JP2022124263A - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】必要な圧力損失を確保し易くなる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドは、液体が外部から供給される供給マニホールドと、液体が外部に排出される帰還マニホールド２３と、上流端が供給マニホールドに連通され、下流端が帰還マニホールドに連通され、且つ列をなしてノズル面に配置された複数のノズルに対して個別に連通した複数の個別流路とを備え、複数の個別流路の各々は、圧力室、圧力室に連通するディセンダ、帰還マニホールドに連通する帰還絞り路３１、および、帰還絞り路とディセンダとの間に介在しノズルに連通する介在流路８０を含み、帰還絞り路は介在流路が延在する方向である第１方向とは異なる第２方向に延在し、帰還絞り路の流路断面積は介在流路の流路断面積よりも小さい。【選択図】図３

Description

本発明は、インク等の液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。

従来、供給マニホールドおよび帰還マニホールドを備え、インクタンクと液体吐出ヘッドとの間でインクを循環させるようにした構成が知られている。このような液体吐出ヘッドの一例として、特許文献１には、ノズルの軸心に対して垂直な方向からの流れを作り出す第１部分を設けることで、ノズル近傍の気泡を効果的に除去する構成が開示されている。

特開２０２０－１０４３６４号公報

しかしながら、従来の液体吐出ヘッドでは、上記第１部分の下流側に接続された帰還絞り路（同文献では第２部分と記）の長さを十分に確保することができないという課題があった。そのため、必要な圧力損失を確保することができず、それ故吐出時の圧力を効果的にノズルに与えることができない恐れがあった。

そこで、本発明は、必要な圧力損失を確保し易くなる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

本発明の液体吐出ヘッドは、液体が外部から供給される供給マニホールドと、前記液体が外部に排出される帰還マニホールドと、上流端が前記供給マニホールドに連通され、下流端が前記帰還マニホールドに連通され、且つ列をなしてノズル面に配置された複数のノズルに対して個別に連通した複数の個別流路と、を備え、前記複数の個別流路の各々は、圧力室、前記圧力室に連通するディセンダ、前記帰還マニホールドに連通する帰還絞り路、および、前記帰還絞り路と前記ディセンダとの間に介在し前記ノズルに連通する介在流路を含み、前記帰還絞り路は前記介在流路が延在する方向である第１方向とは異なる第２方向に延在し、前記帰還絞り路の流路断面積は前記介在流路の流路断面積よりも小さいものである。

本発明に従えば、帰還絞り路が第１方向とは異なる第２方向に延在するため、帰還絞り路が介在流路の延在方向と同方向に延在する従来態様よりも、当該帰還絞り路の長さを確保することができる。また、介在流路と帰還絞り路との接続部分で曲り損失を発生させることができる。さらに、帰還絞り路の流路断面積が介在流路の流路断面積よりも小さい。これらによって、必要な圧力損失を確保し易くなる。

本発明によれば、必要な圧力損失を確保し易くなる液体吐出ヘッドを提供することができる。

第１実施形態に係る液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置の概略構成を示す平面図である。 図１の液体吐出ヘッドを延在方向に直交する線分で切断した断面図である。 （ａ）は介在流路、帰還絞り路および帰還マニホールドを示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）の介在流路の拡大平面図である。 （ａ）は介在流路の流路断面を示す図であり、（ｂ）は帰還絞り路の流路断面を示す図である。 介在流路、ノズルおよび帰還絞り路の寸法を説明するための図である。 帰還絞り路の変形例を示す平面図である。

以下、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図面を参照して説明する。以下に説明する液体吐出ヘッドは本発明の一実施形態に過ぎない。従って、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除および変更が可能である。

＜液体吐出装置の構成＞
本実施形態に係る液体吐出ヘッド２０を備える液体吐出装置１０は、例えばインク等の液体を吐出するものである。以下では、液体吐出装置１０をインクジェットプリンタに適用した例について説明するが、液体吐出装置１０の適用対象はこれに限定されるものではない。

図１に示すように、液体吐出装置１０は、例えばラインヘッド方式が採用され、プラテン１１、搬送部、ヘッドユニット１６、およびタンク１２を備えている。但し、液体吐出装置１０はラインヘッド方式に限定されず、例えばシリアルヘッド方式等の他の方式も採用し得る。

プラテン１１は平板部材であり、上面に用紙１４が配置されてその用紙１４とヘッドユニット１６との距離を決定する役割を担う。なお、プラテン１１よりもヘッドユニット１６側を上側と称してその反対側を下側と称するが、液体吐出装置１０の配置はこれに限定されない。

搬送部は例えば２つの搬送ローラ１５および図略の搬送モータを有する。２つの搬送ローラ１５は、上記搬送モータに連結され、プラテン１１を互いに挟んだ状態で用紙１４の搬送方向に直交する方向（直交方向）に沿って互いに平行に配置されている。搬送モータが駆動されると、搬送ローラ１５が回転し、プラテン１１上の用紙１４が搬送方向に搬送される。

ヘッドユニット１６は、上記直交方向における用紙１４の長さ以上の長さを有している。ヘッドユニット１６には複数の液体吐出ヘッド２０が設けられている。

液体吐出ヘッド２０は流路形成体と容積変更部との積層体を有する。流路形成体は、内部に液体流路が形成され、吐出面（ノズル面）４０ａに複数のノズル孔２１ａが開口している。容積変更部は、駆動されて液体流路の容積を変更する。この場合、ノズル孔２１ａでは、メニスカスが振動し、液体が吐出される。なお、液体吐出ヘッド２０の詳細については後述する。

液体が例えばインクの場合、タンク１２は当該インクの種類ごとに設けられている。タンク１２は例えば４つ設けられ、４つのタンク１２内には、ブラック、イエロー、シアン、およびマゼンタのインクがそれぞれ貯留されている。タンク１２のインクは対応するノズル孔２１ａに供給される。

＜液体吐出ヘッドの構成＞
液体吐出ヘッド２０は、上述の通り流路形成体および容積変更部を備えている。図２に示すように、上記の流路形成体は複数のプレートの積層体であり、上記の容積変更部は振動板５５および圧電素子６０を有している。

上記の複数のプレートは金属製のエッチングプレートであり、ノズルプレート４０、第１流路プレート４１、第２流路プレート４２、第３流路プレート４３、第４流路プレート４４、第５流路プレート４５、第６流路プレート４６、第７流路プレート４７、第８流路プレート４８、第９流路プレート４９、第１０流路プレート５０、第１１流路プレート５１、第１２流路プレート５２、第１３流路プレート５３、および第１４流路プレート５４を含む。これらのプレートはこの順で積層されている。

各プレートには、大小様々な孔および溝が形成されている。各プレートが積層された流路形成体の内部では孔および溝が組み合わされて、複数のノズル２１、複数の個別流路６４、供給マニホールド２２および帰還マニホールド２３が液体流路として形成されている。

ノズル２１はノズルプレート４０を積層方向（上下方向）に貫通し形成されている。ノズルプレート４０の吐出面４０ａには、ノズル２１の先端である複数のノズル孔２１ａがノズル列に沿う方向（以下、列方向と記載）に並設されている。列方向は上記の積層方向および後記の幅方向にそれぞれ直交する方向である。

ノズル２１の液体に対するイナータンスは帰還絞り路３１の液体に対するイナータンスよりも小さい。なお、流路の液体に対するイナータンスＭは、Ｍ＝ρ×Ｌ／Ｓで表される。このイナータンスＭの算出式において、ρは液体の密度であり、Ｌは流路長であり、Ｓは流路断面積である。

供給マニホールド２２は列方向に延在しており、複数の個別流路６４に接続されている。帰還マニホールド２３は列方向に延在しており、複数の個別流路６４に接続されている。供給マニホールド２２は帰還マニホールド２３の上に配置されている。供給マニホールド２２は供給ポート２２ａに連通し、帰還マニホールド２３は図略の帰還ポートに連通する。

複数の個別流路６４は供給マニホールド２２および帰還マニホールド２３に接続されている。個別流路６４の上流端は供給マニホールド２２に連通し、その下流端は帰還マニホールド２３に連通している。また、個別流路６４は供給マニホールド２２と帰還マニホールド２３との間においてノズル２１の基端に連通する。個別流路６４は、第１連通孔２５、供給絞り路２６、第２連通孔２７、圧力室２８、ディセンダ２９、介在流路８０、帰還絞り路３１、および第３連通孔３２を有し、これらはこの順に配置されている。なお、本実施形態における介在流路８０の詳細については後で述べる。

第１連通孔２５は、その下端が供給マニホールド２２の上端に接続し、供給マニホールド２２から積層方向の上方に延び、第１２流路プレート５２における上側部分を積層方向に貫通している。第１連通孔２５は、供給マニホールド２２の幅方向の中央よりも一方側（図２では右側）に配置されている。

供給絞り路２６の一端は第１連通孔２５の上端に接続されている。供給絞り路２６は、例えばハーフエッチング加工により形成され、第１３流路プレート５３の下面から窪んだ溝により構成されている。また、第２連通孔２７は、その下端が供給絞り路２６の他端に接続され、供給絞り路２６から積層方向の上方に延び、第１３流路プレート５３における上側部分を積層方向に貫通している。第２連通孔２７は、幅方向における供給マニホールド２２の中央よりも他方側（図２では左側）に配置されている。

圧力室２８はその一端が第２連通孔２７の上端に接続されている。圧力室２８は第１４流路プレート５４を積層方向に貫通して形成されている。

ディセンダ２９は、第２流路プレート４２～第１３流路プレート５３を積層方向に貫通し、幅方向において供給マニホールド２２および帰還マニホールド２３よりも他方側（図２では左側）に配置されている。ディセンダ２９は、その上端が圧力室２８の他端に接続され、その下端が介在流路８０に接続されている。なお、ディセンダ２９の断面積は積層方向に一定であってもよいし、変化してもよい。

介在流路８０は第１流路プレート４１を積層方向に貫通し、ディセンダ２９よりも下方に配置されている。介在流路８０はディセンダ２９と帰還絞り路３１との間に介在する。なお、介在流路８０の詳細については後述する。

帰還絞り路３１は、その一端が介在流路８０の第２部分８０ｂの下流端に接続されている。帰還絞り路３１は例えばハーフエッチング加工により形成され、第１流路プレート４１の下面から窪んだ溝により構成されている。

第３連通孔３２は、その下端が帰還絞り路３１の他端に接続され、帰還絞り路３１から積層方向の上方に延び、第１流路プレート４１における上側部分を積層方向に貫通している。第３連通孔３２は、その上端が帰還マニホールド２３の下端に接続されている。第３連通孔３２は、幅方向における帰還マニホールド２３の中央よりも他方側（図２では左側）に配置されている。

振動板５５は、第１４流路プレート５４の上に積層されており、圧力室２８の上端開口を覆っている。なお、振動板５５は第１４流路プレート５４と一体的に形成されてもよい。この場合、圧力室２８は積層方向に第１４流路プレート５４の下面から窪んで形成される。この第１４流路プレート５４において圧力室２８よりも上側部分が振動板５５として機能する。

圧電素子６０は、共通電極６１、圧電層６２および個別電極６３を含み、これらはこの順で配置されている。共通電極６１は、絶縁膜５６を介して振動板５５の全面を覆っている。圧電層６２は、絶縁膜５６および共通電極６１を介して振動板５５の全面を覆っている。個別電極６３は、圧力室２８毎に設けられ、圧電層６２上に配置されている。この場合、１つの個別電極６３、共通電極６１および両電極で挟まれた部分の圧電層６２により、１つの圧電素子６０が構成される。

個別電極６３はドライバＩＣに電気的に接続されている。このドライバＩＣは、図略の制御部から制御信号を受けて駆動信号を生成し、個別電極６３に印加する。これに対し、共通電極６１は常にグランド電位に保持されている。

圧電層６２の活性部は駆動信号に応じて２つの電極６１，６３と共に面方向に伸縮する。これに応じて、振動板５５が協働して変形し、圧力室２８の容積を増減する方向に変化する。これによって、ノズル２１から液体を吐出させる吐出圧力が圧力室２８の容積に応じて当該圧力室２８に付与される。

＜液体の流れ＞
本実施形態の液体吐出ヘッド２０における液体の流れについて説明する。供給ポート２２ａは供給配管によりタンク１２に接続され、図略の帰還ポートは帰還配管によりタンク１２に接続されている。このような構成において、供給配管のポンプおよび帰還配管の負圧ポンプが駆動すると、液体はタンク１２から供給ポート２２ａを介して供給マニホールド２２に流入する。

この間に液体の一部は個別流路６４に流入する。液体は供給マニホールド２２から第１連通孔２５を介して供給絞り路２６に流入し、供給絞り路２６から第２連通孔２７を介して圧力室２８に流入する。そして、液体は、ディセンダ２９を上端から下端へ積層方向に流れ、介在流路８０を通ってノズル２１に流入する。そして、圧電素子６０により圧力室２８に吐出圧力が付与されると、液体はノズル孔２１ａから吐出される。

ノズル孔２１ａから吐出されなかった液体の一部は、介在流路８０を介して帰還絞り路３１を流れ、第３連通孔３２を介して帰還マニホールド２３に流入する。そして、第３連通孔３２を介して帰還マニホールド２３に流入した液体は、帰還マニホールド２３内を流れて、帰還ポートから液体吐出ヘッド２０内に設けられたサブタンクを経由して供給ポート２２ａへ戻り循環する。

＜介在流路および帰還絞り路の詳細＞
図３（ａ）は、介在流路８０、帰還絞り路３１および帰還マニホールド２３を示す平面図であり、同図（ｂ）は（ａ）の介在流路８０の拡大平面図である。図３（ａ）に示すように、本実施形態において帰還絞り路３１は介在流路８０が延在する方向である第１方向とは異なる第２方向に延在する。第１方向は上述の幅方向と同じ方向である。また、第２方向に係るベクトルは上記第１方向と同じ方向成分Ｄｓおよび帰還マニホールド２３内の液体が流れる方向Ｄｅと同じ方向成分Ｄｅを含む。つまり、本実施形態において第２方向は平面視で第１方向に対して帰還マニホールド２３の下流端に向けて傾斜する方向である。

介在流路８０は平面視でディセンダ２９と重なる第１部分８０ａと当該ディセンダ２９と重ならない第２部分８０ｂとを含む。本実施形態では、介在流路８０の第１部分８０ａの体積は第２部分８０ｂの体積よりも大きいが、これに限られるものではなく、第２部分８０ｂの体積が第１部分８０ａの体積よりも大きくてもよい。介在流路８０は長辺および短辺を有する形状を備えている。介在流路８０は例えば平面視で長円状に形成されている。帰還絞り路３１は介在流路８０の短辺側（帰還マニホールド２３の方の短辺側）に接続されている。このような構成において、各ノズル２１は平面視で介在流路８０の第２部分８０ｂに重なるように配置されている。より詳細には、図３（ｂ）に示すように、各ノズル２１は、介在流路８０の第２部分８０ｂの上流端８０ｂ１から下流端８０ｂ２までの距離Ｄｋ（例えば１００μｍ）の半値Ｄｋ／２（例えば５０μｍ）を基準として第１部分８０ａ寄りに配置されている。さらに詳細には、各ノズル２１は上記の半値Ｄｋ／２を基準に当該半値Ｄｋ／２の位置と当該ノズル２１の中心２１ｃとの距離Ｄｋｃが例えば２０μｍとなるように第１部分８０ａ寄りに配置されている。

本実施形態において、図４（ｂ）に示す帰還絞り路３１の流路断面積ＣＳ２は、同図（ａ）に示す介在流路８０の流路断面積ＣＳ１よりも小さい。また、図２に示す帰還絞り路３１の深さＤｈ２は、同図に示す当該帰還絞り路３１を形成する第１流路プレート４１の板厚Ｄｈ１よりも小さい。

また、図５に示すように、介在流路８０の、列方向における寸法（幅）Ｗ１（例えば１００μｍ～２００μｍ）はノズル２１の内径Ｉｎ（例えば５０～６０μｍ）よりも大きい。また、帰還絞り路３１の、第２方向に対する垂直方向における寸法（幅）Ｗ２（例えば８０～９０μｍ）はノズル２１の内径Ｉｎよりも大きい。

さらに、介在流路８０の、列方向における寸法Ｗ１は、図２に示す介在流路８０の深さ（換言すれば第１流路プレート４１の板厚）Ｄｈ１（例えば５０μｍ）よりも大きい。また、帰還絞り路３１の、第２方向に対する垂直方向における寸法Ｗ２は、図２に示す帰還絞り路３１の深さＤｈ２よりも大きい。

以上説明したように、本実施形態の液体吐出ヘッド２０によれば、帰還絞り路３１が第１方向とは異なる第２方向に延在するため、帰還絞り路３１が介在流路８０の延在方向と同方向に延在する従来態様よりも、当該帰還絞り路３１の長さを確保することができる。また、介在流路８０と帰還絞り路３１との接続部分で曲り損失を発生させることができる。さらに、本実施形態では帰還絞り路３１の流路断面積ＣＳ２が介在流路８０の流路断面積ＣＳ１よりも小さい。これらによって、必要な圧力損失を確保し易くなる。

また、本実施形態では、帰還絞り路３１の延在方向である第２方向に係るベクトルは第１方向と同じ方向成分Ｄｓおよび帰還マニホールド２３内の液体が流れる方向Ｄｅと同じ方向成分Ｄｅを含む。つまり、第２方向は平面視で第１方向に対して帰還マニホールド２３の下流端に向けて傾斜する方向である。これによって、帰還絞り路３１の出口において液体をスムーズに流すことができる。

また、本実施形態では、各ノズル２１は平面視で介在流路８０の第２部分８０ｂに重なるように配置され且つ当該第２部分８０ｂの上流端８０ｂ１から下流端８０ｂ２までの距離Ｄｋの半値Ｄｋ／２を基準として第１部分８０ａ寄りに配置されている。この点について、流量が多くなると、帰還絞り路３１の入口における流れの曲がりによってノズル２１内の流速に差が生じ、メニスカスの形状が一様にならなくなる問題がある。そこで、ノズル２１を出来るだけ帰還絞り路３１から離して配置することで上記問題が生じるのを防ぐことができる。

また、本実施形態では、ノズル２１の液体に対するイナータンスは帰還絞り路３１の液体に対するイナータンスよりも小さい。これによって、吐出エネルギーが低下するのを避けることができる。

また、本実施形態では、介在流路８０の列方向における寸法Ｗ１はノズル２１の内径Ｉｎよりも大きい。また、帰還絞り路３１の第２方向に対する垂直方向における寸法Ｗ２はノズル２１の内径Ｉｎよりも大きい。この点について、ノズル２１が例えば帰還絞り路３１方向にずれ当該帰還絞り路３１にノズル２１の内側がかぶってしまう構成になると、吐出時にメニスカスを引く際に当該メニスカスの形状が対称にならなくなる問題がある。本構成によれば、ノズル２１が形成されたノズルプレート４０の第１流路プレート４１に対する貼りずれが起きても、上記問題が生じ難くなる。

また、本実施形態では、介在流路８０の列方向における寸法Ｗ１は当該介在流路８０の深さＤｈ１よりも大きい。また、帰還絞り路３１の第２方向に対する垂直方向における寸法Ｗ２は当該帰還絞り路３１の深さＤｈ２よりも大きい。これにより、介在流路８０および帰還絞り路３１の各寸法が深さよりも小さい場合に比べて、当該介在流路８０および帰還絞り路３１を形成し易い。

また、本実施形態では、帰還絞り路３１は介在流路８０の短辺側に接続されている。これにより、介在流路８０からの液体の流れを滑らかに帰還絞り路３１に伝えることができる。

さらに、本実施形態では、帰還絞り路３１の深さＤｈ２は当該帰還絞り路３１を形成する第１流路プレート４１の板厚Ｄｈ１よりも小さい。この場合、ハーフエッチングにより帰還絞り路３１を第１流路プレート４１の板厚方向下半分に形成することで、当該帰還絞り路３１の下流端を上方に向けて帰還マニホールド２３の下部まで延在させて形成することが可能となる。これによって、帰還絞り路３１の流路長をより長くすることができるため、より大きな圧力損失を確保することができる。

＜変形例＞
本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。例えば以下の通りである。

上記実施形態では、直線状に形成された帰還絞り路３１について説明したが、帰還絞り路３１の形状はこれに限定されるものではなく、帰還絞り路３１を以下のように形成してもよい。図６は変形例に係る帰還絞り路１３１を示す平面図である。図６に示すように、帰還絞り路１３１は屈曲していてもよい。詳細には、帰還絞り路１３１は上記実施形態における帰還絞り路３１が延在する第２方向と同方向に延在する第１部分１３１ａと、当該第１部分１３１ａに接続され第３方向に延在する第２部分１３１ｂとを備えている。第３方向とは、平面視で第１方向に対して帰還マニホールド２３の下流端に向けて第２方向よりも傾斜する方向である。このように帰還絞り路１３１を屈曲させることによって、より大きな圧力損失を確保することができる。なお、図６においては帰還絞り路１３１の屈曲点を１つとしたが、これに限らず、屈曲点を２つ以上有するような帰還絞り路を採用してもよい。

また、上記実施形態では、各ノズル２１が平面視で介在流路８０の第２部分８０ｂに重なるように配置され且つ当該第２部分８０ｂの上流端８０ｂ１から下流端８０ｂ２までの距離Ｄｋの半値Ｄｋ／２を基準として第１部分８０ａ寄りに配置されることとしたが、これに限られるものではない。各ノズル２１を第２部分８０ｂ寄りに配置してもよい。

さらに、上記実施形態では、帰還絞り路３１をハーフエッチングにより第１流路プレート４１の板厚方向下半分に形成することとしたが、これに限定されるものではない。帰還絞り路３１を第１流路プレート４１の板厚方向全体に形成してもよい。

１０ 液体吐出装置
２０ 液体吐出ヘッド
２１ ノズル
２２ 供給マニホールド
２３ 帰還マニホールド
２８ 圧力室
２９ ディセンダ
３１ 帰還絞り路
４０ａ ノズル面
６４ 個別流路
８０ 介在流路
８０ａ 第１部分
８０ｂ 第２部分
８０ｂ１ 第２部分の上流端
８０ｂ２ 第２部分の下流端
ＣＳ１ 介在流路の流路断面積
ＣＳ２ 帰還絞り路の流路断面積
Ｄｅ，Ｄｓ 方向成分
Ｄｈ１ 介在流路の深さ（第１流路プレートの板厚）
Ｄｈ２ 帰還絞り路の深さ
Ｄｋ 第２部分の上流端から下流端までの距離
Ｉｎ ノズルの内径
Ｗ１ 介在流路の列方向における寸法（幅）
Ｗ２ 帰還絞り路の第２方向に対する垂直方向における寸法（幅）

Claims (9)

1. 液体が外部から供給される供給マニホールドと、
   前記液体が外部に排出される帰還マニホールドと、
   上流端が前記供給マニホールドに連通され、下流端が前記帰還マニホールドに連通され、且つ列をなしてノズル面に配置された複数のノズルに対して個別に連通した複数の個別流路と、を備え、
   前記複数の個別流路の各々は、圧力室、前記圧力室に連通するディセンダ、前記帰還マニホールドに連通する帰還絞り路、および、前記帰還絞り路と前記ディセンダとの間に介在し前記ノズルに連通する介在流路を含み、
   前記帰還絞り路は前記介在流路が延在する方向である第１方向とは異なる第２方向に延在し、前記帰還絞り路の流路断面積は前記介在流路の流路断面積よりも小さい、液体吐出ヘッド。
2. 前記第２方向は、前記帰還マニホールド内の前記液体が流れる方向に係るベクトルの方向成分と同じ方向成分を含む方向である、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記介在流路は、平面視で前記ディセンダと重なる第１部分と前記ディセンダと重ならない第２部分とを含み、
   前記ノズルの各々は、平面視で前記第２部分に重なるように配置され且つ前記第２部分の上流端から下流端までの距離の半値を基準として前記第１部分寄りに配置されている、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記ノズルの前記液体に対するイナータンスは、前記帰還絞り路の前記液体に対するイナータンスよりも小さい、請求項１乃至３の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記介在流路の、前記列に沿う方向における寸法は前記ノズルの内径よりも大きく、前記帰還絞り路の、前記第２方向に対する垂直方向における寸法は前記ノズルの内径よりも大きい、請求項１乃至４の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記帰還絞り路は屈曲している、請求項１乃至５の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記介在流路の、前記列に沿う方向における寸法は当該介在流路の深さよりも大きく、前記帰還絞り路の、前記第２方向に対する垂直方向における寸法は当該帰還絞り路の深さよりも大きい、請求項１乃至６の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記介在流路は長辺および短辺を備える形状を有しており、
   前記帰還絞り路は前記介在流路の短辺側に接続されている、請求項１乃至７の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記帰還絞り路の深さは、当該帰還絞り路を形成するエッチングプレートの板厚よりも小さい、請求項１乃至８の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。

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