JP2016145985A - 結像誤差の決定を行う光学結像装置 - Google Patents

結像誤差の決定を行う光学結像装置 Download PDF

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Abstract

【課題】結像誤差を決定し、補正するマイクロリソグラフィのための光学結像装置を提供する。【解決手段】測定装置113は、少なくとも1つの測定光源114、第2光学素子群115、少なくとも1つの検出ユニット116を備え、少なくとも1つの検出信号を使用して少なくとも1つの結像誤差を決定するように構成され、投影系102の結像誤差を決定するために、測定光源114は測定光束114.1を放出し、この測定光束は、第2光学素子117〜122によって検出ユニット116に偏向または投影される。【選択図】図1

Description

[関連出願の相互参照]
本特許出願は、米国仮特許出願第61/133,616号(出願日:2008年7月1
日)の優先権を主張するものであり、その全開示内容は参照により本明細書に組み込まれ
るものとする。
本発明は光学結像装置に関する。本発明は、微小電子回路の製造時に用いるマイクロリ
ソグラフィとの関連で使用することができる。したがって、本発明はさらに結像方法に関
する。
特にマイクロリソグラフィの分野では、極めて高い精度で実施される構成素子を用いる
ことの他に、適宜に高い像質を得るために、とりわけ結像装置の構成素子、すなわち、レ
ンズまたはミラーなどの光学素子をできるだけ正確に位置決めする必要がある。数ナノメ
ートル以下のオーダにおける微小領域の高精度な要求は、特に製造すべき微小電子回路に
小型化を促進するために微小電子回路の製造時に使用される光学系の解像度を高めるとい
う恒常的な必要性の結果である。
解像度の増大、および一般にこれに伴って、使用される光の波長の低減は、使用される
光学素子の位置精度に対する要求を増大させるだけではない。光学装置全体の結像誤差の
最小化に関する要求も当然ながら増大する。
マイクロリソグラフィで使用される、例えば193nmの作動波長のUV領域、特に5
nm〜20nmの範囲(多くの場合、13nmの範囲)の作動波長を有するいわゆる極紫
外線領域(EUV)の小さい作動波長で関連構成素子の位置決めに対する高い要求を満た
すためには、多くの場合、マスクテーブル、光学素子および基板テーブル(例えばウェー
ハテーブル)などの個々の構成素子の位置を基準(例えば、いわゆる「計測フレーム」に
よって形成されることの多い基準構造部など)に関してそれぞれ個々に検出し、これらの
構成素子を相互に能動的に位置決めすることが提案される。このような方法は、例えば米
国特許第7,221,460号明細書(オオツカ)により既知であり、その全開示内容は
参照により本明細書に組み込まれるものとする。
この解決方法は、一般に基板(多くの場合、ウェーハ)におけるマスク投影パターンの
結像位置のリアルタイム測定が行われず、基準に対する構成素子の個別位置データから間
接的にのみ推定されることが欠点である。この場合、それぞれの測定誤差が加算され、場
合によっては比較的大きい総測定誤差が生じる恐れがある。さらに、多数の素子を能動的
に位置決めする必要があり、これらの素子を全てnanorad領域(nrad)の適宜な角度精度
で、特にピコメータ範囲(pm)の並進精度で位置決めし、位置に関する検出を行う必要が
ある。このことは光学素子のための基準および支持構造部の熱的安定性に対する特に高い
要求につながる。ここで、熱膨張率に関しては一般にケルビン毎に数十ナノメータ(nm/K
)しか許容されない。
これに対して、さらに一連の解決方法が既知であり、これらの解決方法では、像平面の
像点への物体平面(マスクの投影パターン)の物点の結像品質、特に(基板が配置された
)像平面における投影パターンの結像位置がリアルタイムで決定される。この場合、結像
品質、特に像平面における投影パターンの結像位置は、極めて少ない能動的素子によって
、場合によっては1つのみの能動的素子によって補正される。これにより、他の構成素子
の動的制御が簡略化されるだけでなく、光学素子のための基準および支持構造部の熱的安
定性に対する要求を極めて低く設定することができる。
したがって、例えば、直接に、すなわち、像平面で基板の位置に配置された波面センサ
によって投影光路の収差を検出することが既知である。このためにはもちろん基板の露光
動作を中断する必要がある。投影装置が経時的に十分に安定した場合これは実現可能な解
決方法である。すなわち、結像誤差のチェックおよび補正を十分に大きい(数時間から数
日または数週間の)時間間隔をおいて行うことができる。短時間内に作用する妨害(例え
ば熱的妨害など)が生じた場合に必要となる短い時間間隔をおいた測定および補正は、測
定に基本的に時間がかかるので不可能であるか、または露光時間を中断しなければならな
いか、または結像装置の生産性への影響が許容できないために不都合である。
基板におけるマスク投影パターンの結像位置のリアルタイム決定は、いわゆる「レーザ
・ポインタ原理」に基づいて行われることが多い。この場合、マスク領域に配置された光
源によって、コリメートされたレーザ光線の形態の測定光束が、有効光の経路近傍で(す
なわち、視野縁部で)結像に関連する光学素子の結像時に基板の領域まで案内され、そこ
で検出器によって検出される。光学素子が極わずかに目標位置からずれただけでも、この
場合、目標位置からのレーザ光線のずれが生じ、このずれは検出器により検出され、補正
のために使用される。このような方法は、例えば米国特許出願公開第2003/0234
993号明細書(ハーゼルトン等)により既知であり、その開示内容全体は参照により本
明細書に組み入れられるものとする。
この場合、結像に関係する光学素子を介してレーザ光線を案内することにより、基板に
おけるマスクの投影パターンの正確な結像位置に関してずれを決定することができるのみ
ならず、結像時に他の誤差(例えば、歪みなど)を検出することもできる。これら全ての
位置誤差およびその他の誤差は、同明細書で結像誤差という概念でまとめられている。
もちろん結像誤差決定のこれらの変化態様は、(例えばビームスプリッタの挿入により
)投影光路への介入を伴い、場合によっては照射能力の不都合な損失をもたらす。
既に述べたように、結像に関与する構成素子の位置および配向のための角度精度および
並進精度に関連した上記問題は、例えば、米国特許第7,226,177号明細書(その
全開示内容は参照により本明細書に組み込まれるものとする)に記載のように、EUV領
域(例えば13.5nmの波長領域)で作動する結像装置では特に影響が大きい。
これらの対物レンズは、現在ではEUV光線を反射により偏向する反射光学素子(すな
わち、ミラーなど)によってのみ作動し、たいていは4個、6個または8個のミラーが使
用される。支持構造部は(機械的および/または熱的に)絶対的に安定しているわけでは
ないので、結像装置の作動時に一般に(機械的および/または熱的妨害により)これらの
ミラーの位置および/配向は変化する。
このようなEUV対物レンズにおける光路は数メートルの長さであってよい。したがっ
て、米国特許第7,226,177号明細書(ササキ等)により既知のシステムでは、光
学面の個々の間隔から、第1ミラー(M1)から露光されるべき基板の平面までの光路全
長は約2.5mとなる。これと比較して、露光すべき構造部が約25nmの範囲である場
合、許容される像変位はせいぜいnm範囲である。1nmの許容される図変位により、こ
の場合、最大に許容される第1ミラーM1のミラー傾斜は0.2nradのみである。光路の
下流側のミラー(M2〜M6)では、これらの角度許容差は、基板平面までの間隔が次第
に小さくなるので段階的に増大する。
しかしながら、このようなミラーの配向の適宜に正確な測定(および後続の補正)は、
これまでに既知の装置では不可能である。さらに像変位全体に関してミラー傾斜の影響が
取り除かれ、それ故、像変位が生じないミラー傾斜の組み合わせが存在する。しかしなが
ら、このようなミラー傾斜組み合わせは、これまでの方法では認識されていない波面のず
れ、すなわち収差をもたらす。
米国特許出願公開第2003/0234993号明細書 米国特許第7,226,177号明細書
本発明は、光学結像装置および結像方法において、上記欠点を少なくともわずかにしか
有しておらず、特に簡単にリアルタイムでできるだけ直接的に結像誤差を決定し、場合に
よっては補正することを可能にする光学結像装置および結像方法を提案することである。
さらに、本発明は、少ない素子によって結像誤差をできるだけ直接に決定し、場合によ
っては補正することを可能にする光学結像装置および結像方法を提案することである。
さらに本発明の課題は、結像素子の配向変化による結像誤差をできるだけ正確に決定し
、場合によっては補正することのできる光学結像装置および結像方法を提案することであ
る。
本発明は、測定光源を有する独立した測定装置、検出ユニットおよび独立した測定光学
系によって結像誤差の決定が行われ、測定光学系の光学素子が測定光源の測定光束を検出
ユニットに偏向するようになっており、結像ユニットの光学素子に対してそれぞれの時点
でそれぞれ規定された関係にある場合には、本来の結像工程(例えば、基板などの露光)
に平行して簡単にリアルタイムで結像ユニットの結像誤差をこのように直接に決定し、場
合によっては補正することが可能であるという認識に基づいている。測定光学系のそれぞ
れの光学素子と結像ユニットの光学素子との間におけるそれぞれの時点で規定された関係
により、結像ユニットのいずれか1つの光学素子の状態変化(位置および/または配向の
変化)が、測定光学系の収差、ひいては検出ユニットの測定信号の所定の変化をもたらし
、この変化を結像ユニットの対応した結像誤差に対応させることができる。
測定光学系の少なくとも部分的に独立して配置された光学素子は、本来の結像に平行し
て行われる測定により、結像ユニットにより行う本来の結像にわずかにしか影響しないよ
うに測定光学系を構成することが可能である。
さらに、測定光学系は、これまでに既知の解決方法とは異なり、有利には、検出信号の
変化を結像ユニットの光学素子における個々の状態変化にできるだけ一義的に対応させる
ことができるように構成されている。全ての関連した自由度における測定光学系の感度は
これまでに既知であり、例えば、計算および/または経験的に決定されている(例えば、
コマ収差センタリングZ7/Z8および非点収差センタリングZ5/Z6の変化は、レン
ズの並進時に比率4:1に対応する)。
個々の測定光学系の状態が不良である場合(感度、一義性、分離可能性、個別感度の連
立方程式の直交性が小さいなど)、付加的な測定システムを追加することにより状態を簡
単に改善することが可能である。このことは、例えば、同じ種類の付加的な測定システム
を結像ユニットの(例えば、結像ユニットの光軸に関して90°または180°だけ回動
された)他の箇所に結合することにより行うことができる。同様に、2個以上の異なる測
定光学系の状態を意図的に最適化または適合させることができる。測定光学系は、(単独
または任意の組み合わせで)任意の構成(球面状、非球面状、円柱状、平坦な光学面また
は自由形状面)の屈折性、回折性および反射性の光学素子からなっていてよい。
したがって、本発明の対象は、像点に物点を結像するための結像ユニットと測定装置と
を備える、特にマイクロリソグラフィのための光学結像装置であり、結像ユニットは、像
点における物点の結像に関与する複数の第1光学素子を有する第1光学素子群を備え、測
定装置は、像点における物点の結像時に生じる少なくとも1つの結像誤差を決定するよう
に構成されている。測定装置は、少なくとも1つの測定光源、第2光学素子群および少な
くとも1つの検出ユニットを備え、測定光源は少なくとも1本の測定光束を放出する。第
2光学素子群は複数の第2光学素子を備え、第2光学素子は、少なくとも1つの検出信号
を生成するための少なくとも1本の測定光束を少なくとも1つの検出ユニットに偏向する
ように構成されている。それぞれの第2光学素子は、いずれか1つの第1光学素子に対し
て規定された空間関係にあり、少なくとも1つの第2光学素子は、第1光学素子とは異な
る。測定装置は、少なくとも1つの検出信号を使用して少なくとも1つの結像誤差を決定
するように構成されている。
本発明の別の対象は、特にマイクロリソグラフィのための結像方法であり、結像ユニッ
トにより像点に物点が結像され、結像ユニットは、像点における物点の結像に関与する複
数の第1光学素子を有する第1光学素子群を備え、測定装置は、像点における物点の結像
時に生じる結像誤差を決定する。測定装置は、少なくとも1つの測定光源、第2光学素子
群および少なくとも1つの検出ユニットを備え、測定光源は、少なくとも1本の測定光束
を放出する。少なくとも1つの検出信号を生成するために、少なくとも1本の測定光束は
第2光学素子群の複数の第2光学素子を介して少なくとも1つの検出ユニットに偏向され
る。それぞれの第2光学素子は、いずれか1つの第1光学素子に対して規定された空間関
係にあり、少なくとも2つの第2光学素子は第1光学素子とは異なっている。測定装置は
、少なくとも1つの検出信号を使用して少なくとも1つの結像誤差を決定する。
本発明は、さらに、測定光源を有する独立した測定装置、検出ユニットおよび独立した
測定光学系によって結像誤差の決定が行われ、測定光学系の光学素子が測定光源の測定光
束を検出ユニットに偏向するようになっている場合には、本来の結像工程(例えば、基板
の露光など)に平行して簡単にリアルタイムで、結像ユニットの光学素子の配向変化(傾
斜)による結像誤差を正確に決定し、場合によっては補正することが可能であるというと
いう認識に基づいている。測定光学系のいずれか1つの光学素子は、いずれの時点でも結
像ユニットのいずれか1つの光学素子に対して規定された関係を有し、基準素子と測定光
学系の対応した素子との間で測定光束が複数回反射されるように測定光学系の基準素子に
対応配置されている。
測定光束が2つの光学素子間でこのように直接に複数回反射されることにより(したが
って、基準素子と測定光学系の光学素子とによって形成された光学キャビティを複数回通
過することによって)、測定光学系のこれら2つの素子間の角度ずれまたは傾斜が、複数
回の反射に関係した係数だけ乗算され、測定波面に組み込まれる。最後に、複数回の反射
により光学的な増幅が得られ、これにより、測定装置の角度分解能が増大する。光学キャ
ビティにおける対応した多くの回数により、sub-nrad範囲における角度分解能を容易に達
成することができる。
したがって、例えば、通常の干渉計による測定では、所定測定装置によってλ/100
0の波面傾斜を確実に検出することが可能である。測定波長λが汎用のヘリウムネオンレ
ーザの波長であり、測定装置が、例えば100mmの直径を有している場合、これは6nr
adの角度分解能に相当する。しかしながら、冒頭で既に説明したように、測定装置の角度
分解能に対する要求は、少なくとも係数10だけ高い。本発明により、この問題は、光学
キャビティ内部における対応して大きい回数の反射によって簡単に解決される。
測定光学系の光学素子と結像ユニットの光学素子との間におけるそれぞれの時点で規定
された関係により、結像ユニットのいずれか1つの光学素子の状態変化(位置および/ま
たは配向の変化)が、測定光学系の収差、ひいては検出ユニットの測定信号の所定の変化
をもたらし、この変化を結像ユニットの対応した結像誤差に対応させることができる。
したがって、本発明の別の対象は、像点に物点を結像するための結像ユニットと測定装
置とを備える、特にマイクロリソグラフィのための光学結像装置であり、結像ユニットは
、像点における物点の結像に関与する少なくとも1つの第1光学素子を有する第1光学素
子群を備え、測定装置は、像点における物点の結像時に生じる少なくとも1つの結像誤差
を決定するように構成されている。測定装置は、少なくとも1つの測定光源、第2光学素
子群および少なく1つの検出ユニットを備え、測定光源は少なくとも1つの測定光束を放
出する。第2光学素子群は少なくとも1つの光学基準素子と第2光学素子とを備え、第2
光学素子は、少なくとも1つの検出信号を生成するための少なくとも1本の測定光束を少
なくとも1つの検出ユニットに偏向するように構成されている。第2光学素子は、第1光
学素子に対して規定された空間関係を有する。光学基準素子は、少なくとも部分的に反射
性の第1光学面を備え、第2光学素子は、少なくとも部分的に反射性の第2光学面を備え
る。測定装置は、少なくとも1つの検出信号を使用して少なくとも1つの結像誤差を決定
するように構成されている。第1光学面と第2光学面とは、少なくとも1本の測定光束の
複数回の反射が光学面間で行われるように相互に対応配置されている。
本発明の別の対象は、特にマイクロリソグラフィのための結像方法であり、結像ユニッ
トにより像点に物点が結像され、少なくとも1つの第1光学素子を有する結像ユニットの
第1光学素子群は像点における物点の結像に関与し、測定装置は、像点における物点の結
像時に生じる結像誤差を決定する。測定装置は、少なくとも1つの測定光源、第2光学素
子群および少なくとも1つの検出ユニットを備え、測定光源は、少なくとも1本の測定光
束を放出する。少なくとも1つの検出信号を生成するために、少なくとも1つの光学基準
素子および第2光学素子群の複数の第2光学素子は、少なくとも1本の測定光束を介して
少なくとも1つの検出ユニットに偏向し、第2光学素子は、いずれかの第1光学素子に対
して規定された空間関係を有する。光学基準素子は、少なくとも部分的に反射性の第1光
学面を備え、第2光学素子は、少なくとも部分的に反射性の光学面を備える。測定装置は
、少なくとも1つの検出信号を用いて少なくとも1つの結合誤差を決定する。第1光学面
と第2光学面とは、少なくとも1本の測定光束の複数回の反射が光学面間で行われるよう
に相互に対応配置されている。
本発明の別の対象は、像点に物点を結像するための結像ユニットと測定装置とを備える
、特にマイクロリソグラフィのための光学結像装置であり、測定装置は、像点における物
点の結像時に生じる少なくとも1つの結像誤差を決定するように構成されている。測定装
置は、少なくとも1つの測定光源、少なくとも1つの光学素子を有する光学素子群および
少なく1つの検出ユニットを備える。測定光源は少なくとも1本の測定光束を放出し、光
学素子群は、少なくとも1つの検出信号を生成するための少なくとも1本の測定光束を少
なくとも1つの検出ユニットに偏向するように構成されている。この場合、少なくとも1
つの光学素子のために熱遮蔽部が設けられている。
本発明の別の対象は、像点に物点を結像するための結像ユニットと測定装置とを備える
、特にマイクロリソグラフィのための光学結像装置であり、結像ユニットは、少なくとも
1つの第1光学素子を有する第1光学素子群を備え、測定装置は、少なくとも1つの光学
素子の状態変化を決定するように構成されている。測定装置は、光学結像装置の搬送時に
少なくとも1つの光学素子の状態変化を決定し、ログに記録するように構成されている。
最後に、本発明の別の対象は、像点に物点を結像するための結像ユニットを有する結像
装置であり、結像ユニットは、少なくとも1つの光学素子を有する光学素子群を備える。
結像ユニットは、EUV領域、特に5nm〜20nmの範囲の波長の光を使用して像点に
物点を結像するように構成されており、少なくとも1つの構造素子を有する支持構造部を
備え、支持構造部により、少なくとも1つの光学素子が支持される。少なくとも1つの構
造素子は、0.6・10−6−1、特に1.2・10−6−1を超える熱膨張係数を
有する材料または複合材料を備える。
本発明の他の有利な構成が、従属請求項または添付の図面を参照して説明する以下の好
ましい実施例の説明から明らかである。
本発明による結像方法の好ましい実施形態を実施することのできる本発明による光学結像装置の好ましい実施形態を概略的に示す図である。 図1に示す結像装置を具体的に示す概略図である。 図4に示す結像装置の一部を示す概略図である。 図1に示した結像装置によって実施することのできる本発明による結像方法の好ましい実施形態を示すフロー図である。 本発明による結像装置の別の好ましい実施形態の一部を示す概略図である。 本発明による光学結像装置の別の好ましい実施形態を示す概略図である。 本発明による光学結像装置の別の好ましい実施形態を示す概略図である。
第1実施例
図1から図4を参照して、以下にマイクロリソグラフィで用いる本発明による光学結像
装置101の好ましい実施形態を説明する。ここでは、参照した図面の簡略化のためにxy
z-座標系を図面に導入した。
図1は、UV領域の第1波長の光で作動するマイクロリソグラフィ装置101の形態の
本発明による光学結像装置を著しく概略的に示す図である。マイクロリソグラフィ装置1
01は光学投影系102の形態の結像ユニットを備え、結像ユニットは、照明系103、
マスク装置104および光軸105.1を有する対物レンズ105の形態の光学装置を有
する。照明系103は、投影光束101.1(この段落では詳述しない)によってマスク
装置104のマスク104.1を照明する。
マスクテーブル104.2に配置したマスク104.1には、物体平面(または一般に
任意に形成された物体面)に、個別の投影点を有する投影パターン104.3が位置する
。物点は、投影光束101.1によって、対物レンズ105に配置した光学素子によって
、基板装置106の基板106.1、例えばいわゆる「ウェーハ」の像平面(または一般
に任意に形成された像面)の像点に投影される。
このために対物レンズ105は第1光学素子群105.2を備える。第1光学素子群1
05.2は、一連の第1光学素子107,108,109,110,111,112によ
って形成されている。これら第1光学素子は、対物レンズ105のハウジング105.3
に支承され、ハウジングはベース構造部101.2で支持されている。第1光学素子10
7〜112は投影光束101.1を基板106.1に投影し、これにより、投影パターン
の物点を基板106.1の像点に結像する。
さらに測定装置113が設けられており、この測定装置(以下にさらに詳述する)によ
って、マスク104.1の投影パターンを基板106.1に結像した際の投影系102の
結像誤差が検出される。このために、測定装置113は、測定光源、第2光学素子群11
5および第1検出ユニット116を有する第1測定ユニット113.1を備える。第2光
学素子群115は、第2光学素子117,118,119,120,121,122を備
え、これらのうち、それぞれ1つの第2光学素子は、以下にさらに詳述するように、いず
れか1つの第1光学素子107〜112に対していずれの時点でも規定された空間的な関
係にある。
測定光点114および検出ユニット116は、図示の実施例では、基準構造部123に
堅固に結合されており、基準構造部123はベース構造部101.2で支持されている。
基準構造部123,測定光源114および検出ユニット116は、いずれの時点でも測定
光源114と検出ユニット116との間の規定された空間関係が生じるように熱的および
機械的に十分に安定した構成素子である。しかしながら、本発明の他の変化態様では、適
宜な測定技術(連続的または間欠的なもの)によって測定光源と検出ユニットとの間の空
間関係を検出し、投影系102の結像誤差を決定する際に使用することもできることは自
明である。
投影系102の結像誤差を決定するために、測定光源114は測定光束114.1を放
出し、この測定光束は、第2光学素子117〜122によって検出ユニット116に偏向
または投影される。検出ユニット116は、測定光束114.1の生じた波面の位置およ
び形状に関係して所定の第1検出信号S1を生成し、この検出信号は測定装置113の処
理ユニット124に出力される。処理ユニット124は、次いでこの第1検出信号S1を
用いて投影系102の結像誤差を決定する。
本発明の好ましい変化態様では、さらに投影系102の結像誤差を決定するための測定
光源114は、測定光束114.1の他に、図1に測定光束114.2により示唆したよ
うに少なくとも1つの別の測定光束を放出する。複数の測定光束の使用は、例えば国際公
開第01/63233号(ヴェークマン)により既知であり、その開示内容全体は参照に
より本明細書に組み入れられるものとする。この別の測定光束114.2は、同様に第2
光学素子117〜122によって検出ユニット116に偏向または投影される。測定ユニ
ット116は別の測定光束114.2の生じた波面の位置および形状に関係して別の所定
の第1検出信号S1を生成し、この第1検出信号S1は、測定装置113の処理ユニット
124に出力される。処理ユニット124は、次いでこの別の第1検出信号S1を用いて
投影系102の結像誤差を決定する。
換言すれば、第1測定ユニット113.1には投影系102の関連結像誤差を決定する
ことのできる複数の測定経路が形成されていてもよい。それぞれの測定経路は、測定光源
114の適宜な測定光束114.1または114.2を生成する個別の光源に設けられて
いてもよい。同様に、検出ユニット116は、複数の別個のセンサ(例えば、それぞれの
測定経路につき1つのセンサ)を備えていてもよい。しかしながら、複数の測定経路また
は全ての測定経路のために共通のセンサが設けられていてもよい。
第1測定ユニット113.1の個別の測定経路における測定は、任意に規定可能な時間
的順序で行うことができる。好ましくは、個別の測定経路における測定は時間的に同期し
て(したがって、ほぼ同時に)行われる。なぜなら、これにより、個々の測定経路による
測定値の既知の相関により、それぞれの結像誤差に関する特に確実な表示が可能となるか
らである。
第2光学素子117〜122は、上述のように、いずれの時点でもそれぞれの第1光学
素子107〜112と、これに対応した第2光学素子117〜122との間に正確に規定
された空間関係が生じるように第1光学素子107〜112に結合されている。図1に示
した実施例では、このために、それぞれの第2光学素子117〜122は、対応した第1
光学素子107〜112に直接に、堅固に結合されている。
このために、それぞれの光学素子117〜122は、いずれの時点でも光学素子117
〜122と関連した第1光学素子107〜112との間に正確に規定された空間関係を確
保するために、対応した第1光学素子107〜112の保持構造部(例えばフレームまた
は保持リングなど)に直接に固定されていてもよい。同様に、第2光学素子117〜12
2は、(適宜な十分に安定した結合技術によって)対応した光学素子107〜112に直
接に固定されていることも可能である。
これに対して、第2光学素子122は基準構造部123で支持されたギア装置125を
介して、対応した第1光学素子112に結合されている。ギア装置125の構成に応じて
、第1光学素子112の第1の運動とこれにより生じる第2光学素子122の第2の運動
との間で所定の運動伝達が生じる。
この場合、(図1に示したように)ギア装置125によって、第1自由度による第1光
学素子112の第1の運動が、第1自由度とは異なる第2自由度による第2光学素子の第
2の運動を付与するという作用を達成することができる。場合によっては第1および第2
自由度の形式(並進または回転)は異なっていてもよい。したがって、例えば、z-軸線に
沿った第1光学素子112の並進がy-軸線に対して平行な軸線を中心とした第2光学素子
122の回転を誘起する。
付加的または代替的に、ギア装置125の適宜な構成によって、第1光学素子112お
よび第2光学素子122の移動を同じ自由度で行うことを達成することもできる。図1の
ギア装置125では、例えばx-軸またはy-軸に沿った第1光学素子112の並進が、x-軸
またはy-軸に沿った第2光学素子112の同一の並進を引き起こす。同様に、x-軸または
y-軸に対して平行な軸線を中心とした回転により、x-軸またはy-軸に対して平行な軸線を
中心として第2光学素子122の回転が生じる。
ギア装置125は、基本的に任意の形態で構成されていてよい。したがって、一体的に
構成されていてもよいし、複数部材により構成されていてもよい。適宜な数のレバー素子
およびこれに結合されたジョイントが設けられていてもよい。有利には、それぞれのジョ
イントは固体ジョイント(弾性ジョイント、板ばね素子など)として構成されており、こ
れにより、製造精度の影響(例えば不都合な遊び)が最小限となり、第1および第2光学
素子間でいずれの時点でも規定された空間的関係が簡単に確保される。
図1に示した実施例では、さらに第2光学素子は、第2光学素子によって規定される光
軸115.1が光軸105.1の方向に延在するように配置されている。したがって堅固
な結合で、第1光学素子107〜112のz-軸線方向の並進が、z-軸線方向の第2光学素
子117〜122の並進に変換される。しかしながら、本発明の他の実施形態では、少な
くとも個別の光学素子については、それぞれの光軸の方向は異なっていてもよい。
それぞれの第1光学素子107〜112と、対応した第2光学素子117〜122との
間にそれぞれの時点で規定される機械的結合により、それぞれの第1光学素子107〜1
12の状態変化(ここでは位置および/または配向の変化)が対応した第2光学素子11
7〜122の適宜な状態変化(位置および/または配向)を伴うが達成される。
第2光学素子117〜122の状態変化は、第2光学素子群115の結像特性または収
差の変化を伴い、この変化は、検出ユニット116で生じる測定光束114.1の波面の
幾何学配置および/または位置の変化をもたらす。これは、検出ユニット116が供給す
る第1検出信号S1の変化を伴う。したがって、検出ユニット116の適宜な測定技術は
、第2光学素子群の結像特性の変化、すなわち、1つ以上の波面センサによって、生じる
波面の変化を1つ以上の視野点で検出する。波面測定のために、異なる既知の装置および
原理を使用することができる。これには、特に干渉計(マイケルソン、トワイマン−グリ
ーン、シヤリング干渉計、点回折干渉計など)が挙げられる。同様に、波面センサも挙げ
られる。波面センサは、瞳を区分し(すなわち、部分瞳に分割する)、光束の集束位置ま
たは集束位置の変化を部分瞳から決定することに基づいている。このためには、例えば、
ハルトマン、シャック・ハルトマンなどの種類のセンサがある。
別の使用可能なセンサ種類は、(点像からの)「位相回復」と呼ばれる測定方法にした
がって作動する(「位相回復技術」または「空中画像測定技術」と呼ばれる)。この場合
、測定画像のそれぞれの点像の領域における三次元強度分布から瞳における適宜な位相分
布が算出される。三次元強度分布を検出するためには、二次元センサ(例えば、平坦な強
度分布を検出するカメラなど)が三次元における集束範囲またはビームウェストを通って
(センサの測定面に対して横方向に)移動される。したがって、強度分布の検出は層毎に
行われる。このようにして得られた画像スタックから、(いわゆる「位相回復アルゴリズ
ム」によって)射出瞳における波面を算出することができる。
さらに、当然ながら、第2光学素子117〜122の検出すべき状態変化は、例えば側
方画像ずれまたは集束変化などの測定装置113の単純な測定値にも影響を与える場合が
ある。この場合、検出ユニットに、波面測定技術以外に、例えば、集束センサ(光軸に沿
った集束位置の変化)など別の測定技術または画像位置のずれまたは測定尺度の変化およ
び/または測定光学系の歪みのためのセンサとしてモアレ技術を設けてもよい。同様に、
波面センサと位置センサの組み合わせももちろん可能である。
あらかじめ検出され、処理ユニット124に記憶された測定装置113のモデルによっ
て、波面センサの測定データに基づき第2光学素子117〜122の状態変化(位置およ
び/または配向)を決定することができる。測定装置113のモデルは、あらかじめ(例
えば適宜なシミュレーション計算により)理論的および/または実験的(例えば、適宜な
較正によって)に検出することができる。測定装置113のモデルは、この場合、波面セ
ンサの測定データと第2光学素子117〜122の状態変化との間の関係を再現する。
上述のような第1光学素子107〜112と第2光学素子117〜122との間の所定
の結合により、処理ユニット124は第2光学素子117〜122の状態変化から第1光
学素子107〜112の対応した状態変化を検出する。
第1光学素子107〜112のこれらの状態変化から、処理ユニットは、あらかじめ検
出され、処理ユニット124に記憶された第1光学素子群105.2のモデルを用いて、
第1光学素子群105.2の現在の結像特性または現在の結像誤差を決定する。第1光学
素子群105.2のモデルは、あらかじめ(例えば適宜なシミュレーション計算により)
理論的および/または実験的(例えば、適宜な較正によって)に第1光学素子群105.
2のために検出することができる。第1光学素子群105.2のモデルは、この場合、第
1光学素子群105.2とそれぞれの結像誤差との間の関係を再現する。
処理ユニット124はそれぞれ現在検出された結像誤差を補正装置127の制御装置1
26に伝達する。制御装置126は、第1光学素子群105.2の現在検出した結像誤差
から、アクチュエータ装置128および129のための制御信号を検出する。アクチュエ
ータ装置128および129は、個別の第1光学素子109または112に結合され、既
知の方法で、それぞれの第1光学素子109または112の位置および/または配向およ
び/または幾何学形状を変更し、これにより、現在検出された結像誤差が減じられる。
それぞれの時点で規定された空間的な関係を第1光学素子107〜112と別個の第2
光学素子117〜122との間に用いることにより、結像誤差の検出および補正を基板1
06.1の実際の露光中にリアルタイムで行うことができ、この場合に基板の露光工程が
これにより損なわれることがないという利点をもたらす。
本実施例では、2つのアクチュエータ装置128および129のみが設けられている。
しかしながら、本発明の他の変化態様では、任意の数のアクチュエータ装置を設けてもよ
い。(図1に対応した破線輪郭で示したように)特にそれぞれの第1光学素子107〜1
12に適宜なアクチュエータ装置を設けてもよい。
好ましくは、測定装置113は、第2光学素子群115の結像特性の変化、ひいては波
面センサの測定データの変化を個々の第2光学素子117〜122の所定の状態変化にで
きるだけ一義的に対応させることができるように構成される。この場合、特に複数のギア
装置125の使用により、第1光学素子の移動を、対応した第2光学素子の移動に変換す
ることが可能であり、これにより、測定データの変化と個々の第2光学素子117〜12
2の状態変化との対応の一義性が高められる。特に、このようなギア装置によって得られ
る自由度の形式変化(並進または回転)は、ここでは極めて有利となる場合がある。
本実施例で関連した第2光学素子117〜122の全ての自由度について測定装置11
3の感度は、測定装置113の構成により既知であり(したがって、例えば、コマ収差セ
ンタリングZ7/Z8および非点収差センタリングZ5/Z6の変化は、光学素子の並進
時に比率4:1に対応する)測定装置113の記憶されたモデルに対応して保存される。
第2光学素子群115の状態が不良である場合(感度、一義性、分離可能性、個々の第
2光学素子の状態変化に対する感度の連立方程式の直交性が小さい)、付加的な光学素子
群を付加することにより、状態を改善することができる。このために、例えば、(第2光
学素子群115と同一の)第3光学素子群が(例えば、z-軸に関して90°または180
°だけ回動された)別の箇所で第1光学素子群に同じまた異なる形式で結合されるように
してもよい。同様に、以下に図2および図3との関係で説明するように、構成の最適化お
よび2個以上の異なる光学素子群と第1光学素子群107〜112との連結により、測定
装置113の状態の最適化を達成することが可能である。
特に測定装置113の感度が投影系102の感度に対応し、これらの感度の間に少なく
とも単純な関係(例えば比例関係)が生じるように測定装置113を構成することができ
る。この関連で、ギア装置125は適宜な運動伝達選択により測定装置113の感度をそ
れぞれの測定目的に適合させることが可能となる。
1つ以上のギア装置により測定装置113の感度をこのように適合させることは、例え
ば、測定装置113が対応した第2光学系117〜122の状態変化に対して敏感である
よりも、投影系102の結像誤差が1つ以上の第1光学素子107〜112の状態変化に
対してより敏感である場合には有利である。運動伝達により、測定装置113の感度を簡
単に適宜な方法で高めることができる。特に運動伝達により、第2光学系117〜122
の状態変化に対する測定装置113の感度が、対応した第1光学素子107〜112の状
態変化に対する投影系102の結像誤差の感度を達成するか、または超えることさえある
さらに、この関連では、第1光学素子107〜112の並進が、このようなギア装置に
よって、対応した第2光学系117〜122の回転に変換されることも有利である。最後
に、このようなギア装置は、他の境界条件(利用可能な構成スペース、克服すべき間隔な
ど)を考慮するために不可欠である場合がある。
測定装置の運動学および感度は、場合によっては、十分に良好に論理的にモデル化する
ことができないか、または実際に実施することができないか、あるいは散乱を考慮しなけ
ればならないので、上述のように、モデルを形成または適合させるためには測定装置11
3の較正が必要となる場合がある。このような較正のためには、まず対物レンズ105を
システム干渉計によって最適化することができ、これにより、全ての構成素子が、例えば
対応したマニピュレータによって目標状態(目標位置、目標配向および)にもたらされる
。この場合、目標状態とは、収差が、理想状態からの最小限に達成可能なずれに調整され
る状態である。理想状態は、例えば、結像すべきパターンの寸法、照明設定、使用される
結像視野の大きさなどの様々な結像パラメータに関係している。
目標状態の達成後、測定装置113の検出ユニット(すなわち、例えばセンサ、測定器
など)が「ゼロ」に設定される(したがって、それらの固有誤差も「ゼロ」に設定される
)。次いでこの状態は、マイクロリソグラフィ装置101の作動時に、結像誤差の補正を
制御するための目標状態でもある。投影装置102の構成素子(特に第1光学素子107
〜112)の位置変化に対する測定装置113の光学素子の感度は、投影装置102のア
クチュエータの意図的な(連続的または段階的な)調整によって検出され、感度曲線が決
定される。このようにして検出された感度曲線は、モデルまたは感度マトリクスに保存さ
れ、測定装置113の測定データからの制御動作時に、結像誤差の補正のために必要なア
クチュエータ移動を検出し、誘起することができる。
本実施例では、定置の基準構造部123は、測定装置113のための基準としての役割
を果たす。しかしながら、本発明の他の変化態様では、相対的な(場合によっては可動な
)基準も有意義な場合もあることは自明である。所望の測定値が相対位置、例えば基板装
置106に対するマスク装置104の相対位置を含む場合、これは特に有利である。この
場合、測定装置の基準として対物レンズ105の所定の基準範囲が有意義となる場合があ
る。
同様に、測定光源および/または検出ユニットが基準構造部123にではなく、図1に
破線輪郭130および131で示唆したように測定装置104または基板装置106に接
続されていてもよい。接続は、ここでは第1および第2光学素子の間の接続について説明
した方法(直接に堅固な、またはギア装置を介した接続)に類似して行ってもよい。これ
に関しては上記説明を参照されたい。
さらに、測定光源および検出ユニットは相互に隣接して配置し、場合によっては単一ユ
ニットに組み込み、これにより、測定光源と検出ユニットとの間に規定された空間関係を
形成してもよい。図1の構成では、例えば、図1に破線輪郭132で示したように、検出
ユニット116の位置に1つの反射素子のみ、例えば、ミラーなどを配置することもでき
る。
マスク装置104または基板装置106の状態変化を一緒に検出することができるよう
に、本発明の他の変化態様では、類似の形式で第1光学素子107〜112と適宜な第2
光学素子とを連結してもよい。
6つの自由度全てにおけるずれを極めて迅速に検出し、これらのずれを迅速な制御のた
めに利用きるように、(上述のように)測定装置に複数の測定経路または測定原理を設け
てもよい。例えばx-軸線およびy-軸線方向の並進ならびにz-軸線を中心とした回転のため
にモアレ経路を設けてもよい。Z-軸線方向の並進ならびにX-軸線およびy-軸線を中心とし
た回転について迅速な焦点検出を行ってもよい。
既に述べたように、図1は結像装置101を著しく概略化した図を示す。第1および第
2光学素子はレンズにより(簡略化のために)概略的に示されている。しかしながら、第
1光学素子107〜112および第2光学素子117〜122は単独または任意の組み合
わせで屈折性、回折性および反射性の光学素子によって形成してもよい。特に光学素子は
任意の適宜な幾何学形状を有していてよい。したがって、光学素子は、球面状、非球面状
、円柱状、平行平面状の光学面または自由形状面を光学面として使用することができる。
第2光学素子117〜122では、光学素子の幾何学形状は、得ようとする測定結果に
合わせて調整してもよい。さらに第2光学素子117〜122の光学面における異なる自
由度に沿って異なる形態(例えば、異なる自由度に沿って異なる曲率)により、これらの
異なる自由度に沿った移動により検出ユニット116の検出信号に異なる変化が生じ、こ
れにより、それぞれの第2光学素子117〜123の対応した状態変化を的意義に一義的
に推定することが可能となる。
したがって、例えば第2光学素子の幾何学形状は(例えば図1に破線輪郭132によっ
て示唆した光学素子の場合のように)状態変化の容易な識別のために役立つ。2つ以上の
測定通路(例えば、2つの部分測定光束114.1および114.2)および対応して隣
接して配置された2つの(凸面または凹面)ミラー132,133)を有する一変化態様
では、x-軸線またはy-軸線に沿ったミラー132,133の並進は、2つの測定通路で戻
る波面の同じ大きさの傾斜をもたらし、同様に、z-軸線に沿った並進は同じ大きさの焦点
ずれをもたらす。しかしながら、z-軸線を中心とした回動は、波面の同等でない傾斜をも
たらし、x-軸線を中心とした回動は波面の同等でない焦点ずれをもたらす。
本実施例では、それぞれの第1光学素子107〜112はそれぞれ1つの第2光学素子
117〜122に連結される。しかしながら、本発明の他の変化態様では、第1光学素子
107〜112の一部のみがそれぞれ1つ以上の第2光学素子に連結されていてもよい。
特に、十分に(熱的および機械的に)安定した第1光学素子の状態検出も同様に省略する
ことができる。
上述のように、第2光学素子群115の状態が不十分な場合には、付加的な光学素子群
を設けることにより状態を改善することができる。マイクロリソグラフィ装置101では
、図2および図3を参照して以下に説明するように、これは測定装置113の第3光学素
子群134によって実施される。
図2は、(図1に比べて)著しく具体的なマイクロリソグラフィ装置101の形態を示
す。マイクロリソグラフィ装置101はEUV領域の波長13.5nmの投影光束101
.1によって作動する。この理由から、第1光学素子107〜112はこの構成ではミラ
ーの形態の反射光学素子としてのみ構成されている。図3は、図2のマイクロリソグラフ
ィ装置101の概略図を示す。
冒頭で述べたように、例えば、通常の干渉計測定では、所定の測定装置によってλ/1
000の波面傾斜を確実に検出することが可能である。測定装置が、例えば100mmの
直径を有している場合、これは測定波長λが汎用のヘリウムネオンレーザである場合の6
nradの角度分解能に相当する。
基板106.1の現在の露光プロセスの間、像位置は特定の限界の枠内にとどまる必要
がある。上述のように、EUV対物レンズ105の光路は数メートルの長さであってよい
。25nmのオーダの露光パターンでは、像変位はナノメートル範囲でしかあってはなら
ない。2.5mの投影光束101.1の光路長さ(ミラー107と基板106.1との間
)および1nmの許容像変位によって、0.2nradのみのミラー107の最大許容傾斜が
生じる。光路に続くミラー108〜112では、このような角度許容差は段階的に増大す
る。なぜなら、像平面との(すなわち、基板106.1との)間隔は投影光束101.1
の光路に沿って連続的に減少するからである。しかしながら、ここでも理想的には角度許
容差はsub-nrad領域に保持しなければならない。
これを達成するために、本発明によれば、測定装置113によってsub-nrad領域におけ
るミラー107〜112の配向の時間分解式測定が行われ、これにより、基板106.1
の露光に平行してリアルタイムで像位置変化を検出し、補正装置127によって補正する
ことができる。
以下に、このことをミラー107,108および112により説明する。全てのミラー
107〜112の傾斜(配向変化として)は、程度は異なっていても像変位をもたらす場
合があるので、全てのミラーの傾斜を以下に説明する方法で観察し、補正することが好ま
しい。
このために、測定装置113は第2測定光源134と第3光学素子群135と第2検出
ユニット136とを有する干渉計型の第2測定ユニット113.2を備える。第3光学素
子群135は、測定ミラー137,138および139の形態の一連の反射性第3光学素
子の他に、部分反射性の光学基準素子140を備える。第3光学素子137,138およ
び139は、本実施例ではそれぞれミラー107,108および112のいずれかに連結
されており、いずれの時点でもミラー107,108および112と対応した第3光学素
子137,138および139との間には規定された空間関係が提供されている。このた
めに、第3光学素子137,138および139と第1光学素子107,108および1
12との間の連結は、第1光学素子107〜112と第2光学素子117〜122の上記
連結と類似に(すなわち、直接に堅固に、および/またはギア装置によって)実施しても
よい。本実施例では、第3光学素子137,138および139はそれぞれのミラー10
7,108および112に堅固に結合されている。
本発明によれば、sub-nrad領域におけるミラー107〜112の配向を測定する場合の
解像度は、測定ミラー137,139と基準素子140との間または測定ミラー137と
測定ミラー138との間にフィゾーキャビティの形態の光学キャビティが形成されること
により得られる。このキャビティは、それぞれの光学キャビティ141,142または1
43を形成する光学素子137〜140が、キャビティに連結される測定光束が、キャビ
ティを再び離れ、第2検出ユニット136に入射する前に(それぞれのキャビティを形成
する光学素子137〜140で)複数回Mの反射を経験するように配置される。これらの
M回の反射により、キャビティを形成する2つの光学素子137〜140の間の角度ずれ
は増大し、これにより、sub-nrad領域の角度分解能を上述の簡単な干渉計による測定によ
っても容易に達成することができる。
このために第2測定光源134は、とりわけ測定光束134.1を放出し、測定光束1
34.1はビームスプリッタ144によって基準素子140に到達する。入射する測定光
束134.1は部分反射性基準素子140を通過し、射出側で、光学基準面の表面領域1
40.1で反射され、これにより戻る基準波が生じる。透過された部分は、基準素子14
0と第1測定ミラー137との間に形成された光学キャビティ141を通過し、測定ミラ
ー137の第1表面領域137.1で反射される。
基準面140.1および第1表面領域137.1の面垂線は、(目標状態で)相互に傾
斜して配置されており、測定光線134.1は、(目標状態で)自身に向けて折り返され
ない。第1表面領域137.1から、測定光束134.1はキャビティ141の内部で基
準素子140に反射して戻され、有利には全反射表面領域140.2に入射し、そこで新
たに反射される。測定光束134.1はキャビティ141を新たに通過し、第1測定ミラ
ー137の表面領域137.2に垂直に入射する。これにより、測定光束134.1は自
身に戻るように折り返され、ほぼ同じ経路を戻り、基準素子140の表面領域140.1
における部分反射領域でキャビティ141を再び離れる。測定光束134.1は、次いで
ビームスプリッタ144によって検出ユニット136に偏向され、そこで、第1測定ミラ
ー137と基準素子140との間の角度ずれ、ひいては(それぞれの時点で規定される連
結により)第1光学素子107の(目標状態からの)現在の角度ずれを表す第2検出信号
S2を生成する。
検出信号S2は処理ユニット124に伝達され、処理ユニット124は、検出信号S2
を上記のように使用し、投影装置102の結像誤差を検出し、これを補正装置127によ
って補正する。
図3に示したキャビティ141の内部におけるM=5回の反射は、用途によってはsub-
nrad領域で上記の要求される角度分解能を達成するためにはまだ不十分な場合もある。し
たがって、キャビティ141を形成する光学面137.1,140.2および137.2
1の配向を簡単に選択することによって、キャビティ141の内部で任意の数の反射が達
成されることは自明である。有利には、キャビティの通過時に少なくとも21回の反射が
行われる。
第1測定ミラー137と基準素子140との間の角度ずれが、反射された測定光束13
4.1の反射光線が入射する測定光線と基準素子140で重なるほどに小さい場合、部分
的に透過され、検出ユニット136に戻され、そこで検出ユニット136の中間フォーカ
スの絞りによって捕捉することができる。
測定波と基準波の位相を相対的にずらすために位相シフト干渉評価を考慮して、基準素
子140を適宜なアクチュエータによって方向145に沿ってずらしてもよい。代替的に
は、波長シフトによる位相シフトも可能である。これを回避したい場合、米国特許第53
61312号明細書(キュッヒェル)により既知であり広く知られているいわゆる「DM
I方法」を用いてもよい。同明細書の開示内容は、参照により本明細書に組み込まれるも
のとする。さらに、検出ユニット136のインターフェログラムに搬送周波数が生じ、こ
れが(検出ユニット136または処理ユニット124)後から計算により除去されるよう
にキャビティ141を形成してもよい。
同様に、別の測定光束134.3および基準素子140と第3測定ミラー139との間
に形成されたキャビティ143によって、第3測定ミラー139と基準素子140との間
の角度ずれが検出され、投影装置102の結像誤差の決定および補正のために使用される
第2測定光源134は、さらに測定光束134.2を放出し、測定光束134.2は、
第1測定ミラー137と第2測定ミラー138との間に形成された光学キャビティ142
に進入する。この場合、測定光束134.2は、まずいわゆる「リトロー配置」の格子1
37.3の形態の回折素子に入射する。第1測定ミラー137の格子137.3によって
、戻る基準波が生成される。格子(ゼロ回折オーダ)で測定光束134.2の鏡面反射光
が、第1測定ミラー137の表面領域137.4に垂直に入射し、自身で折り返されるま
で、(測定光束134.1とキャビティ141との関係で)上述したようにキャビティ1
42を複数回通過する。次いで測定光束134.2は、実質的におなじ経路を戻り、格子
137.3を介して再びキャビティ142を離れる。ここでも第1測定ミラー137と第
2測定ミラー138との間の(目標状態からの)角度ずれがキャビティ142の内部にお
ける反射回数だけ加算される。
次いで測定光束134.2は、ビームスプリッタ144によって検出ユニット136に
偏向され、そこで、第1測定ミラー137と第2測定ミラー138との間の角度ずれ、ひ
いては(それぞれの時点で規定された結合により)第1光学素子107および108の間
の(目標状態からの)現在の角度ずれを表す第3検出信号S3を生成する。
位相をずらすために、2つの測定ミラー137および138のいずれか一方が変位可能
に支承されていてもよい。(関連する第1光学素子107,108との所定の連結を考慮
して)これを回避したい場合には、ここでもいわゆる「波長チューニング」を使用しても
よいし、または上記DMI方法を用いてもよい。
既に述べたように、基準素子140および測定ミラー137〜139は、好ましくは局
所的に可変の反射率を有している。部分的反射により基準波を生成する基準素子140の
表面領域140.1は、例えば、約40%の反射率を有していてもよく、他の表面領域1
40.2および140.3は、例えば、ほぼ100%の高い反射率を有している。第1測
定ミラー137の表面領域137.1〜137.2は、同様に高い反射率を有していても
よく、この場合、基準波と測定波は比較可能な強度を有し、これにより、有利には検出ユ
ニット136の領域に干渉パターンの高いコントラストが確保される。
図3からわかるように、本実施例では、さらにマスクステージ104.2に関して対物
レンズ105の側方変位(x-方向およびy-方向のずれ)の決定が行われる。なぜならこの
変位は、像平面(すなわち基板106.1)における側方像位置に影響を及ぼすからであ
る。このために、マイクロリソグラフィ装置101の作動時に作動されない、固定された
マスクテーブルの領域にマスク基準体104.4が配置されている。基準構造部123に
結合され、(既知の方法で構成された)長さ測定ユニット146は、基準体104.4と
基準素子140との間の空間関係を検出し、結像誤差の決定時にさらなる処理を行うため
に適宜な情報を処理ユニット124に伝達する。長さユニット136の解像度は、許容さ
れる像変位のオーダ、すなわち、本実施例ではナノメータ範囲である。
第2測定ユニット113.2の適宜な拡大または他の測定ユニットによって3つのさら
なる第1光学素子109〜111の角度ずれを(絶対的および/または相対的に)検出す
ることもできることは自明である。特に本発明により基板106.1の露光に平行してリ
アルタイムで単一の基準体、すなわち、基準素子140に関して全ての角度ずれを検出し
、測定ユニット102に対して対物レンズ105の全体の位置を付加的に検出することが
できる。これら全ての値は、有利には共通した単一の基準体140に関係している。した
がって、基準素子140は、低い熱膨張率(CTE)を有する材料または複合材料から構
成されている。特に、ゼロデュア、ULE、石英ガラスなどの材料を基準素子140の光
透過性部分のために使用することができる。好ましくは、基準素子は、弾性変形を防止す
るために、7未満のアスペクト比、特に3未満のアスペクト比を有するように構成されて
いる。
有利には、基準素子140には、熱的に安定化させるために光線保護シールド147の
形態の熱保護シールドが設けられている。光線保護シールド147は、例えば、それぞれ
の測定光束のための開口を有する金属薄膜または金属カバーであってもよい。随意に、光
線保護シールド147を能動的および/または受動的に冷却することもできる。特に、保
護シールド147を一定温度に保持するために温度制御部を設けてもよい。
この関連で、測定装置の他の構成とは無関係に測定装置の光学素子のためにこのような
熱保護シールドを設けることは、独立して保護可能な発明思想であることに言及しておく
本発明による測定装置113の別の利点は、検出ユニット136のインターフェログラ
ムにおける測定ミラー137〜139の角度ずれの変化が干渉縞間隔の変化をもたらし、
位相シフト評価後には波面傾斜係数の変化をもたらすことである。検出ユニット136の
インターフェログラムにおけるそれぞれの測定光束134.1〜134.3に沿った測定
ミラー137〜139の並進的な変化は、干渉縞位置の変化のみをもたらし、位相シフト
評価後にはずれの変化をもたらす。このようにして、角度ずれの変化の検出に付加的に、
それぞれの測定光束134.1〜134.3に沿った測定ミラー137〜139の並進的
変化を検出することもできる。
本実施例の別の変化態様では、(対物レンズ105と一緒に並進可能な)測定装置11
3は、対物レンズ105の搬送時に(記録ステップで)さらに作動される。このために、
例えば、可動な給電部113.4(バッテリーまたは蓄電器など)が設けられていてもよ
い。給電部113.4は測定装置113の電気的に作動される構成素子、特に処理ユニッ
ト124に電気エネルギーを供給する。測定装置113のそれぞれのインターフェログラ
ムは、連続的に、または規則的な時間間隔をおいて記録され、場合によっては適宜な形式
で処理ユニット124のメモリ124.1に記憶される。搬送後に、第1光学素子107
〜112の状態変化(幾何学形状および/または位置および/または配向)を(分析ステ
ップで)メモリ124.1により読み出されたデータに基づいて再現することができ、簡
単に(補正ステップで)適宜な補正を行うことができる。
この関連では、状態変化の検出形式または使用される測定装置の形態とは無関係に投影
系の光学素子における状態変化を移動時に検出することは独立して保護可能な発明思想で
ある。
図4は、図1〜図3に示したいわゆる「走査原理」に基づいて作動するマイクロリソグ
ラフィ装置101により実施されるマイクロリソグラフィ方法の形式の本発明による結像
方法の有利な実施形態のブロック図を示す。
まず、ステップ148.1でマイクロリソグラフィ方法の方法プロセスが開始され、次
いでステップ148.2で、図1から図3に示した構成のマイクロリソグラフィ装置10
1が使用可能な状態となる。
検出および補正ステップ148.3で、基板106.1の露光に平行して、まず決定ス
テップ148.4で結像誤差の決定が行われる。このために、図1〜図3に関係して記載
したように、測定装置113の測定ユニット113.1および113.2によって検出信
号S1〜S3が生成され、処理ユニット124で処理される。
決定された基板106.1における投影パターン104.3の結像時の結像誤差に関係
して、次いで補正ステップ148.5で補正装置127によって、図1〜図3との関連で
上述したそれぞれの結像誤差の補正が行われ、この場合、制御装置126が第1光学素子
109および112のアクチュエータ128,129を適宜に制御する。
上述のように、結像誤差の決定および補正が基板106.1の露光に平行して行われる
。基板106.1の露光の中断を必要とする結像誤差が少なくとも検出されない場合には
、露光は結像誤差の決定および補正と同時に、結像誤差の決定および補正とは無関係に行
われる。
次いでさらなるステップ148.6で、そもそもさらなる補正プロセスを行うべきか否
かがチェックされ、方法プロセスはステップ148.7で終了する。そうでない場合には
、ステップ148.4に戻る。
基板106.1の露光に平行してリアルタイムで進行する投影系102の結像誤差の高
精度の検出により、本発明によって、マイクロリソグラフィ装置において投影系102の
結像誤差に関して、結像システムの光学素子の状態(幾何学形状および/または位置およ
び/または配向)に著しい影響を有する構成素子、特に第1光学素子107〜112のた
めの支持構造部を、感熱材料(すなわち、例えば、比較的高い熱膨張率を有する材料)か
ら完全または部分的に構成することが可能であり、これにより、熱に誘起され、結像誤差
をもたらす妨害を容易に補償することができる。
特に、これにより、(一般に5nm〜20nmの作動波長を有する)EUVシステムの
場合、これまでに既知のシステムとは反対に、場合によってはこれらの構成素子のために
、比較的感熱性を有するが、安価なインバールなどの材料を使用することさえも可能であ
る。したがって、これらの構成素子のためには、熱膨張係数(CTE)がほぼインバール
の熱膨張係数であるか、またはこれを超える、すなわち、特に0.6・10−6−1
特に1.2・10−6−1を超える材料または複合材料を使用することもできる。
この関連で、EUV領域で作動する投影系においてこのように感熱性の材料により支持
される光学素子の状態変化を、状態変化の検出形式または使用される測定装置の構成とは
無関係に、基板の露光に平行してリアルタイムで検出し、補正することは、独立して保護
可能な発明思想であることに言及しておく。
第2実施例
以下に図5を参照して本発明によるマイクロリソグラフィ装置201の別の有利な実施
例を説明する。図5は、図3の詳細図に対応したマイクロリソグラフィ装置201の詳細
図を示す。
マイクロリソグラフィ装置201は、その構成および作動形式において、基本的に図1
〜図3に示したマイクロリソグラフィ装置101に対応しており、したがって、ここでは
相違のみを説明する。特に、同様の構成素子には値100を加算した符号を付す。以下に
特に詳述しない場合、これらの構成素子の特性に関しては、第1実施例に関連した上記構
成の構成素子を参照されたい。
マイクロリソグラフィ装置201とマイクロリソグラフィ装置101との唯一の相違は
、第2測定ユニット213.2の構成である。マイクロリソグラフィ装置201において
も、ミラー107〜112の配向はsub-nrad領域で時間分解式に測定され、これに基づき
、基板106.1の露光に平行してリアルタイムで像位置変化を検出し、補正装置127
によって補正することができる。
次に例示的にミラー107および112に基づきこれについて説明する。全てのミラー
107〜112の傾斜(配向変化として)は、程度は異なれども位置変位をもたらす場合
があるので、全てのミラーの傾斜は、好ましくは以下に説明する方法で観察し補正するこ
とができる。
第2測定ユニット213.2において、sub-nrad領域におけるミラー107〜112の
配向を測定する場合の解像度は、測定ミラー237または239と基準素子140との間
にフィゾーキャビティの形態の光学キャビティ241または243が形成されることによ
り得られる。このキャビティ241または243は複数回通過され、それぞれの光学キャ
ビティ141または143を形成する光学素子237,239および140は、キャビテ
ィに連結される測定光束がキャビティを再び離れ、第2検出ユニット236に入射する前
に(それぞれのキャビティを形成する光学素子237,239および240で)複数回M
だけ反射されるように配置される。これらのM回の反射により、キャビティを形成する2
つの光学素子237,239および240の間の角度ずれは増大し、これにより、sub-nr
ad領域の角度分解能を上述の簡単な干渉計による測定によっても容易に達成することがで
きる。
このために第2測定光源234は、とりわけ測定光束234.1を放出し、測定光束2
34.1はビームスプリッタ244によって基準素子240に到達する。入射する測定光
束234.1は部分反射性基準素子240を通過し、射出側で、光学基準面の表面領域2
40.1で反射され、これにより、戻る基準波が生じる。透過された部分は、基準素子2
40と第1測定ミラー237との間に形成された光学キャビティ241を通過し、測定ミ
ラー237の第1表面領域237.1で反射される。
図4の構成の場合とは異なり、基準面240.1および第1表面領域237.1の面垂
線は、(目標状態で)相互に平行に配置されており、測定光線234.1は、(目標状態
で)自身に戻るように折り返される。第1表面領域237.1から、測定光束234.1
はキャビティ241の内部で基準体240に反射して戻され、新たに部分反射表面領域2
40.1に入射し、そこで反射され、自身に向けて折り返される。
したがって、この変化態様ではキャビティ241における測定光束234.1の複数回
の反射が生じ、部分反射表面領域240.1における測定光束234.1のそれぞれの入
射時に、測定光束234.1の一部がキャビティ241から放出し、ビームスプリッタ2
44によって検出ユニット236に偏向される。
いわゆる「白色光干渉法」により、これら複数回の反射を選択することができる。この
ためには、米国特許第4,872,755号明細書(その開示内容全体は参照により本明
細書に組み込まれる)により既知のように、いわゆる「白色光干渉計」(より正確には、
空間的短コヒーレンス光源を有する干渉計)が遅延距離と組み合わされる。
空間的短コヒーレンス光源234.4は、いわば単色光を遅延距離234.5に連結す
る。遅延距離234.5の後には、国際公開第2006/102997号(アルテンベル
ガー等、その開示内容全体は参照により本明細書に組み込まれる)により既知のように、
光は単一モード光ファイバ234.6に連結され、コリメータ234.7を介してキャビ
ティ241に案内される。光ファイバ234.6は、遅延距離234.5の後方で波面の
収差または傾斜を除去し、構成素子の柔軟な空間配置を可能にする。遅延距離234.5
における遅延Dは、キャビティ241で所望の複数回Mだけ反射された測定光束の部分の
光学的な経路長さに対応するように調整される。したがって、(測定光束234.1の方
向の測定した)表面領域237.1と表面領域240.1との間の間隔L1について、
D=M・L1 (1)
が成り立つ。
これにより、複数回反射された光線のみが干渉に貢献し、全ての他の光線は、検出ユニ
ット236のインターフェログラムにおける背景輝度に貢献する。同様にして、他の光学
素子108〜112ついても同じことがいえるので、これらについてはさらに詳述しない
ここで、この実施形態においても図4との関連で説明した結像方法を実施することがで
きることに言及しておく。
第3実施例
以下に、図6を参照して、本発明によるマイクロリソグラフィ装置301の別の有利な
実施例を説明する。図6は、図1に対応したマイクロリソグラフィ装置301の概略図を
示す。
マイクロリソグラフィ装置301は、その構成および作動形式において、基本的に図1
〜図3に示したマイクロリソグラフィ装置101に対応しており、したがって、ここでは
相違のみを説明する。特に、同様の構成素子には値200を加算した符号を付す。以下に
特に詳述しない場合、これらの構成素子の特性に関しては、第1実施例に関連した上記構
成の構成素子を参照されたい。
マイクロリソグラフィ装置301と図1に示した構成との相違は、測定装置313の構
成にある。より正確に言えば、第1光学素子107〜112の状態変化の検出は、2つの
測定ユニット313.1および313.3によって行われる。
2つの測定ユニット131.1および313.3は、対物レンズ105の光軸105.
1に関して180°だけ回動して配置されている。この場合、測定ユニット313.1は
、(第1測定ユニット113.1と類似の形式で)第1光学素子107,109,110
および112の状態変化を検出し、測定ユニット313.3は、(同様に測定ユニット1
13.1と類似の形式で)第1光学素子108および111の状態変化を検出する。この
ために、測定ユニット313.3は別の測定光源348、別の光学素子群349および別
の検出ユニット350を備えている。
測定光源348および検出ユニット350は、別の基準構造部351に堅固に固定され
ており、この基準構造部351は堅固な結合部352を介して基準構造部123に結合さ
れており、これにより、常に正確に規定された空間関係が基準構造部123と基準構造部
351との間に提供されている。いずれの時点でも基準構造部123および351の間に
正確に規定されたこの空間関係により、処理ユニット124は、検出ユニット315およ
び350の信号から、第1実施例に関して上述したように、第1光学素子107〜112
の現在の状態変化を推定することができる。
しかしながら、本発明の別の変化態様では、図6に点線輪郭353によって示したよう
に、基準構造部123と基準構造部351との間の空間関係が適宜な測定装置によって検
出されるようにしてもよい。この情報により、検出ユニット315および350の検出信
号を共に用いて、同様に第1光学素子107〜112の現在の状態変化を推定することが
できる。
本実施例では、2つの測定ユニット313.1および313.3の交互配置が示されて
おり、測定ユニットによって状態変化を検出する第1光学素子は、別の測定ユニットによ
って状態変化を測定する第1光学素子間に空間的に配置されている。しかしながら、本発
明の別の変化態様では、状態変化の検出は、交互に配置された異なる測定ユニットによっ
てではなく、区画毎に行われるようにしてもよい。例えば、第1光学素子107〜109
の状態変化を一方の測定ユニットで検出し、第1光学素子110〜112の状態変化を別
の測定ユニットによって行ってもよい。また当然ながらこのために2つ以上の異なる測定
ユニットを設けてもよい。
さらに、本発明の他の変化態様では、一方の測定ユニットの測定光源および/また検出
ユニットは、基準構造部にではなく、他方の測定ユニットによって状態変化を検出するい
ずれか1つの第1光学素子に結合されていてもよい。ここでは、結合は当然ながら有利に
は、いずれの時点でも正確に規定された空間関係が関連した構成素子と第1光学素子との
間に提供されているように構成してもよい。図6には、このことが破線輪郭354によっ
て例示的に示されている。
この実施形態を用いて、図4との関連で説明した結像方法を実施することもできること
にここで言及しておく。
第4実施例
次に図7を参照して本発明によるマイクロリソグラフィ装置401の別の有利な実施例
を説明する。この場合、図7は、図1に対応したマイクロリソグラフィ装置401の概略
図を示す。
マイクロリソグラフィ401は、図1のマイクロリソグラフィ101に対応しており、
したがって、ここでは相違のみを説明する。特に、同様の構成素子には値300を加算し
た符号を付す。以下に特に詳述しない場合、これらの構成素子の特性に関しては、第1実
施例に関連した上記構成の構成素子を参照されたい。
マイクロリソグラフィ装置401と図1に示した構成との相違は、測定装置413の構
成にある。より正確に言えば、第1光学素子107〜112の状態変化の検出は測定ユニ
ット413.1により行われ、第2光学素子群415のいずれか1つの第2光学素子は、
いずれか1つの第1光学素子、すなわち、第1光学素子109によって形成されている。
このために、第2光学素子群415は操舵装置455および456を備え、これらの操舵
装置は、第1光学素子109を通過するように測定光束414.1を操舵する。
さらに、この変化態様では、測定光源414は基準構造部123に固定され、対応した
検出ユニット416は別の基準構造部451に配置される。測定光源414および検出ユ
ニット416は、関連した基準構造部123または451にそれぞれ固定され、これらの
基準構造部は堅固な結合部452を介して相互に結合されており、これにより、常に正確
に規定された空間関係が基準構造部123と基準構造部451との間に提供されている。
いずれの時点でも基準構造部123および351の間に正確に規定されたこの空間関係に
より、処理ユニット124は、検出ユニット416の信号から、第1実施例に関して上述
したように、第1光学素子107〜112の現在の状態変化を推定することができる。
しかしながら、本発明の別の変化態様では、図7に点線輪郭453によって示したよう
に、基準構造部123と基準構造部451との間の空間関係が適宜な測定装置によって検
出されるようにしてもよい。この情報により、検出ユニット415の検出信号を共に用い
て、同様に第1光学素子107〜112の現在の状態変化を推定することができる。
これらは対物レンズ105の光軸105.1に対して180°だけ回動して配置されて
いる。この場合、測定ユニット413.1は、(第1測定ユニット113.1と類似の形
式で)第1光学素子107,109,110および112の状態変化を検出し、測定ユニ
ット413.3は、(同様に測定ユニット113.1と類似の形式で)第1光学素子10
8および111の状態変化を検出する。このために、測定ユニット413.3は別の測定
光源448、別の光学素子群349および別の検出ユニット450を備えている。
測定光源348および検出ユニット350は、別の基準構造部351に堅固に固定され
ており、この基準構造部351は堅固な結合部352を介して基準構造部123に結合さ
れており、これにより、常に正確に規定された空間関係が基準構造部123と基準構造部
351との間に提供されている。いずれの時点でも基準構造部123および351の間に
正確に規定されたこの空間関係により、処理ユニット124は、検出ユニット315およ
び350の信号から、第1実施例に関して上述したように、第1光学素子107〜112
の現在の状態変化を推定することができる。
しかしながら、本発明の別の変化態様では、図6に点線輪郭353によって示したよう
に、基準構造部123と基準構造部351との間の空間関係が適宜な測定装置によって検
出されるようにしてもよい。この情報により、検出ユニット315および350の検出信
号を共に用いて、同様に第1光学素子107〜112の現在の状態変化を推定することが
できる。
本実施例では、第2光学素子群415のいずれか1つの第2光学素子のみが、いずれか
1つの第1光学素子107〜112によって形成されている。しかしながら、本発明の別
の変化態様では、第2光学素子群の他の個数の第2光学素子がいずれか1つの第1光学素
子によって形成されていてもよい。
この実施形態を用いて、図4との関連で説明した結像方法を実施することもできること
にここでも言及しておく。
本発明は、微小電子回路のための任意の製造方法との関連で使用することができる。こ
の場合、例えばいわゆる「ステッパー原理」などの任意の作動原理を使用することができ
る。有利には、スキャナ原理で作動する結像装置との関連で本発明を使用することができ
る。なぜなら、ここでは、本発明の利点は、結像装置の結像誤差の補正に関して特に良好
に効果的となるからである。
第1測定ユニット113.1との関連でのみ(複数の測定光束による)複数通路による
測定する実施例に基づき本発明を説明した。しかしながら、複数のこのような測定ユニッ
トを有する本発明の他の変化態様では、他の測定ユニットの全てまたは少なくとも一部が
(複数の測定光束によって)このような複数通路による測定を行うことができることは自
明である。換言すれば、本発明の枠内で行われる測定の複数通路は、複数の測定ユニット
を用いることにより得られる。しかしながら、それぞれの測定ユニット自体が複数通路に
よる測定を実施すること同様にも可能である。
基板の露光時にEUV領域の波長で作動する実施例に基づき本発明を説明した。しかし
ながら、基板の露光または他の種類の結像が他の波長で行われる用途との関連で本発明を
使用することもできることにここで言及しておく。
さらに、マイクロリソグラフィ分野の実施例に基づき本発明を説明した。しかしながら
、任意の他の用途または結像方法で本発明を使用することもできることは自明である。
さらに本発明は、(欧州特許庁審判部の判決J15/88において特許請求の範囲では
なく、明細書の一部として見なされるべき)以下の付記に規定された対象に関する。
1.像点に物点を結像するための結像ユニットと、
測定装置と
を備え、
結像ユニットは、像点における物点の結像に関与するように構成された、複数の第1光
学素子を有する第1光学素子群を備え、
測定装置は、像点における物点の結像時に生じる少なくとも1つの結像誤差を決定する
ように構成されている、特にマイクロリソグラフィのための光学結像装置において、
測定装置は、少なくとも1つの測定光源、第2光学素子群および少なくとも1つの検出
ユニットを備え、
測定光源は少なくとも1本の測定光束、特に複数の測定光束を放出し、
第2光学素子群が複数の第2光学素子を備え、第2光学素子は、少なくとも1つの検出
信号を生成するために少なくとも1本の測定光束を少なくとも1つの検出ユニットに偏向
するように構成されており、
それぞれの第2光学素子は、いずれか1つの第1光学素子に対して規定された空間関係
にあり、少なくとも1つの第2光学素子は、第1光学素子とは異なり、
測定装置は、少なくとも1つの検出信号を使用して少なくとも1つの結像誤差を決定す
るように構成されていることを特徴とする光学結像装置。
2.付記1に記載の光学結像装置において、
少なくとも1つの第2光学素子が、第1光学素子と実質的に堅固に結合されており、
特に第2光学素子が、第1光学素子に直接に固定されている光学結像装置。
3.付記1または2に記載の光学結像装置において、
少なくとも1つの第2光学素子は、ギア装置を介して第1光学素子に結合されており、
ギア装置によって、少なくとも1つの第1自由度による第1光学素子の第1運動と、少
なくとも1つの第2自由度による第2光学素子の第2運動との間の所定の運動伝達が規定
可能である光学結像装置。
4.付記3に記載の光学結像装置において、
少なくとも1つの第1自由度が少なくとも1つの第2自由度とは異なり、
少なくとも1つの第1自由度の種類が、少なくとも1つの第2自由度の種類とは異なる
光学結像装置。
5.付記3または4に記載の光学結像装置において、
ギア装置が、弾性ジョイント、板ばね素子およびレバー素子から成る素子群の少なくと
も1つの素子を備える光学結像装置。
6.付記3〜5までのいずれかに記載の光学結像装置において、
少なくとも1つの結像誤差が、第1運動に対して第1感度を有し、
少なくとも1つの検出信号が、第2運動に対して第2感度を有し、
ギア装置が、第2感度が第1感度に少なくとも対応し、特に第2感度が第1感度よりも
大きくなるように構成されている光学結像装置。
7.付記3〜6までのいずれかに記載の光学結像装置において、
ギア装置によって、少なくとも1つの第3自由度による第1光学素子の第3運動と、少
なくとも1つの第4自由度による第2光学素子の第4運動とが規定可能であり、
ギア装置および/または第2光学素子が、少なくとも1つの検出信号が第2運動により
第1の種類の第1変化を受け、少なくとも1つの検出信号が第4運動により第2の種類の
第2変化を受けるように構成されており、
第1の種類が、第2の種類とは異なる光学結像装置。
8.付記1〜7までのいずれかに記載の光学結像装置において、
少なくとも1つの第2光学素子が、第1光学素子におより形成されている光学結像装置
9.付記1〜8までのいずれかに記載の光学結像装置において、
少なくとも1つの測定光源および/または少なくとも1つの検出ユニットが、いずれか
1つの第1光学素子に対して規定された空間関係を有し、
特に少なくとも1つの測定光源および/または少なくとも1つの検出ユニットが、実質
的に堅固に、またはギア装置を介して、第1光学素子に結合されている光学結像装置。
10.付記1〜9までのいずれかに記載の光学結像装置において、
少なくとも1つの測定光源および/または少なくとも1つの検出ユニットが、基準、特
に基準構造部に対して規定された空間関係を有する光学結像装置。
11.付記10に記載の光学結像装置において、
少なくとも1つの測定光源および/または少なくとも1つの検出ユニットが、基準に機
械的に結合されており、および/または
少なくとも1つの基準検出ユニットが設けられており、基準検出ユニットは、少なくと
も1つの測定光源および/または少なくとも1つの検出ユニットと基準との間の空間関係
を検出する光学結像装置。
12.付記1〜11までのいずれかに記載の光学結像装置において、
投影パターンを備えるマスクを収容するためのマスク装置、および基板を収容するため
の基板装置が設けられており、
第1光学素子群が、基板に投影パターンを結像するように構成されており、
測定装置が、少なくとも1つの結像誤差として、基板における投影パターンの結像時に
生じる結像誤差を決定するように構成されており、
少なくとも1つの第2光学素子および/または少なくとも1つの測定光源および/また
は少なくとも1つの検出ユニットが、マスク装置または基板装置に対して規定された空間
関係を有している光学結像装置。
13.付記12に記載の光学結像装置において、
第2光学素子および/または少なくとも1つの測定光源および/または少なくとも1つ
の検出ユニットが、マスク装置または基板装置に実質的に堅固に結合されており、特に第
2光学素子および/または少なくとも1つの測定光源および/または少なくとも1つの検
出ユニットが、マスク装置または基板装置に直接に固定されており、および/または
第2光学素子および/または少なくとも1つの測定光源および/または少なくとも1つ
の検出ユニットが、ギア装置を介してマスク装置または基板装置に結合されており、ギア
装置によって、少なくとも1つの第1自由度によるマスク装置または基板装置の第1運動
と、少なくとも1つの第2自由度による第2光学素子および/または少なくとも1つの測
定光源および/または少なくとも1つの検出ユニットの第2運動との間の所定の運動伝達
が規定可能である光学結像装置。
14.付記1〜13までのいずれかに記載の光学結像装置において、
少なくとも1つの測定光源が、少なくとも1本の第1測定光束、特に複数の第1測定光
束を放出する第1測定光源であり、少なくとも1つの検出ユニットが、検出信号として第
1検出信号を生成する第1検出ユニットであり、
測定装置が、少なくとも1つの第2測定光源、第3光学素子群および少なくとも1つの
第2検出ユニットを備え、
第2測定光源が、少なくとも1本の第2測定光束、特に複数の第2測定光束を放出し、
第3光学素子群が少なくとも1つの第3光学素子を備え、第3光学素子は、少なくとも
1つの第2検出信号を生成するために少なくとも1本の第2測定光束を少なくとも1つの
第2検出ユニットに偏向するように構成されており、
第3光学素子および/または少なくとも1つの第2光源および/または少なくとも1つ
の第2検出ユニットが、いずれか1つの第1光学素子に対して規定された空間関係を有し

測定装置が、少なくとも1つの第2検出信号を使用して少なくとも1つの結像誤差を決
定するように構成されている光学結像装置。
15.付記14に記載の光学結像装置において、
第3光学素子群が複数の第3光学素子を備え、第3光学素子は、少なくとも1つの第2
検出信号を生成するために少なくとも1本の第2測定光束を少なくとも1つの第2検出ユ
ニットに偏向するように構成されており、
それぞれの第3光学素子が、いずれか1つの第1光学素子に対して規定された空間関係
を有する光学結像装置。
16.付記14または15に記載の光学結像装置において、
第3光学素子および/または少なくとも1つの第2測定光源および/または少なくとも
1つの第2検出ユニットが、第1光学素子に実質的に堅固に結合されており、
特に第3光学素子および/または少なくとも1つの第2測定光源および/または少なく
とも1つの第2検出ユニットが、第1光学素子に直接に固定されている光学結像装置。
17.付記14〜16までのいずれかに記載の光学結像装置において、
第3光学素子および/または少なくとも1つの第2測定光源および/または少なくとも
1つの第2検出ユニットが、第2ギア装置によって第1光学素子に結合されており、
ギア装置によって、少なくとも1つの第5自由度による第1光学素子の第5運動と、少
なくとも1つの第6自由度による第3光学素子および/または少なくとも1つの第2測定
光源および/または少なくとも1つの第2検出ユニットの第6運動との間で所定の運動伝
達が規定可能である光学結像装置。
18.付記17に記載の光学結像装置において、
少なくとも1つの第5自由度が少なくとも1つの第6自由度とは異なり、
少なくとも1つの第5自由度の種類が、少なくとも1つの第6自由度の種類とは異なる
光学結像装置。
19.付記14〜18までのいずれかに記載の光学結像装置において、
第3光学素子および/または少なくとも1つの第2測定光源および/または少なくとも
1つの第2検出ユニットが第1光学素子に結合されており、第1光学素子が、いずれか1
つの第2光学素子に対して規定された空間関係を有する光学結像装置。
20.付記14〜19までのいずれかに記載の光学結像装置において、
少なくとも1つの第2測定光源および/または少なくとも1つの第2検出ユニットが、
基準、特に基準構造部に対して規定された空間関係を有する光学結像装置。
21.付記20に記載の光学結像装置において、
少なくとも1つの第2測定光源および/または少なくとも1つの第2検出ユニットが、
基準に機械的に結合されており、および/または
少なくとも1つの基準検出ユニットが設けられており、基準検出ユニットは、少なくと
も1つの第2測定光源および/または少なくとも1つの第2検出ユニットと基準との間の
空間関係を検出する光学結像装置。
22.付記14〜21までのいずれかに記載の光学結像装置において、
投影パターンを備えるマスクを収容するためのマスク装置、および基板を収容するため
の基板装置が設けられており、
基板に投影パターンを結像するための第1光学素子群が構成されており、
測定装置が、少なくとも1つの結像誤差として、基板における投影パターンの結像時に
生じる結像誤差を決定するように構成されており、
少なくとも1つの第3光学素子および/または少なくとも1つの第2測定光源および/
または少なくとも1つの第2検出ユニットが、マスク装置または基板装置に対して規定さ
れた空間関係を有している光学結像装置。
23.付記1〜22までのいずれかに記載の光学結像装置において、
測定装置が、あらかじめ検出され、記憶された結像装置のモデルを使用して少なくとも
1つの結像誤差を決定するように構成されており、
結像装置のモデルが、少なくとも1つの検出信号に関係して少なくとも1つの結像誤差
を再現する光学結像装置。
24.付記1〜23までのいずれかに記載の光学結像装置において、
少なくとも1つの検出装置が、
検出信号が、少なくとも1本の測定光束の波面の目標位置からのずれを表し、および/
または
検出信号が、少なくとも1本の測定光束の波面の目標幾何学形状からのずれを表すよう
に、構成されている光学結像装置。
25.付記1〜24までのいずれかに記載の光学結像装置において、
少なくとも2つの第2光学素子が、それぞれ1つの少なくとも部分的に反射性の光学面
を備え、
少なくとも部分的に反射性の2つの光学面が、これらの光学面間で少なくとも1本の測
定光束の複数回の反射が行われるように相互に対応配置されており、特に少なくとも部分
的に反射性の2つの光学面は、フィゾーキャビティの形態で構成されており、配置されて
いる光学結像装置。
26.付記25に記載の光学結像装置において、
少なくとも部分的に反射性の2つの光学面が相互に傾斜して配置されている光学結像装
置。
27.請求項1〜26までのいずれかに記載の光学結像装置において、
少なくとも1つの測定光源が、少なくとも1本の第1測定光束、特に複数の第1測定光
束を放出する第1測定光源であり、少なくとも1つの検出ユニットが、検出信号として第
1検出信号を生成する第1検出ユニットであり、
測定装置が、少なくとも1つの第3測定光源、第4光学素子群および少なくとも1つの
第3検出ユニットを備え、
第3測定光源が、少なくとも1本の第3測定光束、特に複数の第3光束を放出し、
第4光学素子群が、少なくとも1つの第3検出信号を生成するために少なくとも1本の
第3測定光束を少なくとも1つの第3検出ユニットに偏向するように構成された少なくと
も1つの光学基準素子と第4光学素子とを備え、
第4光学素子が、いずれか1つの第1光学素子に対して規定された空間関係を有し、
光学基準素子および第4光学素子が、それぞれ1つの少なくとも部分的に反射性の光学
面を備え、
少なくとも部分的に反射性の2つの光学面が、これら光学面間で少なくとも1本の第3
測定光束の複数回の反射が行われるように相互に対応配置されており、特に少なくとも部
分的に反射性の2つの光学面は、フィゾーキャビティの形態で構成されており、配置され
ており、
測定装置が、少なくとも1つの第3検出信号を使用して少なくとも1つの結像誤差を決
定するように構成されている光学結像装置。
28.付記27に記載の光学結像装置において、
少なくとも部分的に反射性の2つの光学面の少なくとも一方が、少なくとも1本の第3
測定光束の光軸に対して傾斜して配置されている光学結像装置。
29.付記27または28に記載の光学結像装置において、
少なくとも部分的に反射性の2つの光学面が相互に傾斜して配置されている光学結像装
置。
30.付記27または28に記載の光学結像装置において、
第3測定光源が、少なくとも1本の第3測定光束を放出し、
第4光学素子群が別の第4光学素子を備え、第4光学素子は、別の第3検出信号を生成
するために別の第3測定光束を少なくとも1つの第3検出ユニットに偏向するように構成
されており、
別の第4光学素子が、いずれか1つの第1光学素子に対して規定された空間関係を有し

別の第4光学素子が、少なくとも部分的に反射性の光学面を備え、
基準素子および別の第4光学素子の少なくとも部分的に反射性の光学面が、これらの光
学面間で別の第3測定光束の複数回の反射が行われるように相互に対応配置されており、
特に基準素子および別の第4光学素子の少なくとも部分的に反射性の2つの光学面は、フ
ィゾーキャビティの形態で構成されており、配置されており、
測定装置が、別の第3検出信号を使用して少なくとも1つの結像誤差を決定するように
構成されている光学結像装置。
31.像点に物点を結像するための結像ユニットと、
測定装置と
を備え、
結像ユニットは、像点における物点の結像に関与するように構成された少なくとも1つ
の第1光学素子を有する第1光学素子群を備え、
測定装置は、像点における物点の結像時に生じる少なくとも1つの結像誤差を決定する
ように構成されており、
測定装置は、少なくとも1つの測定光源、第2光学素子群および少なくとも1つの検出
ユニットを備え、
測定光源は少なくとも1本の測定光束、特に複数の測定光束を放出し、
第2光学素子群は、少なくとも1つの検出信号を生成するために少なくとも1本の測定
光束を少なくとも1つの検出ユニットに偏向するように構成され少なくとも1つの光学基
準素子と第2光学素子とを備え、
第2光学素子は、第1光学素子に対して規定された空間関係を有し、
光学基準素子は、少なくとも部分的に反射性の第1光学面を備え、第2光学素子は、少
なくとも部分的に反射性の第2光学面を備え、
測定装置は、少なくとも1つの検出信号を使用して少なくとも1つの結像誤差を決定す
るように構成されている光学結像装置において、
第1光学面と第2光学面とは、これらの光学面間で少なくとも1本の測定光束の複数回
の反射が行われるように相互に対応配置されていることを特徴とする光学結像装置。
32.付記31に記載の光学結像装置において、
第1光学面および第2光学面が、フィゾーキャビティの形態で構成され、配置されてい
る光学結像装置。
33.付記31または32に記載の光学結像装置において、
第1光学面が平坦な第1面領域を備え、第2光学面が平坦な第2面領域を備え、これら
第1および第2面領域の間で複数回の反射の少なくとも一部が行われ、
第1面領域の第1面垂線および/または第2面領域の第2面垂線が、少なくとも1本の
測定光束の光軸に対して傾斜して配置されている光学結像装置。
34.付記33に記載の光学結像装置において、
第1面垂線が第2面垂線に対して傾斜して配置されている光学結像装置。
35.付記33または34に記載の光学結像装置において、
第1光学面または第2光学面が、平坦な第3面領域を備え、
第3面領域の第3面垂線が第1面垂線および第2面垂線に対して傾斜して配置されてお
り、少なくとも1本の測定光束の光路が第1面領域と第2面領域との間における所定回数
の反射後に折り返され、特に実質的に自身に向けて折り返される光学結像装置。
36.付記31〜35までのいずれかに記載の光学結像装置において、
基準素子が、少なくとも1本の測定光束のために少なくとも部分的に透過可能な入射領
域を備え、この入射領域で、少なくとも1本の測定光束が、第1光学面と第2光学面との
間の間隙に入射し、
特に入射領域が光学的な入射面を備え、この入射面で、部分反射により第1光学面と第
2光学面との間の間隙への少なくとも1本の測定光束の入射時に基準光束が反射される光
学結像装置。
37.付記31〜35までのいずれかに記載の光学結像装置において、
第2光学素子が、少なくとも1本の測定光束を少なくとも部分的に反射する入射領域を
備え、この入射領域で、少なくとも1本の測定光束がはじめて第1光学面に入射し、
入射領域は、回折性素子、特にリトロー配置の格子を備え、この格子で、少なくとも1
本の測定光束の回折により、基準光束が生成される光学結像装置。
38.付記31〜37までのいずれかに記載の光学結像装置において、
第1光学面と第2光学面とが、これらの光学面間で少なくとも1本の測定光束の少なく
とも5回の反射、特に少なくとも21回の反射が行われるように相互に対応配置されてい
る光学結像装置。
39.付記31または32に記載の光学結像装置において、
第1光学面が平坦な第1面領域を備え、第2光学面が平坦な第2面領域を備え、これら
第1および第2面領域の間で複数回の反射の少なくとも一部が行われ、
第1面領域の第1面垂線および第2面領域の第2面垂線が、少なくとも1本の測定光束
の光軸に対して実質的に平行に配置されており、
基準素子が、少なくとも1本の測定光束のために少なくとも部分的に透過可能な入射領
域を備え、この入射領域で、少なくとも1本の測定光束が、第1光学面と第2光学面との
間の間隙に入射し、
特に入射領域が光学的な入射面を備え、この入射面で、部分反射により第1光学面と第
2光学面との間の間隙への少なくとも1本の測定光束の入射時に基準光束が反射され、
特に少なくとも1本の測定光束が短コヒーレンス白色光を含む光学結像装置。
40.付記31〜39までのいずれかに記載の光学結像装置において、
第2光学素子群が別の第2光学素子を備え、
基準素子および別の第2光学素子は、少なくとも1つの別の検出信号を生成するために
少なくとも1本の別の測定光束を少なくとも1つの検出ユニットに偏向するように構成さ
れており、
別の第2光学素子が、別の第1光学素子に対して規定された空間関係を有し、
別の第2光学素子が、少なくとも部分的に反射性の第3光学面を備え、
測定装置が、少なくとも1つの別の検出信号を使用して少なくとも1つの結像誤差を決
定するように構成されており、
第1光学面と第3光学面とが、これら光学面間で少なくとも1本の別の測定光束の複数
回の反射が行われるように相互に対応配置されている光学結像装置。
41.付記31〜40までのいずれかに記載の光学結像装置において、
基準素子が、基準ユニットの構成素子であり、この構成素子が、基準素子に、規定され
た運動を付与するように構成されている光学結像装置。
42.付記1〜41までのいずれかに記載の光学結像装置において、
第2光学素子群の少なくとも1つの素子のために熱遮蔽装置が設けられている光学結像
装置。
43.付記1〜42までのいずれかに記載の光学結像装置において、
像点に物点を結像するために、特にEUV領域の第1波長の光が設けられており、
少なくとも1本の測定光束が第2波長の光を備え、
第1波長が第2波長とは異なる光学結像装置。
44.付記1〜43までのいずれかに記載の光学結像装置において、
投影パターンを備えるマスクを収容するためのマスク装置、および基板を収容するため
の基板装置が設けられており、
第1光学素子群が基板に投影パターンを結像するように構成されており、
測定装置が、少なくとも1つの結像誤差として、基板における投影パターンの結像時に
生じる結像誤差を決定するように構成されており、
少なくとも1つの結像誤差を補正するための補正装置が設けられており、
補正装置が、測定装置に結合された少なくとも1つの制御装置と、制御装置に結合され
たアクチュエータ装置とを備え、
アクチュエータ装置は、少なくとも1つの第1光学素子および/またはマスク装置およ
び/または基板装置の位置および/または配向および/または幾何学形状に能動的に作用
するように構成されており、
制御装置は、測定装置によって決定された少なくとも1つの結像誤差に関係してアクチ
ュエータ装置を制御するように構成されている光学結像装置。
45.付記1〜44までのいずれかに記載の光学結像装置において、
投影パターンを備えるマスクを収容するためのマスク装置、および基板を収容するため
の基板装置が設けられており、
第1光学素子群が、基板に投影パターンを結像するように構成されており、
測定装置が、少なくとも1つの結像誤差として、基板における投影パターンの結像時に
生じる結像誤差を決定するように構成されており、
測定装置が、マスク装置および/または基板装置の基準、特にマスク装置および/また
は基板装置に配置された基準体に対する空間関係を少なくとも1つの自由度で検出するよ
うに構成されている光学結像装置。
46.付記1〜45までのいずれかに記載の光学結像装置において、
測定光源が、規定可能な時間的関係で、特に同時に、複数の測定光束を放出し、
第2光学素子群が、複数の検出信号を生成するために測定光束を少なくとも1つの検出
ユニットに偏向するように構成されてた、複数の第2光学素子を備え、
測定装置が、少なくとも1つの検出ユニットの検出信号を使用して少なくとも1つの結
像誤差を決定するように構成されている光学結像装置。
47.結像ユニットにより像点に物点を結像し、
結像ユニットに、像点における物点の結像に関与する複数の第1光学素子を有する第1
光学素子群を設け、
前記測定装置により、像点における物点の結像時に生じる結像誤差を決定する、特にマ
イクロリソグラフィのための結像方法において、
前記測定装置に、少なくとも1つの測定光源、第2光学素子群および少なくとも1つの
検出ユニットを設け、
前記測定光源により、少なくとも1本の測定光束、特に複数の測定光束を放出し、
少なくとも1つの検出信号を生成するために、第2光学素子群の複数の第2光学素子を
介して少なくとも1本の測定光束を少なくとも1つの検出ユニットに偏向し、
それぞれの第2光学素子がいずれか1つの第1光学素子に対して規定された空間関係を
有するようにし、少なくとも2つの第2光学素子を第1光学素子とは異なるようにし、
測定装置により、少なくとも1つの検出信号を使用して少なくとも1つの結像誤差を決
定することを特徴とする結像方法。
48.付記47に記載の結像方法において、
少なくとも1つの第1自由度による第1光学素子の第1運動と、少なくとも1つの第2
自由度による第2光学素子の第2運動との間で所定の運動伝達を規定し、
特に少なくとも1つの第1自由度を、少なくとも1つの第2自由度とは異なるようにし

