JP2016112812A - 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、および液体吐出ヘッド用基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液体を吐出するための吐出エネルギーを発生可能な吐出エネルギー発生部を含む通電層を表面に備えた基板と、前記通電層の表面を覆う絶縁保護層と、前記絶縁保護層の表面の少なくとも一部を覆う電荷蓄積部と、を備え、前記電荷蓄積部は、前記通電層より大きな平面積を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板である。
図1は本発明の第1の実施形態におけるインクジェット記録ヘッド(以下、単に記録ヘッドともいう)100の積層構造を説明するための斜視図、図2は図1に示す積層構造を図1に示す断面と直交する方向から見た側断面図である。なお、図1および図2は液体吐出ヘッド100の吐出口4を上向きにした状態を示している。ここに示す液体吐出ヘッドとしてのインクジェット記録ヘッド100は、液体吐出用基板としてのインクジェット記録ヘッド用基板101(以下、単にヘッド用基板ともいう)と、ヘッド用基板101と共に液体流路を形成する流路形成部材3とを備える。なお、この流路形成部材3には液体を吐出するための複数の吐出口4が所定の密度で形成されている。
図3(a)に示す工程では、一般的な半導体デバイスの製造工程と同様にシリコン基板1の表面1aに所定の半導体素子を形成すると共に、ヒータ2aおよびヒータ電極2bを含む通電層2を、フォトリソグラフィを用いた多層配線技術によって形成する。このヒータ2aおよびヒータ電極2bは、図4に示すような平面形状を有している。図4に示すように、ヒータ電極2bが切欠部2b1によって上流側と下流側とに分断されており、図3(a)に示す段階では、その切欠部2b1からヒータ電極2aの一部(接続部)2a1が露出した状態となる。また、電気的には、ヒータ電極2bの上流側と下流側とが吐出エネルギー発生部2a1によって接続され、接続部2a1に流れる電流によって、インクを吐出口4から吐出させるための吐出エネルギーとしてのジュール熱が接続2a1から発生される。従って、このヒータ電極2bの接続部2a1は吐出エネルギーを発生可能な吐出エネルギー発生部として機能することとなる。
次に本発明の第2の実施形態を図5に基づいて説明する。なお、上記第1の実施形態と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、その説明の詳細は省く。
この第2の実施形態における記録ヘッド200は、第1の実施形態におけるヘッド用基板101のキャパシタ上部電極膜(第2の電極層)13にエッチングにより切欠部13cを形成したヘッド用基板201を有している。このキャパシタ上部電極膜13の切欠部13cは、絶縁保護膜10の切欠部2b1に対向する位置、つまり、図5に示すヒータ2aの接続部2a1と対向する位置に形成されている。その他の構成は、上記第1の実施形態と同様である。
上記のように、第1、第2の実施形態では、ヒータ2aとヒータ電極2bとを含む通電層2の形成領域全体を包含する領域に、キャパシタ部14を形成した。しかし、キャパシタ部14を通電層2が形成されている領域とは無関係な位置に形成することも可能である。例えば、通電層2を完全には覆わない位置、すなわち、通電層2の一部のみを覆う位置、あるいは通電層2を全く対向しない位置に設けることも可能である。但し、いずれの場合にも、キャパシタ部14の面積は通電層2の形成領域の面積よりも大きくする必要がある。このように、通電層2を完全には覆わない位置にキャパシタ部14を設けたとしても、キャパシタ面積を通電層2の面積よりも大きく設定すれば、ESD事象の発生を低減することが可能になる。また、ESD事象が発生した場合にも、従来の記録ヘッドに比べ、絶縁保護膜10などへの損傷をキャパシタ部14によって軽減することが可能になる。このため、ESD事象に起因する液体吐出ヘッドの吐出性能への悪影響を抑えることが可能になると共に、液体吐出吐出ヘッドの長寿命化を図ることができる。
次に、上記各実施形態に基づいて製造された記録ヘッドの実施例を、実施例1−1〜実施例1−6、および実施例2−1,2−2に基づいて説明する。なお、以下に説明する実施例1−1〜実施例1−6は第1の実施形態に対応し、実施例2−1,実施例2−2は第2の実施形態に対応している。また、実施例1−1〜実施例1−6には、互いに共通する部分が多く存在するため、共通部分については共通項目として説明を行い、異なる部分については個別項目として説明を行う。同様に、実施例2−1〜2−2についても、共通項目と、個別項目とがあり、それぞれの項目について説明を行う。
A1.共通項目
まず、実施例1−1〜実施例1−6の共通項目について図2および図3を参照しつつ説明を行う。
本実施例1−1〜実施例1−6では、シリコン基板1として厚さ625μmのシリコン基板を用い、このシリコン基板1上に、ヒータ2aおよびヒータ電極2bとして厚さ0.5μmのアルミニウム膜を形成した。
次に、ヒータ2aおよびヒータ電極2b上に、プラズマCVDによって膜厚300nmのSiN膜(比誘電率7.5)を絶縁保護膜10として成膜した。
その後、スパッタ法により、膜厚100nmのタンタル膜をキャパシタ下部電極膜11として形成した。
次に、キャパシタ下部電極膜11上に、スパッタ法によって膜厚100nmのキャパシタ誘電膜12を形成した。さらに、キャパシタ上部電極膜13としてスパッタ法により膜厚200nmのタンタル膜を成膜し、最後に、各膜11、12、13に関してパターニングを行い、所望形状のキャパシタ部14を形成した。
次に、実施例1−1〜実施例1−6の個別項目を説明する。
・実施例1−1では、キャパシタ下部電極膜11として膜厚200nmのタンタル膜を用い、キャパシタ誘電膜12として膜厚100nmのSiO2膜(比誘電率3.9)を用いた。
・実施例1−2では、キャパシタ下部電極膜11として膜厚200nmのタンタル膜を用い、キャパシタ誘電膜12として膜厚100nmのSiN膜(比誘電率7.5)を用いた。
・実施例1−3では、キャパシタ下部電極膜11として膜厚200nmのタンタル膜を用い、キャパシタ誘電膜12として膜厚100nmのAl2O3膜(比誘電率9)を用いた。
・実施例1−4では、キャパシタ下部電極膜11として膜厚200nmのタンタル膜を用い、キャパシタ誘電膜12として膜厚100nmのY2O3膜(比誘電率15)を用いた。
・実施例1−5では、キャパシタ下部電極膜11として膜厚200nmのタングステン膜を用い、キャパシタ誘電膜12として膜厚100nmのHfO2膜(比誘電率25)を用いた。
・実施例1−6では、キャパシタ下部電極膜11として膜厚200nmのタンタル膜を用い、キャパシタ誘電膜12として膜厚100nmのTa2O5膜(比誘電率26)を用いた。
A2.共通項目
次に、実施例2−1と実施例2−2の共通項目について説明する。
実施例2−1および実施例2−2は第2の実施形態に対応するものであり、いずれも上述の実施例1における共通項目の一部を変更したものとなっている。すなわち、実施例2−1および実施例2−2では、図3(f)のキャパシタ上部電極膜13をタンタル膜によって成膜した後、ヒータ2の直上に位置する部分をエッチングすることによって、図5に示すような切欠部13cを形成する工程が追加されている。この工程を追加した点が、実施形態1−1〜実施形態1−6の共通項目と、本実施例2−1および実施例2−2の共通項目と異なっており、その他の工程は、上記実施形態1−1〜実施例1−6の共通項目と同一である。
次に、実施例2−1と実施例2−2の個別項目を説明する。
・実施例2−1では、キャパシタ下部電極膜11として膜厚200nmのタングステン膜を、キャパシタ誘電膜12として膜厚100nmのHfO2膜(比誘電率25)をそれぞれ用いた。
・実施例2−2では、キャパシタ下部電極膜11として膜厚200nmのタンタル膜を、キャパシタ誘電膜12として膜厚100nmのTa2O5膜(比誘電率26)をそれぞれ用いた。
ここで、本発明の上記実施例に対する比較例として、従来用いられていたインクジェット記録へッドの具体的な構成を、その製造方法と共に説明する。
この比較例では、厚さ625μmのシリコン基板1を用い、ヒータ2aおよびヒータ電極2bを厚さ0.5μmのアルミニウム膜で形成した。さらに、ヒータ2a、ヒータ電極2bおよびシリコン基板1を覆うように、プラズマCVDにより膜厚300nmのSiN膜(比誘電率7.5)を絶縁保護膜10として成膜形成した。この後、絶縁保護膜10上に、スパッタ法により膜厚200nmのタンタル膜11を成膜し、各膜に関してパターニングを行い、所定の形状に形成した。この積層状態の概略を図6に示す。
ここで、比較例および上記実施例のインクジェット記録基板の平面形状に関して図4に基づき説明する。図4に示すように、ヒータ2aは屈曲形状をなすヒータ電極2bに接続されており、各ヒータ2aは共通のインク供給口の長手方向X(図1および図4参照)と平行する直線上に一定間隔を介して配列されている。
本発明の効果を確認するため、本発明の実施例及び従来技術の比較例のESD事象による抵抗素子の不具合発生率を確認した。この不具合発生率は、記録ヘッドの製造における歩留まりレベルに対応する。つまり、不具合発生率が高い場合には、歩留まりレベルが下がり、逆に不具合発生率が低い場合には歩留まりレベルは高くなる。
“A”:製品製造上問題とならない不具合発生率
“B”:不具合発生率ほぼ0
“C”:製品製造上問題となる不具合発生率
2 通電層
2a ヒータ
2b ヒータ電極
3 流路形成部材
10 絶縁保護層
11 キャパシタ下部電極膜(第1の電極層)
12 キャパシタ誘電膜(誘電層)
13 キャパシタ上部電極膜(第2の電極層)
13C 切欠部
14 キャパシタ部(電荷蓄積部)
24 型材
25 流路
100,200 液体吐出ヘッド
101,201 液体吐出ヘッド用基板
Claims (11)
- 液体を吐出するための吐出エネルギーを発生可能な吐出エネルギー発生部を含む通電層を表面に備えた基板と、
前記通電層の表面を覆う絶縁保護層と、
前記絶縁保護層の表面の少なくとも一部を覆う電荷蓄積部と、を備え、
前記電荷蓄積部は、前記通電層より大きな平面積を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。 - 前記電荷蓄積部は、前記絶縁保護層の表面のうち、前記通電層と対向する領域を包含するように覆う、請求項1に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 前記電荷蓄積部は、
前記絶縁保護層の表面の少なくとも一部を覆う第1の電極層と、
前記第1の電極層の表面を覆う誘電層と、
通電層の表面を覆う第2の電極層と、
を備える、請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド用基板。 - 前記電荷蓄積部は、前記第1の電極層のうち、前記通電層の中の吐出エネルギー発生部と対向する領域に切欠部が形成されている、請求項2または3に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 前記第1の電極層は、タンタルによって形成され、
前記第2の電極層は、タンタル、タングステン、オスミウム、イリジウム、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、またはクロムによって形成される、請求項1ないし4のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。 - 前記誘電層は、3.9以上の比誘電率を有する、請求項1ないし5のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 前記誘電層の比誘電率は7.5以上である請求項1に記載のインクジェット記録基板。
- 前記誘電層の比誘電率は15以上である請求項1に記載のインクジェット記録基板。
- 液体を吐出するための吐出エネルギーを発生可能な吐出エネルギー発生部を含む通電層を表面に備えた液体吐出ヘッド用基板と、
前記液体吐出ヘッド用基板と共に液体流路を形成する流路形成部材とを備え、
前記液体流路に供給された液体を前記吐出エネルギーによって前記流路形成部材に形成された吐出口から吐出する液体吐出ヘッドであって、
前記液体吐出ヘッド用基板は、
前記通電層の表面を覆う絶縁保護層と、
前記絶縁保護層の表面の少なくとも一部を覆う電荷蓄積部と、を備え、
前記電荷蓄積部は、前記通電層より大きな平面積を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。 - 基板の表面に、液体を吐出するための吐出エネルギーを発生可能な吐出エネルギー発生部を含む通電層を形成する工程と、
前記通電層の表面を覆う絶縁保護層を形成する工程と、
前記絶縁保護層の表面において前記通電層より大きな平面積を有する領域に電荷蓄積部を形成する工程と、を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 - 前記第1の電極層のうち、前記通電層の中のヒータと対向する領域に切欠部を形成する工程をさらに有する、請求項10に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
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