JP2903579B2 - リード検査装置とリード検査方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 以下の順序に従って本発明を説明する。

A.産業上の利用分野 B.発明の概要 C.従来技術 D.発明が解決しようとする問題点 E.問題点を解決するための手段 F.作用 G.実施例［第１図乃至第６図］ a.全体の構成の概要［第１図］ b.全体の動作の概要 c.トレイ搬送機構［第２図］ d.テーブル駆動機構［第３図］ e.ロータリヘッド、回転テーブル及び変位センサの動作
［第４図］ f.位置決め部［第５図］ g.変位センサ及び変位センサ移動手段［第６図］ H.発明の効果 （A.産業上の利用分野） 本発明はリード検査装置とリード検査方法、特にフラ
ットパッケージIC（主としてQFPIC）のリードの寄り、
浮き沈みの曲り等を検査するリード検査装置とリード検
査方法に関する。

（B.発明の概要） 本発明は、上記のリード検査装置とリード検査方法の
おいて、 検査の高速化を図るため、 回転テーブルの複数箇所にIC載置部を設けることと
し、一方、４個の変位センサを一定の位置関係に保ちな
がら移動する変位センサ移動手段を設けることとし、そ
して、各変位センサに、異なる上記IC載置部に置かれた
ICの互いに異なる辺のリードの検査を行わせるようにし
たものである。

（C.従来技術） IC、特にQFPICの需要の増加に伴ってQFPICの供給量の
増大が図られているが、それに伴って製造を終えたQFPI
Cの検査を大量に行うことが必要である。そして、電気
的特性の検査の重要性が高いことはいうまでもないが、
QFPICのリード変形、パッケージのマーク不良の有無を
調べる外観検査の重要性が高まっている。特に、QFPIC
のリード変形の有無を調べる検査の重要性が高まってい
るのである。

というのは、QFPICは高集積化に伴ってリードの数が
増え、リードのピッチが小さくなる傾向にあり、僅かな
リードの寄り、浮き沈みがQFPICとこれが接続されるプ
リント配線基板の配線膜との整合性に支障をきたすから
である。従って、非常に精確に且つ大量に検査する必要
があり、目視検査ではその必要に応じることは事実上不
可能となる。

そこで、画像処理方式によるあるいは特開平１−2721
26号公報、特開昭63−278345号公報等に紹介された光学
式変位センサによるリード曲り検査装置が開発されてい
る。

しかし、画像処理方式は画像認識処理を必要とするの
で信号処理時間が長くなる。また、１個のQFPICの検査
に必要な測定回数も多くなる。というのは、カメラで上
側からICを撮像した場合、上から見えるリードの寄りに
ついては検査することができるが、リードの浮き沈み
（垂直方向の曲り）については検査できないので各辺毎
にQFPIC側面からリードの端面を撮像しなければならな
いからである。従って、１個のICあたりに要する検査時
間が非常に長くなる。

それに対して、光学式変位センサによるリード曲り検
査装置は、センサ内にレーザ光等の光を発生する光源
と、該光源から投射された光のリードからの反射光を受
光する受光素子（例えばPSD）を設け、該受光素子の出
力信号を処理してリードの寄り（リードの平面方向の曲
り）、浮き沈み（リードの高さ方向の曲り）を同時に測
定するものであり、検査用光でリード上を走査するだけ
で寄りと浮き沈みを同時に検査することができ、しかも
画像認識処理のごとき複雑な信号処理が必要ではなく、
単に変位センサから出力される電気信号をリアルタイム
で処理することによって検査ができる。従って、検査ス
ピードを相当に速くできる。依って、光学式変位センサ
によるリード検査装置は非常に優れているといえる。

（D.発明が解決しようとする問題点） しかしながら、QFPICの需要は増大の一途をたどって
おり、それに応じて供給量も増大する一方である、従っ
て、リード検査装置には検査スピードのより一層の向上
を図ることが要求されているのである。

しかし、従来のリード検査装置は一般に１個の変位セ
ンサしか用いていないので検査スピードの向上を図るの
に限界があった。そこで、本願発明者はQFPICの４個の
側辺に対応して４個の変位センサを設けて４個の側辺の
リードを同時にその４個の変位センサにより検査するこ
とを思いついたが、しかし、変位センサにより検査をす
る場合、変位センサをQFPICのリードの真上に置く必要
があり、小さなQFPICの真上に４個の変位センサを配置
することはできないのでこの案は採り得なかった。

本発明はこのような問題点を解決すべく為されたもの
であり、リード検査の高速化を図ることを目的とする。

（E.問題点を解決するための手段） 本発明は上記問題点を解決するため、回転テーブルの
複数箇所にIC載置部を設け、一方、４個の変位センサを
一定の位置関係に保ちながら移動する変位センサ移動手
段を設け、該各変位センサに、異なる上記IC載置部に置
かれたICの互いに異なる辺のリードの検査を行わせるこ
とを特徴とする。

（F.作用） 本発明によれば、４個の変位センサにより回転テーブ
ル上の別個のIC載置部に置かれたICの互いに異なる辺の
リード検査をするようにするので、ICが小さくても各IC
載置部を適宜離すことにより各変位センサを測定しよう
とするIC側辺のリード列の真上に位置させるようにする
ことが可能になり、従ってICこそ互いに異なるが４つの
辺のリード列を同時に検査することができる。そして、
各変位センサが異なるICの互いに異なる辺のリード列を
検査するので、各検査が終る毎に変位センサにより検査
を受けるICを切り換えることにより各ICが複数回の検査
により全リードを検査されるようにすることができる。

しかして、回転テーブルに被検査ICを供給し、回転テ
ーブルの間欠的回転と、変位センサ移動手段の動作と、
変位センサの検査動作により変位センサを１個しか設け
ない場合の４倍の検査スピードで検査を行うことができ
る。

（G.実施例）［第１図乃至第６図］ 以下、本発明リード検査装置とリード検査方法を図示
実施例に従って詳細に説明する。

図面は本発明リード装置の一つの実施例を示すもので
あり、第１図は全体の斜視図である。先ず、第１図に従
って本リード検査装置の概要を説明する。

（a.全体の構成の概要）［第１図］ 図面において、１は架台、２は被検査用トレイ収納カ
セットで、該カセット２内にはこれから検査しようとす
るQFPICが多数並べられたトレイ３が多数重ねて収納さ
れるようになっており、該カセット２下には該トレイ３
の数が１つ少なくなる毎に積重ねられたトレイ３を一段
ずつ上昇させるエレベータ機構が設けられている。

４は上記被検査用トレイ収納カセット２からトレイ幅
よりも稍大きく離間したところに配置された空トレイ収
納カセットで、該カセット４内にはICが検査に供されて
空になったトレイ、即ち空のトレイ３が重ねて収納され
るようになっており、収納されるトレイ３が１枚増える
毎に一段ずつ下降する図示しないエレベータ機構が該カ
セット４下に設けられている。

５はトレイ搬送機構である。該トレイ搬送機構５は被
検査用トレイ収納カセット２から次に述べるロードテー
ブル６へのトレイ３の搬送と同時に該ロードテーブル６
上のトレイ３の空トレイ収納カセット４への搬送を行
う。該トレイ搬送機構５はトレイ３を運ぶユニットを２
個並設したものである。尚、本図では２点鎖線でトレイ
搬送機構５の設置位置を示すに留め便宜上具体的構成を
示さなかった。

上記ロードテーブル６は上記２つのカット２と４の間
に位置され、ロードテーブル駆動機構７によりＸ方向及
びＹ方向に移動せしめられるもので、該ロードテーブル
６には被検査用トレイ収納カセット２からのトレイ３が
置かれ、そして該トレイ３上のICwを１個ずつ順次ロー
タリヘッド８の真空チャック９、９、…に渡すべく上記
ロードテーブル駆動機構７によりＸ方向及びＹ方向に移
動せしめられるのである。

上記カセット２、４、ロードテーブル６、ロードテー
ブル駆動機構７は装置右側部分（台１図における右斜め
下側部分）に設けられている。ロータリヘッド８は架台
１の中央部の上方に設けられた図面に現われないタイミ
ングユニットから回転可能に吊下げらており、その周辺
部に８個の真空チャック９、９、…が等間隔で設置され
ている。即ち、真空チャック９、９、…は該ロータリヘ
ッド８の回転軸を中心とする中心角で45度の間隔を置い
て配置されている。該ロータリヘッド８は上記タイミン
グユニットにより45度を単位として間欠的に反時計回り
方向に回転せしめられるようになっている。各真空チャ
ック９、９、…はそれぞれ図示しない駆動機構により個
別的に高さを変化せしめられるようになっている。

10は回転テーブルで、架台１上の正面から見て中央部
の奥の部分に回転可能に設けられている。該回転テーブ
ル10の周辺部には８個のIC位置決め部11が等間隔で配置
（回転軸を中心とする中心角で45°ずつ離間して配置）
されており、各IC位置決め部11に上記ロータリヘッド８
の真空チャック９によりQFPICwが搬送されるようになっ
ている。該回転テーブル10も図示しないタイミングユニ
ットにより上記ロータリヘッド８と同期して45度を単位
として間欠的に反時計回り方向に回転せしめられるよう
になっている。

12は上記回転テーブル10の上方に設けられたスキャニ
ングユニットで、第１図では設置場所を２点鎖線で簡単
に示したが、後で詳述するように４個の変位センサを一
体で移動させて回転テーブル10上の位置決め部11、11、
11、11に置かれた各QFPICwの互いに異なる側辺のリード
列を検査するようになっている。しかして、該スキャニ
ングユニットには４個の変位センサと該変位センサを一
体で移動させる移動手段とを有しているが、これ等につ
いてはここでは詳細に説明しない。

13はアンロードテーブルで、アンロードテーブル駆動
機構14によってＸ方向及びＹ方向に移動せしめられるよ
うになっており、検査を終えたQFPICwを受けるトレイ３
が置かれる。15は良品用空トレイ収納カセットで、空ト
レイ３を多数枚重ねて収納するものであり、前記カセッ
ト２、４と同じように図示しないエレベータ機構が設け
られている。16は良品用トレイ収納カセットで、検査に
より良品と判定されたQFPICwが並べられたトレイ３を多
数枚積み重ねて収納するようになっており、やはりエレ
ベータ機構が設けられている。17はトレイ搬送機構で、
アンロードテーブル13、カセット14及び15の上方に設け
られており、良品用空トレイ収納カセット15内のトレイ
３をアンロードテーブル13上に搬送するユニットと、ア
ンロードテーブル13上の良品が並んだトレイ３を良品用
トレイ収納カセット16内に搬送するユニットとが並設さ
れ、この２個のユニットは同時に動作する。このトレイ
搬送機構17は前記のロード側のトレイ搬送機構５と同じ
構造、動作を行う。このトレイ搬送機構17についても第
１図で２点鎖線により設置位置を示すに留めた。

これ等カセット14、15、アンロードテーブル13、トレ
イ搬送機構17は装置の左側の部分（第１図における左斜
め上側の部分）に設けられている。

18は収納カセット４と15との間の部分（正面中央部で
あって手前側の部分）に配置された良品用テーブルで、
不良品用テーブル駆動機構19によりＸ方向及びＹ方向に
移動せしめられる。

尚、図示はしないが、ロードテーブル６と回転テーブ
ル10との間の部分及び回転テーブル10とアンロードテー
ブル13との間の部分に真空チャック９に真空吸着された
状態のQFPICwを粗位置決めする位置決め機構を設けてい
る。これは、トレイ３に並べられたQFPICwがトレイ３の
寸法誤差等により大きく位置ずれを生じて真空チャック
９に吸着され、そのままでは回転テーブル10上の位置決
め部11に受け入れられなくなる場合、あるいは回転テー
ブル10の位置決め部11から真空チャック９によりQFPICw
を吸着して搬送使用とするときに位置ずれが生じてアン
ロードテーブル13上のトレイ３に受け入れられなくなる
場合が生じないように位置決めすべく設けたものであ
る。

（b.全体の動作の概要） 次に、大まかに本リード検査装置の検査動作を説明す
る。

これから検査しようとするQFPICwが並べられたトレイ
３を所定数被検査用トレイ収納カセット２に収納する。
そして、トレイ搬送機構５により最も上側のトレイ３が
ロードテーブル６上に置かれ、該トレイ３に並んだQFPI
Cwがロータリヘッド８の現在ロードテーブル６上に位置
している１つの真空チャック９によって真空吸引され
る。尚、ロードテーブル６上のトレイ３からのQFPICwの
ロータリヘッド８の真空チャック９へのQFPICwの渡しは
ロータリヘッド８が45度回転する毎に行われる。

真空チャック９により吸着されたQFPICwはロータリヘ
ッド８が45度回転したときその位置で図示しない位置決
め手段により粗位置決めされる。そして、更にロータリ
ヘッド８が45度回転したときそのQFPICwが回転テーブル
10の１つの位置決め部11上に置かれる。即ち、ロータリ
ヘッド８から回転テーブル10へQFPICwが渡される。この
QFPICwは回転テーブル10が一回転する間に４辺のリード
列を４個の変位センサによって順次検査され、ロードテ
ーブル８の真空チャック９によって該ICwが検査により
良品と判定された場合にはアンロードテーブル13上のト
レイ３へ、不良品と判定された場合には不良品用テーブ
ル18上のトレイ３へ運ばれる。

ところで、検査が進んでロードテーブル６上のトレイ
３が空になった場合には、トレイ搬送機構５によってそ
の空のトレイ３を空トレイ収納カセット４へ搬送すると
同時に被検査用トレイ収納カセット２内のトレイ３をロ
ードテーブル６上に搬送する。

また、アンロードテーブル13上のトレイ３が良品のQF
PICwで一杯になった場合は、トレイ搬送機構17によって
そのトレイ３を良品用トレイ収納カセット16へ搬送し、
それと同時に良品用空トレイ収納カセット15内のトレイ
３をアンロードテーブル１上へ搬送する。

そして、被検査用トレイ収納カセット２内が空にな
り、空トレイ収納カセット４内が空トイレ３で一杯にな
った場合には被検査用トレイ収納カセット２に検査しよ
うとするQFPICwが配置されたトレイ３をカセット２へそ
の収納限度内の枚数セットし、空トレイ収納カセット２
内の空のトレイ３を取り出す。アンロード側において
も、カセット15内が空になり、カセット16内が良品のQF
PICwが入ったトレイ３で一杯になったときは、カセット
16からその中の全トレイ３、３、…を取り出し、カセッ
ト15へ空トレイ３を収納限度内の枚数入れる。尚、各カ
セットには品種識別機能があり、品種の異なるIC用のト
レイが収納されるとそのことが解り、異品種収納を防止
できるようになっている。

（c.トレイ搬送機構）［第２図］ 第２図はトレイ搬送機構のトレイチャック部分を示す
断面図である。

図面において、20はカセットのトレイガイド、21はト
レイ３、３、…を昇降させるエレベータ、22はフィンガ
ーベースで、該フィンガーベース22にバネ付きで所定の
範囲で上下動可能な真空チャック23、23が取り付けられ
ている。24、24は上記バネ、25、25はフィンガーベース
22に取り付けられたメカニカルチャックで、その先端部
の爪部26、26でトレイ３を保持することができる。27、
27は該メカニカルチャック25、25の回動軸で、該メカニ
カルチャック25、25は該回動軸27、27を中心として回動
することができ、そしてスプリング28、28によって内側
方向に付勢されており、駆動ピン29、29によって外側へ
の力を受けると開くようになっている。30、30は真空チ
ャック23、23下端のパッド部である。

本トレイ搬送機構のトレイチャックは、真空チャック
23とメカニカルチャック25を併用し、チャッキング時に
は真空チャック23によってトレイ３を真空吸着してその
トレイ３をそれより下側のトレイ３、３、…から分離
し、その後はメカニカルチャック25によってトレイ３を
メカニカルに保持するようになっている。

このように真空チャック23とメカニカルチャック25を
併用するのは次の理由による。即ち、従来においては、
トレイにICが収容されている場合にはチャッキングの信
頼性の点からメカニカルチャック方式でチャッキングを
行うようにするのが普通であった。また、トレイは普通
段積みされているのが普通であり、従って、従来におい
ては段積みされたトレイ３、３、…のうち最上段のトレ
イ３をそのメカニカルチャックで分離する必要があっ
た。しかし、トレイ３、３、…の寸法精度を高くするこ
とには限界があり、その寸法精度の限界性に起因した寸
法誤差が累積して最上段のトレイ３の高さの大きな誤差
となって現れる。従って、メカニカルチャックの爪が最
上段と次の段のトレイ３・３間に入り込まず、チャッキ
ングできないケースが少なからずあった。そこで、真空
チャック23によりトレイ３を吸着することにより分離を
行い、その後、高い信頼度でチャッキングを行うことが
できるメカニカルチャック25によりチャッキングし、そ
の状態でトレイ３の搬送を行うのである。

チャッキング動作を具体的に説明すると、エレベータ
21によりその上の段積みされたトレイ３、３、…が上昇
して最上段のトレイ３が真空チャック23のパッド部30の
ところまで行く。このときは、メカニカルチャック25、
25は開いた状態になっている。

そして、最上段のトレイ３は真空チャック23、23、2
3、23（図面にはそのうちの２個のみが現われている）
によって真空吸着される。若しこのトレイ３の上面に傾
きがあったとしてもその傾きは上記バネ24によって吸収
することができ、エレベータ21が下降すると、そのトレ
イ３は自身の重さにより上記パッド部30の下限まで下
り、傾きはなくなる。そして、トレイ３の高さを検知す
る図示しないトレイ位置検知手段によってトレイ３の高
さがメカニカルチャック25、25によるチャッキングので
きる高さになっていることを確認したうえで、駆動ピン
29、29を内側に移動してスプリング28、28の力によって
メカニカルチャック25、25によりトレイ３を保持する状
態にする。そして、この状態でトレイ３を水平方向に搬
送するのである。

