JP2016072001A - 高周波電源 - Google Patents
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Abstract
Description
2 AC−DC変換部
3 DC−DC変換部
4A 第1のDC−RF変換部(高周波電力出力手段,増幅手段)
4B 第2のDC−RF変換部(高周波電力出力手段,増幅手段)
401 フィルタ回路
5 高周波信号生成部(高周波電力発生段)
501 高周波発生回路
502 周波数制御回路(周波数制御手段)
503 パルス発生回路
504 出力制御回路
6 RF分配部(電力分配手段)
7 RF合成部(電力合成手段)
8 フィルタ回路
9 PWM信号生成部
10 制御部
Claims (4)
- 規定周波数の高周波電力を発生する高周波電力発生手段と、
前記高周波電力発生手段が発生した高周波電力を増幅して負荷に出力する高周波電力出力手段と、
を備えた高周波電源において、
前記高周波電力の前記負荷への出力開始時に、前記高周波電力発生手段が発生する高周波電力の周波数を、前記高周波電力発生手段から前記負荷側を見た回路の共振周波数に制御し、前記出力開始時から所定の時間が経過した時点で前記高周波電力の周波数を前記規定周波数に切り換える周波数制御手段を備えたことを特徴とする、高周波電源。 - 前記高周波電力出力手段は、前記規定周波数よりも低い周波数を有するパルス信号に基づいて、前記高周波電力発生手段で発生した高周波電力を前記パルス信号のハイレベル期間にだけパルス出力し、
前記所定の時間は、前記パルス信号のハイレベル期間よりも短い時間である、請求項1に記載の高周波電源。 - 前記高周波電力出力手段は、
前記高周波電力発生手段が発生する高周波電力を複数の高周波電力に分配する電力分配手段と、
前記電力分配手段から出力される複数の高周波電力をそれぞれ増幅する複数の増幅手段と、
前記複数の増幅手段から出力される複数の高周波電力を合成して前記負荷に出力する電力合成手段と、
を含む、請求項1又は2に記載の高周波電源。 - 前記負荷は、プラズマ処理装置である、請求項1乃至3のいずれかに記載の高周波電源。
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