャック24a、24bを第３の高さまで下
降させた真空チャック24bにマーク検査位置（26）上のQ
FPIC9を真空吸着させ、その後、第１の高さまで上昇さ
せる。

（19）次に、真空チャック24a、24bを180度回動する。

（20）次に、真空チャック24bにQFPIC9を真空吸着させ
た状態で真空チャック24b及び24aを被検査IC用トレイ７
上又は不良IC用トレイ８上に移動させる。具体的には真
空チャック24bが吸着しているQFPIC9が良品である場合
には、真空チャック24bを被検査IC用トレイ７の空いて
いる部分の上方に位置させ、不良品の場合には真空チャ
ック24bを不良IC用トレイ８の空いている部分の上方に
位置させる。

（21）そして、真空チャック24bが吸着しているQFPIC9
をトレイ７又は８の空いている部分に置かせる。具体的
には真空チャック24bを第２の高さに位置させ、真空吸
引を停止するとQFPIC9がトレイ７又は８の空いている部
分に置かれた状態になる。

その後は上記ステップ（13）〜（21）までの一連の動
作を繰返すことによりIC9のマーク検査及びリード曲り
検査を順に行う。

尚、本実施例において、リード曲り検査を行うために
QFPICを置くところは反射面であっても良いが、所定の
厚さの透明体であっても良い。というのは、透明体上に
QFPICをおくとリードでの反射位置と、リードから逸れ
た光の反射位置との高さの差が大きくなり、測定信号の
ダイナミックレンジが広くなるからである。

尚、上記リード曲り検査装置はあくまで本発明の一つ
の実施例に過ぎず、例えば被検査QFPICの下側に一対の
変位センサを直交配置するというような変形例も考えら
れる。

（H.発明の効果）以上の述べたように、本発明QFPICのリード曲り検査
装置は、被検査QFPICの表側又は裏側に互いに直角に配
置された一対の光学変位センサと、該一対の光学変位セ
ンサを一体に上記被検査QFPICに対して相対的に移動さ
せる移動手段と、を少なくとも有することを特徴とする
ものである。

従って、本発明QFPICのリード曲り検査装置によれ
ば、互いに直交する２個の光学変位センサを有するの
で、各光学変位センサに検査に支障をきたさない側辺の
リードのみを検査させることにより全部のリードを支障
なく検査することが可能である。そして、２個の光学変
位センサを一体でQFPICに対して相対的に位置を移動し
ながら全リードを検査するので、一旦QFPICを位置決め
するとそのQFPICについてはリード曲り検査に関して２
度と位置決めを必要としない。従って、検査時間を短か
くできる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本発明QFPICのリード曲り検査装置
の一つの実施例を一部として備えた検査機を説明するた
めのもので、第１図は検査機全体の斜視図、第２図は一
対の変位センサを示す斜視図、第３図は検査機の動作説
明図、第４図（Ａ）、（Ｂ）は発明が解決しようとする
問題点を説明するためのもので、同図（Ａ）は平面図、
同図（Ｂ）は正面図である。符号の説明９……QFPIC、 30a、30b……光学変位センサ、 31……移動手段、 33……リード。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査QFPICの表側又は裏側に互いに直角
に配置された一対の光学変位センサと、上記一対の光学変位センサを一体に上記被検査QFPICに
対して相対的に移動させる移動手段と、を少なくとも有することを特徴とするQFPICのリード曲
り検査装置