JP4985411B2 - 半導体光素子を作製する方法 - Google Patents
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Description
基板11:n型InP基板
第1導電型のクラッド層15:n型InP半導体、1.0μm
活性層17:GaInAsP多重量子井戸構造、0.2μm
第2導電型のクラッド層19:p型InP半導体、1.5μm
第2導電型のコンタクト層21:p型GaInAs半導体、0.2μm
キャップ層23:p型InP半導体、0.1μm
である。活性層17は、例えば1.55μm帯での発光のために作製される。活性層17は、バルク、単一量子井戸構造、または多重量子井戸構造等の様々な構造を有することができる。半導体レーザは、量子井戸構造の井戸層の上下にガイド層を配置したSCH構造を有することができる。また、必要な場合には、n型クラッド層に替えて、n型InP基板の表層領域をn型クラッド層として用いることができる。
シリコン酸化膜27:厚さ2μm
成膜ガスG1:テトラエトキシシラン及び酸素
TEOS流量:10sccm
O2流量:500sccm
流量比:TEOS/O2=1/20
パワー比:誘導結合PIPC/バイアスPBIAS=700W/100W
高周波電力の周波数:誘導結合=13.56MHz/バイアス=400kHz
基板温度:摂氏200度(バイアス電極内のヒータにより調整)
である。流量比は、TEOS:O2=1:20以上であることが好ましい。
ドライエッチングの条件の一例は、
ガスGE:CH4/H2
プラズマパワー:100W
である。ドライエッチングによりマスク29の上縁29b、29cが消失してエッチングが進行するにつれて傾斜面が形成され、マスク29はマスク29aに変形していく。このドライエッチングが終了すると、半導体メサ33が形成される。このドライエッチングにより、エッチングされた半導体メサ33の側面は、半導体積層13が積層された面にほぼ垂直になるように形成することができる。
埋め込み半導体35:Fe−InP半導体
である。MOVPE法により、摂氏600度の成長温度にてフォスフィンガス、トリメチルインジウム及びフェロセンを成長炉25dに供給し、鉄濃度1×1017cm−3の半絶縁性InP埋め込み層を成長した。膜厚は、例えば4.2μmである。有機金属気相成長装置を用いて、Fe−InP半導体を堆積して埋め込み成長を行うと、厚いマスク29aの側面が、Fe−InP半導体の成長を物理的にブロックして、マスク29の上面上への異常成長が防止される。半導体メサの埋め込み成長における成長温度は、摂氏500度以上であることが好ましい。また、この成長温度は、摂氏700度以下であることが好ましい。マスク29、29aの膜応力が調整されているので、半導体メサの埋め込み成長を行った後に半導体メサに残留する応力が低減される。また、マスクとキャップ層との界面に歪みがない状態で、半絶縁性の埋め込み層を成長できる。
Claims (8)
- 半導体光素子を作製する方法であって、
誘導結合型プラズマCVD装置を用いて、前記誘導結合型プラズマCVD装置のバイアス電力を制御することによって膜応力を調整して、複数のIII−V化合物半導体層を含む半導体積層上に、マスクのための厚さ2マイクロメートル以上のシリコン酸化膜を成長する工程と、
前記シリコン酸化膜の前記マスクを、前記半導体積層上にエッチングにより形成する工程と、
前記マスクを用いて前記半導体積層をドライエッチングして、光導波路構造の半導体メサを形成する工程と、
III−V化合物半導体を堆積して、前記マスクを用いて前記半導体メサの埋め込み成長を行う工程と
を備え、
前記シリコン酸化膜を成長する工程では、前記誘導結合型プラズマCVD装置のバイアス電力を制御することによって、前記マスクのシリコン酸化膜の室温における膜応力が−250MPa以上であり−150MPa以下であるように前記シリコン酸化膜を形成する、ことを特徴とする方法。 - 前記シリコン酸化膜は、前記半導体メサの埋め込み成長における温度と室温との間の温度範囲において正の温度係数を有しており、
前記膜応力は、摂氏500度以上摂氏700度以下の温度範囲において、−200MPa以上であり、100MPa以下である、ことを特徴とする請求項1に記載された方法。 - 半導体基板上に前記半導体積層の前記複数のIII−V化合物半導体層を成長する工程を更に備え、
前記半導体積層の厚さは1.5マイクロメートル以上であり、
前記半導体メサの形成において、前記半導体積層が積層された面に対してほぼ垂直に、前記半導体基板が2マイクロメートル以上の深さでエッチングされる、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載された方法。 - 前記半導体メサの埋め込み成長における温度は摂氏500度以上であり、摂氏700度以下であり、
前記半導体メサの側面及び前記半導体基板の表面が前記埋め込み成長の前記III−V化合物半導体で覆われる、ことを特徴とする請求項3に記載された方法。 - 前記シリコン酸化膜のための原料ガスはシリコン有機化合物及び酸素を含む、ことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載された方法。
- 前記半導体積層は、第1導電型InP半導体層、活性層、第2導電型InP半導体層、第2導電型GaInAs半導体層、およびInPキャップ層を含み、
半導体メサを形成する前記工程では、第1導電型InP半導体層、活性層、第2導電型InP半導体層、第2導電型GaInAs半導体層、およびInPキャップ層がエッチングされ、
当該方法は、
前記埋め込み成長の後に、前記マスクおよび前記InPキャップ層を除去して、前記半導体メサ内のエッチングされた第2導電型GaInAs半導体層を露出させる工程と、
前記露出された第2導電型GaInAs半導体層上に電極を形成する工程と
を更に備える、ことを特徴とする請求項5に記載された方法。 - 前記埋め込み成長における前記III−V化合物半導体は、鉄ドープInP層を含む、ことを特徴とする請求項6に記載された方法。
- 前記半導体メサの前記埋め込み成長では、前記マスクは単層のシリコン酸化膜からなる、ことを特徴とする請求項7に記載された方法。
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