特に少なくとも1つの第1自由度の種類が、少なくとも1つの第2自由度の種類と異な
るようにする結像方法。
49.付記48に記載の結像方法において、
少なくとも1つの結像誤差が、第1運動に対して第1感度を有するようにし、
少なくとも1つの検出信号が、第2運動に対して第2感度を有するようにし、
第2感度が第1感度に少なくとも対応し、特に第2感度が第1感度よりも大きくなるよ
うに、所定の運動伝達を規定する結像方法。
50.付記48または49に記載の結像方法において、
少なくとも1つの第3自由度による第1光学素子の第3運動と、少なくとも1つの第4
自由度による第2光学素子の第4運動との間で所定の運動伝達を規定し、
少なくとも1つの検出信号に、第2運動により第1の種類の第1変化を付与し、少なく
とも1つの検出信号に、第4運動により第2の種類の第2変化を付与し、
第1の種類が、第2の種類とは異なるようにする光学結像装置。
51.付記47〜50までのいずれかに記載の結像方法において、
少なくとも1つの測定光源を、少なくとも1本の第1測定光束、特に複数の第1測定光
束を放出する第1測定光源とし、少なくとも1つの検出ユニットを、検出信号として第1
検出信号を生成する第1検出ユニットとし、
測定装置に、少なくとも1つの第2測定光源、第3光学素子群および少なくとも1つの
第2検出ユニットを設け、
第2測定光源により、少なくとも1本の第2測定光束、特に複数の第2光束を放出し、
少なくとも1つの第2検出信号を生成するために、第3光学素子群の少なくとも1つの
第3光学素子により、少なくとも1本の第2測定光束を少なくとも1つの第2検出ユニッ
トに偏向し、
第3光学素子および/または少なくとも1つの第2光源および/または少なくとも1つ
の第2検出ユニットが、いずれか1つの第1光学素子に対して規定された空間関係を有す
るようにし、
測定装置により、少なくとも1つの第2検出信号を使用して少なくとも1つの結像誤差
を決定する結像方法。
52.付記51に記載の結像方法において、
少なくとも1つの第2測定光源および/または少なくとも1つの1つの第2検出ユニッ
トと基準との間の空間関係を検出する結像方法。
53.付記47〜52までのいずれかに記載の結像方法において、
あらかじめ検出され、記憶された結像装置のモデルを使用して少なくとも1つの結像誤
差を決定し、
結像装置のモデルにより、少なくとも1つの検出信号に関係して少なくとも1つの結像
誤差を再現する結像方法。
54.付記47〜53までのいずれかに記載の結像方法において、
少なくとも2つの第2光学素子に、それぞれ1つの少なくとも部分的に反射性の光学面
を設け、
少なくとも部分的に反射性の2つの光学面を、これらの光学面間で少なくとも1本の測
定光束の複数回の反射が行われるように相互に対応配置し、特に少なくとも部分的に反射
性の2つの光学面をフィゾーキャビティの形態で構成し、配置する結像方法。
55.特にマイクロリソグラフィのための結像方法であって、
結像ユニットにより像点に物点を結像し、
少なくとも1つの第1光学素子を有する結像ユニットの第1光学素子群を、像点におけ
る物点の結像に関与させ、
測定装置により、像点における物点の結像時に生じる少なくとも1つの結像誤差を決定
し、
測定装置に、少なくとも1つの測定光源、第2光学素子群および少なくとも1つの検出
ユニットを設け、
測定光源により、少なくとも1本の測定光束、特に複数の測定光束を放出し、
少なくとも1つの検出信号を生成するために、少なくとも1つの光学基準素子および第
2光学素子群の第2光学素子により、少なくとも1本の測定光束を少なくとも1つの検出
ユニットに偏向し、
第2光学素子が第1光学素子に対して規定された空間関係を有するようにし、
光学基準素子に、少なくとも部分的に反射性の第1光学面を設け、第2光学素子に、少
なくとも部分的に反射性の第2光学面を設け、
測定装置により、少なくとも1つの検出信号を使用して少なくとも1つの結像誤差を決
定する結像方法において、
第1光学面と第2光学面とを、これらの光学面間で少なくとも1本の測定光束の複数回
の反射が行われるように相互に対応配置することを特徴とする結像方法。
56.付記55に記載の結像方法において、
第1光学面および第2光学面を、フィゾーキャビティの形態で構成し、配置する結像方
法。
57.付記55または56に記載の結像方法において、
第1光学面と第2光学面とを、これらの光学面間で少なくとも1本の測定光束の少なく
とも5回の反射、特に少なくとも21回の反射が行われるように相互に対応配置する結像
方法。
58.付記55〜57までのいずれかに記載の結像方法において、
基準素子に、規定された運動を付与する結像方法。
59.付記47〜58までのいずれかに記載の結像方法において、
第2光学素子群の少なくとも1つの素子を熱遮蔽する結像方法。
60.付記47〜59のいずれかに記載の結像方法において、
像点に物点を結像するために、特にEUV領域の第1波長の光を設け、
少なくとも1本の測定光束に第2波長の光を設け、
第1波長が第2波長とは異なるようにする結像方法。
61.付記47〜60までのいずれかに記載の結像方法において、
投影パターンを備えるマスクを収容するためのマスク装置、および基板を収容するため
の基板装置を設け、
第1光学素子群により、基板に投影パターンを結像し、
少なくとも1つの結像誤差として、基板における投影パターンの結像時に生じる結像誤
差を決定し、
少なくとも1つの結像誤差を補正し、
少なくとも1つの結像誤差に関係して、少なくとも1つの第1光学素子および/または
マスク装置および/または基板装置の位置および/または配向および/または幾何学形状
に能動的に影響を及ぼす結像方法。
62.付記47〜61のいずれかに記載の結像方法において、
第1光学素子群により、基板装置の基板にマスク装置のマスクの投影パターンを結像し

測定装置により、少なくとも1つの結像誤差として、基板における投影パターンの結像
時に生じる結像誤差を決定し、
測定装置により、マスク装置および/または基板装置の基準、特にマスク装置および/
または基板装置に配置された基準体に対する空間関係を少なくとも1つの自由度で検出す
る結像方法。
63.付記47〜62のいずれかに記載の結像方法において、
測定光源により、規定可能な時間的関係で、特に同時に、複数の測定光束を放出し、
第2光学素子群に複数の第2光学素子を設け、これら第2光学素子により、複数の検出
信号を生成するために測定光束を少なくとも1つの検出ユニットに偏向し、
測定装置により、少なくとも1つの結像誤差を決定するために少なくとも1つの検出ユ
ニットの検出信号を使用する結像方法。
64.像点に物点を結像するための結像ユニットと、
測定装置と
を備え、
測定装置は、像点における物点の結像時に生じる少なくとも1つの結像誤差を決定する
ように構成されており、
測定装置は、少なくとも1つの測定光源、少なくとも1つの光学素子を有する光学素子
群および少なくとも1つの検出ユニットを備え、
測定光源は少なくとも1本の測定光束、特に複数の測定光束を放出し、
光学素子群は、少なくとも1つの検出信号を生成するために少なくとも1本の測定光束
を少なくとも1つの検出ユニットに偏向するように構成されている、特にマイクロリソグ
ラフィのための光学結像装置において、
少なくとも1つの素子のために熱遮蔽部が設けられていることを特徴とする光学結像装
置。
65.付記64に記載の光学結像装置において、
熱遮蔽部は、少なくとも1本の測定光束の光線特性を妨害しないように構成されており

熱遮蔽部は、少なくとも1本の測定光束が熱遮蔽部を通過するために必要な横断面のみ
を開放するように構成されている光学結像装置。
66.付記64に記載の光学結像装置において、
能動的および/または受動的な温度調整装置が、遮蔽部のために設けられている光学結
像装置。
67.付記64に記載の光学結像装置において、
能動的および/または受動的な温度調整装置が、遮蔽部のために設けられている光学結
像装置。
68.付記1〜46または63〜67のいずれかに記載の光学結像装置において、
スキャナ原理にしたがって作動する光学結像装置。
69.像点に物点を結像するための結像ユニットと、
測定装置と
を備え、
結像ユニットは、少なくとも1つの第1光学素子を有する第1光学素子群を備え、
測定装置は、少なくとも1つの光学素子の状態変化を決定するように構成されている、
付記1〜46または63〜68のいずれかに記載の光学結像装置において、
測定装置は、光学結像装置の搬送時に少なくとも1つの光学素子の状態変化を決定し、
ログに記録するように構成されていることを特徴とする光学結像装置。
70.付記69に記載の光学結像装置において、
測定装置は、少なくとも1つの基準に関して、少なくとも1つの光学素子の位置および
/または配向および/または幾何学形状を決定するように構成されている光学結像装置。
71.付記69または70に記載の光学結像装置において、
測定装置に結合可能な補正装置が設けられており、
補正装置は、少なくとも1つの基準に関して少なくとも1つの光学素子の位置および/
または配向および/または幾何学形状を、測定装置の記録に関係して変更するように構成
されている光学結像装置。
72.像点に物点を結像するための結像ユニットを備え、
結像ユニットは、少なくとも1つの光学素子を有する光学素子群を備え、
結像ユニットは、EUV領域、特に5nm〜20nmの範囲の波長の光を使用して像点
に物点を結像するように構成されており、
結像ユニットは、少なくとも1つの構造素子を有する支持構造部を備え、支持構造部に
より、少なくとも1つの光学素子が支持される、付記1〜46または63〜71に記載の
光学結像装置において、
少なくとも1つの構造素子は、0.6・10−6−1、特に1.2・10−6−1
を超える熱膨張係数を有する材料または複合材料を備えることを特徴とする光学結像装置
73.付記72に記載の光学結像装置において、
測定装置と、測定装置に結合可能な補正装置が設けられており、
測定装置は、少なくとも1つの基準に対して少なくとも1つの光学素子の位置および/
または配向および/または幾何学形状を表す少なくとも1つの信号を出力するように構成
されており、
補正装置は、少なくとも1つの信号に関係して、少なくとも1つの基準に対して少なく
とも1つの光学素子の位置および/または配向および/または幾何学形状を変更するよう
に構成されている光学結像装置。
74.付記72または73に記載の光学結像装置において、
少なくとも1つの構造素子が、少なくとも部分的にインバールからなっている光学結像
装置。

Claims (22)

  1. 特にマイクロリソグラフィのための光学結像装置において、
    像点に物点を結像するための結像ユニットと、
    測定装置と
    を備え、
    前記結像ユニットが、像点における物点の結像に関与するように構成された、少なくと
    も1つの第1光学素子を有する第1光学素子群を備え、
    前記測定装置が、像点における物点の結像時に生じる少なくとも1つの結像誤差を決定
    するように構成されており、
    前記測定装置が、少なくとも1つの測定光源、第2光学素子群および少なくとも1つの
    検出ユニットを備え、
    前記測定光源が、少なくとも1本の測定光束、特に複数の測定光束を放出し、
    第2光学素子群が、少なくとも1つの光学基準素子と第2光学素子とを備え、前記光学
    基準素子および第2光学素子が、少なくとも1つの検出信号を生成するために少なくとも
    1本の測定光束を前記少なくとも1つの検出ユニットに偏向するように構成されており、
    前記第2光学素子が、前記第1光学素子に対して規定された空間関係を有し、
    前記光学基準素子が、少なくとも部分的に反射性の第1光学面を備え、前記第2光学素
    子が、少なくとも部分的に反射性の第2光学面を備え、
    前記測定装置が、少なくとも1つの検出信号を使用して少なくとも1つの結像誤差を決
    定するように構成されており、
    前記第1光学面と前記第2光学面とが、該光学面間で少なくとも1本の測定光束の複数
    回の反射が行われるように相互に対応配置されており、
    前記第1光学面が平坦な第1面領域を備え、第2光学面が平坦な第2面領域を備え、前
    記第1および第2面領域の間で複数回の反射の少なくとも一部が行われ、
    前記第1面領域の第1面垂線および前記第2面領域の第2面垂線が、少なくとも前記1
    本の測定光束の光軸に対して傾斜して配置されており、
    前記第1光学面または前記第2光学面が、平坦な第3面領域を備え、
    該第3面領域の第3面垂線が、前記第1面垂線および前記第2面垂線に対して傾斜して
    配置されており、これにより、前記少なくとも1本の測定光束の光路が前記第1面領域と
    前記第2面領域との間における所定回数の反射後に折り返されることを特徴とする光学結
    像装置。
  2. 請求項1に記載の光学結像装置において、
    前記第1光学面および前記第2光学面が、フィゾーキャビティの形態で構成され、配置
    されている光学結像装置。
  3. 請求項1または2に記載の光学結像装置において、
    前記第1面垂線が前記第2面垂線に対して傾斜して配置されている光学結像装置。
  4. 請求項1に記載の光学結像装置において、
    前記少なくとも1本の測定光束の光路が前記第1面領域と前記第2面領域との間におけ
    る所定回数の反射後、実質的に自身に向けて折り返される光学結像装置。
  5. 請求項1から4までのいずれかに記載の光学結像装置において、
    前記光学基準素子が、前記少なくとも1本の測定光束のために少なくとも部分的に透過
    可能な入射領域を備え、該入射領域で、少なくとも1本の測定光束が、前記第1光学面と
    前記第2光学面との間の間隙に入射し、
    特に前記入射領域が光学的な入射面を備え、該入射面で、部分反射により、前記第1光
    学面と前記第2光学面との間の間隙への少なくとも1本の測定光束の入射時に、基準光束
    が反射される光学結像装置。
  6. 請求項1から4までのいずれかに記載の光学結像装置において、
    前記第2光学素子が、前記少なくとも1本の測定光束を少なくとも部分的に反射する入
    射領域を備え、該入射領域で、前記少なくとも1本の測定光束がはじめて前記第1光学面
    に入射し、
    前記入射領域が、回折性素子、特にリトロー配置の格子を備え、回折性素子で、少なく
    とも1本の測定光束の回折により、基準光束が生成される光学結像装置。
  7. 請求項1から6までのいずれかに記載の光学結像装置において、
    前記第1光学面と前記第2光学面とが、該光学面間で少なくとも1本の測定光束の少な
    くとも5回の反射、特に少なくとも21回の反射が行われるように相互に対応配置されて
    いる光学結像装置。
  8. 請求項1から7までのいずれか一項に記載の光学結像装置において、
    前記第2光学素子群が別の第2光学素子を備え、
    前記光学基準素子および別の第2光学素子が、少なくとも1つの別の検出信号を生成す
    るために少なくとも1本の別の測定光束を少なくとも1つの検出ユニットに偏向するよう
    に構成されており、
    別の第2光学素子が、別の第1光学素子に対して規定された空間関係を有し、
    前記別の第2光学素子が、少なくとも部分的に反射性の第3光学面を備え、
    前記測定装置が、前記少なくとも1つの別の検出信号を使用して少なくとも1つの結像
    誤差を決定するように構成されており、
    前記第1光学面と前記第3光学面とが、該光学面間で前記少なくとも1本の別の測定光
    束の複数回の反射が行われるように相互に対応配置されている光学結像装置。
  9. 請求項1から8までのいずれか一項に記載の光学結像装置において、
    前記光学基準素子が、該光学基準素子に、規定された運動を付与するように構成された
    基準ユニットの構成素子であり、および/または
    前記第2光学素子群の少なくとも1つの素子のために熱遮蔽装置が設けられており、お
    よび/または、
    像点に物点を結像するために、特にEUV領域の第1波長の光が設けられており、少な
    くとも1本の測定光束が第2波長の光を備え、
    前記第1波長が前記第2波長とは異なる光学結像装置。
  10. 請求項1から9までのいずれか一項に記載の光学結像装置において、
    投影パターンを備えるマスクを収容するためのマスク装置、および基板を収容するため
    の基板装置が設けられており、
    前記第1光学素子群が、前記基板に前記投影パターンを結像するように構成されており

    前記測定装置が、少なくとも1つの結像誤差として、前記基板における前記投影パター
    ンの結像時に生じる結像誤差を決定するように構成されており、
    少なくとも1つの結像誤差を補正するための補正装置が設けられており、
    該補正装置が、前記測定装置に結合された少なくとも1つの制御装置と、該制御装置に
    結合されたアクチュエータ装置とを備え、
    該アクチュエータ装置が、少なくとも1つの前記第1光学素子および/または前記マス
    ク装置および/または前記基板装置の位置および/または配向および/または幾何学形状
    に能動的に作用するように構成されており、
    前記制御装置が、前記測定装置によって決定された少なくとも1つの結像誤差に関係し
    て前記アクチュエータ装置を制御するように構成されている光学結像装置。
  11. 請求項1から10までのいずれか一項に記載の光学結像装置において、
    投影パターンを備えるマスクを収容するためのマスク装置、および基板を収容するため
    の基板装置が設けられており、
    前記第1光学素子群が、前記基板に前記投影パターンを結像するように構成されており

    前記測定装置が、少なくとも1つの結像誤差として、前記基板における前記投影パター
    ンの結像時に生じる結像誤差を決定するように構成されており、
    前記測定装置が、前記マスク装置および/または前記基板装置の基準、特に前記マスク
    装置および/または前記基板装置に配置された基準体に対する空間関係を少なくとも1つ
    の自由度で検出するように構成されている光学結像装置。
  12. 請求項1から11までのいずれか一項に記載の光学結像装置において、
    前記測定光源が、規定可能な時間的関係で、特に同時に、複数の測定光束を放出し、
    前記第2光学素子群が複数の第2光学素子を備え、該第2光学素子が、複数の検出信号
    を生成するために測定光束を少なくとも1つの検出ユニットに偏向するように構成されて
    おり、
    前記測定装置が、少なくとも1つの検出ユニットの検出信号を使用して少なくとも1つ
    の結像誤差を決定するように構成されている光学結像装置。
  13. 特にマイクロリソグラフィのための光学結像装置において、
    像点に物点を結像するための結像ユニットと、
    測定装置と
    を備え、
    前記結像ユニットが、像点における物点の結像に関与するように構成された、少なくと
    も1つの第1光学素子を有する第1光学素子群を備え、
    前記測定装置が、像点における物点の結像時に生じる少なくとも1つの結像誤差を決定
    するように構成されており、
    前記測定装置が、少なくとも1つの測定光源、第2光学素子群および少なくとも1つの
    検出ユニットを備え、
    前記測定光源が、少なくとも1本の測定光束、特に複数の測定光束を放出し、
    第2光学素子群が、少なくとも1つの光学基準素子と第2光学素子とを備え、前記光学
    基準素子および第2光学素子が、少なくとも1つの検出信号を生成するために前記少なく
    とも1本の測定光束を前記少なくとも1つの検出ユニットに偏向するように構成されてお
    り、
    前記第2光学素子が、前記第1光学素子に対して規定された空間関係を有し、
    前記光学基準素子が、少なくとも部分的に反射性の第1光学面を備え、前記第2光学素
    子が、少なくとも部分的に反射性の第2光学面を備え、
    前記測定装置が、前記少なくとも1つの検出信号を使用して少なくとも1つの結像誤差
    を決定するように構成されており、
    前記第1光学面と前記第2光学面とが、該光学面間で前記少なくとも1本の測定光束の
    複数回の反射が行われるように相互に対応配置されており、
    前記第2光学素子が、前記少なくとも1本の測定光束を少なくとも部分的に反射する入
    射領域を備え、該入射領域で、少なくとも1本の測定光束がはじめて前記第1光学面に入
    射し、
    前記入射領域が、回折性素子、特にリトロー配置の格子を備え、回折性素子で、少なく
    とも1本の測定光束の回折により、基準光束が生成される光学結像装置。
  14. 請求項13に記載の光学結像装置において、
    前記回折性素子が、リトロー配置の格子である光学結像装置。
  15. 請求項13または14に記載の光学結像装置において、
    前記第1光学面および前記第2光学面が、フィゾーキャビティの形態で構成され、配置
    されている光学結像装置。
  16. 請求項13から15までのいずれかに記載の光学結像装置において、
    前記第1光学面と前記第2光学面とが、該光学面間で少なくとも1本の測定光束の少な
    くとも5回の反射、特に少なくとも21回の反射が行われるように相互に対応配置されて
    いる光学結像装置。
  17. 請求項13から16までのいずれか一項に記載の光学結像装置において、
    前記第2光学素子群が別の第2光学素子を備え、
    前記光学基準素子および別の第2光学素子が、少なくとも1つの別の検出信号を生成す
    るために少なくとも1本の別の測定光束を少なくとも1つの検出ユニットに偏向するよう
    に構成されており、
    前記別の第2光学素子が、別の第1光学素子に対して規定された空間関係を有し、
    前記別の第2光学素子が、少なくとも部分的に反射性の第3光学面を備え、
    前記測定装置が、前記少なくとも1つの別の検出信号を使用して少なくとも1つの結像
    誤差を決定するように構成されており、
    前記第1光学面と前記第3光学面とが、該光学面間で少なくとも1本の別の測定光束の
    複数回の反射が行われるように相互に対応配置されている光学結像装置。
  18. 請求項13から17までのいずれか一項に記載の光学結像装置において、
    前記光学基準素子が、該光学基準素子に、規定された運動を付与するように構成された
    基準ユニットの構成素子であり、および/または
    前記第2光学素子群の少なくとも1つの素子のために熱遮蔽装置が設けられており、お
    よび/または、
    像点に物点を結像するために、特にEUV領域の第1波長の光が設けられており、少な
    くとも1本の測定光束が第2波長の光を備え、
    前記第1波長が前記第2波長とは異なる光学結像装置。
  19. 請求項13から18までのいずれか一項に記載の光学結像装置において、
    投影パターンを備えるマスクを収容するためのマスク装置、および基板を収容するため
    の基板装置が設けられており、
    前記第1光学素子群が、前記基板に前記投影パターンを結像するように構成されており

    前記測定装置が、少なくとも1つの結像誤差として、前記基板における前記投影パター
    ンの結像時に生じる結像誤差を決定するように構成されており、
    少なくとも1つの結像誤差を補正するための補正装置が設けられており、
    該補正装置が、前記測定装置に結合された少なくとも1つの制御装置と、該制御装置に
    結合されたアクチュエータ装置とを備え、
    該アクチュエータ装置が、少なくとも1つの前記第1光学素子および/または前記マス
    ク装置および/または前記基板装置の位置および/または配向および/または幾何学形状
    に能動的に作用するように構成されており、
    前記制御装置が、前記測定装置によって決定された少なくとも1つの結像誤差に関係し
    て前記アクチュエータ装置を制御するように構成されている光学結像装置。
  20. 請求項13から19までのいずれか一項に記載の光学結像装置において、
    投影パターンを備えるマスクを収容するためのマスク装置、および基板を収容するため
    の基板装置が設けられており、
    前記第1光学素子群が、前記基板に前記投影パターンを結像するように構成されており

    前記測定装置が、少なくとも1つの結像誤差として、前記基板における前記投影パター
    ンの結像時に生じる結像誤差を決定するように構成されており、
    前記測定装置が、前記マスク装置および/または前記基板装置の基準、特に前記マスク
    装置および/または前記基板装置に配置された基準体に対する空間関係を少なくとも1つ
    の自由度で検出するように構成されている光学結像装置。
  21. 請求項13から20までのいずれか一項に記載の光学結像装置において、
    前記測定光源が、規定可能な時間的関係で、特に同時に、複数の測定光束を放出し、
    前記第2光学素子群が複数の第2光学素子を備え、該第2光学素子が、複数の検出信号を
    生成するために測定光束を少なくとも1つの検出ユニットに偏向するように構成されてお
    り、
    前記測定装置が、少なくとも1つの検出ユニットの検出信号を使用して少なくとも1つ
    の結像誤差を決定するように構成されている光学結像装置。
  22. 特にマイクロリソグラフィのための結像方法において、
    請求項1から21までのいずれか一項に記載の光学結像装置を用いて像点に物点を結像
    することを含むことを特徴とする結像方法。
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