JP2015193059A - 研磨パッド - Google Patents
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本実施形態による研磨パッドを製造するためには、ポリウレタンポリウレア樹脂成形体の原料として、少なくとも、ウレタン結合含有イソシアネート化合物、活性水素化合物が用いられる。更に、異なる活性水素化合物を上記成分とともに用いてもよく、また樹脂成形体中に発泡物を含ませる目的で、微小中空球体や水などを用いてもよい。また、上述した成分の他に、充填剤、軟化剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、帯電防止剤、滑剤、可塑剤、整泡剤、触媒などの各種の添加材を添加してもよい。
ウレタン結合含有イソシアネート化合物としては、市販されているものを用いてもよく、ポリイソシアネート化合物とポリオール化合物とを反応させて合成したものを用いてもよい。本発明で使用するウレタン結合含有イソシアネート化合物のNCO当量は500〜600が好ましい。
研磨パッド7の製造のために用いられる活性水素化合物としては、例えばポリアミン化合物が挙げられる。ポリアミン化合物とは、分子内に2つ以上のアミノ基を有する化合物を意味する。ポリアミン化合物は、鎖伸長剤として作用し、一部はポリイソシアネート化合物と反応してハードセグメントを形成しつつ、一部はウレタン結合含有イソシアネート化合物(ソフトセグメント部)の主鎖末端側と結合して、ポリマー鎖を更に伸長させることが出来る。これにより、ハードセグメントとソフトセグメントのブロックコポリマーを有するポリウレタンポリウレア樹脂が生成される。ポリアミン化合物としては、脂肪族や芳香族のポリアミン化合物、特に、ジアミン化合物を使用することができ、例えば、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、イソホロンジアミン、ジシクロヘキシルメタン−4,4’−ジアミン、3,3’−ジクロロ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン(メチレンビス−o−クロロアニリン)(以下、MOCAと略記する。)、MOCAと同様の構造を有するポリアミン化合物等を挙げることができる。また、ポリアミン化合物が水酸基を有していてもよく、このようなアミン系化合物として、例えば、2−ヒドロキシエチルエチレンジアミン、2−ヒドロキシエチルプロピレンジアミン、ジ−2−ヒドロキシエチルエチレンジアミン、ジ−2−ヒドロキシエチルプロピレンジアミン、2−ヒドロキシプロピルエチレンジアミン、ジ−2−2ヒドロキシプロピルエチレンジアミン等を挙げることができる。ポリアミン化合物としては、ジアミン化合物を用いることが好ましく、MOCA、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルスルホンを用いることがより好ましく、MOCAを用いることが特に好ましい。
混合工程では、準備工程で得られた、ウレタン結合含有イソシアネート化合物(プレポリマー)、活性水素化合物を混合機内に供給して攪拌・混合する。混合工程は、上記各成分の流動性を確保できる状態で行われる。
成形体成形工程では、混合工程で調製された成形体成形用混合液を50〜100℃の型枠内に流し込み、硬化させることによりポリウレタンポリウレア樹脂成形体を成形する。このとき、プレポリマー、活性水素化合物が反応してポリウレタンポリウレア樹脂を形成することにより混合液は硬化する。
前記成形体成形工程により得られたポリウレタンポリウレア樹脂成形体は、シート状にスライスされてポリウレタンポリウレアシートを形成する。
プレポリマーB・・・ユニロイヤルケミカル社製 アジプレンL−325
*2 大球状体・・・松本油脂製極大バルーン(直径140μm)
中球状体・・・松本油脂製マイクロスフェアF−80DE(直径93μm)
小球状体C・・・AkzoNobel社製 エクスパンセル551DE40d42(直径40μm)
小球状体D・・・AkzoNobel社製 エクスパンセル461DE20d70(直径20μm)
*3 Surfscan SP-1DLS(KLAテンコール社製)WIDE Modeで ディフェクト数を評価した。ディフェクト数が200個未満を○、200個以上を×として評価した。
なお、研磨レートの測定条件は下記のとおりである。
・使用研磨機::荏原製作所社製、F−REX300
・Disk:3M A188(#250)
・回転数:(定盤)70rpm、(トップリング)71rpm
・研磨圧力:2.5psiおよび3.5psi
・研磨剤:キャボット社製、品番:SS25(SS25原液:純水=1:1の混合液を使用)
・研磨剤温度:20℃
・研磨剤吐出量:200ml/min
・使用ワーク(被研磨物):12インチφシリコンウェハ上にテトラエトキシシランをCVDで絶縁膜1μmの厚さになるように形成した基板
・研磨時間:60秒間/各回
また、比較例3は比較的硬度の小さい樹脂(ショアD硬度40°以下)に比較例1と同様の単一の小球状体を混合したものである。図3および図4から分かるように、比較例1と比較すると研磨レートが低下していることが分かる。また、表1に示したように、比較例3においてはスクラッチの発生が見られなかった。
一方、実施例は比較例3と同様の比較的硬度の小さい樹脂に大球状体と小球状体の2種類を混合したものである。図3および図4から分かるように、研磨レートは、単一の球状体のみの比較例3と比べ、大幅に研磨レートが増加している。またその増加分は、硬質の研磨パッドの増加分(比較例1から比較例2への増加分)よりも大きいことが分かる。さらに、表1に示したように、実施例においてはスクラッチの発生が見られなかった。
3 被研磨物
7 研磨パッド
21 小球状体
23 大球状体
25 中空球状体
Claims (4)
- 複数の中空球状体を有するポリウレタン製の研磨パッドであって、
前記研磨パッドは、ショアD硬度が40°以下であり、前記中空球状体は、直径が100μmより大きい大球状体と、直径が50μmより小さい小球状体とを含んでいる、研磨パッド。 - 前記大球状体は、直径120μm以上の中空球状体であり、前記小球状体は、直径25μm以下の中空球状体である、請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記研磨パッドは、前記大球状体と前記小球状体との合計が0.1〜20重量部である、請求項1又は2に記載の研磨パッド。
- 前記小球状体と前記大球状体との配合重量比が1:0.3〜2.0である、請求項1乃至3のいずれかに記載の研磨パッド。
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