JP2016138799A - 半導体集積回路装置及び半導体集積回路装置の試験方法 - Google Patents
半導体集積回路装置及び半導体集積回路装置の試験方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016138799A JP2016138799A JP2015013584A JP2015013584A JP2016138799A JP 2016138799 A JP2016138799 A JP 2016138799A JP 2015013584 A JP2015013584 A JP 2015013584A JP 2015013584 A JP2015013584 A JP 2015013584A JP 2016138799 A JP2016138799 A JP 2016138799A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- semiconductor integrated
- delay
- integrated circuit
- circuit device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体集積回路装置10は、半導体集積回路装置10の遅延を測定する遅延測定回路と、遅延測定回路の測定結果に基づいて、半導体集積回路装置10の接合温度が所望の温度範囲内に収まるように、内部回路13の回路動作を行うクロック信号CLKoutの周波数を制御する周波数制御回路とを有するクロック信号生成回路11を有する。
【選択図】図1
Description
まず、図1〜図3に従って、半導体集積回路装置10の内部構成例について説明する。この半導体集積回路装置10は、ダイナミックバーンイン試験(以下、単に「バーンイン試験」ともいう。)の被測定デバイス(DUT:Device Under Test)である。
クロック生成回路11には、半導体集積回路装置10の外部からクロック端子P1を通じてクロック信号CLKが入力されるとともに、外部からリセット端子P2を通じてリセット信号REが入力される。クロック生成回路11は、クロック信号CLKに基づいて、バーンイン試験時に使用するクロック信号CLKoutを生成する。クロック生成回路11は、バーンイン試験前に、当該半導体集積回路装置10の遅延を測定し、その測定した遅延に基づく半導体集積回路装置10の特性(遅延特性)を記憶回路12に書き込む。クロック生成回路11は、記憶回路12に書き込まれた特性に基づいて、半導体集積回路装置10の接合温度が所望の温度範囲(つまり、バーンイン試験実施可能な温度範囲)内に収まる特性を推測する。ここで、上記所望の温度範囲は、例えば、半導体集積回路装置10の最大動作保証温度(例えば、125℃)以上、且つ半導体集積回路装置10の最大定格温度(例えば、150℃)未満の温度範囲に設定される。なお、最大動作保証温度は、半導体集積回路装置10の動作を保証する温度範囲である動作保証温度の上限温度である。また、最大定格温度は、その温度を超えると半導体集積回路装置10内部の部品等が熱により壊れてしまう限界の温度である。
クロック生成回路11は、初段のラッチ回路20と、2段目のN個(ここでは、7個)のラッチ回路21〜27と、遅延回路30と、選択信号生成回路40と、制御回路41と、分周回路50と、選択回路60とを有している。
記憶回路12は、1個又は複数(ここでは、3個)のヒューズ回路12A〜12Cを有している。ヒューズ回路12Aは、選択信号SS0〜SS7のビット数に対応する個数(ここでは、8個)のヒューズ素子70〜77を有している。ヒューズ回路12Bは、選択信号SS0〜SS7のビット数に対応する個数(ここでは、8個)のヒューズ素子80〜87を有している。ヒューズ回路12Cは、選択信号SS0〜SS7のビット数に対応する個数(ここでは、8個)のヒューズ素子90〜97を有している。各ヒューズ素子70〜77,80〜87,90〜97には、選択信号SS0〜SS7の1ビット分の情報(「0」又は「1」)が記憶される。なお、本例の各ヒューズ素子70〜77,80〜87,90〜97には、初期値として「0」が記憶されている。
次に、図6〜図12に従って、半導体集積回路装置10の試験方法について説明する。
電力=定常消費電力+動作消費電力 …(1)
ここで、上記式1における定常消費電力及び動作消費電力は、例えば以下の式により算出することができる。
動作消費電力=(パラメータ)×(回路規模)×(周波数)×(動作率) …(3)
上記式3におけるパラメータは、温度(第1温度又は第2温度)と予め設定した電圧とによって決定されるデータシートのパラメータである。また、上記式3における周波数は、記憶回路12から読み出した特性に基づいて算出される。このため、上記式1〜式3により算出される低温(第1温度)時の電力は、第1温度時における半導体集積回路装置10の特性(遅延)と、その特性を測定した温度(つまり、第1温度)とを反映した値となる。また、上記式1〜式3により算出される高温(第2温度)時の電力は、第2温度時における半導体集積回路装置10の特性(遅延)と、その特性を測定した温度(つまり、第2温度)とを反映した値となる。
(1)バーンイン試験前に、第1温度の環境下において、ラッチ回路20〜27及び遅延回路31〜37等を用いて半導体集積回路装置10の遅延を測定するようにした。そして、測定した遅延に基づいて、半導体集積回路装置10の接合温度が所望の温度範囲内に収まるように、バーンイン試験時のクロック信号CLKoutの周波数を設定するようにした。これにより、サーミスタやA/D変換回路等を設けることなく、接合温度が所望の温度範囲内に収まるように、バーンイン試験時の動作周波数を制御することができる。したがって、従来技術に比べて部品数の増大を抑制することができ、半導体集積回路装置10の大型化を抑制することができる。この結果、製造コストの削減に貢献することができる。
なお、上記実施形態は、これを適宜変更した以下の態様にて実施することもできる。
・上記実施形態におけるクロック生成回路11の内部構成は特に限定されない。例えば、遅延回路30内の遅延回路31〜37の個数、2段目のラッチ回路21〜27の個数は特に限定されない。また、選択信号SS0〜SS7及び選択信号SG0〜SG7のビット数も特に限定されない。分周回路50内の分周器51〜57の個数や分周器51〜57における分周比も特に限定されない。
11 クロック信号生成回路
12 記憶回路
12A〜12C ヒューズ回路
13 内部回路
20 ラッチ回路(第1ラッチ回路)
21〜27 ラッチ回路(第2ラッチ回路)
30 遅延回路
40 選択信号生成回路
41 制御回路
50 分周回路
60 選択回路
CLK クロック信号(第1クロック信号)
CLKout クロック信号
D0 出力信号
Dd1〜Dd7 遅延信号
D1〜D7 出力信号
CLK1〜CLK7 クロック信号(第2クロック信号)
SS0〜SS7 選択信号
SG0〜SG7 選択信号
Claims (9)
- 半導体集積回路装置であって、
内部回路と、
前記半導体集積回路装置の遅延を測定する遅延測定回路と、
前記遅延測定回路の測定結果に基づいて、前記半導体集積回路装置の接合温度が所望の温度範囲内に収まるように、前記内部回路の回路動作を行う周波数を制御する周波数制御回路と、
を有することを特徴とする半導体集積回路装置。 - 前記遅延測定回路は、
所定周波数の第1クロック信号が入力されるとともに、前記第1クロック信号の第1レベルから該第1レベルとは異なる第2レベルへの遷移に応答して、所定レベルの信号をラッチする第1ラッチ回路と、
前記第1ラッチ回路の出力信号が入力されるN(但し、Nは2以上の整数)個の遅延回路と、
前記第1クロック信号が入力されるとともに、前記N個の遅延回路で生成される遅延信号がそれぞれ入力されるN個の第2ラッチ回路と、を有し、
前記N個の遅延回路は、互いに異なる遅延量を前記第1ラッチ回路の出力信号に付加して前記遅延信号を生成することを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路装置。 - 前記周波数制御回路は、
前記第1クロック信号に基づいて、互いに異なる周波数を持つ複数の第2クロック信号を生成する回路と、
前記測定結果に基づいて、前記第1クロック信号及び前記複数の第2クロック信号の中から1つのクロック信号を選択する選択回路と、を有することを特徴とする請求項2に記載の半導体集積回路装置。 - 前記周波数制御回路は、環境温度が第1温度のときの前記測定結果と、環境温度が第1温度と異なる第2温度のときの前記測定結果とに基づいて、前記接合温度が前記所望の温度範囲内に収まるように前記周波数を制御することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体集積回路装置。
- 環境温度が第1温度のときの前記測定結果と環境温度が前記第1温度より高い第2温度のときの前記測定結果に基づいて算出された前記測定結果の推測値を示す情報を格納する記憶回路を有し、
前記周波数制御回路は、環境温度が前記第2温度より高い第3温度のときの前記測定結果と、前記記憶回路に格納された情報を比較することにより、前記周波数を制御することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体集積回路装置。 - スクリーニング試験の前に、第1温度の環境下において半導体集積回路装置の遅延を測定する工程と、
前記測定された遅延に基づいて、前記半導体集積回路装置の接合温度が所望の温度範囲内に収まるときの前記半導体集積回路装置の遅延を推測する工程と、
前記推測した遅延に基づいて、前記接合温度が前記所望の温度範囲内に収まるように、内部回路の回路動作を行う周波数を設定する工程と、
前記設定した周波数で前記スクリーニング試験を実施する工程と、
を有することを特徴とする半導体集積回路装置の試験方法。 - 前記スクリーニング試験の前に、前記第1温度とは異なる第2温度の環境下において前記半導体集積回路装置の遅延を測定する工程を有し、
前記遅延を推測する工程は、前記第1温度の環境下で測定された遅延と前記第2温度の環境下で測定された遅延とに基づいて、前記接合温度が前記所望の温度範囲内に収まるときの前記半導体集積回路装置の遅延を推測することを特徴とする請求項6に記載の半導体集積回路装置の試験方法。 - 前記スクリーニング試験の前に、前記スクリーニング試験を実施する温度の環境下において前記半導体集積回路装置の遅延を測定する工程を有し、
前記周波数を設定する工程は、
前記スクリーニング試験を実施する温度の環境下で測定された遅延と、前記推測した遅延との比較結果に基づいて、前記接合温度が所望の温度範囲内に収まるように前記周波数を設定することを特徴とする請求項7に記載の半導体集積回路装置の試験方法。 - 前記遅延を推測する工程は、
前記第1温度の環境下で測定された遅延に基づいて、前記第1温度のときの前記半導体集積回路装置の電力を算出するとともに、前記第2温度の環境下で測定された遅延に基づいて、前記第2温度のときの前記半導体集積回路装置の電力を算出する工程と、
前記第1温度のときの前記半導体集積回路装置の電力と、前記第2温度のときの前記半導体集積回路装置の電力とに基づいて、前記接合温度が前記所望の温度範囲内に収まるときの電力を推測する工程と、
前記推測した電力に基づいて、前記接合温度が前記所望の温度範囲内に収まるときの周波数を推測する工程と、
を有することを特徴とする請求項7又は8に記載の半導体集積回路装置の試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015013584A JP6507672B2 (ja) | 2015-01-27 | 2015-01-27 | 半導体集積回路装置及び半導体集積回路装置の試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015013584A JP6507672B2 (ja) | 2015-01-27 | 2015-01-27 | 半導体集積回路装置及び半導体集積回路装置の試験方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016138799A true JP2016138799A (ja) | 2016-08-04 |
JP6507672B2 JP6507672B2 (ja) | 2019-05-08 |
Family
ID=56560022
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015013584A Expired - Fee Related JP6507672B2 (ja) | 2015-01-27 | 2015-01-27 | 半導体集積回路装置及び半導体集積回路装置の試験方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6507672B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021067550A (ja) * | 2019-10-23 | 2021-04-30 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置および半導体装置のバーンインテスト方法 |
KR102380506B1 (ko) * | 2020-10-29 | 2022-03-31 | 포스필 주식회사 | 전자기기 자가 진단 장치 |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05235138A (ja) * | 1992-02-19 | 1993-09-10 | Nec Ic Microcomput Syst Ltd | 半導体集積回路 |
JPH07198777A (ja) * | 1993-12-29 | 1995-08-01 | Nec Corp | 半導体試験装置 |
JPH0855963A (ja) * | 1994-08-10 | 1996-02-27 | Yamaha Corp | 自己発熱抑制機能付き集積回路 |
JPH08265118A (ja) * | 1995-03-23 | 1996-10-11 | Advantest Corp | 遅延時間安定化回路 |
JPH10320071A (ja) * | 1997-05-23 | 1998-12-04 | Rohm Co Ltd | 半導体集積回路 |
US5982189A (en) * | 1997-05-14 | 1999-11-09 | International Business Machines Corporation | Built-in dynamic stress for integrated circuits |
JP2000077999A (ja) * | 1998-09-02 | 2000-03-14 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路 |
JP2000091506A (ja) * | 1998-09-16 | 2000-03-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路 |
JP2002031666A (ja) * | 2000-07-14 | 2002-01-31 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2003098200A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | センサ制御装置及びセンサ調整方法 |
JP2006203687A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路 |
JP2008026948A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路 |
JP2009059965A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置、半導体集積回路装置のテスト方法、バーインストレス&d/sに用いられるプローブカード |
JP2012021897A (ja) * | 2010-07-15 | 2012-02-02 | Oki Electric Ind Co Ltd | 熱特性推定装置及び方法、並びに、温度推定装置及び方法、並びに、半導体装置 |
JP2013029439A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体集積回路装置の試験方法及び半導体集積回路装置 |
-
2015
- 2015-01-27 JP JP2015013584A patent/JP6507672B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05235138A (ja) * | 1992-02-19 | 1993-09-10 | Nec Ic Microcomput Syst Ltd | 半導体集積回路 |
JPH07198777A (ja) * | 1993-12-29 | 1995-08-01 | Nec Corp | 半導体試験装置 |
JPH0855963A (ja) * | 1994-08-10 | 1996-02-27 | Yamaha Corp | 自己発熱抑制機能付き集積回路 |
JPH08265118A (ja) * | 1995-03-23 | 1996-10-11 | Advantest Corp | 遅延時間安定化回路 |
US5982189A (en) * | 1997-05-14 | 1999-11-09 | International Business Machines Corporation | Built-in dynamic stress for integrated circuits |
JPH10320071A (ja) * | 1997-05-23 | 1998-12-04 | Rohm Co Ltd | 半導体集積回路 |
JP2000077999A (ja) * | 1998-09-02 | 2000-03-14 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路 |
JP2000091506A (ja) * | 1998-09-16 | 2000-03-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路 |
JP2002031666A (ja) * | 2000-07-14 | 2002-01-31 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2003098200A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | センサ制御装置及びセンサ調整方法 |
JP2006203687A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路 |
