JP2016124271A - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】圧力室内の気泡を効果的に除去するとともに、吐出口近傍の液体の増粘を抑制する。
【解決手段】液体吐出ヘッド１は、互いに積層された複数の液体吐出ユニット２７を有し、各液体吐出ユニット２７は、圧電素子１４と第１の基板５と第２の基板７とがこの順に積層されてなる。第１の基板５は、液体を吐出する複数の吐出口３と連通し液体を貯留する複数の圧力室６を画定し、第１の基板５と第２の基板７の少なくともいずれかは第１の液室３１を画定し、第２の基板７は第２の液室３２を画定し、第１の液室３１は圧力室６に液体を供給する供給室１７と圧力室６から液体を回収する回収室８の一方であり、第２の液室３２は他方である。
【選択図】図２

Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドと液体吐出装置に関し、特に圧電素子を用いた液体吐出ヘッドの流路構成に関する。

インクなどの液体を吐出して記録媒体に画像を記録する液体吐出装置には、一般に液体を吐出する液体吐出ヘッドが搭載されている。液体の吐出機構として圧電素子を用いた液体吐出ヘッドが知られている。この種の液体吐出ヘッドでは、圧電素子に電圧を印加し圧電素子を変形させることで圧力室を膨張収縮させ、圧力室の圧力変化を生じさせる。この圧力変化によって、圧力室内の液体が圧力室の一端に形成された吐出口から吐出する。圧電素子を用いた液体吐出ヘッドの一例として、いわゆるベンドモード型の液体吐出ヘッドが知られている。ベンドモード型の液体吐出ヘッドでは、２枚の電極に挟まれた圧電体に電極間に掛かる電圧と平行な方向に変形させることによって、一方の電極に固定された振動板を面外方向に変形させ、液体を吐出させる。ベンドモード型の液体吐出ヘッドは、小さな電圧で振動板を大きく変形させることができ、駆動電圧を低減することができる。

液体吐出ヘッドを構成する圧力室の一つの形態として、圧力室の長手方向の一端に吐出口が形成され、圧力室の長手方向に平行な方向に液体を吐出する、いわゆるエッジシュータが知られている。特許文献１には、エッジシュータタイプの圧力室が圧力室の長手方向と垂直な面内に二次元状に配置された液体吐出ヘッドが開示されている。液体の吐出性能は、振動板の変形による圧力室の容積変化を大きくすることで高められる。エッジシュータタイプの液体吐出ヘッドは長手方向に長い圧力室を実現することが容易なため、振動板の面積を確保し、圧力室の大きな容積変化を実現することができる。このためエッジシュータタイプの液体吐出ヘッドは、液体の吐出性能を損なうことなく二次元状に高密度に圧力室を配置することが可能である。

特許第５２１２６２７号公報

近年、プリント・オン・デマンドなどの商業用途向けの記録装置を中心に、高画質化のために高解像度の画像を形成する要求が高まっている。特許文献１に開示された液体吐出ヘッドでは、圧力室内に気泡が侵入し、あるいは発生した場合に、気泡を除去することが難しい。圧力室内に気泡が滞留していると、液体を吐出するための圧力変化が気泡に吸収され、所望の吐出量や吐出速度を得られない可能性がある。深刻な場合には液体を吐出することができなくなる。また、一定期間液体の吐出が行われていない吐出口の近傍で液体が増粘し、吐出口が目詰まりするおそれがある。その場合も、吐出性能の低下や吐出不良を引き起こす可能性がある。

本発明は、圧力室内の気泡を効果的に除去できるとともに、吐出口近傍の液体の増粘を抑制することができる、圧電素子を用いた液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

本発明の液体吐出ヘッドは、互いに積層された複数の液体吐出ユニットを有し、各液体吐出ユニットは、圧電素子と第１の基板と第２の基板とがこの順に積層されてなる。第１の基板は、液体を吐出する複数の吐出口と連通し液体を貯留する複数の圧力室を画定し、第１の基板と第２の基板の少なくともいずれかは第１の液室を画定し、第２の基板は第２の液室を画定し、第１の液室は圧力室に液体を供給する供給室と圧力室から液体を回収する回収室の一方であり、第２の液室は他方である。

圧電素子は、電圧が印加されることでその面外方向に変形し、圧力室を膨張収縮させる。液体は供給室から圧力室に供給され、圧力室に貯留されている液体は圧力室の膨張収縮に伴い吐出口から吐出する。吐出口から吐出されない液体は回収室で回収される。供給室から圧力室を通って回収室に至る液体の流れが形成されるため、液体に含まれている気泡は液体とともに吐出口の近傍から除去される。液体自体も吐出口の近傍に滞留しにくくなり、液体の増粘を抑制することができる。

本発明によれば、圧力室内の気泡を効果的に除去できるとともに、吐出口近傍の液体の増粘を抑制することができる、圧電素子を用いた液体吐出ヘッドを提供することができる。

本発明の液体吐出装置の概略構成図である。 第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概念図である。 図２に示す液体吐出ヘッドの部分詳細図である。 第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概念図である。 第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの変形例を示す概念図である。 図４に示す液体吐出ヘッドの第１の基板の概念図である。

（第１の実施形態）
以下、図面を参照して、本発明のいくつかの実施形態について説明する。以下の実施形態ではインクジェットプリンタを例に説明するが、本発明の液体吐出ヘッド１は、インクジェットプリンタの他に、塗布装置あるいは造形装置にも適用することができる。図１は、第１の実施形態に係る液体吐出装置１００の概略構成図である。液体吐出装置１００は、後述する液体吐出ヘッド１を搭載した液体吐出ユニット１０１を有している。本実施形態の液体吐出装置１００はモノクロ印刷用であり、一つの液体吐出ユニット１０１だけを備えている。しかし、液体吐出装置１００は、例えばカラー印刷などに対応するために、それぞれが異なる色の液体を吐出する複数の液体吐出ユニット１０１を有していてもよい。

液体吐出ユニット１０１に対向して搬送装置１０２が設けられている。搬送装置１０２には記録媒体１０３が載置される。液体吐出ユニット１０１に搭載された液体吐出ヘッド１から吐出される液体を記録媒体１０３へと着弾させることで記録媒体１０３上に画像が形成される。

液体吐出ユニット１０１に搭載された液体吐出ヘッド１には、後述するように供給本流路２３と回収本流路２２（図２，４参照）が設けられている。供給本流路２３と回収本流路２２は外部流路１０４により互いに接続されている。外部流路１０４には、供給サブタンク１０６と回収サブタンク１０７とが設けられている。供給サブタンク１０６内の液面と回収サブタンク１０７内の液面との水頭差ｈにより、液体吐出ヘッド１を介して、供給サブタンク１０６から回収サブタンク１０７へ液体が流れる。さらに、外部流路１０４の回収サブタンク１０７から供給サブタンク１０６に至る流路には、回収サブタンク１０７内の液体を供給サブタンク１０６へと戻すためのポンプ１０５が設けられている。このような構成により、液体吐出ヘッド１内の液体を循環させることができる。供給サブタンク１０６と回収サブタンク１０７内の液面は液体吐出ヘッド１の吐出口３よりも低い位置にされている。このため、液体吐出ヘッド１の吐出口３が負圧に保たれ、吐出口３からの液体漏れなどが発生しにくくなっている。

図２（ａ）は液体吐出ヘッド１の概略構成図である。図２（ｂ）は液体吐出ヘッド１を図２（ａ）の面Ｐ−Ａで切断した断面図であり、図２（ｃ）は液体吐出ヘッド１を吐出口３および圧力室６を通る面Ｐ−Ｂで切断した断面図である。図２（ａ）中の方向Ｙは流路部材４を構成する第１の基板５、第２の基板７及び圧電素子１４が積層される積層方向Ｙであり、方向Ｚは液体を吐出する方向、すなわち吐出口３が形成された吐出口形成面２８と直交する方向である。方向Ｘは方向Ｙ及びＺと直交する方向である。また、以下の記載で＋Ｘ，＋Ｙ，＋Ｚは各図の方向Ｘ、Ｙ、Ｚを意味し、−Ｘ，−Ｙ，−Ｚは各図の方向Ｘ、Ｙ、Ｚと逆の方向を意味する。

液体吐出ヘッド１は、吐出口３が形成された吐出口形成プレート２と、流路部材４と、後方プレート２１とを有している。吐出口形成プレート２と後方プレート２１はシリコンで形成されている。吐出口形成プレート２の吐出口形成面２８には、液体を吐出するための吐出口３が二次元格子点上に形成されている。吐出口形成プレート２および後方プレート２１は流路部材４に接着されている。

次に図２（ｂ）、図３（ａ）を用いて、流路部材４について詳細に説明する。図３（ａ）は図２（ｂ）のＡ部の拡大図である。本実施形態において、以下に述べる供給室１７と回収室８は相互に交換可能である。以下に詳細に述べるように、本実施形態では第１の基板５が複数の圧力室６と複数の供給室１７を画定し、第２の基板７が複数の回収室８を画定している。しかし、第１の基板５が複数の圧力室６と複数の回収室８を画定し、第２の基板７が複数の供給室１７を画定していてもよい。後者の場合、本実施形態の供給室１７が回収室として、本実施形態の回収室８が供給室として、本実施形態の供給口１９が回収口として、本実施形態の回収口１８が供給口として機能する。そのため、本明細書では、供給室１７と回収室８のうち第１の基板５に設けられている液室を第１の液室３１といい、第２の基板７に設けられている液室を第２の液室３２という場合がある。すなわち、第１の液室３１は各々の圧力室６に対応する供給室１７と回収室８の一方であり、第２の液室３２は他方である。

第１の基板５のＹ方向に関する上面に、Ｚ方向に延びる複数の圧力室６が互いに平行に溝状に形成されている。圧力室６は液体を吐出する吐出口３と連通しており、吐出口３から吐出する液体を貯留する。第１の基板５のＹ方向に関する上面にはさらに、各圧力室６に対応する複数の供給室１７が互いに平行に溝状に形成されている。第１の基板５のＹ方向に関する下方（−Ｙ側）に第２の基板７が形成されている。第２の基板７の上面には、第１の基板５に形成された複数の圧力室６のそれぞれに対応した複数の回収室８が形成されている。複数の回収室８は対応する圧力室６とそれぞれ連通し、互いに平行にかつ溝状にＺ方向に延びている。回収室８は供給室１７と異なる位置で圧力室６と連通し、吐出口３から吐出されない液体を回収する。第１の基板５と、第２の基板７と、圧電素子１４は一組の液体吐出ユニット２７を形成する。液体吐出ユニット２７において、第１の基板５が積層方向Ｙに関して第２の基板７と圧電素子１４との間に位置している。第１の基板５と第２の基板７はシリコンで形成されている。

第２の基板７の下方にはスペーサ２４が設けられている。スペーサ２４には、第１の基板５に形成された複数の圧力室６にそれぞれ対応する複数の空洞部９が設けられている。空洞部９は、圧電素子１４の圧力室６と対向する面の裏面に面している。複数の空洞部９は互いに平行にかつ溝状にＺ方向に延びている。スペーサ２４は互いに隣接する液体吐出ユニット２７の間に位置し、圧電素子１４を挟んで圧力室６の反対側に位置する空洞部９を形成する。スペーサ２４は感光性フィルムで形成されている。スペーサ２４として樹脂性の接着剤などを用いても構わない。

