JP2016172209A - 異物除去装置および異物除去方法 - Google Patents

異物除去装置および異物除去方法 Download PDF

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Abstract

【課題】ICカードの凹部からカス等の異物を確実に除去することができる異物除去装置および異物除去方法を提供する。
【解決手段】ICカード50の凹部(例えば、ザグリ穴52)から異物を除去するための異物除去装置10は、ICカード50の凹部から異物を掻き取るためのブラシ(例えば、回転ブラシ40)と、ブラシにより掻き取られた異物を吸引する吸引部32とを備えている。
【選択図】図1

Description

本発明は、ICカードの凹部からカス等の異物を除去するための異物除去装置およびこのような異物除去装置による異物除去方法に関する。
一般的なICカードの製造方法において、非接触型によるデータ通信を行うループアンテナおよびICチップと、接触型によるデータ通信を行うICモジュールを接続するためのコンタクト端子とが形成された配線基板層、あるいは非接触型によるデータ通信を行うICチップをICモジュールに搭載し、このICモジュールと接続するためのコンタクト端子とループアンテナとが形成された配線基板層を、複数枚のプラスチックシート間に挟設して熱圧着処理した後、エンドミル等によりザグリ穴を形成してコンタクト端子を露出させ、ICモジュールの接続端子とコンタクト端子とを接続することによりICカードを製造する方法が用いられている(例えば、特許文献1参照)。
従来のICカードに製造方法では、エンドミル等によりICカードにザグリ穴を形成した後、このザグリ穴からカス等の異物を除去するにあたり、ノズルによって圧縮空気をICカードのザグリ穴に吹き付けてカス等の異物を掻き取るとともに掻き取られた異物をバキューム機構により吸引するようなものが用いられている。
特開2000−280666号公報
しかしながら、ICカードに形成されたザグリ穴からカス等の異物を除去するにあたり、上述したような、ノズルによって圧縮空気をICカードのザグリ穴に吹き付けてカス等の異物を掻き取るとともに掻き取られた異物をバキューム機構により吸引するような従来の異物除去方法では、ザグリ穴に付着したカス等の異物を確実に除去することができず当該ザグリ穴に異物が残ってしまうという問題があった。
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、ICカードの凹部からカス等の異物を確実に除去することができる異物除去装置および異物除去方法を提供することを目的とする。
本発明の異物除去装置は、ICカードの凹部から異物を除去するための異物除去装置であって、ICカードの凹部から異物を掻き取るためのブラシと、前記ブラシにより掻き取られた異物を吸引する吸引部と、を備えたことを特徴とする。
このような異物除去装置によれば、ブラシの下端部をICカードの凹部の側面や底面に接触させることにより当該ICカードの凹部からカス等の異物を確実に掻き取ることができ、よってICカードの凹部から異物を確実に除去することができる。
本発明の異物除去装置においては、前記ブラシは軸を中心として回転するようになっていてもよい。
本発明の異物除去装置は、前記ブラシが収容されるブラシ収容空間が設けられたケーシングを更に備え、前記ケーシングにより、回転している前記ブラシが遠心力により外側に広がる範囲が制限されるようになっていてもよい。
本発明の異物除去装置においては、前記ブラシの断面は略円形状となっていてもよい。
本発明の異物除去装置においては、前記ブラシの外側に、前記吸引部により異物を吸引するための吸引口が設けられていてもよい。
本発明の異物除去装置は、ICカードの凹部に圧縮気体を噴射する圧縮気体噴射部を更に備えていてもよい。
この場合、前記圧縮気体噴射部により圧縮気体が噴射される噴射口は前記ブラシの外側に設けられていてもよい。
本発明の異物除去方法は、ICカードの凹部から異物を除去するための異物除去方法であって、ICカードの凹部から異物をブラシにより掻き取る工程と、前記ブラシにより掻き取られた異物を吸引部により吸引する工程と、を備えたことを特徴とする。
このような異物除去方法によれば、ブラシの下端部をICカードの凹部の側面や底面に接触させることにより当該ICカードの凹部からカス等の異物を確実に掻き取ることができ、よってICカードの凹部から異物を確実に除去することができる。
本発明の異物除去装置および異物除去方法によれば、ICカードの凹部からカス等の異物を確実に除去することができる。
本発明の実施の形態による異物除去装置の構成を示す縦断面図である。 図1に示す異物除去装置における圧縮空気噴射機構の構成を示す縦断面図である。 図1に示す異物除去装置におけるブラシ機構の構成を示す側面図である。 図1に示す異物除去装置を下方から見たときのケーシングの底面の構成を示す図である。 図1に示す異物除去装置によりICカードのザグリ穴から異物を除去する動作を示す図である。 変形例に係る異物除去装置を下方から見たときのケーシングの底面の構成を示す図である。 従来の異物除去装置の構成を示す縦断面図である。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1乃至図5は、本実施の形態による異物除去装置を示す図である。このうち、図1は、本実施の形態による異物除去装置の構成を示す縦断面図であり、図2は、図1に示す異物除去装置における圧縮空気噴射機構の構成を示す縦断面図であり、図3は、図1に示す異物除去装置におけるブラシ機構の構成を示す側面図である。また、図4は、図1に示す異物除去装置を下方から見たときのケーシングの底面の構成を示す図である。また、図5は、図1に示す異物除去装置によりICカードのザグリ穴から異物を除去する動作を示す図である。
図1に示すように、本実施の形態による異物除去装置10は、略円筒形形状のケーシング20を備えており、このケーシング20の内部には、回転ブラシ40(後述)を収容するためのブラシ収容空間21が形成されている。また、ケーシング20の内部におけるブラシ収容空間21の外側には、後述する圧縮空気供給部30から供給された圧縮空気が通過する通路22や、後述する吸引部32により吸引される空気が通過する通路24がそれぞれ形成されている。本実施の形態の異物除去装置10は、エンドミル等により形成されたICカード50のザグリ穴52に付着しているカス等の異物を回転ブラシ40により掻き取るとともに圧縮空気供給部30から通路22に供給された圧縮空気をザグリ穴52に吹き付けてこのザグリ穴52から異物を掻き取り、掻き取られた異物を通路24から吸引部32により吸引するようになっている。以下、このような異物除去装置10の構成の詳細について図1乃至図5を用いて説明する。
図2は、図1に示す異物除去装置10における圧縮空気噴射機構の構成を示す縦断面図である。上述したように、異物除去装置10のケーシング20に設けられた通路22には、コンプレッサ等の圧縮空気供給部30から圧縮空気が供給されるようになっており、通路22に供給された圧縮空気はケーシング20の底面20aから下方に噴射されるようになっている。このことにより、ICカード50に形成されたザグリ穴52に異物除去装置10のケーシング20の底部を近づけると、このザグリ穴52に付着しているカス等の異物が、ケーシング20の底面20aから下方に噴射される圧縮空気により掻き取られるようになる。また、ケーシング20の内部には、当該ケーシング20の下方の空間からバキューム機構等の吸引部32により吸引された空気が通過する通路24が設けられている。ここで、ケーシング20には、吸引部32に接続された吸引管28が設けられており、このケーシング20に設けられた通路24は吸引管28に連通している。このようにして、ケーシング20の下方の空間から吸引された空気は通路24および吸引管28を通って吸引部32に送られるようになる。また、図2に示すように、回転ブラシ40を収容するためのブラシ収容空間21と吸引管28とは通路26により連通している。本実施の形態では、ICカード50のザグリ穴52に付着しているカス等の異物が、ケーシング20の底面20aから下方に噴射される圧縮空気により掻き取られると、この掻き取られた異物が吸引部32により通路24および吸引管28を介して吸引されるようになっている。
図3は、図1に示す異物除去装置10におけるブラシ機構の構成を示す側面図である。異物除去装置10のケーシング20の内部に設けられたブラシ収容空間21には図3に示すような回転ブラシ40が設けられており、この回転ブラシ40は軸42を中心として図3に示す矢印の方向に回転するようになっている。また、ケーシング20の上部にはベアリング44(図1参照)が設けられており、このようなベアリング44を介して回転ブラシ40の軸42がケーシング20に取り付けられている。また、本実施の形態では、回転ブラシ40の断面は略略円形状となっており、このような回転ブラシ40の下端部はケーシング20の底面20aからわずかに下方に突出するようになっている。そして、ICカード50に形成されたザグリ穴52に異物除去装置10のケーシング20の底部を近づけると、このケーシング20の底面20aから下方に突出した回転ブラシ40の下端部によって、ザグリ穴52に付着したカス等の異物が掻き取られるようになる。回転ブラシ40によって掻き取られた異物は吸引部32により通路24および吸引管28を介して吸引される。
図4は、図1に示す異物除去装置10を下方から見たときのケーシング20の底面20aの構成を示す図である。図4に示すように、異物除去装置10のケーシング20の底面20aにおいて、回転ブラシ40が収容されるブラシ収容空間21の底部が底部開口21aとなっている。この底部開口21aは略円形状となっている。ここで、回転ブラシ40が回転したときに、遠心力によって回転ブラシ40は外側に広がるようになるが、回転ブラシ40はブラシ収容空間21に収容されているため遠心力により回転ブラシ40が外側に広がってもこの回転ブラシ40はブラシ収容空間21の側壁に接触してこれ以上外側に広がらなくなる。また、ケーシング20の底面20aから下方に突出した回転ブラシ40の下端部も、ケーシング20の底面20aに設けられた底部開口21aから外側に広がらなくなる。このように、ケーシング20により、遠心力によって回転ブラシ40が外側に広がる範囲が制限されるようになり、当該回転ブラシ40による異物の掻き取り範囲を所定の範囲とすることができるようになる。
また、図4に示すように、異物除去装置10のケーシング20の底面20aにおいて、圧縮空気供給部30から圧縮空気が供給される通路22の底部が噴射口22aとなっており、吸引部32により空気が吸引される通路24の底部が吸引口24aとなっている。これらの噴射口22aおよび吸引口24aはそれぞれドーナツ状に形成されている。また、図4に示すように、回転ブラシ40が収容されるブラシ収容空間21の底部開口21aの外側に、通路22から圧縮空気が噴射される噴射口22aが設けられており、この噴射口22aの更に外側に、吸引部32により異物を吸引するための吸引口24aが設けられている。このことにより、回転ブラシ40がICカード50のザグリ穴52に入ることによりこの回転ブラシ40によってザグリ穴52から掻き取られたカス等の異物や、噴射口22aからICカード50のザグリ穴52に圧縮空気が噴射されることによりザグリ穴52から掻き取られたカス等の異物は、吸引口24aから吸引部32により確実に吸引されるようになる。
また、本実施の形態による異物除去装置10では、図示しないエアシリンダ等によりケーシング20が図1における上下方向に移動可能となっている。そして、異物除去装置10によりICカード50のザグリ穴52からカス等の異物を除去する際には、エアシリンダ等によってケーシング20の底面20aをICカード50のザグリ穴52に近づけて回転ブラシ40の下端部がザグリ穴52の底面に接触するよう、ケーシング20を下方に移動させる。
図5は、図1に示す異物除去装置10によりICカード50のザグリ穴52からカス等の異物を除去する動作を示す図である。ICカード50のザグリ穴52に回転ブラシ40を入れたときに、このザグリ穴52の側縁部52aには回転ブラシ40の下端部が接触しないため、回転ブラシ40だけを用いてザグリ穴52からカス等の異物を除去しようとした場合には側縁部52aに付着している異物を除去することができなくなるおそれがある。これに対し、本実施の形態による異物除去装置10では、回転ブラシ40に加えて、圧縮空気供給部30から通路22に供給された圧縮空気をケーシング20の底面20aから下方に噴射させることにより(図5においてケーシング20の底面20aから下方に噴射された圧縮空気を矢印で表示)、ザグリ穴52の側縁部52aに付着している異物も除去することができるようになる。
また、本実施の形態による異物除去装置として、ケーシング20の底面20aが図4に示すような形状となっている異物除去装置10の代わりに、ケーシング20の底面20aが図6に示すような形状となっている異物除去装置10aを用いてもよい。図6に示す異物除去装置10aのケーシング20の底面20aにおいて、回転ブラシ40が収容されるブラシ収容空間21の底部開口21aは略正方形形状となっている。このため、回転ブラシ40が回転したときに、遠心力によって回転ブラシ40は外側に広がるようになるが、ケーシング20の底面20aから下方に突出した回転ブラシ40の下端部の断面は略正方形形状となり、よって回転ブラシ40による異物の掻き取り範囲を略正方形形状の範囲とすることができるようになる。また、ケーシング20の底面20aが図6に示すような形状となっている異物除去装置10aでは、ケーシング20の底面20aにおいてブラシ収容空間21の底部開口21aの外側に4つの線状の噴射口22aが設けられており、圧縮空気供給部30から通路22に供給された圧縮空気は各噴射口22aからケーシング20の下方に噴射されるようになっている。図6に示すような構成の異物除去装置10aでも、回転ブラシ40がICカード50のザグリ穴52に入ることによりこの回転ブラシ40によってザグリ穴52から掻き取られたカス等の異物や、各噴射口22aからICカード50のザグリ穴52に圧縮空気が噴射されることによりザグリ穴52から掻き取られたカス等の異物は、吸引部32により吸引口24aから確実に吸引されるようになる。
以上のような構成からなる本実施の形態による異物除去装置10、10aによれば、ICカード50のザグリ穴52(凹部)から異物を掻き取るための回転ブラシ40と、回転ブラシ40により掻き取られた異物を吸引する吸引部32とを備えている。このような異物除去装置10、10aによれば、ノズルによって圧縮空気をICカード50のザグリ穴52に吹き付けてカス等の異物を掻き取るとともに掻き取られた異物をバキューム機構により吸引するような従来技術の異物除去装置と比較して、ICカード50のザグリ穴52からカス等の異物を確実に除去することができるようになる。
比較対象として、従来技術の異物除去装置を図7に示す。図7に示すような従来技術の異物除去装置80では、圧縮空気供給部90から通路82に供給された圧縮空気が噴射口84から下方に噴射されるようになっている。また、ICカード50のザグリ穴52から掻き取られたカス等の異物は、吸引部92により通路86に吸引されるようになっている。このような従来技術の異物除去装置80では、ICカード50のザグリ穴52からカス等の異物を掻き取るにあたり、噴射口84から圧縮空気を下方に噴射させるのみであり、ザグリ穴52の側面や底面に直接接触することがないため、このザグリ穴52の側面や底面に付着したカス等の異物を十分に除去することができなかった。これに対し、本実施の形態による異物除去装置10では、ザグリ穴52の側面や底面に回転ブラシ40の下端部が直接接触するようになるため、このザグリ穴52の側面や底面に付着したカス等の異物を確実に除去することができるようになる。
また、本実施の形態の異物除去装置10、10aにおいては、上述したように、回転ブラシ40は軸42を中心として回転するようになっている。また、本実施の形態の異物除去装置10、10aは、回転ブラシ40が収容されるブラシ収容空間21が設けられたケーシング20を備えており、このケーシング20により、回転ブラシ40が遠心力により外側に広がる範囲が制限されるようになっている。この場合には、遠心力によって回転ブラシ40が外側に広がる範囲がケーシング20によって制限されるため、当該回転ブラシ40による異物の掻き取り範囲を所定の範囲とすることができるようになる。また、回転ブラシ40の断面は略略円形状となっている。
また、本実施の形態の異物除去装置10、10aにおいては、上述したように、回転ブラシ40の外側に、吸引部32により異物を吸引するための吸引口24aが設けられている。このことにより、回転ブラシ40によってICカード50のザグリ穴52から掻き取られたカス等の異物を吸引口24aから吸引部32により確実に吸引することができるようになる。
また、本実施の形態の異物除去装置10、10aにおいては、上述したように、ICカード50のザグリ穴52に圧縮空気を噴射する圧縮空気噴射部(具体的には、圧縮空気供給部30および通路22)が設けられている。この場合には、回転ブラシ40に加えて、圧縮空気供給部30から通路22に供給された圧縮空気をケーシング20の底面20aから下方に噴射させることにより、ザグリ穴52の側縁部52aに付着している異物も除去することができるようになる。また、圧縮空気供給部30および通路22からなる圧縮空気噴射部により圧縮空気が噴射される噴射口22aは回転ブラシ40の外側に設けられている。
なお、本実施の形態による異物除去装置10、10aおよびこのような異物除去装置10、10aによる異物除去方法は、上述したような構成のものに限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
例えば、ケーシング20の底面20aから下方に噴射される圧縮気体は圧縮空気に限定されることはない。空気以外の圧縮された気体をケーシング20の底面20aから下方に噴射させるようにしてもよい。
また、回転ブラシ40の断面は略円形状に限定されることはない。回転ブラシ40として、その断面が略円形状以外の形状となっているものを用いてもよい。
また、本実施の形態による異物除去装置10、10aでは、ICカード50のザグリ穴52から異物を掻き取るためのブラシとして、回転するもの以外に、摺動(スライド)するものや、ケーシング20に対して位置が固定されたもの(すなわち、動かないもの)が用いられてもよい。
10、10a 異物除去装置
20 ケーシング
20a 底面
21 ブラシ収容空間
21a 底部開口
22 通路
22a 噴射口
24 通路
24a 吸引口
26 通路
28 吸引管
30 圧縮空気供給部
32 吸引部
40 回転ブラシ
42 軸
44 ベアリング
50 ICカード
52 ザグリ穴
52a 側縁部
80 異物除去装置
82 通路
84 噴射口
86 通路
90 圧縮空気供給部
92 吸引部

Claims (8)

  1. ICカードの凹部から異物を除去するための異物除去装置であって、
    ICカードの凹部から異物を掻き取るためのブラシと、
    前記ブラシにより掻き取られた異物を吸引する吸引部と、
    を備えた、異物除去装置。
  2. 前記ブラシは軸を中心として回転するようになっている、請求項1記載の異物除去装置。
  3. 前記ブラシが収容されるブラシ収容空間が設けられたケーシングを更に備え、
    前記ケーシングにより、回転している前記ブラシが遠心力により外側に広がる範囲が制限されるようになっている、請求項2記載の異物除去装置。
  4. 前記ブラシの断面は略円形状となっている、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の異物除去装置。
  5. 前記ブラシの外側に、前記吸引部により異物を吸引するための吸引口が設けられている、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の異物除去装置。
  6. ICカードの凹部に圧縮気体を噴射する圧縮気体噴射部を更に備えた、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の異物除去装置。
  7. 前記圧縮気体噴射部により圧縮気体が噴射される噴射口は前記ブラシの外側に設けられている、請求項6記載の異物除去装置。
  8. ICカードの凹部から異物を除去するための異物除去方法であって、
    ICカードの凹部から異物をブラシにより掻き取る工程と、
    前記ブラシにより掻き取られた異物を吸引部により吸引する工程と、
    を備えた、異物除去方法。
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Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5056056U (ja) * 1973-09-19 1975-05-27
JPS5321084U (ja) * 1976-07-30 1978-02-22
JPS62174688U (ja) * 1986-04-24 1987-11-06
US5913859A (en) * 1997-07-01 1999-06-22 Shapira; Ira L. Apparatus for extracting bone marrow
JP2003211099A (ja) * 2002-01-21 2003-07-29 Honda Motor Co Ltd 除塵装置
JP2007245542A (ja) * 2006-03-16 2007-09-27 Konica Minolta Medical & Graphic Inc カード後処理方法及び該カード後処理方法で後処理されたカード
JP2007310482A (ja) * 2006-05-16 2007-11-29 Dainippon Printing Co Ltd Icカード、icカードの製造方法、icカードの製造装置、icカード用基材の製造方法、およびicカード用基材の製造装置
US20080047585A1 (en) * 2006-08-28 2008-02-28 Tokyo Electron Limited Cleaning apparatus and cleaning method
JP2008053661A (ja) * 2006-08-28 2008-03-06 Tokyo Electron Ltd 洗浄装置及び洗浄方法
WO2010048648A1 (de) * 2008-10-28 2010-05-06 Eder Klaus Fräseinrichtung zum einbringen einer knochenbohrung
WO2014000007A1 (de) * 2012-06-28 2014-01-03 Jeder Gmbh Winkelstück/fräse

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5056056U (ja) * 1973-09-19 1975-05-27
JPS5321084U (ja) * 1976-07-30 1978-02-22
JPS62174688U (ja) * 1986-04-24 1987-11-06
US5913859A (en) * 1997-07-01 1999-06-22 Shapira; Ira L. Apparatus for extracting bone marrow
JP2003211099A (ja) * 2002-01-21 2003-07-29 Honda Motor Co Ltd 除塵装置
JP2007245542A (ja) * 2006-03-16 2007-09-27 Konica Minolta Medical & Graphic Inc カード後処理方法及び該カード後処理方法で後処理されたカード
JP2007310482A (ja) * 2006-05-16 2007-11-29 Dainippon Printing Co Ltd Icカード、icカードの製造方法、icカードの製造装置、icカード用基材の製造方法、およびicカード用基材の製造装置
US20080047585A1 (en) * 2006-08-28 2008-02-28 Tokyo Electron Limited Cleaning apparatus and cleaning method
JP2008053661A (ja) * 2006-08-28 2008-03-06 Tokyo Electron Ltd 洗浄装置及び洗浄方法
WO2010048648A1 (de) * 2008-10-28 2010-05-06 Eder Klaus Fräseinrichtung zum einbringen einer knochenbohrung
JP2012509092A (ja) * 2008-10-28 2012-04-19 クラウス エデル 骨に穿孔を作成するためのフライス装置
WO2014000007A1 (de) * 2012-06-28 2014-01-03 Jeder Gmbh Winkelstück/fräse
JP2015525578A (ja) * 2012-06-28 2015-09-07 イェーダー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングJEDER GmbH アングルピース/フライス工具

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