JP2016098297A - 耐熱性粘着シート及び機能性フィルムの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】製造工程の短縮による機能性フィルムの製造コストの低減が可能な耐熱性粘着シート及び機能性フィルムの製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の耐熱性粘着シート１は、ポリエステルフィルムからなる剥離基材１１、剥離基材１１の一方の主面上に設けられた樹脂層１２、及び剥離基材１１の他方の主面上に設けられた剥離剤層１３を含む剥離フィルム１０と、剥離剤層１３上に設けられた粘着剤層１４と、粘着剤層１４上に設けられた基材フィルム２１と、を具備し、剥離フィルム１０の初期ヘイズ値と、１５０℃で２時間加熱した後の加熱後ヘイズ値との差の絶対値であるΔヘイズ値が０．１５％以下であることを特徴とする。【選択図】図１

Description

本発明は、機能層を有する耐熱性粘着シート及び機能性フィルムの製造方法に関し、詳しくは、ポリエステルフィルムを剥離基材とする耐熱性粘着シート及び機能性フィルムの製造方法に関する。

従来、タッチパネルの製造工程では、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜などの透明電極層を備えた透明導電性フィルムが用いられている。この透明導電性フィルムは、支持体の一対の主面上にそれぞれハードコート層を設け、一方のハードコート層上に透明電極層を設けると共に、他方のハードコート層上に表面保護フィルムとしての粘着シートを剥離可能に貼り合せて製造される。透明導電性フィルムの製造に用いられる粘着シートとしては、耐熱性を有するポリエステルフィルムからなる基材フィルム上に粘着剤層を設けたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

また、タッチパネルの製造工程では、透明導電性フィルムが光学用粘着フィルム（Optical Clear Adhesive、以下「ＯＣＡ」と呼ぶ場合がある。）を介してガラス基板などに貼着される。ＯＣＡの両面には、通常、ポリエステルフィルムからなる剥離フィルムが積層される。

特開２００３−２０５５６７号公報

ところで、透明導電性フィルムの製造工程では、一方の表面に透明導電層が設けられた透明導電性フィルム（又は透明導電性フィルムの原材料フィルム）の他方の表面上に、粘着剤層を有する剥離基材を透明導電層の保護フィルムとしての粘着シートを貼付する。そして、粘着シートを貼付した状態で透明導電性フィルムを加熱するアニール処理を施した後、粘着シートの剥離基材を除去して粘着剤層を介してガラス基板などに透明導電性フィルムが貼付することにより、タッチパネルなどの製品に用いられる。このように、従来の透明導電性フィルムの製造工程では、透明導電層と共に加熱処理される粘着シートに耐熱性が必要とされると共に、透明導電性フィルムの透明導電層に対する裏面側に粘着シートを貼付する工程が必須であり、製造工程が煩雑となる場合があった。

本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、耐熱性に優れると共に、製造工程の短縮による機能性フィルムの製造コストの低減が可能な耐熱性粘着シート及び機能性フィルムの製造方法を提供することを目的とする。

本発明の耐熱性粘着シートは、ポリエステルフィルムからなる剥離基材、前記剥離基材の一方の主面上に設けられた樹脂層、及び前記剥離基材の他方の主面上に設けられた剥離剤層を含む剥離フィルムと、前記剥離剤層上に設けられた粘着剤層と、前記粘着剤層上に設けられた基材フィルムと、を具備し、前記剥離フィルムの初期ヘイズ値と、１５０℃で２時間加熱した後の加熱後ヘイズ値との差の絶対値であるΔヘイズ値が０．１５％以下であることを特徴とする。

この構成によれば、加熱前後の剥離フィルムのヘイズ値の変化率が小さいので、耐熱性に優れた耐熱性粘着シートを実現できる。また、剥離基材、樹脂層及び剥離剤層を含む剥離フィルムにより基材フィルム上の機能層に対する裏面側を保護することができるので、機能性フィルムを製造する際に機能層の裏面側を保護する保護シートを貼合せる工程を省略することが可能となる。したがって、製造工程の短縮による機能性フィルムの製造コストの低減が可能な耐熱性粘着シートを実現することができる。

本発明の耐熱性粘着シートにおいては、前記剥離剤層が、付加反応型シリコーンを硬化させてなることが好ましい。

本発明の耐熱性粘着シートにおいては、前記樹脂層は、（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ化合物、（Ｂ）ポリエステル化合物、及び（Ｃ）多官能アミノ化合物を含有する樹脂層形成用組成物を硬化させてなることが好ましい。この構成により、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂化合物、ポリエステル化合物及び多官能アミノ化合物を含む樹脂層形成用組成物を硬化して剥離基材の一方の表面上に樹脂層を設けるので、樹脂層の架橋密度が適度な範囲となる。これにより、耐熱性粘着シートは、ポリエステルフィルムからの耐熱性粘着シートの表面側へのオリゴマーの析出を防ぐことが可能となると共に、耐熱性粘着シートに圧力や衝撃が加えられても樹脂層のクラックの発生を防ぎ、クラックからオリゴマーが漏出してしまうことを防止できる。

本発明の耐熱性粘着シートにおいては、前記樹脂層形成用組成物は、前記ビスフェノールＡ型エポキシ化合物の含有量が５０質量％以上８０質量％以下であり、前記ポリエステル化合物の含有量が５質量％以上３０質量％以下であり、前記多官能アミノ化合物の含有量が１０質量％以上４０質量％以下であることが好ましい。

本発明の耐熱性粘着シートにおいては、前記ビスフェノール型エポキシ化合物の重量平均分子量が、１００００以上５００００以下であることが好ましい。

本発明の耐熱性粘着シートにおいては、前記ポリエステル化合物のガラス転移温度（Ｔｇ）が、０℃以上５０℃以下であることが好ましい。

本発明の耐熱性粘着シートにおいては、前記樹脂層が、前記樹脂層形成用組成物の溶液を前記基材フィルム上に塗布して形成した塗布層を加熱して硬化皮膜としたものであることが好ましい。

本発明の耐熱性粘着シートにおいては、前記樹脂層の膜厚が、５０ｎｍ以上５００ｎｍ以下であることが好ましい。

本発明の機能性フィルムの製造方法は、ポリエステルフィルムからなる剥離基材、前記剥離基材の一方の主面上に設けられた樹脂層、及び前記剥離基材の他方の主面上に設けられた剥離剤層を含む剥離フィルムの前記剥離剤層上に、前記粘着剤層及び前記基材フィルムがこの順に積層してなり、前記剥離フィルムの初期ヘイズ値と、１５０℃で２時間加熱した後の加熱後ヘイズ値との差の絶対値であるΔヘイズ値が０．１５％以下である耐熱性粘着シートを得る積層工程と、前記耐熱性粘着シートの前記基材フィルム上に機能層として導電性材料を成膜する成膜工程と、前記機能層を成膜した前記耐熱性粘着シートを加熱処理する熱処理工程とを含むことを特徴とする。

この方法によれば、剥離基材、樹脂層及び剥離剤層を含む剥離フィルムにより基材フィルム上に設けられた機能層に対する裏面側を保護することができるので、機能性フィルムを製造する際に機能層の裏面側を保護する保護シートを貼合せる工程を省略することが可能となる。したがって、製造工程の短縮による機能性フィルムの製造コストの低減が可能な耐熱性粘着シートを実現することができる。

本発明の機能性フィルムの製造方法においては、前記機能層が透明導電層であることが好ましい。

本発明によれば、耐熱性に優れると共に、製造工程の短縮による機能性フィルムの製造コストの低減が可能な耐熱性粘着シート及び機能性フィルムの製造方法を提供することを実現できる。

図１は、本発明の一実施の形態に係る耐熱性粘着シートの模式断面図である。 図２は、本発明の一実施の形態に係る積層体の断面模式図である。 図３は、本発明の一実施の形態に係る耐熱性粘着シートの他の例を示す模式断面図である。 図４Ａは、本発明の実施の形態に係る機能性フィルムの製造方法の説明図である。 図４Ｂは、本発明の実施の形態に係る機能性フィルムの製造方法の説明図である。 図４Ｃは、本発明の実施の形態に係る機能性フィルムの製造方法の説明図である。

以下、本発明の一実施の形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、適宜変更して実施可能である。また、以下の実施の形態において共通する構成要素には同一の符号を付し、説明の重複を避ける。

図１は、本発明の一実施の形態に係る耐熱性粘着シート１の模式断面図である。図１に示すように、本実施の形態に係る耐熱性粘着シート１は、ポリエステルフィルムからなる剥離基材１１、この剥離基材１１の一方の主面上に設けられ、樹脂層形成用組成物を硬化してなる樹脂層１２、及び剥離基材１１の他方の主面上に設けられ、剥離剤層形成用組成物を硬化してなる剥離剤層１３を有する剥離フィルム１０を備える。剥離フィルム１０の剥離剤層１３上には、粘着剤層１４を介して基材フィルム２１が積層されている。すなわち、この耐熱性粘着シート１においては、樹脂層１２、剥離基材１１、剥離剤層１３、粘着剤層１４、及び基材フィルム２１がこの順に積層されている。

基材フィルム２１上には、機能層２２としての透明導電層などが設けられる（図２参照）。本実施の形態に係る耐熱性粘着シート１は、基材フィルム２１上に透明導電材料を成膜して機能層２２を設けて積層体３とした後、積層体３の状態で加熱によるアニール処理を経て透明導電層を形成することが可能である。なお、機能層２２としては、例えば、透明導電層が挙げられるが、これに制限されるものではない。

