JP2016171344A - ハンダ接合体およびハンダ接合方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ハンダ接合の信頼性を向上させるハンダ接合体およびハンダ接合方法を提供する。【解決手段】第1の被接合材(2、7)と第2の被接合材(4、5)と、第1の被接合材と第2の被接合材との間にあって、両者を接合するハンダ層(3、6)と、を有するハンダ接合体(200A、200B)であって、ハンダ層内に、柱状のSn−Cu金属間化合物(20)を含有する。【選択図】図3
Description
本発明は、ハンダ接合体およびハンダ接合方法に関する。
パワーMOSFETやIGBTなどのパワー半導体を搭載したパワーモジュールは、電気自動車やハイブリッド自動車等に搭載される電力変換装置(インバータ)などとして用いられる。
一般的なパワーモジュールは、パワー半導体を構成するSiチップと、絶縁基板と、ヒートシンク等から構成されており、それぞれがハンダ接合されている。
ここで、パワーモジュールにおいてハンダ接合を行うハンダ層には、熱伝導率および電気抵抗率に関する所定の性能が求められ、また使用環境下において前記各種性能を維持するために所定の耐久性が求められている。
ハンダ接合部は、他の構造材料とは異なって弾性領域だけではなく塑性領域まで歪みが加わる。そのため、ハンダ接合部には、脆性的な破断を示す材料は採用することができず、クラック進展が進み難い材料や構造が求められている。
ハンダ接合部のクラック発生を抑制する技術は種々提案されている(例えば、特許文献1等)。
特許文献1に係る従来技術では、絶縁基板下の金属層とヒートシンクとの間を接合するハンダ層にクラックが入るのを抑制するために、金属層をアルミニウムと銅とから成る二層構造としている。
本発明は、ハンダ接合の信頼性を高めることができるハンダ接合体およびハンダ接合方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明に係るハンダ接合体は、第1の被接合材と第2の被接合材と、前記第1の被接合材と前記第2の被接合材との間にあって、両者を接合するハンダ層と、を有するハンダ接合体であって、前記ハンダ層内に、柱状のSn−Cu金属間化合物を含有することを特徴とする。
また、他の発明に係るハンダ接合方法は、前記絶縁基板の他側面側の第2の金属層をCuで形成する工程と、前記冷却器の前記第2のハンダ層側の表面に、Ni層で形成する工程と、前記第1のハンダ層および前記第2のハンダ層の少なくとも一方のハンダ層をSn系ハンダで形成する工程とを有し、前記ハンダ層を形成する工程において、前記ハンダの温度をハンダの融点に60℃〜90℃を加えた温度まで加熱して、その状態を10分〜20分間保持し、溶融した前記ハンダにCuを溶出させ、室温まで冷却して、柱状のSn−Cu金属間化合物を形成することを特徴とする。
本発明によれば、ハンダ層内に柱状のSn−Cu金属間化合物を含有させて、ハンダ接合の信頼性向上させることができる。
また、柱状のSn−Cu金属間化合物20の存在によりクラックC1を枝分かれさせて、応力を分散させることができる。
さらに、柱状のSn−Cu金属間化合物の形成により、ハンダ層のせん断応力に対する強度が向上され、機械的強度を高めることができる。
以下、本発明の一例としての実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。ここで、添付図面において同一の部材には同一の符号を付しており、また、重複した説明は省略されている。なお、ここでの説明は本発明が実施される最良の形態であることから、本発明は当該形態に限定されるものではない。
[実施の形態に係るハンダ接合体]
図1から図3を参照して、実施の形態に係るハンダ接合体200A、200Bについて説明する。
図1から図3を参照して、実施の形態に係るハンダ接合体200A、200Bについて説明する。
ここで、図1は、本実施の形態に係るハンダ接合体200Aの構成例を示す概略説明図、図2は、他の構成例に係るハンダ接合体200Bを示す概略説明図、図3は、本実施の形態に係るハンダ接合体200A、200Bを用いたパワーモジュールの構成例を示す分解側面図である。
まず、図1を参照して、本実施の形態に係るハンダ接合体200Aの構成例について説明する。
図1に示すように、本実施の形態に係るハンダ接合体200Aは、第1の被接合材2と第2の被接合材4と、第1の被接合材2と第2の被接合材4との間にあって、両者を接合するハンダ層3とから構成されている。
ハンダ接合体200Aでは、第1の被接合材は、例えばCu等で構成される第1の金属層2で構成され、第2の被接合材は、パワーMOSFETやIGBTなどのパワー半導体素子4で構成されている。
そして、ハンダ層3は、柱状のSn−Cu金属間化合物20を含有している。
柱状のSn−Cu金属間化合物20の詳細については後述する。
次に、図2を参照して、本実施の形態の他の構成例に係るハンダ接合体200Bの構成について説明する。
他の構成例に係るハンダ接合体200Bは、第1の被接合材7と第2の被接合材5と、第1の被接合材7と第2の被接合材5との間にあって、両者を接合するハンダ層6とから構成されている。
ハンダ接合体200Bでは、第1の被接合材7は、例えばヒートシンク(冷却器)で構成され、第2の被接合材5は、例えばロウ付けCu等で構成される第2の金属層5で構成されている。
そして、ハンダ層6は、柱状のSn−Cu金属間化合物20を含有している。
柱状のSn−Cu金属間化合物20の詳細については後述する。
ここで、図3を参照して、本実施の形態に係るハンダ接合体200A、200Bを適用したパワーモジュールPM1の構成例について説明する。
図3は、実施の形態に係るハンダ接合体200A、200Bを用いたパワーモジュールP1の構成例を示す分解側面図である。
パワーモジュールPM1は、セラミック等で形成される絶縁基板1と、絶縁基板1の一側面1aに第1のハンダ層3および第1の金属層2を介して接合されるパワーMOSFETやIGBTなどで構成されるパワー半導体素子4と、絶縁基板1の他側面1bに第2の金属層5および第2のハンダ層6を介して接合される冷却器(ヒートシンク)7とを備える。
図3に示すパワーモジュールPM1おいて、第1の金属層2、第1のハンダ層3およびパワー半導体素子4によって、図1に示す本実施の形態に係るハンダ接合体200Aが形成される。
また、図3に示すパワーモジュールPM1おいて、冷却器(ヒートシンク)7、第2のハンダ層6および第2の金属層5によって、図2に示す本実施の形態の他の構成例に係るハンダ接合体200Bが形成される。
なお、図示は省略するが、冷却器7の第2のハンダ層6の表面には、Niメッキによるハンダ付け面が形成されている。
そして、第1のハンダ層3および第2のハンダ層6の少なくとも一方のハンダ層内に、後述するハンダ接合方法を適用して柱状のSn−Cu金属間化合物を形成させている。
(ハンダ接合方法)
次に、図4の工程図を参照して、本発明の実施の形態に係るハンダ接合方法によるハンダ接合工程の処理手順について説明する。
次に、図4の工程図を参照して、本発明の実施の形態に係るハンダ接合方法によるハンダ接合工程の処理手順について説明する。
なお、ここに示す例では、図3に示すパワーモジュールPM1おいて、ハンダ接合体200Bが有する第2のハンダ層6に本実施の形態に係るハンダ接合方法を適用するものとする。
まず、ステップS10では、絶縁基板1の他側面1b側の第2の金属層5をロウ付けCuで形成する。
なお、このCuから成る第2の金属層5が、第2のハンダ層6に溶出するCuの供給源となる。
次いで、ステップS11では、冷却器7の第2のハンダ層6側の表面に、ハンダ付け面をNiメッキで形成する。
これにより、冷却器7に対して、ハンダ付け面を介して第2のハンダ層6を形成できる状態となる。
次に、ステップS12では、第2のハンダ層6をSn−Ag−Cu系ハンダ(例えば、Sn−Ag−Cu−Inハンダ等)で形成する。なお、第2のハンダ層6は、少なくともSnを含んでいればよい。
そして、ステップS13で、第2のハンダ層6を形成する工程において、ハンダの温度をハンダの融点に60℃〜90℃を加えた温度(例えば、295℃)まで加熱して10分〜20分間保持してステップS14に移行する。
ステップS14では、溶融した第2のハンダ層6にCuを溶出させる。即ち、Cuから成る第2の金属層5が、Cuの供給源となって第2のハンダ層6に溶出する。
これにより、ステップS15では、第2のハンダ層6内に柱状のSn−Cu金属間化合物20(後述の図6等参照)が形成される。
ここで、図5を参照して、柱状金属間化合物の形成過程(形成メカニズム)について簡単に説明する。
まず、過程(1)〜(2)では、室温でCu(0.7wt%)の状態(図5(b)に示すように第2のハンダ層6にCuの供給源となる第2の金属層5が密着した状態)からリフロー方式で295℃まで加熱する。
これにより、第2のハンダ層6は液相状態となる。
過程(2)〜(3)では、295℃でCu(0.7wt%)の状態で、図5(c)に示すように第2のハンダ層6に第2の金属層5からCuが液相状態で拡散(溶出)し始める。
過程(3)〜(4)では、295℃でCu(2.5wt%)となり、図5(d)に示すように第2のハンダ層6にSn−Cu金属間化合物 (intermetallic compounds;IMC)が徐々に成長する。
なお、過程(2)〜(4)は、5分間保持した。
過程(4)〜(5)では、295℃から室温まで冷却され、Cu(5.0wt%)となり、図5(e)に示すように第2のハンダ層6に組成がCu6Sn5である柱状のSn−Cu金属間化合物20が複数にわたって形成される。
図6は、上述のような過程を経て形成される柱状のSn−Cu金属間化合物の形成例を示す撮像図(電子顕微鏡写真)である。
図7に示すように、第2のハンダ層6には、柱状のSn−Cu金属間化合物20が複数にわたって形成されていることが分かる。
ここで、図7〜図9では、本実施形態のハンダ層及び従来のハンダ層に対して、同じ条件下で強制的にクラックを生じさせた様子を示すものであり、図7は、Cu溶出の場合と未溶出の場合の初期断面とクラック進展部を対比する撮像図、図8は、従来のハンダ層に発生したクラックの進展状態を示す撮像図、図9は、実施の形態に係るハンダ接合方法を適用したハンダ層に発生したクラックの抑止状態を示す撮像図である。
まず、図7の(b)および図6を参照すると分かるように、従来のハンダ層(Cuが未溶出のハンダ層)100に発生したクラックC2は、矢印D1方向への進展が止まらず、図上、ほぼ左端から右端まで達している。
一方、図7の(a)および図9を参照すると分かるように、本実施の形態に係るハンダ接合方法を適用した第2のハンダ層6(Cuが溶出したハンダ層)では、発生したクラックC1は、矢印D1方向へ進展するものの、位置P1で、そのクラックの進展が抑止されていることが分かる。
これは、本実施の形態に係るハンダ接合方法により、第2のハンダ層6内に複数にわたって形成された柱状のSn−Cu金属間化合物20により、クラックC1の進展が阻害された影響であると推察される。
このように、本実施の形態に係るハンダ接合方法によれば、クラックC1が柱状のSn−Cu金属間化合物20に突き当たることにより、クラックC1のさらなる進展を抑止することができるため、ハンダ接合の頼性を向上させることができる。
また、柱状のSn−Cu金属間化合物20の存在によりクラックC1を枝分かれさせて(図7の(a)のクラックC1a、C1b等を参照)、応力を分散させることができる。
さらに、柱状のSn−Cu金属間化合物20の形成により、第2のハンダ層6のせん断応力に対する強度が向上され、パワーモジュールP1の機械的強度を高めることができる。
なお、第1のハンダ層3についても、第2のハンダ層6と同様にSn−Ag−Cu系ハンダ(例えば、Sn−Ag−Cu−Inハンダ等)で形成するようにしてもよい。この場合には、第1の金属層2をCuで形成するなどして、第1のハンダ層3にCuが溶出するように構成することとなる。
以上本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本明細書で開示された実施の形態はすべての点で例示であって開示された技術に限定されるものではないと考えるべきである。すなわち、本発明の技術的な範囲は、前記の実施の形態における説明に基づいて制限的に解釈されるものでなく、あくまでも特許請求の範囲の記載にしたがって解釈すべきであり、特許請求の範囲の記載技術と均等な技術および特許請求の範囲内でのすべての変更が含まれる。
例えば、絶縁基板1の他側面1b側の第2の金属層5をCuで形成する方法は、ロウ付に限らず、例えばメッキや蒸着であってもよい。
また、第2のハンダ層6や第1のハンダ層3へのCuの供給源として、第2のハンダ層6や第1のハンダ層3自体にCuの微粒子等を含有させるようにしてもよい。この場合には、第2の金属層5や第1の金属層2がCuを含有しない構成であっても第2のハンダ層6または第1のハンダ層3に柱状のSn−Cu金属間化合物20を形成することが可能となる。
また、冷却器7の第2のハンダ層6の表面にNiのハンダ付け面を形成する方法は、メッキに限定されない。
200A、200B…ハンダ接合体
P1…パワーモジュール
1…絶縁基板
1a…一側面
1b…他側面
2…第1の金属層
3…第1のハンダ層
4…パワー半導体素子
5…第2の金属層
6…第2のハンダ層
7…冷却器(ヒートシンク)
20…Cu金属間化合物
P1…パワーモジュール
1…絶縁基板
1a…一側面
1b…他側面
2…第1の金属層
3…第1のハンダ層
4…パワー半導体素子
5…第2の金属層
6…第2のハンダ層
7…冷却器(ヒートシンク)
20…Cu金属間化合物
Claims (7)
- 第1の被接合材(2、7)と第2の被接合材(4、5)と、
前記第1の被接合材と前記第2の被接合材との間にあって、両者を接合するハンダ層(3、6)と、
を有するハンダ接合体(200A、200B)であって、
前記ハンダ層内に、柱状のSn−Cu金属間化合物(20)を含有することを特徴とするハンダ接合体。 - 前記第1の被接合材は、第1の金属層(2)で構成され、
前記第2の被接合材は、パワー半導体素子(4)で構成されていることを特徴とする請求項1に記載のハンダ接合体(200A)。 - 前記第1の被接合材は、ヒートシンク(7)で構成され、
前記第2の被接合材は、第2の金属層(5)で構成されていることを特徴とする請求項1に記載のハンダ接合体(200B)。 - 前記ハンダ層は、Sn−Ag−Cu系ハンダまたはSn−Ag−Cu−Inハンダで構成されていることを特徴とする請求項1から請求項3の何れか1項に記載のハンダ接合体。
- 前記絶縁基板の他側面側の第2の金属層をCuで形成する工程と、
前記冷却器の前記第2のハンダ層側の表面に、Ni層で形成する工程と、
前記第1のハンダ層および前記第2のハンダ層の少なくとも一方のハンダ層をSn系ハンダで形成する工程と
を有し、
前記ハンダ層を形成する工程において、前記ハンダの温度をハンダの融点に60℃〜90℃を加えた温度まで加熱して、その状態を10分〜20分間保持し、溶融した前記ハンダにCuを溶出させ、室温まで冷却して、柱状のSn−Cu金属間化合物を形成することを特徴とするハンダ接合方法。 - 前記ハンダを295℃まで加熱して、Cuを2.5wt%とする工程と、
前記ハンダを295℃から室温まで冷却して、Cuを5.0wt%とする工程と、
を有することを特徴とする請求項5に記載のハンダ接合方法。 - 前記Cu供給源は、前記ハンダに含有させたCuの微粒子であることを特徴とする請求項5または請求項6に記載のハンダ接合方法。
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