かかるチャッキング方式はロード側のトレイ搬送機構
５とアンロード側のトレイ搬送機構17の両方に同じよう
に採用されている。

（d.テーブル駆動機構）［第３図］ 第３図（Ａ）乃至（Ｃ）は三つのテーブル駆動機構
７、14、19を示すもので、図面（Ａ）は平面図、同図
（Ｂ）は右側面図、同図（Ｃ）は背面図である。

この三つのテーブル駆動機構７、14、19はロードテー
ブル６、アンロードテーブル13、不良品用テーブル18を
Ｘ方向及びＹ方向に移動するものであるが、これ等全体
による占有面積を狭くするために各テーブル６、13、18
の高さを変えて各テーブル６、13、18の移動範囲が部分
的に重なり合うようにしたという特長を有しており、そ
の特長によりリード検査装置の小型化を図ることができ
る。

31はロードテーブル駆動機構７のガイド支持台で、ガ
イド軸32を支持している。33はガイド軸32に案内されて
移動するガイド軸支持台で、上記ガイド軸32と上から見
て直交するガイド軸34を支持する。35は該ガイド軸34に
より案内されて移動するロードテーブル支持部材で、ロ
ードテーブル６を支持する。

36はアンロードテーブル駆動機構14のガイド支持台
で、ガイド軸37を支持している。38は該ガイド軸37によ
り案内されて移動するガイド軸支持台で、上から見て上
記ガイド軸37と直交するガイド軸39を支持する。40は該
ガイド軸39により案内されて移動するアンロードテーブ
ル支持部材で、アンロードテーブル13を支持している。
このアンロードテーブル13は上記ロードテーブル６より
も稍低いところに位置されている。

41は不良品用テーブル駆動機構19のガイド支持台で、
ガイド軸42を支持している。43は該ガイド軸42によって
案内されて移動するガイド支持台で、上から見て上記ガ
イド軸42と直交するガイド軸44を支持する。45は該ガイ
ド軸44によって案内されて移動する不良品用テーブル支
持部材で、不良品用テーブル18を支持している。該不良
品用テーブル18は上記アンロードテーブル13よりも更に
低いところに位置されている。尚、移動のための駆動源
は図示、説明を省略する。

これ等三つのテーブル６、13、18は互いに干渉される
ことなくXY方向に移動することができるので、ジャミン
グ防止等のための相互のインターロックは必要としな
い。そして、テーブル６、13、18の平面的移動範囲を互
いに部分的に重なり合うようにした結果、各テーブルの
大きさが330×170mmの場合において三つの駆動機構７、
14、19が占有する面積を約22％程度狭めることができ
た。

また、かかる構造にすることによってロードテーブル
側と、アンロードテーブル側と、不良品用テーブル側と
における真空チャック９によるQFPICwの三つの受け渡し
ポジション間の間隔を小さくすることができ、延いては
QFPICwの搬送に要する時間を短かくすることができるの
である。

（e.ロータリヘッド、回転テーブル及び変位センサの動
作）［第４図］ 第４図はロータリヘッド８と回転テーブル10との間の
QFPICwの受け渡し動作及びスキャニング動作を説明する
ための動作説明図である。

同図において、P1〜P8はロータリヘッド８の各真空チ
ャック９、９、…が停止するポジションで、ポジション
P1はロードテーブル６からロータリヘッド８へQFPICwを
渡す場所、ポジションP2はQFPICwを真空チャック９によ
って真空吸着した状態で図示しない前記位置決め機構に
よって粗位置決めする場所、ポジションP3は回転テーブ
ル10との間でQFPICwを渡したり、回転テーブル10からQF
PICwを受け取ったりする場所、ポジションP4はQFPICwを
真空チャック９によって吸着した状態で図示しない位置
決め機構によって位置決めする場所、ポジションP5はア
ンロードテーブル13へQFPICwを渡す場所、ポジションP6
は遊びの場所、ポジションP7は不良品テーブル18へQFPI
Cwを渡す場所、ポジションP8は遊びの場所である。これ
等ポジションP1〜P8はロータリヘッド８の回転軸から見
て45度ずつ離間している。

Pa〜Phは回転テーブル10の各位置決め部11、11、…が
停止するポジションで、ポジションPaはロータリヘッド
８からQFPICwを受け取ったりロータリヘッド８へQFPIC
を渡したりする場所で、上記ポジションP3と一致してい
る。ポジションPbはQFPICwが変位センサ46aにより一つ
の辺のリード列の検査を受ける場所、ポジションPcは遊
びの場所、ポジションPdはQFPICwの他の一つの辺のリー
ド列が変位センサ46bによって検査を受ける場所、ポジ
ションPeは遊びの場所、ポジションPfはQFPICwの更に他
の一つの辺のリード列が変位センサ46cによって検査を
受ける場所、ポジションPgは遊びの場所、ポジションPh
はQFPICwの残りの一辺のリード列が変位センサ46dによ
って検査を受ける場所である。これ等ポジションPa〜Ph
は回転テーブル10の回転軸から見て45度ずつ離間してい
る。

ロータリヘッド８及び回転テーブル10は同期タイミン
グベルト47を介して駆動されることによりインデキサー
48、48により間欠的に回転し、１つのポジションP3（Pa
でもある）においてQFPICwの受け渡しを行う。このよう
に受け渡しが一箇所のみで行うのでメカニズムが簡単で
済む。

そして、回転テーブル10上の位置決め部11に置かれた
QFPICwは回転テーブル10の回転によってポジションPa〜
Phを通りPaに戻る過程で、即ち回転テーブル10が１回転
する間に四辺のリード列を変位センサ46a〜46dによって
検査される。具体的には四辺のリード列を変位センサ内
のレーザ光源から出射された検査用光線で走査（スキャ
ン）することにより検査される。スキャンラインはその
走査線である。

本リード検査装置においては同時に４個のQFPICwの互
いに異なる側辺のリードを検査するので、検査能率を変
位センサが１個のリード検査装置の場合の４倍にするこ
とができる。そして、ロータリヘッド８、回転テーブル
10等による搬送動作によりQFPICwの検査を連続的に円滑
に行うことができる。

尚、変位センサ46a〜46dの構成、動作については後で
詳細に説明する。

尚、遊びのポジションPc、PeあるいはPgで例えばマー
ク検査を行うようにしても良い。

（f.位置決め部）［第５図］ 第５図は回転テーブル10上に設けられた一つの位置決
め部11を示すもので、QFPICwの４つの側辺から突出した
リード49、49、…の端面を四方から押えて位置決めする
４個の位置決め爪50、50、50、50からなる。本リード検
査装置はQFPICwをパッケージ本体51においてではなくリ
ード49、49、…先端にてセンタリングするようになって
いる。というのは、パッケージ本体51とリード49、49、
…との位置関係に微妙な位置ずれがある場合が多く、プ
リント配線基板への接続にあたって支障を来すか否かを
判断するリード曲り検査においては各リード49、49、…
がどのようになっているかが重要であり、パッケージ本
体51の位置は特に問題にならないからである。

52は真空吸着孔であり、位置決め部11の中央部に設け
られている。該真空吸着孔52は位置決め爪50、50、50に
よって位置決めされたQFPICwがその後位置ずれしないよ
うに軽く真空吸着するものである。このようにQFPICwを
真空吸着するようにするのは次の理由による。変位セン
サ46a〜46dにより光学的に検査する場合、位置決め爪5
0、50、50、50によって検査用の光が反射されて検査に
支障をきたす虞れがあるため検査時には変位センサ46a
〜46dによる検査を受けているQFPICwに対しては位置決
め爪50、50、50、50をリード49、49、…から離して開放
状態にすることが好ましい。従って本実施例においても
そのようにしている。ところで、このように開放状態に
した場合、振動等によりQFPICwの位置がずれてしまう虞
れがある。そこで、QFPICwの位置ずれを防止するために
真空吸着孔52によりQFPICwのパッケージ51を真空吸引す
るようにしているのである。また、ポジションP3（Pa）
においてもQFPICwの受け渡しのために位置決め爪50、5
0、50、50をQFPICwから離す。

尚、４個の位置決め爪50、50、50、50を駆動する駆動
機構は本願出願人会社による既出願の特願昭63−270522
に係る発明の実施例として紹介したハンドリングチャッ
クの位置決め機構と原理は略同じである。

ところで、位置決め部11における位置決めは必ずしも
上述したようにセンタリングするようにすることは必要
ではなく、例えば直交する２つの壁面に二辺のリード列
の端面を押し付けるような位置決めを行うようにしても
良い。

（g.変位センサ及び変位センサ移動手段）［第６図」 第６図は変位センサ移動手段たるスキャニングユニッ
ト12を斜め下側から見た斜視図である。

53はベース、54は該ベース53下に矢印55に示すスキャ
ン方向に移動可能に設けられた移動板で、例えばDCモー
タからなるスキャンモータ56により駆動される。57は上
記移動板54の下面にスキャン方向と真交する向きに移動
可能に設けられた変位センサ取付片で、上記スキャン方
向に沿って細長く、その両端部の下面に変位センサ46
a、46cが取付けられている。該変位センサ取付片57はパ
ルスモータからなるオフセットモータ58により駆動され
る。このモータ58は検査時には停止した状態を保ち、調
整時のみ動かす。即ち、測定しようとするQFPICwの品種
が切換わり、その結果寸法が切換わったためスキャンラ
インをずらす必要があるときに回転させるのがこのオフ
セットモータ58である。従って、一旦設定するとQFPICw
の寸法が切換わらない限り変化させる必要はないのであ
る。但し、検査中に微妙に位置ずれが生じたときはずれ
を修正するためモータ58を回転するようにしても良い。

59は上記変位センサ取付片57に直交する向きの変位セ
ンサ取付片で、両端部下面に変位センサ46b、46dが取付
けられている。該変位センサ取付片59は変位センサ取付
片57にスキャン方向と直交する方向に移動可能に取付け
られており、パルスモータからなるオフセットモータ60
により駆動される。このオフセットモータ60も検査時に
は停止した状態を保ち調整時のみ動かす。即ち、検査す
るQFPICwの寸法が切換わりスキャンすべき位置が変化し
たときにこのオフセットモータ60を駆動するのである。
尚、QFPICwが正方形で、大きさのみが変ったときはこの
オフセットモータ60を回す必要はなく、オフセットモー
タ58によりスキャンラインをずらすことで対応できる。
しかし、QFPICwが長方形になった場合にはオフセット58
を回し更にオフセットモータ60を回転することが必要と
なるのである。

このようにオフセットモータ58、60により移動板54に
対する変位センサ46a〜46dの位置を変えることにより検
査するQFPICwの寸法、縦横比が切換わった場合に対応す
ることができる。

尚、変位センサ46a〜46dによるリード曲り、具体的に
はリードの寄り及び浮き沈みを検査する原理は特開平１
−272126号公報等により紹介されたものと同じである。
即ち、内蔵するレーザ光源61からのレーザ光でリード4
9、49、…をスキャンし、リード49、49、…からの反射
光を光位置検出素子（PSD）62により検出するもので、
光位置検出素子62による検出位置によって浮き沈みを検
査し、出力信号の立ち上り及び／又は立ち下りのタイミ
ングからリードの寄りを検査するものである。

尚、リードで反射した光とリードを逸れて下地側で反
射した光との間の信号の変化の大きさ、謂わばダイナミ
ックレンジを大きくするために、位置決め部11の少なく
ともリードの下側にあたる部分に一定の厚さの透明体を
置くようにすると良い。というのは、リードの厚さが例
えば0.1mmと非常に薄く、リードで反射した光とリード
を逸れて下地で反射した光の反射した位置の高さの差が
小さく、そのため光位置検出素子62の出力信号のレベル
差が小さくなり（即ち、ダイナミックレンジが狭くな
り）、その結果、信号を２値化するしきい値電圧の設定
が難しいという問題があるからである。また、透明体の
表面であってレーザ光がスキャンする位置にマークを設
け、リードの高さ（浮き沈み）あるいはリードの平面方
向における位置の判断にあたっての基準にするようにし
ても良い。

本リード検査装置はQFPICwの検査に対して機能を最も
有効に発揮するが、しかしSOPICの検査にも使用するこ
とができる。

このように本発明は種々の態様で実施することができ
る。

以上に述べたところから明らかなように、本リード検
査装置を用いたリード検査方法によれば、同時に４個の
QFPICwの互いに異なる側辺のリードを検査するので、検
査能率を変位センサが１個のリード検査装置の場合の４
倍にすることが出来る。そして、ロータリヘッド８、回
転テーブル10等による搬送動作によりQFPICwの検査を連
続的に円滑に行うことができる。

（H.発明の効果） 本発明は以上に説明したとおりであるので以下に記載
されるような効果を奏する。

４個の変位センサにより回転テーブル上の別個のIC載
置部に置かれたICの互いに異なる辺のリード検査をする
ようにするので、ICが小さくても各変位センサを測定し
ようとするIC側辺のリード列の真上に位置させることが
でき、ICこそ互いに異なる４つの辺のリード列を同時に
検査することができる。そして、各変位センサが異なる
ICの互いに異なる辺のリード列を検査するので、各検査
が終る毎に変位センサによる検査を受けるICを切り換え
ることにより各ICは複数回の検査により全リードを検査
される。

しかして、回転テーブルに被検査ICを供給し、回転テ
ーブルの間欠的回転と、変位センサ移動手段の動作と、
変位センサの検査動作により、変位センサを１個しか設
けない場合の４倍の検査スピードで検査を行うことがで
きる。

そして、変位センサ移動手段に、４個の変位センサの
該変位センサ移動手段に対する変位センサ移動手段と直
角方向における位置を変化させる位置調整手段を設ける
ことによりICの各辺のリード列に対する変位センサによ
る走査位置を変えることができるようになる。従って、
正方形のICに対しては大きさがどのように変っても位置
調整手段によってそのICの大きさに対応することができ
る。

また、上記位置調整手段のほかに、４個の変位センサ
のうちの２個の変位センサに対する残りの２個の変位セ
ンサの変位センサ移動手段の移動方向と直角方向におけ
る位置を変化させる位置調整手段を設けることにより、
二辺のリード列に対する変位センサによる走査位置を変
えることができる。従って、ICの寸法、縦横比がどのよ
うに変っても最も適切な位置にてリード列を走査するこ
とができ、勿論、長方形のICにも対応することができ
る。

また、回転テーブルの各IC載置部に、それぞれ複数の
位置決め爪によりICを位置決めする位置決め手段を設
け、上記位置決め爪によりICを位置決めした後位置決め
爪を動かしてICを開放した状態で検査を行うようにした
場合には、変位センサからの検査用光が位置決め爪によ
っても反射されその位置決め爪で反射した光も受光され
て検査に支障をきたすという虞れは完全に回避すること
ができる。

そして、IC載置部に真空吸引孔を設けてICを真空吸引
することにより検査時にICが位置決め爪から開放されて
いても振動等により位置ずれを起す虞れをなくすことが
できる。従って、検査用の光による走査位置のずれが生
じるという虞れはない。

【図面の簡単な説明】 第１図乃至第６図は本発明の一つの実施例を説明するた
めのもので、第１図はリード検査装置全体の斜視図、第
２図はトレイ搬送機構のトレイチャック部分を示す断面
図、第３図（Ａ）乃至（Ｃ）はテーブル搬送機構を示す
もので、同図（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）は右側面図、
同図（Ｃ）は側面図、第４図はロータリヘッド、回転テ
ーブル及び変位センサの動作を説明するための動作説明
図、第５図は位置決め部を示す断面図、第６図は変位セ
ンサ移動手段を斜め下側から見た斜視図である。 符号の説明 ｗ……被検査IC、10……回転テーブル、11……位置決め
部、12……変位センサ移動手段（スキャニングユニッ
ト）、46……変位センサ、49……被検査ICのリード、50
……位置決め爪、52……真空吸着孔、58……位置調整手
段、60……位置調整手段。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01L 21/66 G01N 21/88

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】IC載置部を複数箇所に有する回転テーブル
   と、 ４個の変位センサと、 上記各変位センサをその間の位置関係を一定に保ちなが
   ら移動する変位センサ移動手段と、 を少なくとも有し、 上記各変位センサが上記変位センサ移動手段により移動
   せしめられながら上記回転テーブルの異なる上記IC載置
   部に載置されたICの互いに異なる辺のリード列を検査用
   光で走査し反射光を受光して検査するようにしてなる ことを特徴とするリード検査装置
2. 【請求項２】変位センサ移動手段に、該変位センサ移動
   手段による変位センサ移動方向と直角方向における変位
   センサの位置を変化させる位置調整手段を設けてなる ことを特徴とする請求項（１）記載のリード検査装置
3. 【請求項３】４個の変位センサのうちの互いに変位セン
   サ移動手段の移動方向に離間する２個の変位センサと、
   該移動方向と直角方向に離間する２個の変位センサとの
   少なくとも一方に対してその上記直角方向における位置
   を変化させる位置調整手段を有する ことを特徴とする請求項（１）記載のリード検査装置
4. 【請求項４】回転テーブルの各IC載置部にそれぞれ複数
   の位置決め爪によりICを位置決めする位置決め手段が設
   けられ、 上記位置決め爪によりICを位置決めした後該位置決め爪
   を動かしてICを開放した状態で検査を行うようにされて
   なる ことを特徴とする請求項（１）、（２）又は（３）記載
   のリード検査装置
5. 【請求項５】回転テーブルの各IC載置部に、ここに置か
   れたICを真空吸引する真空吸着孔が設けられてなる ことを特徴とする請求項（４）記載のリード検査装置
6. 【請求項６】回転テーブルの複数箇所にIC載置部を設
   け、 ４個の変位センサを一定の位置関係に保ちながら移動す
   ることにより、該各変位センサに、上記回転テーブルの
   異なる上記IC載置部に置かれたICの互いに異なる辺のリ
   ードを検査用の光で走査し反射光を受光して検査する動
   作を行わせ、 上記検査動作が一回終る毎に上記回転テーブルを所定角
   度回転させて各変位センサにより検査を受けるICが変わ
   るようにした ことを特徴とするリード検査方法