本実施の形態に係る耐熱性粘着シート１は、コア材にロール状に巻き取られて保管可能である。この粘着シート１は、例えば、ロール状に巻き取られた状態から巻き出しされて所定の加熱処理が施された後、剥離フィルム１０を除去して粘着剤層１４の露出した面を被着体に貼付することにより各種製品の製造に用いられる。被着体としては、例えば、ガラス基板が挙げられる。所定の加熱処理としては、本発明の効果を奏する範囲で各種加熱処理を施すことが可能であり、例えば、透明導電材料の結晶化のためのアニール処理が挙げられる。

本実施の形態に係る耐熱性粘着シート１は、例えば、上述した機能層２２として透明導電材料を成膜した後、加熱してアニール処理することにより、タッチパネルなどに用いられる透明導電性フィルムの製造に用いることができる。この耐熱性粘着シート１においては、剥離フィルム１０の初期ヘイズ値と、１５０℃で２時間加熱した後の加熱後ヘイズ値との差の絶対値であるΔヘイズ値が０．１５％以下である。これにより、耐熱性粘着シート１の上に機能層２２としての透明導電層を設けて加熱によるアニール処理を施す場合であっても、アニール処理前後の剥離フィルムのヘイズ値の変化が十分に小さいので、透明導電層を設けた耐熱性粘着シート１が粘着剤層１４を備えたままアニール処理を施すことが可能となる。また、機能層２２の裏面側（耐熱性粘着シート１の一方の面側）に粘着層１４を介して剥離フィルム１０が設けられているので、剥離フィルム１０が従来の技術における透明導電性フィルムの裏面に貼付する保護シートの役割も果たすことができ、透明導電性フィルムの製造工程の短縮によるコストの低減が可能となる。さらに、機能層２２に対する裏面側に所定の樹脂層形成用組成物によって設けられた樹脂層１２を有するので、耐熱性粘着シート４の一方の面側へのオリゴマーの析出を防ぐことができ、機能層２２を成膜した状態でコア材にロール状に巻回した場合であっても、剥離基材１１としてポリエステルフィルムを用いているにもかかわらず、機能層２２の表面の汚染及び損傷を防ぐことができる。

図３は、本実施の形態に係る耐熱性粘着シート１の他の構成例を示す断面模式図である。図３に示すように、この耐熱性粘着シート２は、耐熱性粘着シート２の粘着剤層１４が、芯材１４１と、この芯材１４１の一方の表面上に設けられた第１粘着剤層１４２と、芯材１４１の他方の表面上に設けられた第２粘着剤層１４３とを含むものである。芯材１４１としては、例えば、剥離基材１１と同様のポリエステルフィルムなどの各種フィルム、紙、及び不織布などを用いることができる。第１粘着剤層１４２及び第２粘着剤層１４３は、粘着剤層１４と同様の材料で構成される。このように構成することによっても、上述した図１に示した耐熱性粘着シート１と同様の効果を得ることができる。以下、本実施の形態に係る耐熱性粘着シート１、２を構成する各種構成要素について説明する。

（剥離基材１１）
剥離基材１１としては、各種ポリエステルフィルムを用いることが可能である。ポリエステルフィルムは、耐熱性に優れており、高温で透明導電膜などの透明電極層をアニール処理する際においても、収縮及び溶融などの不具合が生じることがない。ポリエステルフィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート及びポリエチレンナフタレートなどのポリエステルフィルムが好ましい。また、ポリエステルフィルムとしては、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムがより好ましい。

剥離基材１１の厚さは、用途に応じて適宜変更可能である。剥離基材１１の厚さは、耐熱性粘着シートの強度を維持する観点、及びロール・ツー・ロール方式による透明導電性フィルムなどの製造時の柔軟性を確保する観点から、１０μｍ以上が好ましく、２０μｍ以上がより好ましく、３０μｍ以上が更に好ましく、また２５０μｍ以下が好ましく、２２５μｍ以下がより好ましく、２００μｍ以下が更に好ましい。以上を考慮すると、剥離基材１１の厚さは、１０μｍ以上２５０μｍ以下が好ましく、２０μｍ以上２２５μｍ以下がより好ましく、３０μｍ以上２００μｍ以下が更に好ましい。

（樹脂層１２）
樹脂層１２は、剥離基材１１からのオリゴマーの析出を防止する観点から、（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ化合物（以下、単に「（Ａ）成分」ともいう）と、（Ｂ）ポリエステル化合物（以下、単に「（Ｂ）成分」ともいう）と、（Ｃ）多官能アミノ化合物（以下、単に「（Ｃ）成分」ともいう）と、を含む樹脂層形成用組成物を硬化させた硬化皮膜であることが好ましい。以下、樹脂層形成用組成物を構成する各成分について詳細に説明する。

＜（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ化合物＞
（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールＡとエピクロルヒドリンとの共重合体であるビスフェノールＡ型エポキシ樹脂などが挙げられる。

（Ａ）成分は、適度な架橋密度の硬化皮膜を得ることができる観点から、重量平均分子量（Ｍｗ）が１００００以上５００００以下であることが好ましい。（Ａ）成分の重量平均分子量（Ｍｗ）が１００００以上であれば、硬化皮膜として十分な架橋密度が得られてオリゴマーの析出を十分に防ぐことが可能となる。また、（Ａ）成分の重量平均分子量（Ｍｗ）が５００００以下であれば、硬化皮膜に適度な柔軟性を付与することができ、耐熱性粘着シート１を変形させた際の樹脂層１２のクラックを防ぐことができる。

樹脂層形成用組成物における（Ａ）成分の配合量は、樹脂層形成用組成物の全質量に対して５０質量％以上が好ましく、６０質量％以上がより好ましく、また８０質量％以下が好ましく、７０質量％以下がより好ましい。

＜（Ｂ）ポリエステル化合物＞
（Ｂ）ポリエステル化合物としては、本発明の効果を奏する範囲で公知の各種ポリエステル化合物を用いることができる。ポリエステル化合物としては、例えば、多価アルコールと多塩基酸との縮合反応によって得られる樹脂が挙げられる。このような樹脂としては、二塩基酸と二価アルコールとの縮合物又は不乾性油脂肪酸などで縮合物を変性した不転化性ポリエステル化合物、及び二塩基酸と三価以上のアルコールとの縮合物である転化性ポリエステル化合物などが挙げられる。ポリエステル化合物は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

多価アルコールとしては、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコール、及びネオペンチルグリコールなどの二価アルコール、グリセリン、トリメチロールエタン、及びトリメチロールプロパンなどの三価アルコール、ジグリセリン、トリグリセリン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、マンニット、及びソルビットなどの四価以上の多価アルコールが挙げられる。これらの多価アルコールは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

多塩基酸としては、例えば、無水フタル酸、テレフタル酸、イソフタル酸、及び無水トリメット酸などの芳香族多塩基酸、コハク酸、アジピン酸、及びセバシン酸などの脂肪族飽和多塩基酸、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、及び無水シトラコン酸などの脂肪族不飽和多塩基酸、シクロペンタジエン−無水マレイン酸付加物、テルペン−無水マレイン酸付加物、及びロジン−無水マレイン酸付加物などのディールズ・アルダー反応によって得られる多塩基酸などを挙げることができる。これらの多塩基酸は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

（Ｂ）ポリエステル化合物としては、架橋反応の反応点となる水酸基、カルボキシル基、及びアミノ基などの活性水素基を有するものが好ましく、水酸基を有していることがより好ましい。（Ｂ）ポリエステル化合物は、水酸基価が５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることが好ましく、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることがより好ましく、また５００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、３００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることがより好ましい。

（Ｂ）ポリエステル化合物は、樹脂層１２に適度な柔軟性を付与することができる観点から、数平均分子量（Ｍｎ）が５００以上であることが好ましく、１０００以上であることがより好ましく、また１００００以下であることが好ましく、５０００以下であることがより好ましい。（Ｂ）ポリエステル化合物は、樹脂層１２に適度な柔軟性を付与することができる観点から、ガラス転移温度Ｔｇが０℃以上であることが好ましく、１０℃以上であることが好ましく、また５０℃以下であることが好ましく、４０℃以下であることがより好ましい。このような（Ｂ）ポリエステル化合物を用いることにより、樹脂層１２の硬化皮膜に適度な柔軟性を付与することができ、耐熱性粘着シート１が圧力や衝撃を受けても樹脂層１２のクラックを防ぐことができ、クラックによるオリゴマーの漏出を防止できる。

樹脂層形成用組成物における（Ｂ）成分の配合量は、（Ａ）成分１００質量部に対して、５質量部以上が好ましく、１０質量部以上がより好ましく、また５０質量部以下が好ましく、４５質量部以下がより好ましい。

樹脂層形成用組成物における（Ｂ）成分の配合量は、樹脂層形成用組成物の全質量に対して、５質量％以上が好ましく、１０質量％以上がより好ましく、また３０質量％以下が好ましく、２０質量％以下がより好ましい。

＜（Ｃ）多官能アミノ化合物＞
（Ｃ）多官能アミノ化合物としては、例えば、ヘキサメトキシメチルメラミン、メチル化メラミン化合物、及びブチル化メラミン化合物などのメラミン化合物、メチル化尿素化合物、及びブチル化尿素化合物などの尿素化合物、メチル化ベンゾグアナミン樹脂、及びブチル化ベンゾグアナミン化合物などのベンゾグアナミン化合物、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、Ｎ，Ｎ’−ジフェニルエチレンジアミン、及びｐ−キシリレンジアミンなどのジアミン類などを挙げることができる。これらの中でも、硬化性の観点から、ヘキサメトキシメチルメラミンが好ましい。

樹脂層形成用組成物における（Ｃ）成分の配合量は、（Ａ）成分１００質量部に対して、２０質量部以上が好ましく、２５質量部以上がより好ましく、また６０質量部以下が好ましく、５５質量部以下がより好ましい。

樹脂層形成用組成物における（Ｃ）成分の配合量は、樹脂層形成用組成物の全質量に対して、１０質量％以上が好ましく、２０質量％以上がより好ましく、また４０質量％以下が好ましく、３０質量％以下がより好ましい。

＜（Ｄ）酸性触媒＞
樹脂層形成用組成物としては、硬化反応を促進するために、必要に応じて塩酸、ｐ−トルエンスルホン酸などの公知の酸性触媒（Ｄ）（以下、単に「（Ｄ）成分」ともいう）を含むものを用いてもよい。（Ｄ）成分を配合する場合は、（Ｄ）成分の含有量を樹脂層形成用組成物の全質量に対して１質量％以上５質量％以下とすることが好ましい。

樹脂層１２は、上記樹脂層形成用組成物を有機溶媒で溶解させた溶液を剥離基材１１上に塗布して塗布層を形成し、形成した塗布層を温度１００℃以上１７０℃以下で５秒間以上５分間以下加熱硬化させることにより得られる。樹脂層形成用組成物の塗工方法としては、例えば、グラビアコート法、バーコート法、スプレーコート法、スピンコート法、エアーナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ゲートロールコート法、及びダイコート法などが挙げられる。これらの中でも、グラビアコート法及びバーコート法が好ましく、バーコート法がより好ましい。また、樹脂層形成用組成物の加熱・乾燥方法としては、例えば、熱風乾燥炉などで熱乾燥する方法などが挙げられる。

有機溶媒としては、樹脂層形成用組成物を溶解できるものであれば特に制限はない。有機溶媒としては、例えば、ベンゼン、トルエン、及びキシレンなどの芳香族系溶媒、ノルマルヘキサン、及びノルマルヘプタンなどの脂肪族系溶媒、酢酸エチル、及び酢酸ブチルなどのエステル系溶媒、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、及びシクロペンタノンなどのケトン系溶媒、イソプロピルアルコール、及びメタノールなどのアルコール系溶媒などを挙げることができる。

樹脂層１２の膜厚は、オリゴマー析出を効果的に抑制する観点から、５０ｎｍ以上が好ましく、８０ｎｍ以上がより好ましく、１００ｎｍ以上が更に好ましく、また５００ｎｍ以下が好ましく、３００ｎｍ以下がより好ましく、２５０ｎｍ以下が更に好ましい。樹脂層１２の膜厚が、５０ｎｍ以上であれば、オリゴマー析出を十分に抑制することが可能となり、５００ｎｍ以下であれば、剥離基材１１上に樹脂層１２を塗布形成する際の、樹脂層１２の架橋に伴う硬化収縮によるカールを防ぐことができる。以上を考慮すると、樹脂層１２の膜厚は、５０ｎｍ以上５００ｎｍ以下が好ましく、８０ｎｍ以上３００ｎｍ以下がより好ましく、１００ｎｍ以上２５０ｎｍ以下が更に好ましい。

（剥離剤層１３）
剥離剤層１３は、例えば、離型剤を含む剥離剤層形成用組成物の硬化物で形成される。剥離剤層形成用祖組成物としては、剥離剤層１３上に積層される粘着剤層１４を、剥離フィルム１０から剥離させる機能を剥離剤層１３に付与できるものであれば特に制限はない。離型剤としては、例えばシリコーン樹脂、長鎖アルキル樹脂、及びアルキド樹脂などが挙げられる。

シリコーン系離型剤としては、付加反応型シリコーン、縮合反応型シリコーン、エネルギー線硬化性シリコーンが挙げられる。また、剥離力を調整するために、無官能のポリジメチルシロキサン、フェニル変性シリコーン、シリコーンレジン、シリカ、セルロース系化合物を添加剤として用いても良い。

剥離剤層１３の厚さは、３０ｎｍ以上が好ましく、５０ｎｍ以上が好ましく、７０ｎｍ以上が更に好ましく、また５００ｎｍ以下が好ましく、４００ｎｍ以下がより好ましく、３００ｎｍ以下が更に好ましい。剥離剤層１３の厚さがこのような範囲にあれば、剥離フィルム１０と粘着剤層１４との間で均一な離型性能を得やすく、また、剥離フィルム１０をロール状に巻き取った時に接触する剥離フィルム１０の面どうしのブロッキングを防ぐことができる。

剥離剤層１３は、例えば、剥離剤層形成用組成物を剥離基材１１の一方の面に従来公知の塗工方法で塗工した後、所定の温度で加熱して乾燥及び硬化させることによって形成する。ここでは、剥離剤層形成用組成物は、有機溶媒で希釈したものを剥離基材１１上に塗工してもよい。有機溶媒としては、トルエン及びキシレンなどの芳香族炭化水素、酢酸エチル及び酢酸ブチルなどの脂肪酸エステル、メチルエチルケトン及びメチルイソブチルケトンなどのケトン、ヘキサン、及びヘプタンなどの脂肪族炭化水素などが挙げられる。

剥離剤層形成用組成物の塗工方法としては、例えば、グラビアコート法、バーコート法、スプレーコート法、スピンコート法、エアーナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ゲートロールコート法、及びダイコート法などが挙げられる。これらの中でも、グラビアコート法及びバーコート法が好ましく、バーコート法がより好ましい。また、剥離剤層形成用組成物の加熱・乾燥方法としては、例えば、熱風乾燥炉などで熱乾燥する方法などが挙げられる。乾燥温度は、例えば、５０℃以上１５０℃以下である。また、乾燥時間は、例えば、１０秒間〜５分間であることが好ましい。

（剥離フィルム１０）
剥離フィルム１０は、上述した樹脂層１２、剥離基材１１及び剥離剤層１３がこの順に積層されて構成される。剥離フィルム１０の厚さとしては、例えば、１０μｍ以上が好ましく、１５μｍ以上がより好ましく、２００μｍ以下が好ましく、１００μｍ以下がより好ましい。

（粘着剤層１４）
本実施の形態に係る耐熱性粘着シート１においては、粘着剤層１４が剥離基材１１と基材フィルム２１との間に挟まれた状態で加熱処理される。この加熱処理では、粘着剤層１４を構成する粘着剤が高温にさらされるので、耐熱性が低い一般的な粘着剤を用いると粘着剤の粘度が低下して基材フィルム２１及び剥離フィルム１０の端部から粘着剤層１４がはみ出す現象が発生する場合がある。基材フィルム２１及び剥離フィルム１０の端部からはみ出した粘着剤層１４は、粘着剤が接触した物体に転移付着して接触した物品を汚染（例えば、アニール処理装置の搬送ロール及び耐熱性粘着シートへの再転着による表面の汚染）する場合がある。

そこで、本実施の形態においては、粘着剤層１４としては、粘着剤層１４の加熱処理時における耐熱性を向上する観点及び接着耐久性がより良好となる観点から、２３℃における貯蔵弾性率（Ｇ）が、０．３ＭＰａ以上であることが好ましく、０．３５ＭＰａであることがより好ましく、また５０ＭＰａ以下であることが好ましく、１５ＭＰａ以下であることがより好ましく、１２ＭＰａ以下であることが更に好ましい。なお、本実施の形態において、貯蔵弾性率（Ｇ）は、厚さ３０μｍの粘着剤を積層し、８ｍｍφ×３ｍｍ厚の円柱状の試験片を作製し、ねじり剪断法により、下記の条件で測定した値である。
測定装置：動的粘弾性測定装置（型番：ＤＹＮＡＭＩＣ ＡＮＡＬＹＺＥＲ ＲＤＡII、レオメトリック社製）
周波数：１Ｈｚ
温度：２３℃、８０℃

また、粘着剤層１４としては、粘着剤層１４の耐熱性、耐久性及び安定性の観点、並びに、粘着剤の被着体への汚染を防ぐ観点から、ゲル分率が８５％以上のものが好ましく、９０以上９９．９％以下のものがより好ましい。

粘着剤層１４は、アクリル系粘着剤、天然ゴム系粘着剤、合成ゴム系粘着剤、ポリエーテル系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、及びウレタンアクリレート系粘着剤などの従来公知の粘着剤層形成用組成物を用いて形成される。アクリル系粘着剤としては、例えば、アクリル系ポリマーを含む粘着剤層形成用組成物が挙げられる。粘着剤は、溶剤型、エマルション型、ホットメルト無溶剤型、及び紫外線硬化無溶剤型などの形態で供給され、それぞれの形態にあった塗布方法で粘着剤層１４が形成される。

＜アクリル系ポリマー＞
アクリル系ポリマーは、(メタ)アクリル酸エステル、水酸基及びカルボキシル基などの反応性基を含有するビニルモノマー、並びに芳香族モノマーなどを含む単量体を合成して得られる。

（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸−ｎ−プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸−ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸−ｓｅｃ−ブチル、（メタ）アクリル酸−ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸−ｎ−ペンチル、（メタ）アクリル酸−ｎ−ヘキシル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸−２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸ミリスチル、（メタ）アクリル酸パルミチル、及び（メタ）アクリル酸ステアリルなどのエステル部分のアルキル基の炭素数が１以上２０以下の（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。ここで、「（メタ）アクリル」とは、「アクリル」又は「メタクリル」を表す。これらのアクリル系単量体は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

反応性官能基を含有するビニルモノマーとしては、例えば、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートなどの水酸基含有（メタ）アクリレート；１，４−ジ（メタ）アクリロキシエチルピロメリット酸、４−（メタ）アクリロキシエチルトリメリット酸、Ｎ−（メタ）アクリロイル−ｐ−アミノ安息香酸、２−（メタ）アクリロイルオキシ安息香酸、Ｎ−（メタ）アクリロイル−５−アミノサリチル酸、アクリル酸、メタクリル酸などのカルボキシル基含有（メタ）アクリレート；アミノエチル（メタ）アクリレート、エチルアミノエチル（メタ）アクリレート、アミノプロピル（メタ）アクリレート、エチルアミノプロピル（メタ）アクリレートなどの第１級及び第２級アミノ基含有（メタ）アクリレート；２−（メチルチオ）エチルメタクリレートなどのチオール基含有（メタ）アクリレートなどが挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

アクリル系ポリマーにおける反応性官能基を含有するビニルモノマー由来の構成単位の含有量は、０．０１モル％以上であることが好ましく、０．１モル％以上であることがより好ましく、２０モル％以下であることが好ましく、１０モル％以下であることがより好ましい。

芳香族モノマーとしては、粘着剤層１４の屈折率を向上する観点から、ホモポリマーが５０℃以下のガラス転移温度を示す高屈折率アクリルモノマーが好ましい。

芳香族モノマーとしては、例えば、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、２−（１−ナフチルオキシ）−１−エチル（メタ）アクリレート、２−（２−ナフチルオキシ）−１−エチル（メタ）アクリレート、６−（１−ナフチルオキシ）−１−ヘキシル（メタ）アクリレート、６−（２−ナフチルオキシ）−１−ヘキシル（メタ）アクリレート、８−（１−ナフチルオキシ）−１−オクチル（メタ）アクリレート、８−（２−ナフチルオキシ）−１−オクチル（メタ）アクリレート、２−フェニルチオ−１−エチル（メタ）アクリレート、６−（４，６−ジブロモ−２−イソプロピルフェノキシ）−１−ヘキシル（メタ）アクリレート、６−（４，６−ジブロモ−２−ｓ−ブチルフェノキシ）−１−ヘキシル（メタ）アクリレート、２，６−ジブロモ−４−ノニルフェニル（メタ）アクリレート、及び２，６−ジブロモ−４−ドデシルフェニル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。

粘着剤層形成用組成物としては、アクリル系トリブロック共重合体を含有するものが好ましい。アクリル系トリブロック共重合体としては、下記一般式（１）で表されると共に、重量平均分子量（Ｍｗ）が５０，０００以上３００，０００以下であり、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）が１．０〜１．５であり、重合体ブロックＢの含有量が５０質量％以上９５質量％以下であるものが好ましい。
Ａ１−Ｂ−Ａ２ ・・・式（１）
（式（１）中、Ａ１及びＡ２はそれぞれ独立してガラス転移温度が１００℃以上のメタクリル酸アルキルエステル重合体ブロックを表し、Ｂはガラス転移温度が−２０℃以下のアクリル酸アルキルエステル重合体ブロックを表す。）

上記一般式（１）で表されるアクリル系トリブロック共重合体においては、重合体ブロックＡ１及びＡ２が、粘着剤の通常の使用温度においてミクロ相分離構造をなすアクリル系トリブロック共重合体における拘束相（物理的な擬似架橋点）として作用する。これにより、化学架橋を行なわなくても、十分な凝集力を発現して、優れた粘着特性及び耐久性を発揮する。上記一般式（１）で表されるアクリル系トリブロック共重合体における重合体ブロックＡ１及びＡ２としては、耐久性、耐熱性、基材変形への追従性、及び適度な応力緩和性の観点から、ガラス転移温度が１００℃以上２００℃以下であることが好ましく、１００℃以上１５０℃以下であることがより好ましい。なお、Ａ１及びＡ２としては、重合体［分子量、単量体組成、立体構造（シンジオタクティシティなど）などが互いに同じである同じメタクリル酸アルキルエステル重合体］であってもよく、また異なる重合体［分子量、単量体組成、立体構造（およびシンジオタクティシティなど）などのうちの１つまたは２つ以上が互いに異なるメタクリル酸アルキルエステル重合体］であってもよい。

重合体ブロックＡ１及びＡ２のメタクリル酸アルキルエステル単位としては、例えば、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ｎ−ブチル、メタクリル酸ｔ−ブチル、メタクリル酸ｎ−ヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸２−エチルヘキシル、メタクリル酸ｎ−オクチル、メタクリル酸ラウリル、メタクリル酸トリデシル、メタクリル酸ステアリル、メタクリル酸イソボルニルなどのメタクリル酸アルキルエステルからなる単位を挙げることができる。重合体ブロックＡ１及びＡ２は、上述したメタクリル酸アルキルエステル単位の１種類のみから形成されていてもよく、２種類以上から形成されていてもよい。これらの中でも、重合体ブロックＡ１及びＡ２としては、入手容易性、耐久性及び耐候性の観点、ポリメタクリル酸メチルが好ましい。

重合体ブロックＢとしては、粘着剤層１４の接着力及びリワーク性の観点から、アクリル酸アルキルエステルからなるガラス転移温度が−２０℃以下の重合体ブロックが好ましい。重合体ブロックＢとしては、低温条件下での安定性の観点から、ガラス転移温度が−３０℃以下の重合体ブロックがより好ましく、−８０℃以上−４０℃以下の重合体ブロックが更に好ましい。

重合体ブロックＢとしては、例えば、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ｎ−ブチル、アクリル酸ｔ−ブチル、アクリル酸ｎ−ヘキシル、アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸ｎ−オクチル、アクリル酸ラウリル、アクリル酸トリデシル、アクリル酸ステアリルなどのアクリル酸アルキルエステルからなる単位を挙げることができる。重合体ブロックＢは、上述したアクリル酸アルキルエステル単位の１種類のみから形成されていてもよく、２種類以上から形成されていてもよい。これらの中でも、重合体ブロックＢとしては、重合体ブロックのガラス転移点が−２０℃以下となり粘着剤の低温での接着力及びタックが良好となる観点、並びに、高速剥離時の接着力上昇及びジッピング現象を抑制できる観点から、アクリル酸プロピル、アクリル酸ｎ−ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸ｎ−オクチルからなる単位の１種又は２種以上から構成されることが好ましい。また、重合体ブロックＢとしては、入手容易性及び重合体ブロックＡ１，Ａ２と重合体ブロックＢとの相分離が明瞭となり重合体ブロックＡの擬似架橋点が崩されず、粘着剤としての凝集力が高く且つ耐久性に優れるものとなる観点から、アクリル酸ｎ−ブチル単位及び／又はアクリル酸２−エチルヘキシル単位から構成されていることが好ましい。

上記一般式（１）で表されるアクリル系トリブロック共重合体の重合体ブロックＡ１，Ａ２及び重合体ブロックＢとしては、本発明の効果を奏する範囲で少量（例えば、通常各重合体ブロックの質量に対して１０質量％以下の割合）であれば、他のモノマー単位を有していてもよい。他のモノマー単位としては、例えば、（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−アミノエチル、（メタ）アクリル酸グリシジル及び（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルなどの官能基を有する（メタ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸及び（メタ）アクリルアミドなどのカルボキシル基を有するビニル系モノマー、スチレン、α−メチルスチレン及びｐ−メチルスチレンなどの芳香族ビニル系モノマー、ブタジエン及びイソプレンなどの共役ジエン系モノマー、エチレン及びプロピレンなどのオレフィン系モノマー、ε−カプロラクトン及びバレロラクトンなどのラクトン系モノマーなどからなる単位が挙げられる。これらのモノマー単位は、１種を単独で含んでいてもよく、２種以上を含んでいてもよい。

アクリル系ポリマーの重合方法としては、特に制限はなく一般的なラジカル重合法によって重合することができる。ラジカル重合法としては、溶液重合、懸濁重合、乳化重合及び塊状重合などが挙げられる。

アクリル系ポリマーの分子量としては、耐熱性の観点から、重量平均分子量で５０万以上が好ましく、６０万以上がより好ましく、７０万以上が更に好ましい。アクリル系ポリマーの重量平均分子量が大きいほど、分子鎖の絡み合いが多くなり、高温での流動が抑えられて耐熱性が向上する。また、アクリル系ポリマーの分子量としては、塗工性または被着体との密着性の観点から、重量平均分子量で２００万以下が好ましく、１８０万以下が好ましい。アクリル系ポリマーの重量平均分子量の上限がこの程度であれば、粘着剤層形成用組成物に過剰な希釈を要することなく塗工することができ、さらに流動性が不足し過ぎないことで被着体の表面粗さに粘着剤層が追従でき密着性が確保される。なお、上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）法により測定したポリスチレン換算の値である。

＜活性エネルギー線硬化性化合物＞
また、粘着剤層形成用組成物としては、粘着剤層１４の弾性率及びゲル分率を向上する観点から、活性エネルギー線硬化性化合物を含むものが好ましい。活性エネルギー線硬化性化合物としては、例えば、分子量１０００未満の多官能（メタ）アクリレート系モノマー、アクリレート系オリゴマー及び（メタ）アクリロイル基を有する基が側鎖に導入されたアダクトアクリレート系ポリマーなどが挙げられる。

分子量１０００未満の多官能（メタ）アクリレート系モノマーとしては、例えば１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールアジペートジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルジ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジシクロペンテニルジ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド変性リン酸ジ（メタ）アクリレート、ジ（アクリロキシエチル）イソシアヌレート、及びアリル化シクロヘキシルジ（メタ）アクリレートなどの２官能型、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、及びトリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレートなどの３官能型、ジグリセリンテトラ（メタ）アクリレート、及びペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレートなどの４官能型、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートなどの５官能型、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、及びカプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどの６官能型などが挙げられる。これらの多官能（メタ）アクリレート系モノマーは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

多官能（メタ）アクリレート系モノマーとしては、骨格構造に環状構造を有するものが好ましい。環状構造は、炭素環式構造でもよく、複素環式構造でもよく、また単環式構造でも多環式構造でもよい。このような多官能（メタ）アクリレート系モノマーとしては、例えば、ジ（アクリロキシエチル）イソシアヌレート、及びトリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレートなどのイソシアヌレート構造を有するもの、ジメチロールジシクロペンタンジアクリレート、エチレンオキシド変性ヘキサヒドロフタル酸ジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールアクリレート、ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパンジアクリレート、及びアダマンタンジアクリレートなどが挙げられる。

アクリレート系オリゴマーとしては、重量平均分子量５００００以下のものが好ましい。このようなアクリレート系オリゴマーとしては、例えば、ポリエステルアクリレート系オリゴマー、エポキシアクリレート系オリゴマー、ウレタンアクリレート系オリゴマー、ポリエーテルアクリレート系オリゴマー、ポリブタジエンアクリレート系オリゴマー、及びシリコーンアクリレート系オリゴマーなどが挙げられる。

ポリエステルアクリレート系オリゴマーは、例えば多価カルボン酸と多価アルコールとの縮合によって得られる両末端に水酸基を有するポリエステルオリゴマーの水酸基を（メタ）アクリル酸でエステル化することにより得ることができる。また、ポリエステルアクリレート系オリゴマーは、多価カルボン酸にアルキレンオキシドを付加して得られるオリゴマーの末端の水酸基を（メタ）アクリル酸でエステル化して得ることもできる。

エポキシアクリレート系オリゴマーは、例えば、比較的低分子量のビスフェノール型エポキシ樹脂やノボラック型エポキシ樹脂のオキシラン環に、（メタ）アクリル酸を反応しエステル化することにより得ることができる。また、このエポキシアクリレート系オリゴマーを部分的に二塩基性カルボン酸無水物で変性したカルボキシル変性型のエポキシアクリレートオリゴマーも用いることができる。ウレタンアクリレート系オリゴマーは、例えば、ポリエーテルポリオールやポリエステルポリオールとポリイソシアナートの反応によって得られるポリウレタンオリゴマーを、（メタ）アクリル酸でエステル化することにより得ることができ、ポリオールアクリレート系オリゴマーは、ポリエーテルポリオールの水酸基を（メタ）アクリル酸でエステル化することにより得ることができる。

アクリレート系オリゴマーの重量平均分子量は、ＧＰＣ法で測定した標準ポリメチルメタクリレート換算の値で５００００以下が好ましく、より好ましくは５００以上５００００以下がより好ましく、３０００以上４００００以下が更に好ましい。これらのアクリレート系オリゴマーは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

（メタ）アクリロイル基を有する基が側鎖に導入されたアダクトアクリレート系ポリマーは、上述した（メタ）アクリル酸エステルと、分子内に架橋性官能基を有する単量体との共重合体を用い、共重合体の架橋性官能基の一部に、（メタ）アクリロイル基及び架橋性官能基と反応する基を有する化合物を反応させることにより得ることができる。アダクトアクリレート系ポリマーの重量平均分子量は、ポリスチレン換算で、通常５０万以上２００万以下である。

＜光重合開始剤＞
粘着剤層形成用組成物としては、エネルギー線硬化性化合物を用いる場合には、粘着剤層１４の弾性率及びゲル分率を向上する観点から、光重合開始剤を含有させたものを用いる。光重合開始剤としては、例えば、ベンソイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−ｎ−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、アセトフェノン、ジメチルアミノアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−プロパン−１−オン、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル−２−（ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、ベンゾフェノン、ｐ−フェニルベンゾフェノン、４，４’−ジエチルアミノベンゾフェノン、ジクロロベンゾフェノン、２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−ターシャリ−ブチルアントラキノン、２−アミノアントラキノン、２−メチルチオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジメチルケタール、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エステル、オリゴ［２−ヒドロキシ−２−メチル−１［４−（１−メチルビニル）フェニル］プロパノン］、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシドなどが挙げられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

光重合開始剤の配合量としては、エネルギー線硬化性化合物１００質量部に対して、０．２質量部以上２０質量部以下が好ましい。

＜架橋剤＞
粘着剤層形成用組成物としては、粘着剤層１４の弾性率及びゲル分率を向上する観点から、架橋剤（硬化剤）を含むものが好ましい。架橋剤としては、多官能アミノ化合物及びポリイソシアネート化合物などの多官能イソシアネート化合物、多官能エポキシ化合物、多官能アジリジン化合物、多官能オキサゾリン化合物及び多官能金属化合物からなる群から選択される少なくとも一種が好ましい。架橋剤としては、例えば、アクリル系ポリマーの反応性官能基と反応することにより粘着剤を架橋させるものを用いることができる。また、粘着剤層形成用組成物としては、硬化促進剤、硬化遅延剤などを含むものを用いることもできる。

多官能イソシアネート化合物の具体例としては、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、１，３−キシリレンジイソシアネート、１，４−キシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタン−４，４’−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−２，４’−ジイソシアネート、３−メチルジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン−４，４’−ジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン−２，４’−ジイソシアネート及びリジンイソシアネートなどが挙げられる。また、これらの多官能イソシアネート化合物の三量体、及びこれら多官能イソシアネート化合物とポリオール化合物とを反応させて得られる末端イソシアネートウレタンプレポリマーなども使用することができる。

多官能エポキシ化合物の具体例としては、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−）ジグリシジルアミノメチル）ベンゼン、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアミノメチル）トルエン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジル−４，４−ジアミノジフェニルメタンなどがある。

多官能アジリジン化合物の具体例としては、Ｎ，Ｎ’−ジフェニルメタン−４，４’−ビス（１−アジリジンカルボキシアミド）トリメチロールプロパントリ−β−アジリジニルプロピオネート、テトラメチロールメタントリ−β−アジリジニルプロピオネート、Ｎ，Ｎ’−トルエン−２，４−ビス（１−アジリジンカルボキシアミド）トリエチレンメラミンなどが挙げられる。

多官能オキサゾリン化合物の具体例としては、２−イソプロペニル−２−オキサゾリンなどの２位の炭素位置に不飽和炭素−炭素結合をもつ置換基を有する付加重合性２−オキサゾリンと他の不飽和単量体との共重合体などが挙げられる。

多官能金属化合物の具体例としては、トリスエチルアセトアセテートアルミニウム、エチルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレート、トリスアセチルアセトナトアルミニウムなどのアルミキレート系化合物などの多価金属の配位化合物などが挙げられる。これらの中でも、十分な粘着力を得る観点から、アルミキレート系化合物が好ましい。

粘着剤層形成用組成物において、架橋剤は１種単独で用いてもよいし、異種の架橋剤を複数組み合わせて用いてもよい。粘着剤層の耐熱性の向上のためには異種の架橋剤を組み合わせることが好ましい。異種の架橋剤を組み合わせる場合の具体例としては、多官能イソシアネート化合物と多官能エポキシ化合物の組み合わせや、多官能イソシアネート化合物と多官能金属化合物との組み合わせが好ましい。

架橋剤の配合量としては、粘着性能及び凝集力に優れた粘着剤層を形成することができる観点から、アクリル系ポリマー１００質量部に対して、１種あたりの架橋剤０．１質量部以上が好ましく、１質量部以上がより好ましく、また３０質量部以下が好ましく、２０質量部以下がより好ましい。

＜シランカップリング剤＞
粘着剤層形成用組成物としては、必要に応じてシランカップリング剤を含有させたものを用いてもよい。このシランカップリング剤を含有させることにより、例えば、透明導電性フィルムをガラス基板などに貼合する場合に、粘着剤層とガラスセルとの間の密着性が良好となる。シランカップリング剤としては、分子内にアルコキシシリル基を少なくとも１個有する有機ケイ素化合物であって、粘着剤成分との相溶性がよく、かつ光透過性を有するものが好ましい。

シランカップリング剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の重合性不飽和基含有ケイ素化合物、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン等のエポキシ構造を有するケイ素化合物、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン等のアミノ基含有ケイ素化合物、３−クロロプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

シランカップリング剤の配合量としては、粘着性層形成用組成物の固形分１００質量部に対して、０．００１質量部以上１０質量部以下が好ましく、０．００５質量部以上５質量部以下がより好ましい。

＜粘着付与樹脂＞
粘着剤層形成用組成物としては、タック、接着力および保持力を調整する粘着付与樹脂を含むものを用いてもよい。粘着付与樹脂としては、ロジン系粘着付与樹脂、テルペン系粘着付与樹脂、石油系粘着付与樹脂、クマロン−インデン系樹脂などの石炭系粘着付与樹脂、フェノール系樹脂、キシレン樹脂、スチレン系樹脂及びその他の粘着付与樹脂などが挙げられる。ロジン系粘着付与樹脂としては、ガムロジン、トール油ロジン、ウッドロジン、水素添加ロジン、不均化ロジン、重合ロジン、変性ロジンのグリセリンエステル及び変性ロジンのペンタエリスリトールエステルなどが挙げられる。テルペン系粘着付与樹脂としては、α−ピネン樹脂、β−ピネン樹脂、ジペンテン樹脂、芳香族変性テルペン樹脂及びテルペンフェノール樹脂などが挙げられる。石油系粘着付与樹脂としては、Ｃ５系石油樹脂、Ｃ９系石油樹脂、Ｃ５系／Ｃ９系共重合系石油樹脂、水素添加Ｃ５系石油樹脂、水素添加Ｃ９系石油樹脂、水素添加Ｃ５系／Ｃ９系共重合系石油樹脂、ジシクロペンタジエン系石油樹脂及びスチレン系石油樹脂などが挙げられる。これら粘着付与樹脂は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。これらの中でも、アクリル系トリブロック共重合体との相容性が高く、安定した接着力を発現する観点から、水素添加テルペン樹脂及びテルペンフェノールなどのテルペン系樹脂、水添ロジンエステル、不均化ロジンエステル及び重合ロジンなどのロジン系樹脂、Ｃ５／Ｃ９系石油樹脂及び芳香族系石油樹脂などの石油樹脂、αメチルスチレン重合体及びスチレン／αメチルスチレン共重合体などのスチレン系樹脂などの粘着付与樹脂が好ましく用いられる。これらは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。粘着付与樹脂の軟化点は、高い接着力を発現するために、５０℃以上１５０℃以下であることが好ましい。

粘着剤層形成用組成物における粘着付与樹脂の配合量としては、粘着剤層１４の粘着力を向上する観点から、上述したアクリル系ポリマー１００質量部に対して、０．５質量部以上１００質量部以下が好ましく、１質量部以上５０質量部以下がより好ましい。

＜紫外線吸収剤＞
粘着剤層形成用組成物としては、紫外線吸収剤を含有するものが好ましい。紫外線吸収剤を含有することにより、耐熱性粘着シート１の色調調整などに用いられる色素を紫外線から保護することができる。

紫外線吸収剤としては、例えば、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、及びトリアジン系化合物などが挙げられる。これらの紫外線吸収剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

＜防錆剤＞
粘着剤層形成用組成物としては、防錆剤を含有するものが好ましい。防錆剤を含有することにより、得られる粘着剤層１４が金属製の電極などと接触するときに、金属と添加剤との相互作用及び金属と粘着剤の相互作用などによる透過率の変化を低減することができる。

防錆剤としては、例えば、水酸基を有するアゾール系化合物、トリアゾール系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、チアゾール系化合物、ベンゾチアゾール系化合物、イミダゾール系化合物、ベンゾイミダゾール系化合物、リン系化合物、アミン系化合物、亜硝酸塩系化合物、界面活性剤類、シランカップリング剤類などが挙げられるが、これらの中でも腐食防止性能の観点から、ベンゾトリアゾール系の防錆剤が好ましい。なお、防錆剤は１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

ベンゾトリアゾール系の防錆剤としてとしては、例えば、１Ｈベンゾトリアゾール、トリルベンゾトリアゾール、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（２−エチルヘキシル）アミノメチル］ベンゾトリアゾール、及び１−［Ｎ，Ｎ−ビス（２−エチルヘキシル）アミノメチル］メチルベンゾトリアゾールなどが挙げられる。

粘着剤層形成用組成物における防錆剤の配合量は、上述した防錆剤としての効果を得る観点及び粘着性の観点から、粘着剤層形成用組成物の固形分の全質量に対して、０．１質量％以上５質量％以下が好ましく、０．３質量％以上２質量％以下がより好ましい。

粘着剤層１４の厚さは、本発明の効果を奏する範囲であれば特に制限はなく、例えば、３μｍ以上が好ましく、１０μｍ以上がより好ましく、２０μｍ以上が更に好ましく、また５００μｍ以下が好ましく、４００μｍ以下がより好ましく、３００μｍ以下が更に好ましい。

また、粘着剤層１４が第１粘着剤層１４２、第２粘着剤層１４３及び芯材１４１で構成される場合には、芯材１４１の厚さは、２μｍ以上が好ましく、５μｍ以上がより好ましく、また５０μｍ以下が好ましく、４５μｍ以下がより好ましい。第１粘着剤層１４２及び第２粘着剤層１４３の厚さは、それぞれ１μｍ以上が好ましく、また５０μｍ以下が好ましい。

（基材フィルム２１）
基材フィルム２１としては、プラスチックフィルムの中から耐熱性を有するものを適宜選択して用いることができる。このようなプラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）などのポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、セロファン、ジアセチルセルロースフィルム、トリアセチルセルロースフィルム、アセチルセルロースブチレートフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリスルホンフィルム、ポリエーテルエーテルケトンフィルム、ポリエーテルスルホンフィルム、ポリエーテルイミドフィルム、ポリイミドフィルム、フッ素樹脂フィルム、ポリアミドフィルム、アクリル樹脂フィルム、ノルボルネン系樹脂フィルム、及びシクロオレフィン樹脂フィルムなどのプラスチックフィルムを用いることができる。これらの中でも、光学用基材として好適に用いられる観点及び透明性に優れる観点から、ポリエステルフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム、ノルボルネン系樹脂フィルム、及びシクロオレフィン樹脂フィルムなどであることが好ましく、ポリエステルフィルムであることが更に好ましい。

基材フィルム２１には、前述のプラスチックフィルムの表面に種々の機能を付加する層が設けられていてもよい。基材フィルム２１は、例えば、機能層２２又は粘着剤層１４に接する側の面にそれぞれの層との密着を強固にするための易接着層を有していてもよいし、機能層２２に接する側の面にハードコート層が設けられていてもよい。

基材フィルム２１の厚さとしては、２５μｍ以上が好ましく、３０μｍ以上がより好ましく、３５μｍ以上が更に好ましく、また２５０μｍ以下が好ましく、２２５μｍ以下がより好ましく、２００μｍ以下が更に好ましい。以上を考慮すると、基材フィルム２１の厚さは、２５μｍ以上２５０μｍ以下が好ましく、３０μｍ以上２２５μｍ以下がより好ましく、３５μｍ以上２００μｍ以下が更に好ましい。

なお、図１においては、基材フィルム２１を単一層として示したが、基材フィルム２１は、必ずしも単一層によって構成されるものに限定されない。基材フィルム２１は、例えば、基材フィルム及び剥離剤層が積層された２層のフィルムとして構成されていてもよいし、剥離フィルム１０と同様に３層のフィルムとして構成されていてもよい。

＜オリゴマー封止性＞
本発明者らは、従来技術では目視による外観評価のみであったオリゴマー析出の評価について、耐熱性粘着シートのヘイズ値を測定することによりオリゴマー析出の程度を定量的に評価できることに着目した。そして、本発明者らは、耐熱性粘着シートのヘイズ値の測定によるオリゴマー析出の定量評価により、透明電極層の損傷や異物混入を効果的に防止することができることを見出した。

本実施の形態に係る耐熱性粘着シート１においては、剥離フィルム１０の表層に析出したオリゴマーが剥離基材１１（ポリエステルフィルム）をくもらせ剥離フィルム１０のヘイズ値を変化させる。そこで、本実施の形態では、剥離フィルム１０の初期ヘイズ値と、当該剥離フィルム１０を１５０℃で２時間加熱した後の加熱後ヘイズ値との差の絶対値であるΔヘイズ値を測定することにより樹脂層１２におけるオリゴマー封止性を確認できる。ただし、加熱使用時（アニール処理時）に除去されている基材フィルム２１の影響を排除するため、初期ヘイズ値と加熱後ヘイズ値の測定は、基材フィルム２１を除去し剥離フィルム１０と粘着剤層１４の積層体の状態で測定される。

本実施の形態においては、上記樹脂層形成用組成物を用いて樹脂層１２を形成するので、（Ａ）〜（Ｃ）成分の組成が剥離基材１０からのオリゴマー析出を防ぐために適度な範囲となりΔヘイズ値を０．１５％以下とすることができる。なお、耐熱性粘着シート１の初期ヘイズ値とは、耐熱性粘着シート１を１５０℃で２時間加熱する前のヘイズ値である。Δヘイズ値は、０．１％以下が好ましく、０．０８％以下がより好ましく、０．０４％以下が更に好ましい。

なお、本実施の形態においては、Δヘイズ値は、以下のようにして算出することができる。まず、ヘイズメーター（商品名：ＮＤＨ２０００、日本電色工業社製）を用いてＪＩＳ Ｋ７１０５に準拠して耐熱性粘着シート１の初期ヘイズ値（％）を測定する（Ｎ＝５の平均値）。次に、耐熱性粘着シート１を１５０℃の乾燥機内に吊るし、２時間加熱した後、ＪＩＳ Ｋ７１０５に準拠して加熱後のヘイズ値（％）を測定する（Ｎ＝５の平均値）。そして、加熱後のヘイズ値から初期ヘイズ値を差し引いた値の絶対値をΔヘイズ値とする。

＜用途＞
上記実施の形態に係る耐熱性粘着シート１は、例えば、静電容量方式のタッチパネル製造工程における透明導電性フィルムをガラス基板などと貼り合わせるための原材料フィルムとして好適に使用できる。耐熱性粘着シート１を透明導電性フィルムの製造に用いる場合には、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化錫、インジウム−錫複合酸化物、錫−アンチモン複合酸化物、亜鉛−アルミニウム複合酸化物、及びインジウム−亜鉛複合酸化物などの透明導電性材料を粘着剤層１４上に成膜して機能層２２としての透明導電層を設ける。透明導電層の厚さは、連続した薄膜となり安定した導電性が得らえる観点及び十分な透明性が得られる観点から、４ｎｍ以上が好ましく、５ｎｍ以上がより好ましく、１０ｎｍ以上が更に好ましく、また８００ｎｍ以下が好ましく、５００ｎｍ以下がより好ましく、１００ｎｍ以下が特に好ましい。

本実施の形態に係る耐熱性粘着シート１においては、剥離フィルム１０の初期ヘイズ値と、１５０℃で２時間加熱した後の加熱後ヘイズ値との差の絶対値であるΔヘイズ値が０．１５％以下であるので、透明導電層を設けてアニール処理を施す場合であっても、アニール処理前後の剥離フィルムのヘイズ値の変化を低減でき、透明導電層を設けた耐熱性粘着シート１が粘着剤層１４を備えたままアニール処理を施すことが可能となる。さらに、透明導電性フィルムのアニール処理工程においては、耐熱性粘着シート１における剥離フィルム１０が保護シートの役割をも果たすので、オリゴマーの析出が問題となる１５０℃程度の温度でのアニール処理にも好適に使用することができる。また、本実施の形態に係る耐熱性粘着シート１においては、アニール処理やその他の加熱処理においても、ポリエステルフィルムに含まれるオリゴマーがブリードアウトしたり、樹脂層１２表面へのオリゴマー由来の結晶の析出を好適に抑制することができるので、タッチパネルとして不都合なオリゴマー由来の微小異物の混入、及び透明電極層の損傷を抑制することができる。なお、本実施の形態に係る耐熱性粘着シート１は、透明導電性フィルムを使用したタッチパネルの製造工程以外の加熱処理を要する用途においても適用可能である。

以上説明したように、上記実施の形態によれば、剥離フィルム１０の初期ヘイズ値と、１５０℃で２時間加熱した後の加熱後ヘイズ値との差の絶対値であるΔヘイズ値が０．１５％以下であるので、加熱処理前後の剥離フィルム１０のヘイズ値の変化を低減でき、透明導電層を設けた耐熱性粘着シート１が粘着剤層１４を備えたままアニール処理を施すことが可能となる。剥離基材１１、樹脂層１２及び剥離剤層１３を含む剥離フィルム１０により基材フィルム２１上に設けた機能層（例えば、透明導電層２２）に対する裏面側を保護することができるので、機能性フィルムを製造する際に機能層の裏面側を保護する保護シートを着脱する工程を省略することが可能となる。したがって、製造工程の短縮による機能性フィルムの製造コストの低減が可能な耐熱性粘着シートを実現することができる。

（機能性フィルムの製造方法）
次に、図４Ａ〜図４Ｃを参照して本実施の形態に係る機能性フィルムの製造方法について説明する。ここでは、機能性フィルムの一例として透明導電性フィルムを製造する例について説明するが、本発明は、透明導電性フィルム以外の各種機能性フィルムの製造に適用可能である。

図４Ａ〜図４Ｃに示すように、本実施の形態に係る機能性フィルムの製造方法は、樹脂層１２、剥離基材１１、剥離剤層１３、粘着剤層１４及び基材フィルム２１をこの順に積層した積層体３を得る積層工程と、基材フィルム３２上に導電性材料を成膜して機能層（例えば、透明導電層２２）を設けて耐熱性粘着シート１を得る成膜工程と、耐熱性粘着シートを加熱処理する熱処理工程とを含む。

積層工程では、図４Ａに示すように、剥離基材１１の一方の主面上に樹脂層形成用組成物をマイヤーバーコート法などにより塗布して樹脂層１２を設けると共に、剥離基材１１の他方の主面上にマイヤーバーコート法などにより剥離剤層形成用組成物を塗布して剥離剤層１３を設けて剥離フィルム１０を得る。次に、図４Ｂに示すように、剥離剤層１３上に粘着剤層形成用組成物を塗布して粘着剤層１４を設けた後、粘着剤層１４上に基材フィルム２１を設けて積層体３とする。

次に、成膜工程では、図４Ｃに示すように、基材フィルム２１上に透明導電層２２（ＩＴＯ：インジウム錫酸化皮膜）をスパッタリング、ＣＶＤ、ＰＶＤなどにより設けて耐熱性粘着シート１を得る。次に、熱処理工程では、耐熱性粘着シート１を加熱するアニール処理によりＩＴＯの結晶化が進行して低抵抗な透明電極層２２が作成される。ここでは、透明導電層２２の外表面の裏面側に剥離フィルム１０が設けられているので、他の保護シートなどを貼着することなく透明導電層２２の裏面側を保護した状態でアニール処理することができ、製造工程の短縮による製造コストの低減を図ることができる。

以下、本発明の効果を明確にするために行った実施例に基づいて本発明をより詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施例及び比較例によって何ら限定されるものではない。

＜Δヘイズ値の算出＞
実施例及び比較例で作製した耐熱性粘着シートをそれぞれ５ｃｍ角に切り出し試験片とした。この試験片から剥離フィルムを剥離し、ヘイズメーター（商品名：ＮＤＨ２０００、日本電色工業社製）を用いてＪＩＳ Ｋ７１０５に準拠してこの剥離フィルムのヘイズを測定（Ｎ＝ ５の平均値）し、初期ヘイズ値（％）とした。また、各試験片の片隅をクリップで止めて１５０℃の乾燥機内に吊るして２時間加熱した後、この試験片から剥離フィルムを剥離し、ＪＩＳ Ｋ７１０５に準拠してこの剥離フィルムのヘイズを測定（Ｎ＝ ５の平均値）し、加熱後のヘイズ値（％）とした。

加熱後のヘイズ値から初期ヘイズ値を差し引いた値の絶対値をΔヘイズ値とし、以下の基準で評価した。なお、Δヘイズ値が０．１５％以下であれば、剥離基材として使用したポリエステルフィルムからのオリゴマーの析出量が十分に少なく、その後の工程への影響を低減できる。
○（良好）：０．１５％以下
×（不良）：０．１５％以上

（実施例１）
（樹脂層形成用組成物の調製工程）
（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ化合物（商品名：ＥＰＩＣＬＯＮ Ｈ−３６０、ＤＩＣ社製：固形分濃度４０質量％、重量平均分子量 ２５０００）１００質量部、（Ｂ）ポリエステル化合物（商品名：バイロン ＧＫ６８０、東洋紡社製：数平均分子量 ６０００、ガラス転移温度１０℃）のトルエン溶液（固形分濃度３０質量％）１９．０質量部、及び（Ｃ）ヘキサメトキシメチルメラミン（商品名：サイメル３０３、固形分濃度１００質量％、日本サイテックインダストリーズ社製）１１．４質量部を混合した。混合液をトルエン／メチルエチルケトン（以下、「ＭＥＫ」ともいう）＝５０質量％／５０質量％の混合溶媒で固形分が３質量％になるように希釈して撹拌した。その後、（Ｄ）ｐ−トルエンスルホン酸のメタノール溶液（固形分濃度５０質量％）を２．９質量部添加して、樹脂層形成用組成物を得た。

（樹脂層形成フィルムの製造工程）
得られた樹脂層形成用組成物を、基材フィルムとしての二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（商品名：Ｅ５００１、東洋紡社製：厚さ７５μｍ）の一方の表面上にマイヤーバーコート法にて均一に塗工した。その後、樹脂形成用組成物を塗布した基材フィルムを１５０℃のオーブンを２０秒で通過させて厚み１５０ｎｍの樹脂層を形成し、樹脂層を形成したポリエステルフィルムを得た。

（剥離剤層形成用組成物の調製工程）
次に、付加反応型シリコーン樹脂（商品名：ＫＳ−７７４、信越化学工業社製）１００質量部を、トルエン／ＭＥＫ＝５０質量％／５０質量％の混合溶媒にて、固形分が１．５質量％となるように希釈して撹拌した。その後、白金触媒（商品名：ＰＬ−５０Ｔ、信越化学工業社製）１質量部を添加して剥離剤層形成用組成物を得た。

（剥離フィルムの製造工程）
次に、基材フィルムの樹脂層とは反対面にマイヤーバーコート法にて剥離剤層形成用組成物均一に塗工した。その後、剥離剤層形成用組成物を塗布した基材フィルムを１５０℃のオーブンを２０秒で通過させて厚さ１５０ｎｍの剥離剤層を形成し、剥離フィルムを得た。

（粘着剤の調製工程）
以下の粘着剤配合１の配合比（固形分比）からなる粘着剤組成物をトルエンに溶解して塗工液を調製した。
＜粘着剤配合１＞
・アクリル共重合体（アクリル酸ブチル９５質量部とアクリル酸２−ヒドロキシエチルの共重合体５質量部の共重合体、重量平均分子量（Ｍｗ）８０万）１００質量部
・多官能アクリレート化合物（トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート；東亜合成社製、商品名「アロニックスＭ−３１５」）１５質量部
・光重合開始剤（ベンゾフェノンと１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンとの質量比１：１の混合物；チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、商品名「イルガキュア５００」）１．５質量部
・架橋剤（トリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネート；日本ポリウレタン社製、商品名「コロネートＬ」）３質量部
・シランカップリング剤（３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン；信越化学工業社製、商品名「ＫＢＭ−４０３」）０．２質量部

（耐熱性粘着シートの製造工程）
調製した塗工液を、上記工程で用意された剥離フィルムの剥離層上にナイフ式塗工機で塗布した後、９０℃で１分間乾燥処理した。次に、基材フィルムとしてアニール処理ポリエステルフィルム（商品名：メリネックスＳＡ、厚み１２５μｍ、帝人・デュポン社製）と貼合した。乾燥後の粘着剤層の厚さは２５μｍに調整した。次に、基材フィルムを剥離フィルムに貼合してから３０分後に剥離フィルム側から、紫外線（ＵＶ）を照度６００ｍＷ／ｃｍ^２、光量１５０ｍＪ／ｃｍ^２（フュージョン社製無電極ランプ Ｈバルブ使用）の条件で照射し、耐熱性粘着シートを作製した。得られた粘着剤層の２３℃の貯蔵弾性率は０．８６ＭＰａであり、ゲル分率は９３％であった。

（実施例２）
樹脂層形成用組成物を、（Ｂ）ポリエステル化合物を２２．２２質量部とし、（Ｃ）ヘキサメトキシメチルメラミンを２０質量部とし、（Ｄ）ｐ−トルエンスルホン酸のメタノール溶液を３．３質量部としたこと以外は、実施例１と同様に操作して耐熱性粘着シートを得た。

（実施例３）
樹脂層形成用組成物を、（Ｂ）ポリエステル化合物を４４．４質量部とし、（Ｃ）ヘキサメトキシメチルメラミンを１３．３質量部とし、（Ｄ）ｐ−トルエンスルホン酸のメタノール溶液を３．３質量部としたこと以外は、実施例１と同様にして耐熱性粘着シートを得た。

（実施例４）
樹脂層形成用組成物を、（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ化合物を（商品名：ＥＰＩＣＬＯＮ ＥＸＡ−１２３、ＤＩＣ社製：固形分濃度３０％、重量平均分子量４５０００）１００質量部に変更し、（Ｂ）ポリエステル化合物を１４．３質量部とし、（Ｃ）ヘキサメトキシメチルメラミンを８．６質量部とし、（Ｄ）ｐ−トルエンスルホン酸のメタノール溶液（固形分濃度５０質量％）を２．１質量部としたこと以外は、実施例１と同様にして耐熱性粘着シートを得た。

（実施例５）
樹脂層形成用組成物を、（Ｂ）ポリエステル化合物を（商品名：バイロンＧＫ８１０、東洋紡社製：数平均分子量６０００、ガラス転移温度４６℃）のトルエン溶液（固形分濃度３０質量％）に変更したこと以外は、実施例１と同様にして耐熱性粘着シートを得た。

（実施例６）
粘着剤組成物の配合を以下の粘着剤配合２に変更し、乾燥処理を１２０℃１分間とし、紫外線照射を行わなかったこと以外は、実施例１と同様にして耐熱性粘着シートを作成した。粘着剤層の２３℃の貯蔵弾性率は０．６１ＭＰａであり、ゲル分率は８８％であった。
＜粘着剤配合２＞
・アクリル共重合体（アクリル酸ブチル８０質量部、メタクリル酸メチル１０質量部及びメタクリル酸２−ヒドロキシエチル１０質量部、重量平均分子量（Mw）８０万）１００質量部
・架橋剤１（トリレンジイソシアネート系（ＴＤＩ系）架橋剤；東洋インキ製造(株)製、商品名「オリバインＢＨＳ８５１５」）２．６質量部
・架橋剤２（金属キレート系架橋剤；綜研化学(株)製、商品名「Ｍ−５Ａ」）０．２５質量部

（実施例７）
粘着剤組成物の配合を以下の粘着剤配合３に変更し、紫外線照射を行わなかった以外は、実施例１と同様にして粘着シートを作成した。粘着剤層の２３℃の貯蔵弾性率は０．５８ＭＰａであり、ゲル分率は７５％であった。
＜粘着剤配合３＞
・アクリル共重合体（アクリル酸ブチル９４．９質量部、アクリル酸２−ヒドロキシエチル５質量部及びアクリル酸０．１質量部の共重合体、重量平均分子量（Mw）１８０万）１００質量部
・架橋剤（トリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネート；日本ポリウレタン社製、商品名「コロネートＬ」）３質量部

（比較例１）
剥離フィルムに樹脂層を設けなかったこと以外は、実施例１と同様にして粘着シートを得た。

（比較例２）
樹脂層形成用組成物を、（Ｂ）ポリエステル化合物を使用せず、（Ｃ）ヘキサメトキシメチルメラミンを１０質量部とし、（Ｄ）ｐ−トルエンスルホン酸のメタノール溶液を２．５質量部としたこと以外は、実施例１と同様にして粘着シートを得た。

（比較例３）
樹脂層形成用組成物を、（Ｂ）ポリエステル化合物を２２２．２質量部とし、（Ｃ）ヘキサメトキシメチルメラミンを２６．７質量部とし、（Ｄ）ｐ−トルエンスルホン酸のメタノール溶液を６．７質量部としたこと以外は、実施例１と同様にして粘着シートを得た。

表１から分かるように、実施例１−実施例７の粘着シートは熱処理を行った後のヘイズの変化量であるΔヘイズが極めて小さく、剥離フィルムの外面にオリゴマー成分が析出せず、オリゴマー封止性が良好であることが分かる。したがって、実施例１−実施例７の粘着シートは、熱処理を行っても剥離フィルムの外面にオリゴマーが析出しないので、粘着シートを巻き取っても機能層にオリゴマーによるダメージを与えることがなく、高価なオリゴマー封止用の保護フィルムを使用せず熱処理を行うことが可能である。

これに対し、樹脂層を設けなかった比較例１では、Δヘイズが極めて大きく、多量のオリゴマーの析出がありオリゴマー封止性が著しく劣ることが分かる。また、樹脂層を設けた場合であっても、ポリエステル化合物を配合しない比較例２及びポリエステル化合物の含有量が高い比較例３では、Δヘイズが大きくなりオリゴマー封止性が不十分であった。したがって、比較例１−比較例３の粘着シートでは、アニーリング処理などの加熱処理を行って粘着シートを巻き取ると、加熱処理によって剥離フィルムの外面に析出したオリゴマー成分が機能層側の表面に転着して、機能層の電気特性や光学特性を悪化させる要因となる。

１、２ 耐熱性粘着シート
３ 積層体
１０ 剥離フィルム
１１ 剥離基材
１２ 樹脂層
１３ 剥離剤層
１４ 粘着剤層
１４１ 芯材
１４２ 第１粘着剤層
１４３ 第２粘着剤層
２１ 基材フィルム
２２ 機能層

Claims (10)

1. ポリエステルフィルムからなる剥離基材、前記剥離基材の一方の主面上に設けられた樹脂層、及び前記剥離基材の他方の主面上に設けられた剥離剤層を含む剥離フィルムと、
   前記剥離剤層上に設けられた粘着剤層と、
   前記粘着剤層上に設けられた基材フィルムと、
   を具備し、
   前記剥離フィルムの初期ヘイズ値と、１５０℃で２時間加熱した後の加熱後ヘイズ値との差の絶対値であるΔヘイズ値が０．１５％以下であることを特徴とする、耐熱性粘着シート。
2. 前記剥離剤層が、付加反応型シリコーンを硬化させてなる、請求項１に記載の耐熱性粘着シート。
3. 前記樹脂層は、（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ化合物、（Ｂ）ポリエステル化合物、及び（Ｃ）多官能アミノ化合物を含有する樹脂層形成用組成物を硬化させてなる、請求項１又は請求項２に記載の耐熱性粘着シート。
4. 前記樹脂層形成用組成物は、前記ビスフェノールＡ型エポキシ化合物の含有量が５０質量％以上８０質量％以下であり、前記ポリエステル化合物の含有量が５質量％以上３０質量％以下であり、前記多官能アミノ化合物の含有量が１０質量％以上４０質量％以下である、請求項３に記載の耐熱性粘着シート。
5. 前記ビスフェノール型エポキシ化合物の重量平均分子量が、１００００以上５００００以下である、請求項３又は請求項４に記載の耐熱性粘着シート。
6. 前記ポリエステル化合物のガラス転移温度（Ｔｇ）が、０℃以上５０℃以下である、請求項３から請求項５のいずれか１項に記載の耐熱性粘着シート。
7. 前記樹脂層が、前記樹脂層形成用組成物の溶液を前記基材フィルム上に塗布して形成した塗布層を加熱して硬化皮膜としたものである、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の耐熱性粘着シート。
8. 前記樹脂層の膜厚が、５０ｎｍ以上５００ｎｍ以下である、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の耐熱性粘着シート。
9. ポリエステルフィルムからなる剥離基材、前記剥離基材の一方の主面上に設けられた樹脂層、及び前記剥離基材の他方の主面上に設けられた剥離剤層を含む剥離フィルムの前記剥離剤層上に、前記粘着剤層及び前記基材フィルムがこの順に積層してなり、前記剥離フィルムの初期ヘイズ値と、１５０℃で２時間加熱した後の加熱後ヘイズ値との差の絶対値であるΔヘイズ値が０．１５％以下である耐熱性粘着シートを得る積層工程と、
   前記耐熱性粘着シートの前記基材フィルム上に機能層として導電性材料を成膜する成膜工程と、
   前記機能層を成膜した前記耐熱性粘着シートを加熱処理する熱処理工程とを含むことを特徴とする、機能性フィルムの製造方法。
10. 前記機能層が透明導電層である、請求項９に記載の機能性フィルムの製造方法。

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