JP2016179699A

JP2016179699A - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドの製造方法

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Publication number: JP2016179699A
Application number: JP2016142120A
Authority: JP
Inventors: 宮田　佳直; Yoshinao Miyata; 佳直宮田
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2016-07-20
Filing date: 2016-07-20
Publication date: 2016-10-13
Anticipated expiration: 2031-03-18
Also published as: JP6292258B2

Abstract

【課題】小型化により全体的なコストを低減できる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０と、圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と前記圧力発生室１２内の液体に圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーター３００とを備えたアクチュエーターユニット２００と、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通する連通路１６が設けられた連通板１５と、アクチュエーターユニット２００が内部に配設されるように連通板と接合される枠体４０Ａであり、圧力発生室に供給する液体を貯留しておくマニホールド１００をアクチュエーターユニットと形成する第１のケース部材４０と、第１のケース部材４０に接合され、外部からマニホールド１００に液体を送る導入路４２が形成された第２のケース部材４１とを有する。
【選択図】図３

Description

本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドに関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドに関する。

液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、長手方向に沿い多数の圧力発生室が形成された流路形成基板と、流路形成基板の一方面側に前記各圧力発生室に対応させて設けられた圧電アクチュエーターとを具備し、各圧電アクチュエーターの変位によって圧力発生室内に圧力を付与することで、各ノズル開口からインク滴を噴射させるものがある。ここで、各ノズル開口は、各圧力発生室に対応させるとともに、その厚さ方向に貫通させて設けてある（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。かかるノズルプレートは前記圧力発生室の他方面側の開口部を閉塞するように前記流路形成基板の他方面側に貼り付けてある。すなわち、流路形成基板の他方面側にはノズルプレートが直接貼着されている。

特開２００９−２３３８７０号公報

しかしながら、ノズルプレートは比較的高価な部材であり当該インクジェット式記録ヘッドのコストの高騰の一因となっている。また、ノズルプレートの中には絶縁性の撥水膜を塗布したものがあるが、この場合には、より顕著にコストの高騰要因となる。

また、流路形成基板は、シリコン単結晶基板である流路形成基板用ウェハーに多数個を一度に形成した後、それぞれを切り出すことにより形成している。このため、当該インクジェット式記録ヘッドのコストの低減を図るためには、流路形成基板の取り数を増やすことが肝要である。したがって、流路形成基板の可及的な小型化が望まれる。

しかしながら、上述の如き従来技術に係るインクジェット式記録ヘッドにおいては、各圧力発生室に供給するインクを貯留しておく液体貯留部も流路形成基板に設けているので小型化にも限界があり、コスト低減の阻害要因となってしまうという問題がある。

なお、このような問題はインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明は、このような事情に鑑み、ノズルプレートの小型化や圧力発生室を備えた部材の小型化を図ることにより全体的なコストの低減化を図ることができる液体噴射ヘッド及びこれを有する液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記ノズルプレートと前記流路形成基板との間に設けられ、前記圧力発生室と前記ノズル開口とを連通させる連通路が設けられた連通板と、前記圧力発生室に対して前記流路形成基板の側端面の側に設けられ、前記圧力発生室に供給する液体を貯留する液体貯留部と、前記流路形成基板および前記液体貯留部を内部に配設する第１のケース部材と、を有し、前記第１のケース部材は、前記連通板に固着されることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、液体貯留部のノズルプレート側の面を連通板で画成しているので、ノズルプレートを幅狭に形成することができる。この結果、ノズルプレート２０の面積を狭くすることができ、ノズルプレート２０のコストを低減することができる。特に、ノズルプレートの表面に撥水性を有する撥水膜が設けられている場合には、高価な撥水膜の面積を低減させることができるので、顕著なコスト低減効果が得られる。また、ノズルプレートの材料である比較的高価な金属板やセラミックス板の面積を単純に小さくすることでも、勿論コストの低減に寄与させることができる。
さらに、本態様では、枠体の内周面とアクチュエーターユニットの端面との間に前記液体貯留部が形成されるようにしたので、アクチュエーターユニットの小型化も実現でき、この点からもコストの低減に寄与させることができる。すなわち、シリコンウェハー等の大判の基板に、複数の流路形成基板等を一体的に形成する際に、流路形成基板等が小型化されることで、取り数を増やすことができ、この結果コストの低減を図り得る。
第１及び第２のケース部材をはじめ、各部品を積層して全体を組み立てることができるので、位置決めの容易性とも相俟って製造工程も合理化することが可能になる。

さらに本態様では、前記液体貯留部を封止する封止膜を有する第２のケース部材を備え、前記第２のケース部材は、前記封止膜が前記第１のケース部材と前記第２のケース部材との間で挟持されることが好ましい。この場合には、封止膜を第２のケース部材のケース本体と第１のケース部材の枠体との間に挟持することで封止膜を固定しているので、封止膜と枠体との間のシール性を良好に確保することができる。また、第１及び第２のケース部材をはじめ、各部品を積層して全体を組み立てることができるので、位置決めの容易性とも相俟って製造工程も合理化することが可能になる。

さらに本態様では、前記圧力発生手段が、保護部材で覆われるとともに、前記保護部材が前記液体貯留部に臨むとともに前記封止膜に相対向する切欠部を有するものであることが望ましい。これによれば、圧力発生手段を保護することができるとともに、切欠部に対応する領域まで可撓部の面積を広げることができるので、この部分に大きなコンプライアンスを持たせることができる。

さらに、本態様では、前記連通板が、前記流路形成基板よりも大きな面積を有することが望ましい。これによれば、アクチュエーターユニットの小型化も実現でき、この点からもコストの低減に寄与させることができる。すなわち、シリコンウェハー等の大判の基板に、複数の流路形成基板等を一体的に形成する際に、流路形成基板等が小型化されることで、取り数を増やすことができ、この結果コストの低減を図り得る。
さらに、前記ノズルプレートが、前記連通板よりも小さい面積を有することが望ましい。これによれば、液体貯留部のノズルプレート側の面を連通板で画成しているので、ノズルプレートを幅狭に形成することができる。この結果、ノズルプレート２０の面積を狭くすることができ、ノズルプレート２０のコストを低減することができる。特に、ノズルプレートの表面に撥水性を有する撥水膜が設けられている場合には、高価な撥水膜の面積を低減させることができるので、顕著なコスト低減効果が得られる。また、ノズルプレートの材料である比較的高価な金属板やセラミックス板の面積を単純に小さくすることでも、勿論コストの低減に寄与させることができる。

さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体の噴射品質を向上した液体噴射装置を実現できる。

実施形態に係る記録ヘッドの分解斜視図である。実施形態に係る記録ヘッドの平面図である。図２のＡ−Ａ線拡大断面図及びその一部を拡大して示す断面図である。実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明の実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図、図２はその平面図、図３は図２のＡ−Ａ線拡大断面図及びそのアクチュエーターユニット部分を抽出して示す拡大断面図である。

図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２がほぼ直線上に並設された列が２列形成されている。なお、圧力発生室１２が略直線上に並設された２列は、一方の圧力発生室１２の列に対して、他方の圧力発生室１２の列が、並設方向で圧力発生室１２の隣り合う間隔の半分だけずれた位置に配置されている。これにより、詳しくは後述するノズル開口２１も同様に、ノズル開口２１の２列が半分の間隔だけずれて配置されて、解像度を２倍にしている。

また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向の一端部側には、インク供給路１４が設けられており、複数の圧力発生室１２に共通する液体貯留部であるマニホールド１００からのインクがインク供給路１４を介して圧力発生室１２に供給される。なお、インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、マニホールド１００から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。ちなみに、本実施形態では、共通流路であるマニホールド１００に連通する複数の個別流路を圧力発生室１２とインク供給路１４とで構成している。

また、流路形成基板１０の開口面側（弾性膜５０とは反対側）には、連通板１５が接着剤や熱溶着フィルム等を介して設けられている。連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する厚さ方向に貫通した連通路１６が設けられている。連通路１６は、圧力発生室１２の長手方向において、インク供給路１４と連通する端部とは反対側の端部に連通して設けられている。また、連通路１６は、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。このため、連通路１６も、圧力発生室１２が成す列と同様に略直線上に並設されている。このような連通路１６を介して圧力発生室１２は詳しくは後述するノズル開口２１と連通している。

また、連通板１５の流路形成基板１０とは反対側には、ノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して設けられている。ノズルプレート２０には、各連通路１６を介して各圧力発生室１２と連通するノズル開口２１が設けられている。なお、ノズルプレート２０は、ステンレス鋼等の金属や、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板などからなる。

このようなノズルプレート２０は、本実施形態では、連通板１５よりも小さい。ノズルプレート２０は、少なくとも２列の連通路１６のノズルプレート２０側の開口を共通して覆う大きさを有する。このように、ノズルプレート２０の吐出方向からの平面視の面積を連通板１５の吐出方向からの平面視の面積よりも小さくすることで、コストを低減することができる。ちなみに、図示していないが、ノズルプレート２０の液体噴射面（連通板１５とは反対側の面）には、撥水性（撥液性）を有する撥水膜が設けられている。このような撥水膜は高価であり、撥水膜を成膜する面積に応じてノズルプレート２０のコストは高くなる。本実施形態では、ノズルプレート２０の面積を小さくすることで、撥水膜を成膜する面積を狭めてノズルプレート２０のコストを低減することができる。もちろん、ノズルプレート２０の材料である金属板やセラミックス板の面積を単純に小さくすることでコストを低減することができる。

一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、例えば、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とが、成膜及びリソグラフィー法によって順次積層されて圧電アクチュエーター３００を構成している。ここで、圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極６０は圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５及び第１電極６０が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜５０及び絶縁体膜５５を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。

各圧電アクチュエーター３００の個別電極である第２電極８０には、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０がそれぞれ接続されている。このリード電極９０には、駆動ＩＣ等の駆動回路１２０が設けられたフレキシブル配線であるＣＯＦ等の配線基板１２１が接続されており、駆動回路１２０からの信号は、配線基板１２１及びリード電極９０を介して各圧電アクチュエーター３００に供給される。

本実施形態では、上述の流路形成基板１０及び圧電アクチュエーター３００がアクチュエーターユニット２００を構成している。

流路形成基板１０上の圧電アクチュエーター３００側の面には、圧電アクチュエーター３００に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保可能な保持部３１を有する保護基板３０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して接合されている。本実施形態における保護基板３０には、マニホールド１００に臨むとともに封止膜４１Ｂに相対向する切欠部３０Ａが形成されている（切欠部３０Ａの機能に関しては後に詳述する）。

また、圧電アクチュエーター３００は、保持部３１内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。本実施形態では、圧力発生室１２が幅方向に並設された２列に対応して圧電アクチュエーター３００が幅方向に並設された列が２列設けられているため、保持部３１を圧電アクチュエーター３００の幅方向に並設された列に亘って共通して設けると共に、保持部３１を各圧電アクチュエーター３００の列毎に独立して設けた。

また、保護基板３０には、２つの保持部３１の間に、保護基板３０を厚さ方向に貫通して設けられた貫通孔３２が設けられている。流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００から引き出されたリード電極９０の端部は、貫通孔３２内に露出するように延設されており、リード電極９０と配線基板１２１とは貫通孔３２内で電気的に接続されている。

このような保護基板３０は、本実施形態では、流路形成基板１０と略同じ大きさ（接合面側の面積）で形成されている。また、保護基板３０の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス材料、金属、樹脂等が挙げられるが、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料で形成されていることがより好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。

本実施形態における第１のケース部材４０は矩形の枠体４０Ａと、枠体４０Ａの外周部分を取り囲むように形成された壁面部４０Ｂとを有している。すなわち、第１のケース部材４０は断面がＬ字状の箱状枠体となっている。ここで、枠体４０Ａの一方面側の開口部には連通板１５の流路形成基板１０側の面が固着されている。また、枠体４０Ａはその高さがアクチュエーターユニット２００の高さとはほぼ同一になるように形成してあり、その内部にはアクチュエーターユニット２００が配設してある。すなわち、枠体４０Ａの内部空間の中央部でアクチュエーターユニット２００の流路形成基板１０が連通板１５に固着されている。かくして、圧力発生室１２に供給するためのインクを貯留しておくマニホールド１００は、枠体４０Ａの内周面とアクチュエーターユニット２００の端面との間で、アクチュエーターユニット２００の両側にそれぞれ画成されている。また、連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積（流路形成基板１０との接合面）を有しており、液滴の吐出方向からの平面視において、第１のケース部材４０と略同じ外縁形状となっている。

第２のケース部材４１は、ケース本体４１Ａと可撓性部材からなる封止膜４１Ｂとを有しており、第１のケース部材４０の壁面部４０Ｂが形成する内部の空間に、ケース本体４１Ａが封止膜４１Ｂとともに嵌めこまれることにより第１のケース部材４０に積層された構造となっている。すなわち、封止膜４１Ｂは、第１のケース部材４０の枠体４０Ａの第２のケース部材４１側の面とケース本体４１Ａとの間に挟持されてマニホールド１００側の面がマニホールド１００に臨んでいる。ここで、ケース本体４１Ａのマニホールド１００及び切欠部３０Ａに相対向する領域は凹形状を有する空間部４６となっている。かかる領域で封止膜４１Ｂによりマニホールド１００が封止されるとともに、封止膜４１Ｂが撓み変形可能な構造となっている。この結果、マニホールド１００の第２のケース部材４１側（連通板１５とは反対側）の一部は、封止膜４１Ｂのみで封止された撓み変形可能な可撓部４７となっている。このように、本実施形態では可撓部４７を、切欠部３０Ａに対応する領域も含めた広い面積とすることができるので、その分大きなコンプライアンスを確保し得る。ここで、封止膜４１Ｂは、剛性が低く可撓性を有する材料、例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等からなる。

また、第２のケース部材４１には外部から両側のマニホールド１００にそれぞれ至る貫通流路である２本の導入路４２が形成してあり、各導入路４２を介してインクがマニホールド１００に供給される。

さらに、第２のケース部材４１には、厚さ方向に貫通して、保護基板３０の貫通孔３２に連通する接続口４８が設けられている。この接続口４８に挿通された配線基板１２１が、保護基板３０の貫通孔３２を挿通されてリード電極９０と接続される。配線基板１２１は接続基板のコネクター（図示せず）を介して外部配線に接続されており、該外部配線から所定の印刷信号が各リード電極に供給される。

なお、特に図１に明示する通り、ノズルプレート２０、連通板１５、第１のケース部材４０、封止膜４５、第２のケース部材４１にはそれぞれの長手方向の両端部に位置決め孔９１，９２，９３，９４，９５が設けてあり、各部を組み立てる際には位置決めピンに各位置決め孔９１〜９５を挿入することで位置決めを行いつつ積層することにより組み立てる。

本実施形態では、上述の如く、第１のケース部材４０を用いてマニホールド１００を形成することで、流路形成基板１０及び保護基板３０を小型化することができる。ここで例えば、流路形成基板や保護基板にマニホールドを設ける場合、流路形成基板及び保護基板がマニホールドの周壁を画成することになり、流路形成基板と保護基板とが圧力発生室の長手方向に大きくなってしまう。これに対して、本実施形態では、流路形成基板１０及び保護基板３０の端面がマニホールド１００の一方面（圧力発生室１２の長手方向）を画成し、マニホールド１００の他方の面を第１のケース部材４０の枠体４０Ａの内周面で画成するようにしたため、流路形成基板１０及び保護基板３０を小型化することができる。これにより、シリコンウェハー等の大判の基板に、複数の流路形成基板１０や保護基板３０を一体的に形成する際に、流路形成基板１０及び保護基板３０を小型化することで、大判の基板からの取り数を増やすことができ、コストを低減することができる。なお、シリコンウェハー等の大判の基板に複数の流路形成基板１０や保護基板３０を一体的に形成することで、複数の流路形成基板１０や保護基板３０を同時に形成することが可能となり、コストを低減することができる。

また、本実施形態では、マニホールド１００のノズルプレート２０側の面を連通板１５で画成するようにしたため、ノズルプレート２０が積層方向（厚さ方向）でマニホールド１００に重なる大きさは不要になる。これにより、ノズルプレート２０の面積を狭くすることができ、ノズルプレート２０のコストを低減することができる。

このようなインクジェット式記録ヘッド１では、外部のインク液体貯留手段（図示せず）から導入路４２に供給されたインクはマニホールド１００から各圧力発生室１２に供給される。そして、駆動回路１２０から供給される印刷信号により圧力発生室１２に対応する圧電アクチュエーター３００を駆動させてたわみ変形させる。このことで、圧力発生室１２の容積を変化させて、ノズル開口２１からインク滴を吐出させる。

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、第１のケース部材４０は断面形状がＬ字状になるように枠体４０Ａと壁面部４０Ｂとが一体となった形状とし、第２のケース部材４１は壁面部４０Ｂが形成する内部の空間に嵌め込むようにしたが、これに限るものではない。枠体４０Ａである第１のケース部材４０に第２のケース部材４１を単に積層する構造でも基本的には構わない。ただ、上記実施形態の如く形成することにより第２のケース部材４１の可撓部となりマニホールド１００に臨む封止膜４１Ｂをケース本体４１Ａと第１のケース部材４０の枠体４０Ａの面との間で挟持することができるのでこの部分のシール性を良好に保持することができる。

また、保護基板３０に切欠部３０Ａを設けたが、これも必ずしも必要ではない。ただ、切欠部３０Ａを設けた場合には、撓み変形可能な領域である可撓部４７の面積を大きく確保することができ、この部分に大きなコンプライアンスを持たせることが可能になる。可撓部４７はケース本体４１Ａとは別の封止膜４５で形成したが、第２のヘッド部材自体を弾性部材で形成しても良いし、またはマニホールド１００に臨む部分を可撓性部材で形成しても良い。要するにマニホールド１００に臨む部分が撓み変形し得るように構成されていれば良い。

上記実施形態では流路形成基板１０として、シリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、ＳＯＩ基板、ガラス、金属等の材料を用いるようにしてもよい。

また、上記実施形態では圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

上記実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図４は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。同図に示すように、上記実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ、１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ、２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。

なお、上述した例では、記録シートＳの搬送方向と交差する方向（主走査方向）に移動するキャリッジ３に記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂを搭載し、記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂを主走査方向に移動させながら印刷を行う、いわゆるシリアル型のインクジェット式記録装置であるがこれに限るものではない。記録ヘッドが固定されて記録シートＳを搬送するだけで印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット記録装置であっても、勿論構わない。

さらに上記実施形態では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。

Ｉインクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１、１Ａ、１Ｂインクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、１０流路形成基板、１２圧力発生室、１４インク供給路、１５連通板、１６連通路、２０ノズルプレート、２１ノズル開口、３０保護基板、３０Ａ切欠部、４０第１のケース部材、４０Ａ枠体、４０Ｂ壁面部、４１第２のケース部材、４１Ｂ封止膜、４２導入路、６０第１電極、７０圧電体層、８０第２電極、９０リード電極、１００マニホールド、１２０駆動回路、１２１配線基板、２００アクチュエーターユニット、３００圧電アクチュエーター

本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド等に関する。

Claims

液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレートであって、シリコン単結晶基板により形成されたノズルプレートと、
前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、
前記ノズルプレートと前記流路形成基板との間に設けられ、前記圧力発生室と前記ノズル開口とを連通させる連通路が設けられた連通板と、
前記圧力発生室に対して前記流路形成基板の側端面の側に設けられ、前記圧力発生室に供給する液体を貯留する液体貯留部と、
前記流路形成基板および前記液体貯留部を内部に配設する第１のケース部材と、を有し、
前記第１のケース部材は、前記連通板に固着され、
前記流路形成基板は、前記ノズルプレートよりも短手方向において大きい、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。