第１の基板５のＹ方向に関する上方には、振動板１０と、共通電極１１と、圧電体１２と、個別電極１３と、からなる圧電素子１４が形成されている。圧電素子１４は供給室１７及び回収室８と異なる位置で圧力室６の境界ないし周囲壁の一部を画定し、圧電素子１４の面外方向（Ｙ方向）に変形する。すなわち、圧電素子１４は圧力室６の一部を画定する隔壁としても配されている。圧電体１２は複数の圧力室６に亘って形成された共通電極１１を介して振動板１０の上方に形成され、圧電体１２の上方に、複数の圧力室６の個々に対応して、個別電極１３が形成されている。圧電素子１４は、圧電体１２を共通電極１１と個別電極１３間の電圧と平行な方向に収縮させることで振動板１０を変形させるベンドモードを用いている。ベンドモードは小さな電圧で振動板１０を大きく変形させることができる。本実施形態においては、振動板１０にニッケルを用いている。共通電極１１と、個別電極１３とは、Ｙ方向に関して配置が逆であっても構わず、圧電体１２が共通電極１１と個別電極１３の間に挟まれていればよい。

流路部材４は、第１の基板５と、第２の基板７と、圧電素子１４と、からなる液体吐出ユニット２７が、スペーサ２４を介してＹ方向に複数積層されて形成されている。スペーサ２４に形成された空洞部９が、Ｙ方向に関して下方の液体吐出ユニット２７の個別電極１３およびその周囲の振動板１０が変形する領域を覆っている。すなわち、空洞部９はベンドモードで振動板１０が変形するために必要な領域を形成しており、スペーサ２４と第２の基板７の下面が空洞部９を覆っている。第２の実施形態で述べるように、スペーサ２４を省略し、第２の基板７の下面に空洞部９を形成する凹部を設けてもよい。本実施形態で用いた液体吐出ヘッド１では、液体吐出ユニット２７を４層積層している。液体吐出ユニット２７が複数（本実施形態においては４層）積層された積層体のＹ方向に関する上方には、上側カバープレート１５が形成されている。積層された液体吐出ユニット２７の一番下の液体吐出ユニット２７の第２の基板７の下には、空洞部９が必要ないことから、スペーサ２４は設けられていない。本実施形態においては、上側カバープレート１５にシリコンを用いている。

次に図２（ｃ）および図３（ｂ）を用いて、さらに詳細に流路構成について説明する。図３（ｂ）は本実施形態で用いた液体吐出ヘッド１の供給口１９について説明するための図である。圧力室６と回収室８とは第１の基板５に形成された回収口１８を介して連通している。第１の基板５のＺ方向の後方（−Ｚ側）には供給室１７が形成されており、第１の基板５に形成された供給口１９を介して圧力室６と連通している。供給口１９は、Ｘ方向に関する幅が圧力室６および供給室１７より小さくなるように形成されている。これにより、供給口１９は、供給室１７と圧力室６との間の流れを制御する、いわゆる後方絞りとして機能する。

後方プレート２１には、Ｘ方向に並ぶ複数の供給室１７に液体を供給する供給本流路２３と、Ｘ方向に並ぶ複数の回収室８から後方プレート２１側へと流れてきた液体を回収する回収本流路２２と、が形成されている。供給本流路２３と回収本流路２２は、Ｘ方向に関し、後方プレート２１の互いに反対側の側面で外部流路１０４と連通している（図１参照）。これにより、外部流路１０４が回収室８と供給室１７とを接続している。供給本流路２３の上流に供給サブタンク１０６が、回収本流路２２の下流側に回収サブタンク１０７が設けられ、供給サブタンク１０６と回収サブタンク１０７との水頭差ｈにより、供給サブタンク１０６側から回収サブタンク１０７側へと液体が流れる。さらに、回収サブタンク１０７と供給サブタンク１０６の間の外部流路１０４にはポンプ１０５が設けられ、回収サブタンク１０７に回収された液体を、供給サブタンク１０６へと戻すことができる。このような構成により、液体吐出ヘッド１内の液体を循環させることができる（図１参照）。