JP2008026948A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路 |
JP2009059965A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置、半導体集積回路装置のテスト方法、バーインストレス&d/sに用いられるプローブカード |
JP2012021897A (ja) * | 2010-07-15 | 2012-02-02 | Oki Electric Ind Co Ltd | 熱特性推定装置及び方法、並びに、温度推定装置及び方法、並びに、半導体装置 |
JP2013029439A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体集積回路装置の試験方法及び半導体集積回路装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021067550A (ja) * | 2019-10-23 | 2021-04-30 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置および半導体装置のバーンインテスト方法 |
JP7194664B2 (ja) | 2019-10-23 | 2022-12-22 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置および半導体装置のバーンインテスト方法 |
KR102380506B1 (ko) * | 2020-10-29 | 2022-03-31 | 포스필 주식회사 | 전자기기 자가 진단 장치 |
US11686772B2 (en) | 2020-10-29 | 2023-06-27 | Phosphil Inc. | Self diagnostic apparatus for electronic device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6507672B2 (ja) | 2019-05-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7576569B2 (en) | Circuit for dynamic circuit timing synthesis and monitoring of critical paths and environmental conditions of an integrated circuit | |
US20090058454A1 (en) | Device power supply extension circuit, test system including the same and method of testing semiconductor devices | |
JP5173216B2 (ja) | 半導体集積回路システム、半導体集積回路、オペレーティングシステム及び半導体集積回路の制御方法 | |
US11604102B2 (en) | Semiconductor device, temperature sensor and power supply voltage monitor | |
JP2017103629A (ja) | 遅延回路、dll回路および遅延回路の故障救済方法 | |
US8560993B2 (en) | Semiconductor device and method of testing the same | |
JP2008084461A (ja) | テスト制御回路 | |
JP5202456B2 (ja) | 試験装置および試験方法 | |
JP2016138799A (ja) | 半導体集積回路装置及び半導体集積回路装置の試験方法 | |
KR20130042334A (ko) | 집적회로 칩 및 반도체 메모리 장치 | |
JP2017199445A (ja) | メモリテストシステム及び半導体装置、並びにメモリテスト方法 | |
JPWO2009028034A1 (ja) | 電子デバイスおよび診断装置 | |
US7853840B2 (en) | Semiconductor memory device and methods thereof | |
JP2011171666A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の試験方法 | |
JP6610216B2 (ja) | 遅延回路および遅延回路の試験方法 | |
JP4783567B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2005340486A (ja) | 温度適応回路、回路の昇温方法及び回路の昇温プログラム | |
US20100027359A1 (en) | Memory test circuit which tests address access time of clock synchronized memory | |
JP5727358B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPWO2009139101A1 (ja) | 電子機器システム、および半導体集積回路のコントローラ | |
JP4886615B2 (ja) | テスト装置及びパタン生成装置 | |
JP3202722B2 (ja) | クロック同期式回路用動作速度評価回路及び方法 | |
TWI829433B (zh) | 晶片特性量測方法、測試裝置以及非暫態電腦可讀取媒體 | |
WO2010079823A1 (ja) | 半導体装置 | |
JP2012255693A (ja) | 半導体集積回路及びその制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181023 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190305 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190318 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6507672 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |