JP2016168792A - Memsデバイス、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
かかる態様では、封止基板を接着する接着剤が接続領域に進入することを抑制することができる。したがって、配線パターンと駆動回路との電気的な接続が接着剤により阻害されることを抑制することができる。これにより、配線パターンと駆動回路とをより確実に電気的に接続して駆動回路に駆動信号を供給し、圧力発生手段を駆動することができる。また、配線パターンの一部を封止基板が接着される接着領域としても兼用されるため、保護基板の接着領域を小さくして平面方向の大きさを小型化し、MEMSデバイスとしても小型化を図ることができる。
かかる態様では、接着剤が接続部の周縁全体を囲む可能性が低くなり、接着剤が接続部に乗り上げて接続領域に到達することを抑制することができる。これにより、駆動回路と配線パターンとをより確実に電気的に接続して駆動回路に駆動信号を供給し、圧力発生手段を駆動することができる。また、配線パターンの一部を封止基板が接着される接着領域としても兼用されるため、保護基板の接着領域を小さくして平面方向の大きさを小型化し、MEMSデバイスとしても小型化を図ることができる。
本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単に記録ヘッドともいう。インクジェット式記録装置は、液体噴射装置の一例である。
実施形態1に係る記録ヘッド220は、接続部112に溝114を設けて接着剤46が接続領域115に進入することを抑制したが、このような態様に限定されない。図10は、本実施形態に係る配線パターンの接続部近傍の平面図である。なお、実施形態1と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
Claims (8)
- 圧力発生手段を駆動する駆動回路を実装し、前記駆動回路と電気的に接続する配線パターンが形成された保護基板と、
開口を有し、前記配線パターンの一部を挟んで前記保護基板と接着剤で接着された封止基板と、を備え、
前記配線パターンは、前記保護基板と前記封止基板とが前記接着剤で接着された領域から前記開口へ延び、前記駆動回路と電気的に接続する接続領域を有する接続部を有し、
前記接続部は、前記領域と前記接続部との境界と、前記接続領域と、の間に溝が形成されている
ことを特徴とするMEMSデバイス。 - 請求項1に記載するMEMSデバイスであって、
前記溝は、前記接続領域を囲うように形成され、前記接続領域の前記境界とは反対側で前記接続部と導通している
ことを特徴とするMEMSデバイス。 - 請求項1又は請求項2に記載するMEMSデバイスであって、
前記接続部は、前記境界と前記接続領域との間に設けられた直線部と、該直線部から分岐した分岐部とを有する
ことを特徴とするMEMSデバイス。 - 請求項3に記載するMEMSデバイスであって、
隣り合う前記接続部における一方の前記接続部の前記分岐部と、他方の前記接続部の前記分岐部とが前記境界から前記接続領域に向かう方向においてオーバーラップしている
ことを特徴とするMEMSデバイス。 - 圧力発生手段を駆動する駆動回路を実装し、前記駆動回路と電気的に接続する配線パターンが形成された保護基板と、
開口を有し、前記配線パターンの一部を挟んで前記保護基板と接着剤で接着された封止基板と、を備え、
前記配線パターンは、前記保護基板と前記封止基板とが前記接着剤で接着された領域から前記開口へ延び、前記駆動回路と電気的に接続する接続領域を有する接続部を有し、
前記接続部は、前記境界と前記接続領域との間に設けられた直線部と、該直線部から分岐した分岐部とを有する
ことを特徴とするMEMSデバイス。 - 請求項1〜請求項5の何れか一項に記載するMEMSデバイスと、
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板とを備え、
前記圧力発生手段は、前記流路形成基板の一方面に設けられて、前記圧力発生室の液体に圧力変化を生じさせる
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項6に記載する液体噴射ヘッドであって、
前記保護基板は、前記流路形成基板の前記一方面に設けられて、前記圧電アクチュエーターの撓みを許容する空間が形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項6又は請求項7に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
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