JP2016076612A - 量子カスケードレーザ、及び量子カスケードレーザを製造する方法 - Google Patents
量子カスケードレーザ、及び量子カスケードレーザを製造する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016076612A JP2016076612A JP2014206369A JP2014206369A JP2016076612A JP 2016076612 A JP2016076612 A JP 2016076612A JP 2014206369 A JP2014206369 A JP 2014206369A JP 2014206369 A JP2014206369 A JP 2014206369A JP 2016076612 A JP2016076612 A JP 2016076612A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quantum cascade
- cascade laser
- semiconductor
- semiconductor mesa
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 196
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 78
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 29
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 15
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 4
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 29
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 22
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 15
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 10
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 5
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 5
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 5
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- KTWOOEGAPBSYNW-UHFFFAOYSA-N ferrocene Chemical compound [Fe+2].C=1C=C[CH-]C=1.C=1C=C[CH-]C=1 KTWOOEGAPBSYNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 229910005542 GaSb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
Description
図1は、第1実施形態に係る量子カスケードレーザを概略的に示した断面図である。図1では、量子カスケードレーザとして、埋め込みヘテロ構造(BH)型の量子カスケードレーザが示される。量子カスケードレーザ1は、基板10、半導体メサ20、埋込領域30、及び導体領域40を備える。本実施形態において、導体領域40は上部クラッド41及びコンタクト層42を含む。
図8は、第2実施形態に係る量子カスケードレーザを概略的に示した断面図である。図8を参照すると、第1実施形態とは上部電極の形状の点において異なるBH型の量子カスケードレーザ2が示される。量子カスケードレーザ2は、基板10及び半導体メサ20を備える。基板10は、例えばSn添加の(100)主面を有するInPからなる。半導体メサ20は、基板10の主面上に設けられる。基板10の厚みは、例えば100μmである。第2実施形態の半導体メサ20は、その最下部に基板10の一部10Pを含み、この基板10の一部10Pの上に、活性層12、クラッド層13、及びキャップ層14を有する。半導体メサ20の高さ20Hは、例えば2μm〜4μmである。半導体メサ20のメサ幅20Wは、例えば3μm〜10μmである。半導体メサ20は、例えば基板10の面方位(0−1−1)に垂直な<011>方向に沿って設けられている。
図11は、第3実施形態に係る量子カスケードレーザを概略的に示した断面図である。図11では、量子カスケードレーザとして、BH型の分布帰還型(DFB)量子カスケードレーザ3が示される。DFB量子カスケードレーザ3は、基板10及び半導体メサ20を備える。DFB量子カスケードレーザ3は、半導体メサ20内において、活性層12の上に、回折格子層15及び平坦化のための半導体層16を有する。半導体メサ20の高さ20Hは、例えば3μm〜4μmである。半導体メサ20のメサ幅20Wは、例えば3μm〜10μmである。半導体メサ20は、例えば基板10の半導体の<011>方向に沿って設けられている。
Claims (7)
- 量子カスケードレーザであって、
基板の主面上に設けられ、前記量子カスケードレーザのための活性層を含む半導体メサと、
前記基板の前記主面上に設けられ、前記基板の前記主面の法線方向に順に配列された第1部分及び第2部分を含む埋込領域と、
前記半導体メサの上面に接触を成し、前記埋込領域上に設けられた導体領域と、
を備え、
前記第1部分は、前記半導体メサを埋め込み、
前記第2部分は、開口を有し、
前記半導体メサ及び前記開口は、前記基板の前記主面の法線方向に順に配列され、
前記導体領域は、前記開口に位置し、
前記第2部分の上端における前記開口の第1幅は、前記第2部分の下端における前記開口の第2幅より大きく、
前記開口の幅は、前記第1幅から前記第2幅に単調に変化し、
前記導体領域は、金属又は半導体からなる、量子カスケードレーザ。 - 前記半導体メサは、前記活性層の上または下に回折格子を含む、請求項1に記載の量子カスケードレーザ。
- 前記基板の前記主面から前記埋込領域の前記第1部分の上面までの高さが、前記基板の前記主面から前記半導体メサの前記上面までの高さとほぼ同じである、請求項1又は請求項2に記載の量子カスケードレーザ。
- 前記導体領域は、III−V族化合物半導体を含む、請求項1又は請求項2に記載の量子カスケードレーザ。
- 前記導体領域は、Ti、Pt及びAuの少なくとも一つを含む、請求項1又は請求項2に記載の量子カスケードレーザ。
- 前記埋込領域の前記第1部分と前記第2部分との間に、中間開口を有する中間部分を更に有し、
前記中間開口の幅は、前記半導体メサの幅とほぼ同じである、請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載された量子カスケードレーザ。 - 量子カスケードレーザを製造する方法であって、
前記量子カスケードレーザのための活性層を含む半導体積層を基板の主面上に成長する工程と、
前記半導体積層の上にマスクを形成する工程と、
前記マスクを用いた反応性イオンエッチング法によって、前記半導体積層から半導体メサを形成する工程と、
半導体原料ガス及びハロゲン系ガスを成長炉に供給しながら、前記半導体メサを埋め込む第1部分を成長すると共に前記第1部分の上に第2部分を成長して、前記半導体メサ上に開口を有する埋込領域を前記主面上に形成する工程と、
前記埋込領域を成長した後に、前記マスクを除去して前記開口に半導体メサの上面を露出させる工程と、
前記マスクを除去した後に、半導体及び金属の少なくとも一つを含む導体領域を前記埋込領域の開口に形成する工程と、
を備え、
前記半導体メサを埋め込む前記第1部分の厚みは、前記半導体メサの上面までの高さとほぼ同じであり、
前記導体領域は、前記半導体メサの前記上面に接触する、量子カスケードレーザを製造する方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014206369A JP6327098B2 (ja) | 2014-10-07 | 2014-10-07 | 量子カスケードレーザを製造する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014206369A JP6327098B2 (ja) | 2014-10-07 | 2014-10-07 | 量子カスケードレーザを製造する方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016076612A true JP2016076612A (ja) | 2016-05-12 |
JP6327098B2 JP6327098B2 (ja) | 2018-05-23 |
Family
ID=55950054
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014206369A Expired - Fee Related JP6327098B2 (ja) | 2014-10-07 | 2014-10-07 | 量子カスケードレーザを製造する方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6327098B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10490979B2 (en) | 2017-12-27 | 2019-11-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Substrate including photonic crystal and method for manufacturing the same, and surface emitting quantum cascade laser |
WO2021200549A1 (ja) * | 2020-04-02 | 2021-10-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | 量子カスケードレーザ素子及び量子カスケードレーザ装置 |
WO2021200582A1 (ja) * | 2020-04-02 | 2021-10-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | 量子カスケードレーザ素子の製造方法 |
JP7306779B2 (ja) | 2019-09-13 | 2023-07-11 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 光半導体素子およびその製造方法 |
WO2023228234A1 (ja) * | 2022-05-23 | 2023-11-30 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ、半導体レーザ装置、及び半導体レーザの製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6055257A (en) * | 1998-04-27 | 2000-04-25 | Lucent Technologies Inc. | Quantum cascade laser |
JP2009054637A (ja) * | 2007-08-23 | 2009-03-12 | Hamamatsu Photonics Kk | 量子カスケードレーザ素子 |
JP2011503664A (ja) * | 2007-11-19 | 2011-01-27 | プレジデント アンド フェロウズ オブ ハーバード カレッジ | 放射ビームのコリメーションを向上させる方法および装置 |
JP2013254908A (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 量子カスケード半導体レーザ |
-
2014
- 2014-10-07 JP JP2014206369A patent/JP6327098B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6055257A (en) * | 1998-04-27 | 2000-04-25 | Lucent Technologies Inc. | Quantum cascade laser |
JP2009054637A (ja) * | 2007-08-23 | 2009-03-12 | Hamamatsu Photonics Kk | 量子カスケードレーザ素子 |
JP2011503664A (ja) * | 2007-11-19 | 2011-01-27 | プレジデント アンド フェロウズ オブ ハーバード カレッジ | 放射ビームのコリメーションを向上させる方法および装置 |
JP2013254908A (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 量子カスケード半導体レーザ |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10490979B2 (en) | 2017-12-27 | 2019-11-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Substrate including photonic crystal and method for manufacturing the same, and surface emitting quantum cascade laser |
JP7306779B2 (ja) | 2019-09-13 | 2023-07-11 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 光半導体素子およびその製造方法 |
WO2021200549A1 (ja) * | 2020-04-02 | 2021-10-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | 量子カスケードレーザ素子及び量子カスケードレーザ装置 |
WO2021200582A1 (ja) * | 2020-04-02 | 2021-10-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | 量子カスケードレーザ素子の製造方法 |
JP2021163921A (ja) * | 2020-04-02 | 2021-10-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | 量子カスケードレーザ素子の製造方法 |
JP7411483B2 (ja) | 2020-04-02 | 2024-01-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | 量子カスケードレーザ素子の製造方法 |
WO2023228234A1 (ja) * | 2022-05-23 | 2023-11-30 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ、半導体レーザ装置、及び半導体レーザの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6327098B2 (ja) | 2018-05-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6327098B2 (ja) | 量子カスケードレーザを製造する方法 | |
JP5038746B2 (ja) | 光半導体素子の製造方法 | |
CN112072466A (zh) | 一种半导体激光器及其制备方法 | |
US8956902B2 (en) | Process for manufacturing buried hetero-structure laser diodes | |
JP4797782B2 (ja) | 半導体光素子 | |
US20130252360A1 (en) | Method of manufacturing photonic crystal and method of manufacturing surface-emitting laser | |
JP2018078290A (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP4751124B2 (ja) | 半導体発光素子を作製する方法 | |
JP2008091420A (ja) | 量子ドット光半導体素子の製造方法 | |
CN112042069A (zh) | 光学半导体元件及其制造方法以及光学集成半导体元件及其制造方法 | |
JP4827655B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP4899755B2 (ja) | 半導体光素子を作製する方法 | |
JP6572640B2 (ja) | 半導体受光素子を作製する方法 | |
JP4853008B2 (ja) | 半導体光素子を作製する方法 | |
US7855096B2 (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
US9001859B2 (en) | Ridge semiconductor laser and method for manufacturing a ridge semiconductor laser | |
JP5531610B2 (ja) | 半導体レーザ素子の製造方法 | |
JP2009194023A (ja) | 半導体光素子を作製する方法 | |
JP4985411B2 (ja) | 半導体光素子を作製する方法 | |
JP2018101752A (ja) | 半導体光素子およびその製造方法 | |
JP5620308B2 (ja) | Iii−v族化合物半導体結晶の製造方法、光半導体素子の製造方法 | |
JP2004349422A (ja) | 半導体光素子を製造する方法、及び半導体光素子 | |
WO2007108117A1 (ja) | 光半導体素子 | |
JP2009177076A (ja) | 半導体素子を作製する方法 | |
JP2012015416A (ja) | 半導体光素子を製造する方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170522 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180309 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180320 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180402 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6327098 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |