JP2016147335A - ワーク固定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】着座部材にワークを載置する前に作業者が行う付帯作業を軽減できるワーク固定装置を提供すること。【解決手段】ワークＷが着座する着座部材４０の着座面４３に第１噴出口４９が開口する。保持装置によりワークＷの保持が解除されるときは、第１噴出口４９は、第１気体供給源３１が供給する気体を噴出して着座面４３とワークＷとの間にある異物を吹き飛ばす。その結果、着座部材４０にワークＷを載置する前に作業者が行う付帯作業（着座部材４０やワークＷを拭ったり着座部材４０やワークＷに圧縮空気を吹き付けたりして異物を除去する作業）を軽減できる。【選択図】図１

Description

本発明は着座部材に載置されたワークを固定するワーク固定装置に関するものである。

工作機械によってワークの切断、穿孔、研削、研磨等を行う場合や検査装置によってワークの検査を行う場合に、締付力や磁石による吸引力によって基準に適合する位置にワークを固定するワーク固定装置がある。特許文献１には、ワーク着座（着座部材）に載置されたワークを締付力によって固定するワーククランプ装置が開示されている。

特許第４５１０５４９号公報

しかしながら上記従来の技術では、着座部材にワークが傾いて固定されるのを防ぐため、着座部材にワークを載置する前に作業者が行う付帯作業（着座部材やワークを拭ったり着座部材やワークに圧縮空気を吹き付けたりして、着座部材とワークとの間に挟み込まれるおそれのある切り屑（切り粉）等の異物を除去する作業）が煩雑である。

本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、着座部材にワークを載置する前に作業者が行う付帯作業を軽減できるワーク固定装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段および発明の効果

この目的を達成するために請求項１記載のワーク固定装置によれば、着座部材に載置されたワークの保持および保持の解除が保持装置により行われる。着座部材は、ワークが着座する着座面に第１噴出口が開口する。保持装置によりワークの保持が解除されるときは、第１噴出口は、第１気体供給源が供給する気体を噴出して着座面とワークとの間にある異物を吹き飛ばす。そのため、着座部材にワークを載置するために着座部材の着座面にワークを近づけると、第１噴出口が噴出する気体がワークの表面にぶつかり、その気体が着座部材の着座面へ向かって反射する。着座部材にワークを載置する作業を行うときに、着座面にワークを近づけると、着座部材の着座面やワークの表面（着座面が当たる部分）に付着した切り屑（切り粉）等の異物を吹き飛ばすことができるので、着座部材にワークを載置する前に作業者が行う付帯作業（着座部材やワークを拭ったり着座部材やワークに圧縮空気を吹き付けたりする作業）を軽減できる効果がある。

請求項２記載のワーク固定装置によれば、第１噴出口は、着座面の予め定められた位置にワークが着座するとワークに覆われる位置に設けられている。そのため、着座部材にワークを載置するために着座部材の着座面にワークを近づけたときに、第１噴出口から噴出する気体を漏れなくワークの表面にぶつけることができる。第１噴出口から噴出する気体をワークの表面（着座面が当たる部分）に集中できるので、請求項１の効果に加え、異物を吹き飛ばすために第１噴出口から噴出する気体を無駄なく使える効果がある。

請求項３記載のワーク固定装置によれば、保持装置は、第１気体供給源から気体が供給されることでワークの保持の解除を行うクランプ装置である。第１噴出口は、クランプ装置がワークの保持を解除するときの第１気体供給源から供給された気体を噴出する。第１気体供給源から供給された気体を利用することにより、第１噴出口から噴出する気体の供給源を別途設けることを不要にできるので、請求項１又は２の効果に加え、装置を簡素化できる効果がある。

請求項４記載のワーク固定装置によれば、着座部材は着座面に開口し第２気体供給源が供給する気体を噴出する第２噴出口を備えている。第２噴出口と第２気体供給源とを連通する配管に配設される圧力スイッチは設定された圧力で作動するので、着座面にワークが正常に着座してワークで第２噴出口が塞がれると、配管の圧力が上昇して圧力スイッチが作動する。一方、ワークの着座が不完全であると、第２噴出口から気体が漏れて圧力スイッチが作動しない。即ち、圧力スイッチの作動状態によってワークの着座の状態が正常であるか否かを判定できる。第２噴出口は、第１噴出口よりも着座面の中心寄りに設けられているので、第２噴出口よりも着座面の中心寄りに第１噴出口が設けられる場合と比較して、着座面に着座したワークが第２噴出口を塞ぐときは、着座面の内の広範囲の部分にワークを安定して着座させることができる。よって、請求項１から３のいずれかの効果に加え、着座部材に載置されるワークの安定性を確保できる効果がある。

請求項５記載のワーク固定装置によれば、第２気体供給源は、配管に供給する気体の圧力が、第１気体供給源が供給する気体の圧力と比較して小さい。そのため、第２噴出口が塞がれた場合の圧力の変化を圧力スイッチが検出できる程度の出力をもつ第２気体供給源を採用することで、請求項４の効果に加え、圧力スイッチの検出感度を確保しつつ装置を簡素化できる効果がある。また、第２気体供給源より第１気体供給源が供給する気体の圧力を大きくすることで、着座部材の着座面やワークの表面に付着した異物を吹き飛ばす作用を向上できる効果がある。

請求項６記載のワーク固定装置によれば、第１噴出口は、第２噴出口の周りの複数箇所に設けられているので、第１噴出口が１箇所に設けられる場合と比較して、第１噴出口が噴出する気体がワークの表面にあたる面積と、反射した気体が着座部材にあたる面積とを広くできる。よって、請求項４又は５の効果に加え、着座部材の着座面やワークの表面に付着した異物を吹き飛ばすことができる範囲を拡大できる効果がある。

請求項７記載のワーク固定装置によれば、着座部材は、着座面の反対側の面に形成される環状の溝部が第１噴出口に連通する。溝部に収装される環状のシール部材と溝部の内側または外側の壁部との間に、周方向に連続すると共に第１噴出口に連通する流路が形成されるので、複数の第１噴出口の内の１つに気体を供給すると、第１噴出口に連通する流路により他の第１噴出口からも気体を噴出させることができる。よって、請求項６の効果に加え、第２噴出口の周りの複数の第１噴出口から気体を噴出する着座部材を簡易に作成できる効果がある。

本発明の一実施の形態におけるワーク固定装置の断面図である。 ワーク固定装置の断面図である。 （ａ）は着座部材の側面図であり、（ｂ）は着座部材の正面図であり、（ｃ）は図３（ｂ）のＩＩＩｃ−ＩＩＩｃ線における着座部材の断面図である。

以下、本発明の好ましい実施の形態について添付図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態におけるワーク固定装置１０（ワークＷの固定を解除する状態）の断面図であり、図２はワーク固定装置１０（ワークＷを固定する状態）の断面図である。図１及び図２では基盤１１及びワークＷの一部の図示が省略されている。また、ワークＷが載置される着座部材４０は基盤１１に複数個が配置されるが、図１及び図２では基盤１１の図示の一部が省略されていることに伴い、着座部材４０は１個が図示される。

図１及び図２に示すようにワーク固定装置１０は、ワークＷの第１面Ｗ１を研削する工作機械の一部であり、第１面Ｗ１の反対側の第２面Ｗ２が着座部材４０に当接するワークＷの固定および固定の解除を行う装置である。ワーク固定装置１０は、鉛直方向（図１上下方向）に延びる基盤１１に配置されたクランプ装置２０及び着座部材４０を備えている。基盤１１は、着座部材４０（後述する第２噴出口５０）に接続される連通路１２が形成されている。クランプ装置２０は、着座部材４０に載置されたワークＷを、クランプ片２６によって着座部材４０との間で締め付けてワークＷを固定する装置である。本実施の形態ではクランプ装置２０は複動式のエアシリンダであり、シリンダ２１を第１室２３と第２室２４とに区画するピストン２２に、クランプ片２６が取り付けられたロッド２５が固定されている。

切換弁３０は、第１気体供給源３１から供給される気体（本実施の形態では圧縮空気）の流れ方向を切り換えて第１室２３又は第２室２４に供給するための装置であり、第１配管３２が第１室２３に接続され、第２配管３３が第２室２４に接続される。第３配管３４は、第１配管３２及び着座部材４０（後述する第１噴出口４９）に接続される配管であり、逆止弁３５が配設されている。逆止弁３５は、第１配管３２から着座部材４０への気体の流通を許容する一方、着座部材４０から第１配管３２への気体の流通を阻止する弁である。

基盤１１に形成された連通路１２に配管３６が接続されている。配管３６は、第２気体供給源３７から供給される気体（本実施の形態では圧縮空気）を連通路１２及び着座部材４０（後述する第２噴出口５０）へ導くものである。第２気体供給源３７は、配管３６に供給する気体の圧力が、第１気体供給源３１が供給する気体の圧力と比較して小さく設定されている。配管３６は、配管３６の圧力を検出して予め設定された圧力で作動する圧力スイッチ３８が配設されている。なお、第１気体供給源３１や第２気体供給源３７は、工場内に敷設されたエア（圧縮空気）配管、高圧空気容器（空気ボンベ）、コンプレッサ等が用いられる。

図３を参照して着座部材４０について説明する。図３（ａ）は着座部材４０の側面図であり、図３（ｂ）は着座部材４０の正面図であり、図３（ｃ）は図３（ｂ）のＩＩＩｃ−ＩＩＩｃ線における着座部材４０の断面図である。

図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように着座部材４０は、直方体状に形成された基部４１と、基部４１の長手方向の中央に突設された円盤状の着座部４２とを備え、金属または硬質の合成樹脂により一体に成形されている。着座部材４０は、着座部４２に着座面４３が形成され、着座面４３の反対側に位置する基部４１の底面４４が平面状に形成されている。着座面４３はワークＷが着座する面であり、相手面（ワークＷ）の形状に応じて曲面または平面（本実施の形態では平面）に形成される。着座部４２は、基部４１の第１側面４５に縁部が接し、第１側面４５の反対側の第２側面４６と縁部が離間するので、基部４１の第２側面４６側と着座部４２との間に段差４７が設定される。段差４７によって着座部材４０の方向の判別ができるので、着座部材４０の基盤１１への取付間違いを防止できる。

着座部材４０は、着座部４２の両側の基部４１をそれぞれ貫通するボルト挿通孔４８が形成されている。ボルト挿通孔４８は、基盤１１に形成されためねじ（図示せず）に螺合するボルト（図示せず）が挿通される部位であり、基盤１１へのボルトの螺着によって着座部材４０が基盤１１に取り付けられる。着座部４２は、着座面４３に開口する第１噴出口４９（第１ノズル）が、周方向に等間隔に複数（本実施の形態では５個）設けられており、着座面４３に開口する第２噴出口５０（第２ノズル）が、第１噴出口４９よりも着座面４３の中心寄りの１カ所（本実施の形態では着座面４３の中心）に設けられている。第１噴出口４９の内径は、第２噴出口５０の内径よりも小さい値に設定されている。全ての第１噴出口４９は、着座面４３の予め定められた位置にワークＷが載置されると、ワークＷに覆われる位置に設けられている。

図３（ｃ）に示すように着座部材４０は、第１噴出口４９に連通する第１通路５１が基部４１に形成されている。第１通路５１は、第１噴出口４９と同軸の円筒状に形成されており、内径が、第１噴出口４９の内径より大きく設定されている。着座部材４０の５カ所に形成された第１噴出口４９及び第１通路５１は、それらをそれぞれ通る５本の軸線が互いに平行で、且つ、着座面４３に対して直交するように配置されている。

着座部材４０は、第２噴出口５０に連通する第２通路５２が基部４１に形成されている。第２通路５２は、第２噴出口５０と同軸の円筒状に形成されており、内径が、第２噴出口５０の内径より大きく設定されている。第２噴出口５０及び第２通路５２は、それらを通る軸線が着座面４３に対して直交するように配置されている。着座部材４０は、第２側面４６に開口する第３通路５３が基部４１に形成されている。第３通路５３は、第３配管３４（図１参照）が接続される部位であり、基部４１に形成された５本の第１通路５１の内の１本の第１通路５１に連通する。

着座部材４０は、底面４４に開口すると共に全ての第１通路５１に連通する溝部５４が形成されている。溝部５４は、底面４４視における形状が円環状に形成されており、第１噴出口４９の軸線を含む断面の形状が矩形状に形成されている。溝部５４の内側（内周側）の壁部５５（円筒の側面）と外側（外周側）の壁部５６（円筒の側面）との径方向の距離（溝部５４の幅）は、第１通路５１の内径より大きく設定されている。溝部５４は、シール部材６０及びリング部材６２が収装されている。

シール部材６０は、第３通路５３から第１噴出口４９へ導入された気体の溝部５４からの漏れを防ぐための円環状の部材（ガスケット）であり、軸方向（図３（ｃ）上下方向）の厚さが、溝部５４の深さより小さく設定されている。シール部材６０は、溝部５４の底部５７に端面が密接し、内周面および外周面が壁部５５，５６にそれぞれ密接する。シール部材６０は、端面と内周面とを連絡する傾斜面６１が形成されている。シール部材６０は、傾斜面６１において外周面側から内周面側へ向かうにつれて、軸方向（図３（ｃ）上下方向）の厚さが次第に小さくなる。その結果、溝部５４の壁部５５及び底部５７とシール部材６０の傾斜面６１との間に、溝部５４の周方向に連続する流路５８が形成される。

シール部材６０の端面における傾斜面６１の開始点（径方向の位置）は第１通路５１内に位置するので、傾斜面６１によって形成される流路５８は、全ての第１通路５１に連通する。その結果、第３通路５３から第１通路５１へ供給された気体を、流路５８を使って全ての第１噴出口４９から噴出させることができる。よって、第２噴出口５０の周りに形成された複数の第１噴出口４９から気体を噴出する着座部材４０を簡易に作成できる。

リング部材６２は、溝部５４に収装される円環状の金属製または硬質の合成樹脂製の部材である。リング部材６２は、シール部材６０の軸方向に重ねて溝部５４に収装されることで、基部４１の底面４４と端面が同一面上に配置される。基盤１１に底面４４及びリング部材６２が接するように着座部材４０を基盤１１の上に置き、ボルト挿通孔４８に挿通したボルト（図示せず）で着座部材４０を基盤１１に取り付けると、リング部材６２が、第１噴出口４９からの気体の噴出に伴うシール部材６０の移動や変形を防ぎ、シール部材６０の気密性を確保する。

図１及び図２に戻ってワーク固定装置１０の使用方法について説明する。図１に示すように、クランプ装置２０がワークＷの保持を解除する場合には、第１気体供給源３１から供給される気体が切換弁３０により第１配管３２へ流れ、第１室２３に気体が供給される。これにより、ロッド２５が伸長してクランプ片２６によるワークＷの保持が解除される。同時に、第１配管３２に接続される第３配管３４に気体が流れ、第３通路５３（図３（ｃ）参照）から着座部材４０に気体が供給される。第３通路５３に供給された気体は、流路５８を通って全ての第１噴出口４９から噴出する。また、着座部材４０は、第２気体供給源３７から配管３６及び連通路１２を通って供給される気体を第２噴出口５０から噴出する。第１噴出口４９及び第２噴出口５０は着座面４３と軸線が直交しているので、第１噴出口４９及び第２噴出口５０から噴出する気体（噴流）の軸は、いずれも着座面４３と直交する。

作業者は、着座部材４０にワークＷを載置してクランプ装置２０にワークＷを保持させるため、第１噴出口４９及び第２噴出口５０から気体を噴出させた状態で、ワークＷを持って着座部材４０へ近づける。第１噴出口４９が噴出する気体（噴流）がワークＷの第２面Ｗ２に衝突するので、ワークＷの第２面Ｗ２（着座面４３が当たる部分）に付着した切り屑（切り粉）等の異物を吹き飛ばすことができる。

気体（噴流）が第２面Ｗ２に衝突する勢いはワークＷが着座面４３へ近づくにつれて強くなるので、ワークＷに衝突して着座面４３へ向かって反射する噴流によって、ワークＷが着座面４３へ接触する手前で、着座面４３に付着した異物も吹き飛ばすことができる。その結果、着座部材４０にワークＷを載置する前に作業者が行う付帯作業（着座部材４０やワークＷ（第２面Ｗ２）を拭ったり着座部材４０やワークＷに圧縮空気を吹き付けたりして異物を除去する作業）を軽減できる。よって、ワークＷを着座部材４０に載置する作業において、これまで要していた付帯作業の分だけ作業時間を短縮できる。

なお、第１噴出口４９は、着座面４３の予め定められた位置にワークＷが着座するとワークＷに覆われる位置に設けられている。ワークＷを着座面４３へ近づけたときに、第１噴出口４９から噴出する気体を漏れなくワークＷの第２面Ｗ２にぶつけることができるので、異物を吹き飛ばすために、第１噴出口４９から噴出する気体を無駄なく使うことができる。

第１噴出口４９は着座面４３と軸線が直交しているので、第１噴出口４９から噴出する気体（噴流）の軸は着座面４３と直交する。噴流の軸が着座面４３と斜交する場合と比較して、ワークＷの第２面Ｗ２に衝突して反射する噴流を着座面４３に向かわせ易くできる。よって、着座面４３に付着した異物を吹き飛ばし易くできる。

第１噴出口４９は、クランプ装置２０がワークＷの保持を解除するときに、第１気体供給源３１から第３配管３４を通って供給された気体を噴出する。第１気体供給源３１から供給された気体を利用してワークＷ等に付着した異物を吹き飛ばすので、第１噴出口４９から噴出する気体の供給源を別途設けることを不要にできる。よって、ワーク固定装置１０を簡素化できる。

ワーク固定装置１０は、クランプ装置２０がワークＷの保持を解除するための第１配管３２に第３配管３４（外部配管）を接続し、第３配管３４を着座部材４０の第３通路５３（図３（ｃ）参照）に接続することで、第１気体供給源３１から供給された気体を利用できる。従って、気体を使ってワークＷの保持の解除を行うクランプ装置２０に第３配管３４を追加し着座部材４０を交換するだけで、大規模な改造を行うことなく、既存のワーク固定装置を、作業者の付帯作業を軽減できる装置に改良できる。

図２に示すように、着座部材４０の着座面４３にワークＷが正常に着座すると、ワークＷ（第２面Ｗ２）で第１噴出口４９及び第２噴出口５０が塞がれる。第２噴出口５０が塞がれると、配管３６の圧力が上昇して圧力スイッチ３８が作動する。一方、ワークＷの着座が不完全であると、第２噴出口５０から気体が漏れて圧力スイッチ３８が作動しない。ワーク固定装置１０は、圧力スイッチ３８の作動状態によってワークＷの着座の状態が正常であると判定される場合に、第１気体供給源３１からの気体の流れ方向を切換弁３０により第２配管３３へ切り換える。クランプ装置２０の第２室２４に気体が供給されると、ロッド２５が収縮してクランプ片２６によりワークＷが基盤１１側へ押し付けられ、クランプ片２６と着座部材４０との間でワークＷが保持される。

切換弁３０により第１気体供給源３１からの気体の流れ方向が第２配管３３へ切り換えられると、第３配管３４へ気体が導入されなくなるので、第１噴出口４９からの気体の噴出も停止する。第３配管３４は、逆止弁３５が、第１配管３２から着座部材４０への気体の流通を許容する一方、着座部材４０から第１配管３２への気体の流通を阻止するので、仮に第１配管３２に負圧が生じても、第１噴出口４９から第３配管３４を通って第１配管３２へ気体が流入することを防止できる。よって、クランプ装置２０の動作の安定性を確保できる。

ワークＷの着座の正否を判断するための気体を噴出する第２噴出口５０は、第１噴出口４９よりも着座面４３の中心寄りに設けられる。そのため、第２噴出口５０よりも着座面４３の中心寄りに第１噴出口４９が設けられる場合と比較して、着座面４３に着座したワークＷが第２噴出口５０を塞ぐときは、着座面４３の広範囲の部分にワークＷを着座させることができる。よって、着座部材４０に載置されるワークＷの安定性を確保できる。

第２噴出口５０に気体を供給する第２気体供給源３７は、配管３６に供給する気体の圧力が、第１気体供給源３１が供給する気体の圧力と比較して小さい。そのため、第２噴出口５０が塞がれた場合の圧力の変化を圧力スイッチ３８が検出できる程度の出力をもつ第２気体供給源３７を採用することで、圧力スイッチ３８の検出感度を確保しつつ装置を簡素化できる。また、第２気体供給源３７より第１気体供給源３１が供給する気体の圧力を大きくすることで、着座面４３やワークＷの第２面Ｗ２に付着した異物を吹き飛ばす作用を向上できる。

なお、第１噴出口４９の内径は、第２噴出口５０の内径よりも小さい値に設定されているので、流量が同一の場合に、第２噴出口５０から噴出する気体の圧力と比較して、第１噴出口４９から噴出する気体の圧力を大きくできる。第１噴出口４９から噴出する気体の流速を、第２噴出口５０から噴出する気体の流速より大きくできるので、着座面４３やワークＷの第２面Ｗ２に付着した異物を吹き飛ばす作用を向上できる。

また、第１噴出口４９は、第２噴出口５０の周りの複数箇所に設けられているので、第１噴出口４９が１箇所に設けられる場合と比較して、第１噴出口４９が噴出する気体がワークＷの第２面Ｗ２にあたる面積と、反射した気体が着座部材４０にあたる面積とを広くできる。よって、着座面４３やワークＷの第２面Ｗ２に付着した異物を吹き飛ばすことができる範囲を拡大できる。

以上、実施の形態に基づき本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改良変形が可能であることは容易に推察できるものである。着座部材４０の形状や大きさは当然のことながら適宜設定できる。

上記実施の形態では、ワーク固定装置１０が、ワークＷを研削する工作機械の一部である場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、本実施の形態で説明した各構成を他のワーク固定装置に適用することは当然可能である。他のワーク固定装置としては、例えば、ワークＷを固定してワークＷの切断、穿孔、研磨を行う他の工作機械のワーク固定装置、ワークＷを固定してワークＷの検査を行う検査装置のワーク固定装置が挙げられる。

上記実施の形態では、クランプ片２６の締付力によってワークＷを固定するクランプ装置２０（保持装置）を備えるワーク固定装置１０について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、他の保持装置を採用することは当然可能である。他の保持装置としては、例えば、磁石による吸引力によってワークＷを固定する保持装置が挙げられる。

上記実施の形態では、第１噴出口４９は、第１噴出口４９の軸線と直交する断面形状が円形の場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、第１噴出口４９の形状を、例えば、長穴状（スリット状）、周方向に連続する環状等に設定することは当然可能である。

上記実施の形態では、第１噴出口４９や第２噴出口５０から空気（圧縮空気）を噴出させる場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、窒素等の他の気体を用いることは当然可能である。

上記実施の形態では、複動式のシリンダ２１をもつクランプ装置２０について説明したが、必ずしもこれに限られるものではない。気体を使ってワークＷの保持を解除する機構を備えていれば、単動式のシリンダをもつクランプ装置を用いることは当然可能である。単動式のシリンダの場合、スプリングにより締付力を発生する。

上記実施の形態では、空気圧により締付力を直接発生するクランプ装置２０について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、空気圧により油圧を発生させ、設定圧に達すると油圧力を保持するクランプ装置を用いることは当然可能である。

上記実施の形態では、ワークＷの保持を解除する間は第１噴出口４９から気体が噴出する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではない。例えば、ワークＷが近づいたことを非接触で検出する近接センサを基盤１１に取り付けると共に、電磁弁を第３配管３４に設けることができる。これにより、ワークＷの保持が解除されており、且つ、ワークＷが近づいたときに、電磁弁を開弁して第１噴出口４９から気体が噴出するように設定できる。

上記実施の形態では、設定された圧力で作動する圧力スイッチ３８を配管３６に配設する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、圧力を検出する圧力センサを配管３６に配設し、この圧力センサが検出する圧力が設定値に達したか否かを判断する制御装置を別に設けることは当然可能である。この場合は、圧力センサ及び制御装置が圧力スイッチを構成する。

上記実施の形態では、第３配管３４に逆止弁３５が配設される場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、第３配管３４の逆止弁３５を省略することは当然可能である。

上記実施の形態では、着座部材４０の底面４４に環状の溝部５４を形成し、溝部５４に収装されたシール部材６０によって溝部５４を塞ぎ、内側の壁部５５、底部５７及び傾斜面６１に囲まれた領域で周方向に連続する流路５８を形成する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではない。傾斜面６１の傾斜する向きを変えて、外側の壁部５６、底部５７及び傾斜面６１に囲まれた領域で周方向に連続する流路５８を形成することは当然可能である。

上記実施の形態では、溝部５４に収装されたシール部材６０によって溝部５４を塞ぎ、傾斜面６１によって周方向に連続する流路５８を形成する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではない。溝部５４に収装されるシール部材６０に代えて、底面４４に密接して溝部５４を塞ぐ板状のガスケットを配置したり、第２通路５２と溝部５４との間および溝部５４の周囲にそれぞれＯリングを配置したりして、それらを着座部材４０の底面４４と基盤１１とにより挟み込んで気密を確保し流路を形成することは当然可能である。

上記実施の形態では、シール部材６０及びリング部材６２を溝部５４に収装する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、シール部材６０の軸方向の厚さを溝部５４の深さと略同一に設定すれば、リング部材６２を省略しても、基盤１１によってシール部材６０の移動や変形を規制できる。

１０ ワーク固定装置
２０ クランプ装置（保持装置）
３１ 第１気体供給源
３６ 配管
３７ 第２気体供給源
３８ 圧力スイッチ
４０ 着座部材
４３ 着座面
４９ 第１噴出口
５０ 第２噴出口
５４ 溝部
５５，５６ 壁部
５８ 流路
６０ シール部材
Ｗ ワーク

Claims (7)

1. 着座部材に載置されたワークの保持および保持の解除を行う保持装置を備えるワーク固定装置であって、
   前記着座部材は、前記ワークが着座する着座面に開口する第１噴出口を備え、
   その第１噴出口は、前記保持装置が前記ワークの保持を解除するときに、第１気体供給源が供給する気体を噴出して前記着座面と前記ワークとの間にある異物を吹き飛ばすことを特徴とするワーク固定装置。
2. 前記第１噴出口は、前記着座面の予め定められた位置に前記ワークが着座すると前記ワークに覆われる位置に設けられていることを特徴とする請求項１記載のワーク固定装置。
3. 前記保持装置は、前記第１気体供給源から気体が供給されることで前記ワークの保持の解除を行うクランプ装置であり、
   前記第１噴出口は、前記クランプ装置が前記ワークの保持を解除するときの前記第１気体供給源から供給された気体を噴出することを特徴とする請求項１又は２に記載のワーク固定装置。
4. 前記着座部材は、前記着座面に開口し第２気体供給源が供給する気体を噴出する第２噴出口を備え、
   その第２噴出口と前記第２気体供給源とを連通する配管に配設されると共に設定された圧力で作動する圧力スイッチを備え、
   前記第２噴出口は、前記第１噴出口よりも前記着座面の中心寄りに設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のワーク固定装置。
5. 前記第２気体供給源は、前記配管に供給する気体の圧力が、前記第１気体供給源が供給する気体の圧力と比較して小さいことを特徴とする請求項４記載のワーク固定装置。
6. 前記第１噴出口は、前記第２噴出口の周りの複数箇所に設けられていることを特徴とする請求項４又は５に記載のワーク固定装置。
7. 前記着座部材は、前記着座面の反対側の面に開口すると共に前記第１噴出口に連通する環状の溝部と、
   その溝部に収装される環状のシール部材とを備え、
   そのシール部材は、前記溝部の内側または外側の壁部と前記シール部材との間に周方向に連続しつつ前記第１噴出口に連通する流路を形成することを特徴とする請求項６記載のワーク固定装置。

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