JP2015097433A - 高周波電源 - Google Patents
高周波電源 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015097433A JP2015097433A JP2013236378A JP2013236378A JP2015097433A JP 2015097433 A JP2015097433 A JP 2015097433A JP 2013236378 A JP2013236378 A JP 2013236378A JP 2013236378 A JP2013236378 A JP 2013236378A JP 2015097433 A JP2015097433 A JP 2015097433A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive
- switching elements
- output
- level
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 13
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Inverter Devices (AREA)
Abstract
Description
2 可変直流電源
3 インバータ回路(電力変換手段)
4 直列共振回路
5 フィルタ回路
6 電力検出器
7 ドライブパルス発生部(ドライブパルス生成手段)
701 基準発振器
702 パルス発生器
703 論理回路(論理演算手段)
703a,703c AND(論理積)回路
703b,703d NAND(否定論理積)回路
703e バッファ回路
703f,703g NOT(論理否定)回路
8 ドライバ(ドライブ信号生成手段)
801a フォトカプラ
801b アンプ(増幅手段)
9 制御部(ドライブ信号制御手段,ドライブ制御信号生成手段)
10 負荷(プラズマ処理装置)
a,b 出力端子対
c,d 入力端子対
T トランス
Q1,Q2,Q3,Q4 スイッチング素子
Claims (6)
- 4個のスイッチング素子のブリッジ回路を含み、ドライブ信号により各スイッチング素子をオン・オフ動作させて前記ブリッジ回路の入力端子対に供給される直流電力を高周波電力に変換して前記ブリッジ回路の出力端子対から出力する電力変換手段と、
前記スイッチング素子毎に、前記ドライブ信号を生成するドライブ信号生成手段と、
前記高周波電力の出力を停止させる場合、前記ブリッジ回路の2つのアームの上側又は下側に配置される2個のスイッチング素子に対するドライブ信号のレベルを各スイッチング素子が遮断するレベルに設定し、残りの2個のスイッチング素子に対するドライブ信号のレベルを各スイッチング素子が導通するレベルに設定するドライブ信号制御手段を備えたことを特徴とする高周波電源。 - 前記ドライブ信号制御手段は、前記残りの2個のスイッチング素子に対するドライブ信号のレベルを各スイッチング素子が能動領域で動作するレベルに設定する、請求項1に記載の高周波電源。
- 前記ドライブ信号制御手段は、前記残りの2個のスイッチング素子に対するドライブ信号のレベルを各スイッチング素子が飽和領域で動作するレベルに設定する、請求項1に記載の高周波電源。
- 前記ドライブ信号生成手段は、
前記ブリッジ回路の一方のアームの上側と他方のアームの下側に配置される2個のスイッチング素子に対するドライブパルスとして、スイッチング素子毎に前記電力変換手段から出力される前記高周波電力の周波数と同一の周波数を有する所定レベルの第1のドライブパルスを生成するとともに、前記ブリッジ回路の一方のアームの下側と他方のアームの上側に配置される2個のスイッチング素子に対するドライブパルスとして、スイッチング素子毎に前記第1のドライブパルスに対して位相がπだけずれた第2のドライブパルスを生成するドライブパルス生成手段と、
前記ドライブパルス生成手段で前記スイッチング素子毎に生成したドライブパルスを増幅して各スイッチング素子に対する前記ドライブ信号をそれぞれ生成する増幅手段と、
を含み、
前記ドライブ信号制御手段は、前記高周波電力の出力を停止させる場合、前記ブリッジ回路の2つのアームの上側又は下側に配置される2個のスイッチング素子に対してスイッチング素子毎に生成された前記第1のスイッチングパルスのレベルをローレベルに設定し、残りの2個のスイッチング素子に対してスイッチング素子毎に生成された前記第2のスイッチングパルスのレベルをハイレベルに設定する、請求項1乃至3のいずれかに記載の高周波電源。 - 前記ドライブ信号制御手段は、
前記ブリッジ回路に電力変換動作をさせる第1の状態と前記ブリッジ回路に電力変換動作をさせない第2の状態とが割り当てられた2値信号からなるドライブ制御信号を生成するドライブ制御信号生成手段と、
前記ドライブ制御信号と前記ドライブパルス生成手段で前記スイッチング素子毎に生成された4個のドライブパルスを用いて所定の論理演算を行う論理演算手段と、
を含み、
前記論理演算手段は、前記ドライブ制御信号が前記第1の状態が割り当てられたレベルの期間では、前記ドライブ信号生成手段で生成される4個のドライブパルスと同一波形の信号を出力し、前記ドライブ制御信号が前記第2の状態が割り当てられたレベルの期間では、前記ブリッジ回路の2つのアームの上側又は下側に配置される2個のスイッチング素子に対してローレベルの信号を出力するとともに、残りの2個のスイッチング素子に対してハイレベルの信号を出力する、請求項4に記載の高周波電源。 - 前記論理演算手段は、
前記ドライブパルスと前記ドライブ制御信号の論理積を演算する2つのAND回路と、NOT回路によって前記ドライブパルスのレベルを反転した信号と前記ドライブ制御信号の否定論理積を演算する2つのNAND回路とを含み、
前記2つのAND回路には、前記ブリッジ回路の2つのアームの上側又は下側に配置される2個のスイッチング素子に対して生成されたドライブパルスが入力され、前記2つのNAND回路には、残りの2個のスイッチング素子に対して生成されたドライブパルスが前記NOT回路を介して入力される、請求項5に記載の高周波電源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013236378A JP6301112B2 (ja) | 2013-11-15 | 2013-11-15 | 高周波電源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013236378A JP6301112B2 (ja) | 2013-11-15 | 2013-11-15 | 高周波電源 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018034320A Division JP2018088819A (ja) | 2018-02-28 | 2018-02-28 | 高周波電源 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015097433A true JP2015097433A (ja) | 2015-05-21 |
JP6301112B2 JP6301112B2 (ja) | 2018-03-28 |
Family
