JP2016087770A - 研磨布および研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】CMP工程において、高い平坦性を確保することができる研磨布および研磨方法を提供する。
【解決手段】研磨布122は、ポリマ200中に混入された熱伝導率が低い物質WFとを有する研磨層を含む。低熱伝導性物質は、木材繊維などの繊維状物質である。これにより研摩中に生じる研摩熱は研磨布の内部には容易に拡散せず、研磨布表面に接触する研磨布冷却部によって消失される。また、研磨層の熱拡散率を0.05mm2/s以下とする。
【選択図】図2
【解決手段】研磨布122は、ポリマ200中に混入された熱伝導率が低い物質WFとを有する研磨層を含む。低熱伝導性物質は、木材繊維などの繊維状物質である。これにより研摩中に生じる研摩熱は研磨布の内部には容易に拡散せず、研磨布表面に接触する研磨布冷却部によって消失される。また、研磨層の熱拡散率を0.05mm2/s以下とする。
【選択図】図2
Description
本発明の実施形態は、研磨布および研磨方法に関する。
半導体装置の製造プロセスにおいて、化学的機械的研磨(Chemical Mechanical Polishing:以下、「CMP」という)は、基板上の例えば金属膜や多結晶珪素膜、溝に埋め込まれた絶縁膜などの平坦化に使用される。19nm世代以降または三次元積層型の次世代デバイスでは、微細化や積層数の増大に伴う露光工程でのフォーカスエラーを低減するため、CMP工程での高い平坦性を確保することが特に求められている。
本発明が解決しようとする課題は、CMP工程において、高い平坦性を確保することができる研磨布および研磨方法を提供することである。
一実施形態の研磨布は、繊維状物質が混入されたポリマを含む研磨層を持つ。
以下、実施形態のいくつかについて図面を参照しながら説明する。図面において、同一の部分には同一の参照番号を付し、その重複説明は適宜省略する。また、添付の図面は、それぞれ発明の説明とその理解を促すためのものであり、各図における形状や寸法、比などは実際の装置と異なる個所がある点に留意されたい。
本願明細書において、「積層」は、互いに接して重ねられる場合の他、間に他の層が介挿されて重ねられる場合をも含む。また、「上に搭載される」とは、直接接して搭載される場合の他、間に他の層や部材などが介挿されて搭載される場合をも含む。さらに、説明中の上下等の方向を示す用語は、CMP装置の説明においては研磨テーブルの表面のうち研磨布が搭載される面側を上とし、被研磨物の説明においては基板の被研磨物が形成された面側を上とした場合の相対的な方向を指し示す。そのため、重力加速度方向を基準とした現実の方向と異なる場合がある。
図1は、実施の一形態による研磨布を含むCMP装置の概略構成を示す図の一例である。図1に示すCMP装置10は、台座部11と、本実施形態による研磨布12と、被研磨物14を保持する保持部13と、供給部15と、表面調整部16と、研磨布冷却部17とを含む。
台座部11は、研磨テーブル軸11aと、研磨テーブル軸11aに連結された研磨テーブル11bとを有する。研磨テーブル軸11aは図示しないモータに接続され、該モータの回転駆動により、研磨テーブル11bは、研磨テーブル軸11aを介して例えば矢印AR1の方向に回転する。
研磨布12は、研磨テーブル11b上に搭載される。研磨布12は、被研磨物14が接触する面に研磨層が形成されていれば、その構造は特に限定されず、例えば2層以上の積層構造を有するものでもよい。本実施形態による研磨布12は、0.05mm2/s以下、より好適には、0.04mm2/s以下の熱拡散率を有し、かつ、20℃〜60℃で200MPa以上の貯蔵弾性率を有する。研磨布12の詳細構成については後に詳述する。
保持部13は、三次元を構成するX,Y,Zのいずれの方向にも移動可能である。例えば図1に示すように研磨布12の表面20がX−Y平面に平行に設置されている場合、被研磨物14を保持した状態で被研磨物14をZ方向に移動させて研磨布12の表面20に接触させる。保持部13は、軸131を介してモータ(図示せず)に接続され、該モータの回転駆動により軸131を介して例えば矢印AR1の方向に回転する。
台座部11および保持部13は、被研磨物14の研磨量のむらをなくす観点から共に回転駆動されていることが望ましい。両者が回転駆動されるとき、図1に示すように、保持部13の回転方向と台座部11の回転方向とは同じであるのが望ましい。なお、図1では、研磨テーブル11bおよび保持部13が共に矢印AR1の方向に回転する場合を示したが、勿論これに限ることなく矢印AR1と反対の方向に回転させてもよい。
供給部15は、台座部11の上方、例えば、台座部11が円柱形のとき、円の中央部の上方に配置され、研磨布12の表面20にスラリSLを供給する。スラリSLは、例えば、研磨剤などの薬液および水などを含む。
表面調整部16は、被研磨物14の研磨により、磨耗した、または、研磨剤中に含まれる砥粒により目詰まりした研磨布12の表面部を、被研磨物14の研磨前の初期状態に戻す機能を有する。
研磨布冷却部17は、研磨布12の表面20に近接して配置され、研磨布12の表面部を冷却する。研磨布冷却部17は、例えば、研磨布12の表面部に接触する熱交換体(図示せず)や、研磨布2の表面部に不活性気体(熱交換気体)を供給する非接触機構(図示せず)などを備える。
図2および図3は、研磨布12の実施例1および2をそれぞれ示す部分断面図の例であり、例えば図1のA−A切断線に対応する断面図である。
図2に示す研磨布122は、ポリマ200と、このポリマ200中に混入された熱伝導率が低い物質(以下、「低熱伝導率物質」という)WFとを有する研磨層を含む。低熱伝導率物質WFの熱伝導率は具体的には0.15J/(m・s・K)以下が好ましい。本実施例において低熱伝導率物質WFは、木材繊維などの繊維状物質である。
ポリマ200の具体的材料としては、ポリウレタン、ポリウレア、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、エポキシ樹脂、ABS樹脂、AS樹脂、ブタジエンゴム、スチレンブタジエンゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコンゴム、フッ素ゴム、およびこれらの物質の混合物を挙げることができ、本実施形態ではポリウレタンを用いることが望ましい。
本実施例の研磨布122によれば、ポリマ200に低熱伝導率物質WFが混入されているので、研磨布12と被研磨物14との間で研磨中に生じる摩擦熱は研磨布12の内部へ容易には拡散せず、このため、発生した摩擦熱の多くを研磨布12の内部に到達する前に研磨布冷却部17によって消失させることができる。これにより研磨布12内部の温度上昇を抑制することが可能になる。
図3に示す研磨布124は、ポリマ200と、このポリマ200中の空隙に予め導入され、ポリマ200に囲まれるようにカプセル状に被覆された、ポリマ200よりも比熱および熱伝導率が高い物質(以下、「高比熱・高熱伝導率物質」という)300と、を有する研磨層を含む。
高比熱・高熱伝導率物質300の熱伝導率がポリマ200よりも高いため、研磨布12と被研磨物14との間で生じる摩擦熱は、優先的に材料300へ流入する。これにより、研磨布12全体の温度上昇による貯蔵弾性率の低下を防ぐことができる。ポリマとして例えばポリウレタンを選択した場合、高比熱・高熱伝導率物質300の比熱を1900J/(kg・K)以上とし、熱伝導率を0.15J/(m・s・K)以上とすることが望ましい。このような特性を有する高比熱・高熱伝導率物質300の具体例としては水(H2O)を挙げることができる。
低熱伝導率物質WFおよび高比熱・高熱伝導率物質300は、研磨布12の表面からある程度深い位置に含有されている必要があり、浅くとも摩擦熱が入っていく場所に含有されている必要がある。
なお、低熱伝導率物質WF(実施例1)および高比熱・高熱伝導率物質300(実施例2)の各分布量は、要求される研磨布12の硬度とのバランスを考慮して決定される。
図1に示すCMP装置10を用いた研磨方法について一実施形態の研磨方法として説明する。本実施形態の研磨方法では、供給部15からスラリSLを供給し、被研磨物14を台座部11の方へ移動させて研磨布12の研磨層(図2の符号122または図3の符号124参照)に接触させ、研磨布冷却部17によって研磨布12の表面部を冷却しつつ、被研磨物14を研磨する。
ポリマ200のみで研磨層を形成する場合、その熱拡散率は約0.06mm2/sが下限値となっている。しかしながら、ポリマ200に低熱伝導率物質WFを混入したり(実施例1)、ポリマ200よりも比熱が高く熱伝導率が高い高比熱・高熱伝導率物質300をポリマ200に囲まれるように予め含有させたり(実施例2)することにより、研磨層の熱拡散率を0.04mm2/s以下に低減することが可能になり、また、20℃〜60℃での貯蔵弾性率を200MPa以上にすることが可能になる。
0.05mm2/s以下の熱拡散率であれば、研磨中での研磨布12内部の温度上昇を抑制することが可能である。また、200MPa以上の貯蔵弾性率であれば、抑制された温度上昇の効果により、被研磨物表面の十分な平坦性を確保することができる。
図4は、被研磨物14の一例を示す略示断面図の一例である。図4に示す被研磨物14は、半導体基板14aとストッパ膜14bと絶縁膜14cとを含む。ストッパ膜14bは半導体基板14a上に成膜される。絶縁膜14cは、半導体基板14aおよびストッパ膜14bに設けられた溝TRを埋め込むように半導体基板14a上に成膜される。ストッパ膜14bは、絶縁膜14cに対して研磨選択比を有する材料から構成される。例えば、絶縁膜14cが酸化シリコン膜のとき、ストッパ膜14bは、窒化シリコン膜である。
CMP研磨に際し、被研磨物14は、図4に示す状態から上下反転して絶縁膜14cが台座部11に対向するように保持部13に保持される。
本実施形態によれば、研磨布12の熱拡散率が0.05mm2/s以下と低いため、研磨布12と被研磨物14との間の摩擦熱は、研磨布12内部へあまり拡散せず、多くは最表面の温度を上昇させるために消費される。研磨布冷却部17は研磨布12の表面側から冷却するため、研磨布12の熱拡散率が高い場合に比べ、効率的に冷却することが可能であり、結果として研磨布全体としての貯蔵弾性率をより高く保つことができる。これにより、被研磨物14の表面に関して高い平坦性を確保することが可能となる。
図5は、本実施形態による研磨方法により得られた被研磨物14の加工後の状態を示す略示断面図である。図5に示すように、絶縁膜14cの表面400はストッパ膜14bの表面500と面一となっている。このように、本実施形態によれば、被研磨物14の加工面について高い平坦性を実現することが可能である。
本実施形態において、熱拡散率は、例えばレーザフラッシュ法により測定可能である。また、貯蔵弾性率は、例えば非共振強制振動法により測定可能である。
研磨布12の熱拡散率が0.05mm2/s以下であれば、研磨中での研磨布12内部の温度上昇を抑制することが可能である。また、200MPa以上の貯蔵弾性率であれば、抑制された温度上昇の効果により、被研磨物表面の十分な平坦性を確保することができる。
以上述べた少なくともひとつの実施形態の研磨布によれば、0.05mm2/s以下の熱拡散率を有するので、研磨中での研磨布内部の温度上昇を抑制することが可能になる。これにより、研磨布全体の温度上昇による貯蔵弾性率の低下を防ぐことができる。これにより、被研磨物の表面の高い平坦性を確保することができる。
また、以上述べた少なくともひとつの実施形態の研磨方法によれば、0.05mm2/s以下の熱拡散率を有する研磨布の研磨層の表面にスラリを供給し、被研磨物を該研磨層に接触させ、被研磨物を研磨するので、研磨中での研磨布内部の温度上昇が抑制されて貯蔵弾性率の低下を防ぐことができるので、被研磨物の表面の高い平坦性を確保することができる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
11…台座部、12…研磨布、13…保持部、15…供給部、200…ポリマ、300…高比熱・高熱伝導率物質、WF…低熱伝導率物質。
Claims (5)
- 繊維状物質が混入されたポリマを含む研磨層を備える研磨布。
- ポリマを含む研磨層を備え、前記ポリマよりも比熱が高く熱伝導率が高い物質が前記ポリマに囲まれるように予め含有された研磨布。
- 前記物質は水(H2O)であることを特徴とする請求項2に記載の研磨布。
- 前記研磨層の熱拡散率は0.05mm2/s以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の研磨布。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の研磨布の前記研磨層の表面にスラリを供給し、被研磨物を前記研磨層に接触させ、前記被研磨物を研磨する研磨方法。
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