ここで、本実施形態の液体吐出ヘッド１における液体の流れについて説明する。供給室１７から供給口１９を介して圧力室６へと供給された液体は、回収口１８を介して回収室８へと流れていく。すなわち、圧力室６内には−Ｚ側から＋Ｚ側への流れが発生する。圧力室６内に気泡が侵入し、あるいは発生した場合に、この流れにより圧力室６内の気泡を除去し、回収室８に移送することができる。これにより、圧力室６内の気泡による吐出性能の低下や不吐出を防止することができる。また、絶えず圧力室６内に流れが発生していることにより、常に吐出口３の近傍にフレッシュな液体が供給される。この液体の流れにより増粘した液体中の含有物の拡散が促され、吐出口３近傍の液体が蒸発によって増粘することを効果的に防止することができる。

次に、図２（ｂ）および図２（ｃ）を用いて、本実施形態の液体吐出ヘッド１の配線について説明する。本実施形態の液体吐出ヘッド１では、共通電極１１はＸ方向および−Ｘ方向へと引きだされている。それに対し、個別電極１３はそれぞれ−Ｚ方向へ延び、後方プレート２１に形成された取り出し配線２０と接続されている。図示しないが、取り出し配線２０は後方プレート２１上を這いまわされ、外部配線（図示せず）と接続されている。

本実施形態によれば、圧力室６が二次元状に配置されたベンドモード型のエッジシュータタイプの液体吐出ヘッド１において、圧力室６内の気泡を効果的に除去できるとともに、吐出口３の近傍の液体の増粘を抑制することができる。

（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。以下の説明では、第１の実施形態と共通する事項については説明を省略する。図４（ａ）は第２の実施形態で用いた液体吐出ヘッド１の概略構成図である。図４（ｂ）は液体吐出ヘッド１を図４（ａ）の面Ｐ−Ａで切断した断面図であり、図４（ｃ）は液体吐出ヘッド１を吐出口３および圧力室６を通る面Ｐ−Ｂで切断した断面図である。図４（ａ）に示したように、本実施形態においては後方プレートを用いていないため、後方プレートを作製する工程と、それを流路部材４に接合する工程を省略することができる。

次に図４（ｂ）を用いて、本実施形態の流路部材４について詳細に説明する。本実施形態においては、第２の基板７の上面に形成された回収室８は、圧力室６毎に対応しておらず各液体吐出ユニット２７の全ての圧力室６に対応する単一の回収室８である。回収室８は圧力室６の長手方向、すなわち圧力室６を液体が流れる方向と交差する向き、好ましくは直交する向き（Ｘ方向）に延びている。第２の基板７の下面に複数の空洞部９を画定する複数の凹部２９が形成されている。複数の凹部２９は、第１の基板５に形成された複数の圧力室６にそれぞれ対応して、Ｚ方向に互いに平行に溝状に延びている。すなわち、第２の基板７は隣接する液体吐出ユニット２７の圧電素子１４と対向する面に、空洞部９を形成する凹部２９を有している。本実施形態においては、第２の基板７に回収室８と空洞部９（凹部２９）が形成されており、スペーサ２４が不要である。このため、液体吐出ヘッド１の構成を簡略化できるとともに、スペーサ２４を積層する工程を削減できる。しかし、本実施形態において、第１の実施形態と同様のスペーサ２４を用いることもできる。

本実施形態では、第１の基板５と、第２の基板７と、圧電素子１４と、からなる液体吐出ユニット２７がＹ方向に複数積層されている。第２の基板７は、空洞部９がＹ方向に関して下方の液体吐出ユニット２７の個別電極１３およびその周囲の振動板１０の変形領域を覆うように積層されている。液体吐出ユニット２７が複数（本実施形態においては４層）積層された積層体のＹ方向に関する上方には、空洞部９が形成された上側カバープレート１５が形成されている。積層された液体吐出ユニット２７の一番下の液体吐出ユニット２７には空洞部９が必要ないため、第２の基板７の代わりに、回収室８だけが形成された下側カバープレート１６が設けられている。本実施形態においては、上側カバープレート１５および下側カバープレート１６はシリコンで形成されている。

次に図４（ｃ）を用いて、さらに詳細に流路構成について説明する。第２の基板７のＺ方向の後方（−Ｚ側）には、各液体吐出ユニット２７の全ての圧力室６に対応する単一の供給室１７が形成されており、第１の基板５の−Ｚ側に形成された供給口１９を介して圧力室６と連通している。供給室１７は回収室８と同様、圧力室６の長手方向、すなわち圧力室６を液体が流れる方向と交差する向き、好ましくは直交する向き（Ｘ方向）に延びている。供給口１９は圧力室６の長手方向（Ｚ方向）に関して回収口１８の反対側にあり、本実施形態においては供給口１９が圧力室６の−Ｚ側の端部に形成されている。これによって、圧力室６内の全体に液体の流れを生じさせることができ、より効果的に圧力室６内に滞留している気泡を除去することができる。

本実施形態においては、第２の基板７のＺ方向に関して前方及び後方にそれぞれ回収室８と供給室１７とが形成されており、第２の基板７のＺ方向に関して中心付近には流路が形成されていない。このため、第２の基板７の剛性を高めることができ、液体吐出ヘッド１の作製を簡略化できる。

本実施形態においては、供給室１７は第２の基板７に形成されているが、第１の基板５に形成されてもよいし、あるいは第１の基板５と第２の基板７とに跨って形成されてもよい。すなわち、単一の供給室１７は第１の基板５と第２の基板７の少なくともいずれかによって画定されることができる。特に図５に示すように供給室１７を第１の基板５と第２の基板７とに跨って形成する構成は、供給室１７の流路断面を大きく（太く）することができ、液体のリフィルの観点から望ましい。

ここで、本発明の液体吐出ヘッド１における液体の流れについて説明する。図６（ａ）は本実施形態で用いた液体吐出ヘッド１の第１の基板５のＸＹ断面について説明する図である。図６（ｂ）は第１の基板５を＋Ｙ方向から見た図である。第１の基板５と、第２の基板７と、圧電素子１４と、上側カバープレート１５の＋Ｚ側の−Ｘ側および＋Ｘ側の端部付近に、回収室８と連通する回収側孔部２５が形成されている。一例として、第１の基板５に形成された回収側孔部２５を図６（ｂ）に示している。第２の基板７と、圧電素子１４と、上側カバープレート１５に形成された回収側孔部２５については図示を省略する。これらの回収側孔部２５により回収本流路２２が形成され、回収本流路２２は流路部材４の上面で外部流路１０４と接続している（図１および図４（ａ）参照）。同様に、第１の基板５と、第２の基板７と、圧電素子１４と、上側カバープレート１５の−Ｚ側の−Ｘ側および＋Ｘ側の端部付近に、供給室１７と連通する供給側孔部２６が形成されている。一例として、第１の基板５に形成された供給側孔部２６を図６（ｂ）に示している。第２の基板７と、圧電素子１４と、上側カバープレート１５に形成された供給側孔部２６については図示を省略する。これらの供給側孔部２６により供給本流路２３が形成され、供給本流路２３は流路部材４の上面で外部流路１０４と接続している（図１および図４（ａ）参照）。

供給室１７から供給口１９を介して圧力室６へと供給された液体は、回収口１８を介して回収室８へと流れる。すなわち、圧力室６内には−Ｚ側から＋Ｚ側への流れが発生する。圧力室６内に気泡が侵入し、あるいは発生した場合に、この流れにより圧力室６内の気泡を除去し回収室８側に移送することができる。これにより、圧力室６内の気泡による吐出性能の低下や不吐出を防止することができる。また、絶えず圧力室６内に流れが発生していることにより、常に吐出口３の近傍にフレッシュな液体が供給される。この液体の流れにより増粘した液体中の含有物の拡散が促され、吐出口３近傍の液体が蒸発によって増粘することを効果的に防止することができる。

本実施形態の液体吐出ヘッド１では、共通電極１４はＸ方向および−Ｘ方向へと引きだされている。それに対し、個別電極１３はそれぞれ−Ｚ方向へ引きだされ、第１の基板５のＹ方向に関する下面に形成された取り出し配線２０と接続されている。図４（ｃ）に示すように、本実施形態においては、第１の基板５は液体吐出ユニット２７毎にその長さが変えられており、−Ｙ方向に行くほど短くなっていて、それにより−Ｚ側の端部は不揃いになっている。これにより、−Ｚ側で取り出し配線２０と外部の配線との接続が容易にできるようになっている。

本実施形態によれば、圧力室６が二次元状に配置されたベンドモード型のエッジシュータタイプの液体吐出ヘッド１において、圧力室６内の気泡を効果的に除去できるとともに、吐出口３近傍の液体の増粘を抑制することができる。同時に、第２の基板７の剛性を高め、さらに、後方プレートおよびスペーサを作製・接合する工程を省略し、液体吐出ヘッド１の作製を簡略化できる。

本実施形態においても、供給室１７と回収室８は相互に交換可能である。すなわち、第１の液室３１を単一の供給室１７と単一の回収室８の一方、第２の液室３２を他方としたときに、第１の基板５と第２の基板７の少なくともいずれかは単一の第１の液室３１を画定し、第２の基板７は単一の第２の液室３２を画定する。

１ 液体吐出ヘッド
３ 吐出口
６ 圧力室
８ 回収室
１４ 圧電素子
１７ 供給室
２７ 液体吐出ユニット
３１ 第１の液室
３２ 第２の液室

Claims (9)

1. 互いに積層された複数の液体吐出ユニットを有し、各液体吐出ユニットは、圧電素子と第１の基板と第２の基板とがこの順に積層されてなり、
   前記第１の基板は、液体を吐出する複数の吐出口と連通し前記液体を貯留する複数の圧力室を画定し、前記第１の基板と前記第２の基板の少なくともいずれかは第１の液室を画定し、前記第２の基板は第２の液室を画定し、前記第１の液室は前記圧力室に前記液体を供給する供給室と前記圧力室から前記液体を回収する回収室の一方であり、前記第２の液室は他方である、液体吐出ヘッド。
2. 前記第１の基板は複数の前記第１の液室を画定し、前記第２の基板は複数の前記第２の液室を画定し、前記複数の第１の液室は各々が前記圧力室に対応する複数の前記供給室と複数の前記回収室の一方であり、前記第２の液室は他方である、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１の基板と前記第２の基板の少なくともいずれかは単一の前記第１の液室を画定し、前記第２の基板は単一の第２の液室を画定し、前記単一の第１の液室は各前記液体吐出ユニットの全ての前記圧力室に対応する単一の前記供給室と単一の前記回収室の一方であり、前記単一の第２の液室は他方である、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第２の液室は、前記圧力室の前記液体が流れる方向と交差する向きに延びている、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１の液室は前記第１の基板と前記第２の基板に跨って形成されている、請求項３または４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 互いに隣接する前記液体吐出ユニットの間に位置し、前記圧電素子の前記圧力室と対向する面の裏面に面する空洞部を形成するスペーサを有している、請求項２から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第２の基板は隣接する前記液体吐出ユニットの前記圧電素子と対向する面に、前記圧電素子の前記圧力室と対向する面の裏面に面する空洞部を形成する凹部を有している、請求項２から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記圧電素子は、複数の前記圧力室に亘って形成された共通電極と、前記複数の圧力室の各々に対応する個別電極と、前記共通電極と前記個別電極の間に挟まれた圧電体と、を有している、請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
   前記回収室と前記供給室とを接続する外部流路と、
   前記外部流路に設けられ前記液体を循環させるポンプと、を有する液体吐出装置。

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