ID=53374494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013236378A Active JP6301112B2 (ja) | 2013-11-15 | 2013-11-15 | 高周波電源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6301112B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017184493A (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 日立マクセル株式会社 | 非接触電力送電装置及び非接触電力送電方法 |
WO2019181376A1 (ja) * | 2018-03-22 | 2019-09-26 | スミダコーポレーション株式会社 | 共振整合回路 |
CN113348613A (zh) * | 2018-11-30 | 2021-09-03 | 鹰港科技有限公司 | 可变输出阻抗rf发生器 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013135159A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
WO2013145486A1 (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-03 | 富士電機株式会社 | 交流電機システム及びその制御方法 |
-
2013
- 2013-11-15 JP JP2013236378A patent/JP6301112B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013135159A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
WO2013145486A1 (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-03 | 富士電機株式会社 | 交流電機システム及びその制御方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017184493A (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 日立マクセル株式会社 | 非接触電力送電装置及び非接触電力送電方法 |
WO2019181376A1 (ja) * | 2018-03-22 | 2019-09-26 | スミダコーポレーション株式会社 | 共振整合回路 |
JP2019170034A (ja) * | 2018-03-22 | 2019-10-03 | スミダコーポレーション株式会社 | 共振整合回路 |
KR20200100811A (ko) * | 2018-03-22 | 2020-08-26 | 스미다 코포레이션 가부시키가이샤 | 공진정합회로 |
CN111886776A (zh) * | 2018-03-22 | 2020-11-03 | 胜美达集团株式会社 | 谐振匹配电路 |
US11239815B2 (en) | 2018-03-22 | 2022-02-01 | Sumida Corporation | Resonance matching circuit |
JP7067174B2 (ja) | 2018-03-22 | 2022-05-16 | スミダコーポレーション株式会社 | 共振整合回路 |
KR102411984B1 (ko) * | 2018-03-22 | 2022-06-22 | 스미다 코포레이션 가부시키가이샤 | 공진정합회로 |
CN113348613A (zh) * | 2018-11-30 | 2021-09-03 | 鹰港科技有限公司 | 可变输出阻抗rf发生器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6301112B2 (ja) | 2018-03-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102404469B1 (ko) | 무선주파수 전원 | |
JP4773165B2 (ja) | 高周波電源装置 | |
JP5202354B2 (ja) | D級増幅装置 | |
JP6254861B2 (ja) | 高周波電源 | |
JP2004080846A (ja) | プラズマ発生用電源装置 | |
CN106455278B (zh) | X射线高压发生器、串联谐振变换器的控制电路和方法 | |
JP6301112B2 (ja) | 高周波電源 | |
KR101844981B1 (ko) | 플라즈마 공정용 llcc 공진컨버터 | |
US11316423B2 (en) | Half-bridge having power semiconductors | |
JP6309411B2 (ja) | 高周波電源 | |
JP6313080B2 (ja) | 高周波電源装置 | |
WO2017063571A1 (zh) | 不间断电源直流母线的放电装置及放电方法 | |
JP6219057B2 (ja) | 高周波電源 | |
JP2018088819A (ja) | 高周波電源 | |
JP6153786B2 (ja) | 高周波電源装置 | |
JP2016004745A (ja) | 高周波電源 | |
JP2001128462A (ja) | インバータ装置の制御方法 | |
JP6397772B2 (ja) | インバータ装置 | |
JP2016072001A (ja) | 高周波電源 | |
CN108321834B (zh) | 一种并网逆变器的控制方法及控制器 | |
JP7473510B2 (ja) | Rf帯域電源装置、及びパルス幅変調制御方法 | |
JP2014220059A (ja) | 高周波電源 | |
JP6474985B2 (ja) | 高周波電源 | |
Hothongkham et al. | Analysis and comparison study of PWM and phase-shifted PWM full-bridge inverter fed high-voltage high-frequency ozone generator | |
CN108370214B (zh) | 开关电源及其控制方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161017 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170816 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170822 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20171012 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171215 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180130 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180228 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6301112 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |