JP2016115807A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1(a)に、本実施形態に係る半導体装置1の構成を示す。
本実施形態の半導体装置1によれば、金属ブロック11の線膨張係数が、ヒートスプレッダ12の材質の線膨張係数よりも小さく、絶縁基板13bに積層された状態のヒートスプレッダ12の線膨張係数とほぼ等しい。すなわち、絶縁基板13bに積層された状態のヒートスプレッダ12の線膨張係数は、ヒートスプレッダ12の材質の線膨張係数よりも小さくなることから、金属ブロック11の線膨張係数を、絶縁基板13b上のヒートスプレッダ12の線膨張係数にほぼ合わせるものである。したがって、半導体装置1の冷熱サイクル時に、金属ブロック11と、ヒートスプレッダ12および放熱板13からなる積層部分との間に発生する線膨張差を小さくすることができる。これにより、はんだ層31およびはんだ層32に歪みが発生することを抑制することができる。
11、110 金属ブロック
12、22 ヒートスプレッダ
13、23 放熱板
13a、13c、23a、23c、130a、130c、230a、230c 金属層
13b、23b 絶縁基板
31、32、33、310、320、330 はんだ層
41、410 モールド樹脂
120 第1の放熱ブロック
230 第2の放熱ブロック
130 第1の放熱板
230 第2の放熱板
D 半導体素子
F1、F2 線膨張
Claims (1)
- 半導体素子と、
前記半導体素子の一方面上に、前記半導体素子側から順に積層された、金属ブロック、第1の放熱ブロック、および、第1の放熱板と、
前記半導体素子の他方面上に、前記半導体素子側から順に積層された、第2の放熱ブロックおよび第2の放熱板と、
前記半導体素子と前記金属ブロックとを接合する第1のはんだ層と、
前記金属ブロックと前記第1の放熱板とを接合する第2のはんだ層と、
前記半導体素子と前記第2の放熱ブロックとを接合する第3のはんだ層と、
を備え、
前記第1の放熱板は第1の絶縁基板を有しており、
前記第2の放熱板は第2の絶縁基板を有しており、
前記第1の絶縁基板の線膨張係数は前記第1の放熱ブロックの材質の線膨張係数よりも小さく、
前記金属ブロックの線膨張係数は、前記第1の放熱ブロックの材質の線膨張係数よりも小さく、前記第1の絶縁基板に積層された状態の前記第1の放熱ブロックの線膨張係数とほぼ等しいことを特徴とする半導体装置。
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