JP2016134527A - 移載装置および移載方法 - Google Patents
移載装置および移載方法Info
- Publication number
- JP2016134527A JP2016134527A JP2015008787A JP2015008787A JP2016134527A JP 2016134527 A JP2016134527 A JP 2016134527A JP 2015008787 A JP2015008787 A JP 2015008787A JP 2015008787 A JP2015008787 A JP 2015008787A JP 2016134527 A JP2016134527 A JP 2016134527A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- plate
- transfer
- surface direction
- cassette
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012546 transfer Methods 0.000 title claims abstract description 58
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 32
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 6
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 107
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 7
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052571 earthenware Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- -1 optical disk Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】移載装置10は、板状部材WFが収納された収納手段CTから当該板状部材WFを支持して取り出す搬送手段20と、搬送手段20に設けられ、板状部材WFの位置を検出可能な検出手段30とを備え、検出手段30は、搬送手段20に支持された板状部材WFに対して相対移動することで、当該板状部材WFにおける面方向の位置を検出可能に設けられている。
【選択図】図1
Description
また、取出動作によって収納手段から取り出される板状部材に対し、検出手段が相対移動して当該板状部材の位置を検出可能に設けられているので、板状部材を移載する動作の中でも、当該板状部材を収納手段から取り出すという必要最低限の動作を行った時点で当該板状部材の位置決めを行うことができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行なD1方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向であって図1中紙面に直交する手前方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、各部材が初期位置に配置された図1中実線で示す状態の移載装置10に対し、作業者が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない入力手段を介してウエハWFの円周部の直径寸法を入力した後、自動運転開始の信号を入力する。その後、作業者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段がウエハWFが収納されたカセットCTを載置台40上に載置する。すると、検出手段30が直動モータ31を駆動し、図2(B)に示すように、段積み方向検出手段34をカセットCTの開口部CT1に近づける。そして、搬送手段20が多関節ロボット21を駆動し、図1中二点鎖線で示すように、段積み方向検出手段34をカセットCTの上部まで移動させ、この移動中において当該段積み方向検出手段34がウエハWFの段積み方向の位置を検出する。
ここで、完全取出区間EAとは、カセットCTからウエハWFを取り出すために必要な最小限の動作範囲とする。本実施形態の場合の完全取出区間EAは、図2(D)に示すように、カセットCTの開口部CT1から、当該カセットCTに収められているウエハWFにおける開口部CT1の反対側の端部までの距離間隔ECと、ウエハWFにおける面方向の最大距離間隔EW(ウエハWFにおける円周部の直径)と、カセットCTから取り出したウエハWFを上下左右等の後方向の成分を含まないいずれの方向に移動させても、当該ウエハWFがカセットCTに接触しない安全距離EMとを足した距離間隔とする。なお、安全距離EMは、カセットCT内でのウエハWFの遊びを考慮して、当該ウエハWFの面方向の最大距離の30%以内が好ましく、ウエハWFの最大距離の20%以内がさらに好ましいが、特に限定されることはない。
このような回転手段70は、搬送手段20がP1〜P4を基にして検証を行った結果、
検証NGだった場合、ウエハWFを所定角度回転させた後、再度ウエハWFと検出手段30との相対移動を行うことができる。これにより、ウエハWFの位置決め精度を向上させることができる。しかも、ウエハWFの搬送中に複数回の検証を行えるようにすれば、移載装置10が所定の時間内でウエハWFを搬送する処理能力が低下することを防止しつつ、当該ウエハWFの位置決め精度を向上させることができる。
この際、ウエハWFを回転させる角度は、120度、100度、30度、5度、1度等、何ら限定されることはないし、ウエハWFを回転させる方向も任意である。
保持アーム22や保持板73の形状は、I型、Y型、丸型等何ら実施形態の形状のものに限定されない。
搬送手段20は、カセットCTに対して下方から上方に向けてウエハWFを取り出したり、カセットCTのランダムな位置からウエハWFを取り出したりしてもよい。
搬送手段20は、ウエハWFの中心位置WC1とWC2との検証を行わずに、いずれか一方をウエハWFの中心位置WCの位置として決定してもよい。
搬送手段20は、ウエハWFの中心位置の検証の結果、検証NGだった場合、当該ウエハWFの搬送を取り止めたり、音や光等の告知手段によって作業者に知らせたりしてもよい。
検出手段30は、ウエハWFの搬送方向に関係なく、例えば、X軸方向やY軸方向に交差する方向に移動することで、当該ウエハWFと相対移動して当該ウエハWFの位置を検出するようにしてもよい。
検出手段30は、例えば昇降アーム21Aに支持させてもよく、搬送手段20の何れの位置に設けてもよい。
検出手段30は、搬送手段20の取出動作以外の動作時にウエハWFの位置を検出してもよいし、完全取出区間EA外でウエハWFの位置を検出してもよい。
検出手段30は、カセットCTに対して移動しながら、上記実施形態のようにしてウエハWFの位置決めを行ってもよい。
検出手段30は、投受光型のセンサ、反射型のセンサ、リミットスイッチ等の接触型のセンサ音波センサ、電磁波センサ等を採用でき、何ら限定されることはない。
検出手段30は、回転手段70で回転されるウエハWFの外縁の位置を複数個所で検知したり、ウエハWFの外縁をカメラ等で撮像したりして当該ウエハWFの位置を検出してもよい。この場合、ウエハWFにオリエンテーションフラット(以下、単に「オリフラ」という)やノッチ等の不規則部位があったとしても、当該ウエハWFの位置を正確に検出して位置決めすることができる。
段積み方向検出手段34はなくてもよい。
ウエハWFに形成された不規則部位を検出可能な光学センサや撮像手段等の不規則部位検出手段を設け、当該不規則部位検出手段で検出した不規則部位を検出手段30が検出しないように、搬送手段20や回転手段70が多関節ロボット21や回動モータ72を駆動し、ウエハWFを所定角度回転させてもよい。なお、回転手段70がない場合、多関節ロボット21がウエハWFを所定角度回転させるには、保持アーム22でウエハWFをリブCT2から持ち上げて所定角度回転させ、当該ウエハWFを再度リブCT2上に載置した後、先に支持した位置とは違う位置でもう一度当該ウエハWFを保持アーム22で保持するとよい。また、搬送手段20がこの動作を複数回繰り返してもよい。
安全距離EMは、ウエハWFの面方向の最大距離の20%以上でもよいし、20%以下でもよい。
収納手段は、板状部材がその表裏面をZ軸に沿うように縦置きで収納される構成でもよく、Z軸に対して傾斜して収納される構成であってもよい。
収納手段は、ウエハWFを1体だけ収納できるものでもよいし、複数体収納できるものでもよい。
収納手段は、段ボール箱や木箱等のその他容器等であってもよく、何ら限定されるものではない。
移載装置10は、カセットCTから取り出したウエハWFを作業テーブル50以外の位置に位置決めして載置するものでもよいし、カセットCTは、載置台40上に載置されなくてもよい。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限り何ら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、搬送手段は、板状部材の面方向に沿った所定の一直線方向に移動する取出動作により当該板状部材を収納手段から取出可能に設けられものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであれば何ら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
20 搬送手段
30 検出手段
CT カセット(収納手段)
WF ウエハ(板状部材)
Claims (3)
- 板状部材が収納された収納手段から当該板状部材を支持して取り出す搬送手段と、
前記搬送手段に設けられ、前記板状部材の位置を検出可能な検出手段とを備え、
前記検出手段は、前記搬送手段に支持された板状部材に対して相対移動することで、当該板状部材における面方向の位置を検出可能に設けられていることを特徴とする移載装置。 - 前記搬送手段は、前記板状部材の面方向に沿った所定の一直線方向に移動する取出動作により当該板状部材を収納手段から取出可能に設けられ、
前記検出手段は、前記取出動作によって前記収納手段から取り出される前記板状部材に対して相対移動することで、当該板状部材における面方向の位置を検出可能に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の移載装置。 - 板状部材が収納された収納手段から当該板状部材を搬送手段で支持して取り出す工程と、
前記搬送手段に支持された板状部材に対し、当該搬送手段に設けられた検出手段を相対移動させることで、前記板状部材における面方向の位置を検出する工程とを備えていることを特徴とする移載方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015008787A JP6468856B2 (ja) | 2015-01-20 | 2015-01-20 | 移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015008787A JP6468856B2 (ja) | 2015-01-20 | 2015-01-20 | 移載装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016134527A true JP2016134527A (ja) | 2016-07-25 |
JP6468856B2 JP6468856B2 (ja) | 2019-02-13 |
Family
ID=56434609
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015008787A Active JP6468856B2 (ja) | 2015-01-20 | 2015-01-20 | 移載装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6468856B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109866208A (zh) * | 2017-12-05 | 2019-06-11 | 日本电产三协株式会社 | 机器人及机器人的示教方法 |
JP2021114493A (ja) * | 2020-01-16 | 2021-08-05 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08335622A (ja) * | 1995-06-07 | 1996-12-17 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置 |
JPH11195686A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-21 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | ウエハ搬送装置 |
JP2002307353A (ja) * | 2001-04-10 | 2002-10-23 | Shinko Electric Co Ltd | 基板位置検出装置 |
-
2015
- 2015-01-20 JP JP2015008787A patent/JP6468856B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08335622A (ja) * | 1995-06-07 | 1996-12-17 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置 |
JPH11195686A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-21 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | ウエハ搬送装置 |
JP2002307353A (ja) * | 2001-04-10 | 2002-10-23 | Shinko Electric Co Ltd | 基板位置検出装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109866208A (zh) * | 2017-12-05 | 2019-06-11 | 日本电产三协株式会社 | 机器人及机器人的示教方法 |
KR20190066545A (ko) * | 2017-12-05 | 2019-06-13 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 로봇 및 로봇의 교시 방법 |
KR102184953B1 (ko) * | 2017-12-05 | 2020-12-01 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 로봇 및 로봇의 교시 방법 |
CN109866208B (zh) * | 2017-12-05 | 2022-06-03 | 日本电产三协株式会社 | 机器人及机器人的示教方法 |
JP2021114493A (ja) * | 2020-01-16 | 2021-08-05 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6468856B2 (ja) | 2019-02-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI732253B (zh) | 搬送系統 | |
TWI668786B (zh) | 基板搬送裝置及基板搬送方法 | |
JP6545519B2 (ja) | 基板搬送ロボットおよび基板検出方法 | |
TW201642377A (zh) | 基板材旋轉裝載器 | |
JP4166813B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
TW201635416A (zh) | 被加工物的交付方法 | |
JP2017050372A (ja) | 基板処理装置及び基板搬送方法並びに基板搬送プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | |
JP6468856B2 (ja) | 移載装置 | |
JP2015036343A (ja) | 容器の保持アームと反転移送装置 | |
JP2006019544A (ja) | 基板移載装置および基板搬送システム | |
JP2016134526A (ja) | 移載装置および移載方法 | |
JP2012164716A (ja) | 基板処理装置、基板処理方法、ならびに、プログラム | |
JP5384270B2 (ja) | ローダ | |
JP2016134525A (ja) | 移載装置および移載方法 | |
KR20170018607A (ko) | 전자소자 분류장치 | |
WO2018003578A1 (ja) | アライメント装置 | |
JP6559986B2 (ja) | 搬送装置および搬送方法 | |
JP2018056328A (ja) | アライメント装置、同アライメント装置を備えた半導体ウエハ処理装置及びアライメント方法 | |
JP2018010273A (ja) | アライメント装置 | |
JP6592261B2 (ja) | 搬送装置および搬送方法 | |
JP7285084B2 (ja) | ケース支持装置およびケース支持方法 | |
TWI847411B (zh) | 晶片取放設備 | |
JP2011181723A (ja) | 搬送機構 | |
JP2016175160A (ja) | 搬送装置 | |
JP2011138859A (ja) | 真空処理装置、および半導体デバイスの製造方法。 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171109 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180717 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180712 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180912 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6468856 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |