JP2016146391A - 配線基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】配線基板を、第1の配線層と、第2の配線層と、絶縁層と、ビアを備える構成とする。第1の絶縁層は、電源電圧が印加される第1の配線が形成されている。第2の絶縁層は、電源電圧とは異なる電圧が印加される第2の配線が形成されている。絶縁層は、第1の配線層と第2の配線層の間を絶縁する。ビアは、絶縁層を貫通し、第1の配線と接続した第1の導電部と、第2の配線と接続した第2の導電部と、第1の導電部と第2の導電部の間を絶縁材で充てんしたビア絶縁部とを有する。
【選択図】 図1
Description
本発明の第1の実施形態について図を参照して詳細に説明する。図1は、本実施形態の配線基板の構成の概要を示したものである。本実施形態の配線基板は、第1の配線層1と、第2の配線層2と、絶縁層3と、ビア4を備えている。第1の配線層1は、電源電圧が印加される第1の配線5が形成されている。第2の配線層2は、前記電源電圧とは異なる電圧が印加される第2の配線6が形成されている。絶縁層3は、第1の配線層1と第2の配線層2の間を絶縁する。ビア4は、絶縁層3を貫通し、第1の配線5と接続した第1の導電部7と、第2の配線6と接続した第2の導電部8と、第1の導電部7と第2の導電部8の間を絶縁材で充てんした絶縁部9とを有する。
(第2の実施形態)
本発明の第2の実施形態について図を参照して詳細に説明する。図2は、本実施形態の配線基板の構成の概要を示したものである。図2は、本実施形態の配線基板の断面図である。
本発明の第3の実施形態について図を参照して詳細に説明する。図17、図18および図19は、本実施形態の配線基板の構成の概要を示したものである。図17は、本実施形態の配線基板の断面図である。図18および図19は、本実施形態の配線基板の各層における平面図である。
2 第2の配線層
3 絶縁層
4 ビア
5 第1の配線
6 第2の配線
7 第1の導電部
8 第2の導電部
9 ビア絶縁部
11 第1のグランド配線層
12 電源配線層
13 第2のグランド配線層
14 第1の絶縁層
15 第2の絶縁層
16 貫通穴
17 絶縁部
21 第1の導電部
22 第2の導電部
23 ビア絶縁部
24 グランド配線
25 電源配線
31 穴
32 金属膜
33 穴
34 エッチング部
35 絶縁膜
36 穴
37 金属膜
38 穴
39 エッチング部
41 第1のグランド配線層
42 電源配線層
43 第2のグランド配線層
44 第1の絶縁層
45 第2の絶縁層
46 貫通穴
47 絶縁部
50 ピン
51 第1の導電部
52 第2の導電部
53 ビア絶縁部
54 第1の層間接続部
55 第2の層間接続部
56 絶縁部
57 グランド配線
58 電源配線
61 貫通穴
62 金属膜
63 貫通穴
Claims (10)
- 電源電圧が印加される第1の配線が形成された第1の配線層と、
前記電源電圧とは異なる電圧が印加される第2の配線が形成された第2の配線層と、
前記第1の配線層と前記第2の配線層の間を絶縁する第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層を貫通し、前記第1の配線と接続した第1の導電部と、前記第2の配線と接続した第2の導電部と、前記第1の導電部および前記第2の導電部の間を絶縁材で充てんしたビア絶縁部とを有するビアと
を備えることを特徴とする配線基板。 - 前記ビアにおいて、前記第1の導電部、前記ビア絶縁部および前記第2の導電部は、前記第1の配線層から前記第2の配線層までそれぞれ連続的に形成され、前記第1の導電部と前記第2の導電部は、前記ビア絶縁部を介して対向するように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の配線基板。
- 前記第1の配線層に形成され、前記第1の配線と前記第2の導電部の間を絶縁する第1の絶縁部と、
前記第2の配線層に形成され、前記第2の配線と前記第1の導電部の間を絶縁する第2の絶縁部と
をさらに備えることを特徴とする請求項1または2いずれかに記載の配線基板。 - 前記第1の絶縁部および前記第2の絶縁部は半円形状であり、
前記第1の絶縁部と前記第2の絶縁部は、前記ビアの前記ビア絶縁部を中心として互いに向き合うように形成されていることを特徴とする請求項3に記載の配線基板。 - 前記第2の配線と同じ電圧が印加される第3の配線が形成された第3の配線層と、
前記第1の配線層と前記第3の配線層の間を絶縁する第2の絶縁層と、
前記第2の絶縁層を貫通し、前記第1の導電部と連続した導電部と、前記第2の導電部と連続した導電部と、前記ビア絶縁部と連続した絶縁部とを有する第2のビアと、
前記第3の配線層に形成され、前記第2の配線と前記第2の導電部と連続した導電部の間を絶縁する第3の絶縁部とをさらに備え、
前記第2の絶縁部と前記第3の絶縁部が、前記絶縁部を中心として同じ側に形成されていることを特徴とする請求項3または4いずれかに記載の配線基板。 - 電源電圧が印加される第1の配線が形成された第1の配線層と、絶縁層と、前記電源電圧とは異なる電圧が印加される第2の配線が形成された第2の配線層とを積層した基板に、前記第1の配線層、前記絶縁層および前記第2の配線層を貫通する第1の貫通穴を開ける第1の穴形成工程と、
前記第1の貫通穴に、第1の導電部と、絶縁部と、第2の導電部とを備える部材を、前記第1の導電部と前記第1の配線、および、前記第2の導電部と前記第2の配線が接するように圧入する圧入工程と
を含むことを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記第1の穴形成工程と前記圧入工程の間に、前記第1の貫通穴の側壁に導電膜を成膜する導電部形成工程をさらに含むことを特徴とする請求項6に記載の配線基板の製造方法。
- 前記圧入工程の後に、前記絶縁部の両側にさらに第2の貫通穴を開ける第2の穴形成工程と、
前記第2の貫通穴に絶縁材を充てんする充てん工程と
をさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の配線基板の製造方法。 - 電源電圧とは異なる電圧が印加される第2の配線が形成された第2の配線層と、絶縁層が積層された基板の前記絶縁層に第1の穴を形成する第1の穴形成工程と、
前記第1の穴を導電材で充てんし、前記絶縁層の上に前記電源電圧が印加される第1の配線として用いる第1の配線層を形成する電源層形成工程と、
前記第1の穴に充てんされた導電材に第2の穴を開けて、前記第2の配線に接続している第2の導電部と前記第1の配線に接続している第1の導電部に分割するビア分割工程と、
前記第2の穴に絶縁材を充てんする絶縁材充てん工程と
を含むことを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記第1の配線層に前記第2の導電部と前記第1の配線が接しないように絶縁部を形成する絶縁部形成工程をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の配線基板の製造方法。
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JP2015022152A JP6536057B2 (ja) | 2015-02-06 | 2015-02-06 | 配線基板およびその製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20210015775A (ko) * | 2019-07-31 | 2021-02-10 | 셰난 서키츠 씨오., 엘티디. | 회로 기판 및 그 제작 방법 |
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2015
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KR102591926B1 (ko) * | 2019-07-31 | 2023-10-19 | 셰난 서키츠 씨오., 엘티디. | 회로 기판 및 그 제작 방법 |
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